JPH0438046U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0438046U JPH0438046U JP7917290U JP7917290U JPH0438046U JP H0438046 U JPH0438046 U JP H0438046U JP 7917290 U JP7917290 U JP 7917290U JP 7917290 U JP7917290 U JP 7917290U JP H0438046 U JPH0438046 U JP H0438046U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- supply
- turntable
- intermediate chamber
- constant temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 3
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 claims 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案に係るＩＣハンドラー用恒温槽
の一例の縦断側面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断
面図である。 １……恒温室、２……ＩＣ移送用ターンテーブ
ル、３，１０……駆動軸、４，１１……ＩＣポケ
ツト、５……ＩＣソケツト、６……中間室、７…
…開口、８……供給室、９……ＩＣ供給用ターン
テーブル、１２，１３……断熱隔壁、１４……吸
引口、１５……圧送口、１６……注入口。
の一例の縦断側面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断
面図である。 １……恒温室、２……ＩＣ移送用ターンテーブ
ル、３，１０……駆動軸、４，１１……ＩＣポケ
ツト、５……ＩＣソケツト、６……中間室、７…
…開口、８……供給室、９……ＩＣ供給用ターン
テーブル、１２，１３……断熱隔壁、１４……吸
引口、１５……圧送口、１６……注入口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ ＩＣ移送用ターンテーブルとその側部にＩ
Ｃ特性検査用のＩＣソケツトとを配備した恒温
室の一側面に隣接して中間室を設けると共に
、該中間室に隣接して供給室を設け、前記恒温
室、中間室および供給室の三室に跨つて回
転するＩＣ供給用ターンテーブルを前記ターン
テーブルに隣接して並置し、前記恒温室と中
間室の境界および前記中間室と供給室の境
界をＩＣ供給用ターンテーブルの回転空間を残
して断熱隔壁およびにて区画したことを特徴
とするＩＣハンドラー用恒温槽。 ２ 供給室にドライホツトエアーの圧送手段を
設けると共に中間室にはドライホツトエアーの
吸引手段を設けてなる請求項１記載のＩＣハンド
ラー用恒温槽。 ３ ＩＣ供給用ターンテーブルの少くとも上下
面に近接して設けられる断熱隔壁が、上下動
調整可能なものである請求項１または２記載のＩ
Ｃハンドラー用恒温槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7917290U JPH0546273Y2 (ja) | 1990-07-25 | 1990-07-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7917290U JPH0546273Y2 (ja) | 1990-07-25 | 1990-07-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0438046U true JPH0438046U (ja) | 1992-03-31 |
| JPH0546273Y2 JPH0546273Y2 (ja) | 1993-12-03 |
Family
ID=31623099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7917290U Expired - Lifetime JPH0546273Y2 (ja) | 1990-07-25 | 1990-07-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0546273Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014062765A (ja) * | 2012-09-20 | 2014-04-10 | Ueno Seiki Co Ltd | 部品検査装置 |
-
1990
- 1990-07-25 JP JP7917290U patent/JPH0546273Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014062765A (ja) * | 2012-09-20 | 2014-04-10 | Ueno Seiki Co Ltd | 部品検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0546273Y2 (ja) | 1993-12-03 |
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