JPH0438404A - 測長装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、測長装置に関し、殊に角膜頂点位置を幾何光
学的原理を利用した光学系を用いて求め、眼底位置を物
理光学的原理を利用した光学系としての干渉光学系を用
いて求めて、眼底から角膜頂点までの眼軸長を測定する
のに好適の測長装置に関する。

（従来の技術） 従来から、レーザーダイオードＬＤからの光束を被検眼
に照射し、眼底から反射した平面波と角膜から反射した
球面波とを干渉させ、その干渉信号を用いて眼底と角膜
との間の距離（眼軸長）を測定する測長装置、たとえば
、眼軸長測定装置が知られている。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、この従来の測長装置では、眼底からの反
射平面波と角膜からの反射球面波を干渉させるとき、被
検眼に対しての測定装置のアライメントについて、厳し
いアライメント精度が要求され、殊に絶えず動く眼球の
測定においては、致命的ともいえる欠点である。また、
被検眼に対して測定装置のアライメントが若干でもずれ
ると干渉縞の位置が大きくずれて今まで観察していた場
所では、干渉縞の本数が急激に増え干渉が起こっている
のかを見きわめるのが困難であった。

（課題を解決するための手段） 本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、その請
求項１に記載の測長装置の構成は、可干渉距離が長くか
つ波長変化が可能なレーザ光を発するレーザー光源と、 測定対象物により反射されたレーザー光と測定対象物対
応参照面により反射されたレーザー光とを干渉させる測
定干渉光路と該測定干渉光路より長い光路長を有して基
準対象物により反射されたレーザー光と基準対象物対応
参照面により反射されたレーザー光とを干渉させる基準
干渉光路とを形成し、前記レーザー光源からのレーザー
光を前記測定干渉光路と前記基準干渉光路とに導くビー
ムスプリッタと、 前記測定干渉光路を経由して干渉光として導かれた光を
受光する第１受光部と、 前記基準干渉光路を経由して干渉光として導かれた光を
受光する第２受光部と、 前記レーザ光源の発光波長を変化させるレーザー駆動部
と、 前記第２受光部の出力信号をタイミング信号として用い
て前記第１受光部の出力信号をサンプリングし、周期波
信号を形成する周期波信号形成部前記基準干渉光路の光
路長と前記周期波信号の周期とに基づき測定対象物まで
の距離を求める演算部と、 とからなることを特徴とする。

本発明の請求項３に記載の発明は、 可干渉距離が長くかつ波長変化が可能なレーザ光を発す
るレーザー光源と、 被検眼眼底により反射されたレーザー光と眼底対応参照
面により反射されたレーザー光とを干渉させる測定干渉
光路と該測定干渉光路より長い光路長を有して基準対象
物により反射されたレーザー光と基準対象物対応参照面
により反射されたレーザー光とを干渉させる基準干渉光
路とを形成し、前記レーザー光源からのレーザー光を前
記測定干渉光路と前記基準干渉光路とに導くビームスプ
リッタと、 前記測定干渉光路を経由して干渉光として導かれた光を
受光する第１受光部と、 前記基準干渉光路を経由して干渉光として導がれた光を
受光する第２受光部と、 前記レーザ光源の発光波長を変化させるレーザー駆動部
と、 前記第２受光部の出力信号をタイミング信号として用い
て前記第１受光部の出力信号をサンプリングし、周期波
信号を形成する周期波信号形成部と、 前記基準干渉光路の光路長と前記周期波信号の周期とに
基づき眼底までの距離を求める眼底位置測定部と、 前記被検眼の角膜に光束を照射する照射光学系と、 前記角膜からの反射光を第３受光部に導く受光光学系と
、 前記第３受光部の出力に基づき前記被検眼の角膜位置を
求める角膜位置測定部とを有し、前記被検眼の眼軸長を
測定することを特徴とする。

（作用） 本発明の請求項１に記載の測長装置によれば、基準干渉
光路の距離と周期波信号形成部により得られた周期波信
号とに基づき演算を行えば、測定対象物までの距離を求
めることができる。

本発明の請求項３に記載の測長装置によれば、角膜頂点
位置は幾何光学的原理を利用した照射光学系及び受光光
学系を用いて測定され、眼底位置は、物理光学的原理を
利用した干渉光学系を用いて測定され、これによって眼
軸長が求められることになる。

（実施例１） 第１図は、角膜距離測定系として角膜にリング像を投影
して角膜頂点位置を求める実施例を示すものである。

第１図において、１００は角膜距離測定系、１０１は干
渉光学系、１０２は被検眼角膜に光束を照射する照射光
学系としてのリング状光源投影部、１０３は被検眼、１
０４は対物レンズである。角膜距離測定系１００は第１
光路１０５、第２光路１０６を有している。第１光路１
０５は第３受光部としての二次元イメージセンサ１０７
、結像レンズ１０８、ハーフミラ−１０９、絞り１１０
、　　レンズ１１１、全反射ミラー１１２）レンズ１１
３、ハーフミラ−１１４、ダイクロイックミラー１１５
、対物レンズ１０４から大略構成されている。第２光路
１０６はレンズ１１７、全反射ミラー１１６．１１８．
１１９、絞り１２４から大略構成されている。

リング状光源投影部１０２は、リング状光源とパターン
板（図示を略す）とからなり、ここでは、メリジオナル
断面光線が平行であるような照明光を被検眼に投影する
ものとなっているが、放射照明光を投影してもよい。こ
の照明光を被検眼１０３に向かって照射すると、被検眼
１０３の角膜１２０にはリング状の虚像１２１が形成さ
れる。ここで、リング状光源投影部１０２の照明光の波
長は９００ｎｍ〜１１０００ｎである。ダイクロインク
ミラー１１５は、その照明光を透過し、後述するレーザ
ー光を反射する役割を果たす。

角膜１２０による反射光は、対物レンズ１０４、ダイク
ロインクミラー１１５を介してハーフミラ−１１４に導
かれ、第１光路１０５と第２光路１０６とに分岐される
。第１光路１０５に導かれた反射光はレンズ１１３に基
づき一旦リング状の空中像１２２として結像され、さら
に、全反射ミラー１１２）レンズ１１１、絞り１１０、
ハーフミラ−１０９、結像レンズ１０８を経由して二次
元イメージセンサ１０７にリング像ｉ２（第２図参照）
として結像される。なお、このリング像１２の結像倍率
は、ここでは、０．５倍とする。第２光路１０６に導か
れた反射光は全反射ミラー１１９により反射され、対物
レンズ１０４に基づき一旦空中像１２３として結像され
、全反射ミラー１１８、レンズ１１７、全反射ミラー１
１６、絞り１２４、ハーフミラ−１０９、結像レンズ１
０８を経由して、二次元イメージセンサ１０７にリング
像１１として結像される。なお、このリング像１１の結
像倍率は、リング像１２の結像倍率よりも大きく設定さ
れている。

絞り１１０は、第２絞りとしての役割を果たし、レンズ
１１１、レンズ１１３によって対物レンズ１０４の後方
焦点位置にリレーされ、共役像１２５がその対物レンズ
１０４の後方焦点位置に形成され、第１光路１０５の光
学系は物理にテレセントリックである。絞り１２４は、
第１絞りとしての役割を果たし、レンズ１１７によって
被検眼１０３の前方（対物レンズ１０４の前方）にリレ
ーされ、ここでは、共役像（実像）１２６が被検眼の前
方２５ｍｍ〜５０ｍｍの箇所に形成される。

ここで、対物レンズ１０４と絞り１１０．１２４との関
係を模式的に示す第３図、第４図を参照しつつ説明する
。いま、絞り１２４の共役像１２６が形成される光軸Ｏ
上での位置を原点Ｇとして、原点Ｇから光軸方向に距離
Ｌ１だけ離れた箇所に基準位置Ｙを定める。この基準位
置Ｙはリング像Ｌ＋、ｉ２がピンボケしない程度に決め
る。そして、この基準位置Ｙに物体高がｈの物体（リン
グ像ｉの半径に相当する）を置く。このとき、第２光路
１０６によって観察面１２７（二次元イメージセンサ１
０７の位置）に形成される像高をｙｌ、第１光路１０５
によって観察面１２７に形成される像高をｙ２とする。

次に、この既知の物体を距離Ｘｓだけ移動させ、このと
きの像高、Ｙｌ’　　　ｙ２′　とする。また、観察面
１２７から点Ｚまでの距離をＬ＋’とし、基準位置Ｙか
ら点Ｚ′までの距離をＬ２）絞り１１０から観察面１２
７までの距離をＬ２’　とする、さらに、角倍率をβ１
、β２とする。

すると、以下の式が得られる。

ｈ　／　Ｌ　１＝　ｙ　＋・β＋　／　Ｌ　＋　’　　
　　　　　　　　■ｈ　／　（Ｌ　＋　十Ｘ　ｓ　）　
＝　（Ｖ　１　　・β＋）／Ｌ＋’　　■ｈ　／　Ｌ　
２＝　Ｙ　２／　（β２・Ｌ２′）　　　　　　　　■
ｈ／　（Ｌ２＋Ｘ＠）−’−ｙ２’　／　（β２・Ｌ２
′）■■式、■式において角倍率β１、距離Ｌ１、Ｌｌ
が定数であるとし、 Ｋ１＝（β１・Ｌ＋）／Ｌ＋ Ｋ　２　＝β１／Ｌ１ と置くと、 ■式、■式は、以下の式に変形される。

ｈ＝に＋−ｙｌ　　　　　　　　　　　　　　　　■ｈ
　＝　Ｋ　＋・ｙ１′十に２・ｙ１′　・Ｘｌｌ　　　
　　　■また、■式、■式において角倍率β２）距離Ｌ
２）Ｌ２’が定数であるとし、 Ｋ３＝Ｌ２／　（Ｌ２’　　・β２） Ｋ４＝１／　（Ｌ２’　　・β２） と置くと、 ■式、■式は、以下の式に変形される。

ｈ　＝　Ｋ　３・ｙ２　　　　　　　　　　　　　　　
■ｈ　＝　Ｋ　３°ｙ２’＋に４°ｙ２’　　°Ｘ＠　
　　　　　■ここで、定数に１、Ｋａ、Ｋａ、Ｋ４は、
物体高ｈ１像高ｙを実測することにより、決定可能であ
る。

すなわち、■、０式を変形することにより、下記の式が
得られる。

Ｋ　＋　＝　ｈ　／　ｙ　＋　　　　　　　　　　　　
　　　　■に２＝（ｈ／　ｙ　＋）・（ｙｌ−ｙ＋’　
）／（ｙ＋’・Ｘ［り［相］Ｋ　３　＝　ｈ　／　ｙ　
２　　　　　　　　　　　　　　　　　　■Ｋ　ａ　＝
　（ｈ　／　ｙ　２　）・（ｙ２−ｙ２’　）／（ｙ２
’　　・ＸＩＩ）＠よって、既知の物体の物体高りとそ
の像高とを実測することによって、定数に１、Ｋａ、Ｋ
ａ、Ｋ４が求められる。

次に、像高ｈ、基準位置Ｙからの距離Ｘが未知の場合の
測定について説明する。

この場合には、■式、■式において、距離Ｘ２の代わり
に距離Ｘとおく。また、ｙ、ｒ　　ｙ２’をｙ２）ｙ２
と置き換える。

すると、下記の式が得られる。

ｈ　＝　Ｋ　＋・ｙ　Ｈ＋　Ｋ　２・ｙｌ・Ｘ　　　　
　　■ｈ、　＝　Ｋ　３・ｙ　２　＋　Ｋ　ａ・ｙ２・
Ｘ　　　　　　　　■上記の連立方程式を、距離Ｘ１　
物体高りについて解くと、 Ｘ　−（Ｋ　３・ｙ２−Ｋ　、・ｙｌ）／（Ｋａ・ｙｌ
−に４・ｙ２）■ｈ＝に１・ｙ１＋に２・ｙｌ・Ｘ ＝（Ｋａ・Ｋａ−Ｋｌ・Ｋｊ）ｙｌ・ｙ２　／　（Ｋａ
・ｙｌ　　Ｋａ・ｙ２）■従って、像高ｙＩ、３’２を
測定することによって、基準位置Ｙから物体までの距離
を測定できることになる。

次に、角膜曲率半径Ｒとその頂点位置の測定について第
５図を参照しつつ説明する。

第５図において、リング像ｉの半径（楕円近似した場合
の楕円の長径又は短径）を物体高りとする。このとき、
物体高りはメリジオナル光線によって決定される。リン
グ像の直径が３ｍｍ程度であるとすると、角度φは２０
″程度となり、下記に記載する近軸計算式を用いること
ができない。

ｂ”（Ｒ−ｓｉｎφ）／２ そこで、距離Ｌ２を充分に大きくとって、角度φが常に
一定となるようにし、物体高りとして絞り１２４を通る
第２光路１０６で測定されたものを使用すれば、下記の
反射法則に基づく式を用いることができる。

ｈ＝Ｒ−ｓｉｎ（φ／２） 上記式を変形すれば、 Ｒ＝ｈ／５ｉｎ（φ／２）　　　　　　　　　［相］絞
り１１０を通る光線と絞り１２４を通る光線とが為す角
度が大きくならない程度に距離Ｌ１を設定すれば、０式
によって得られた物体高りを上記［相］式に用いても大
きな誤差はないと考えられるから、角膜頂点１２０Ｐの
位置は基準位置Ｙからの距離ＰＭとして、Ｐｘ＝Ｘ　−
（Ｒ−ｈ／ｌａｎφ）　　　　■この角膜頂点位置の計
算式０は、球面の光軸上にリング像が乗っていることが
前提であるから、球面収差の影響を受けるが、その量は
それほど大きいとは考えられず、実験値に基づき補正す
ることも可能である。なお、第５図において、○′は角
膜曲率中心、ＡＩは法線、Ａ２は角膜１２０を球面とみ
なした場合の球面光軸、Ａ３は角膜１２０への入射光線
である。

次に、第１図、第６図を参照しつつ干渉光学系について
説明する。

干渉光学系１０１は、レーザー光源としてのレーザーダ
イオード１３０、コリメートレンズ１３１、ビームスプ
リッタ１３２）レンズ１３３、ピンホール板１３４、ビ
ームスプリッタ１３５、コリメートレンズ１３６、合焦
レンズ１３７、コリメートレンズ１３８、参照ミラー１
３９、ピンホール板１４０、レンズ１４１、ホトダイオ
ード１４２）ビームスプリッタ１４３、基準ミラー１４
４、参照ミラー１４５、ホトダイオード１４６を有する
。レーザーダイオード１３０にはコヒーレント長が長い
もので、波長変化が可能なもの（たとえば、単一モード
のもの）を用いる。レーザーダイオード１３０を出射さ
れたレーザー光はコリメートレンズ１３１によって平行
光束とされ、ビームスプリッタ１３２に導かれる。

ビームスプリッタ１３２は平行レーザー光をレンズ１３
３に向かう光束とハーフミラ−１４３に向かう光束とに
分割する機能を有する。

ハーフミラ−１４３は基準ミラー１４４、参照ミラー１
４５と共に、トワイマンタイプの基準干渉光路１４７を
構成している。ここで、ハーフミラ−１４３の点Ｑ１か
ら基準ミラー１４４の点Ｑ２までの距離をＤｌ、点Ｑ１
から参照ミラーの点Ｑ３までの距離をＤ２とし、ＤＩ　
　Ｄ２＝Ｄを基準光路長と定義する。基準ミラー１４４
は基準対象物としての役割を果たし、参照ミラー１４５
は基準対象物対応参照面としての役割を果たし、各ミラ
ー１４４．１４５により反射された反射レーザー光はビ
ームスプリッタ１４３で合成され、干渉光としてビーム
スプリッタ１３２を介して第２受光部としてのホトセン
サ１４６に導かれる。ホトセンサ１４６はその干渉光に
基づき干渉信号を出力し、その干渉信号は増１！１１１
４ｇを介して信号処理回路１４９に入力される。この信
号処理回路１４９の構成については後述する。

ハーフミラ−１３２を通過した平行レーザー光は、レン
ズ１３３によってピンホール板１３４に収束される。

ピンホール板１３４は単点光源としての役割を果たす。

ピンホール板１３４を通過したレーザー光は測定光束と
してビームスプリッタ１３５に導かれる。ビームスプリ
ッタ１３５は測定光束を分割し、一部をコリメートレン
ズ１３６に導き、残りをコリメートレンズ１３８に導く
機能を有する。

コリメートレンズ１３８に導かれた測定光束は平行光束
とされ、参照ミラー１３９により反射されてビームスプ
リッタに戻る。コリメートレンズ１３６に導力λれた測
定光束は合焦レンズ１３７に導かれ、ダイクロイックミ
ラー１１５、対物レンズ１０４を経由して平行光束とし
て被検眼１０３に導かれ、眼底１６０に収束される。眼
底１６０かもの反射光束は同一光路をたどって再びビー
ムスプリッタ１３５に戻り、参照ミラー１３９からの反
射光束と合成され、絞り１４０に導かれる。

絞り１４０は眼底１６０と共役位置に配置され、角膜１
２０からの反射光、水晶体からの反射光を除去する役割
を果たす、また、絞り１４０は絞り１３４とも共役とな
っているので、被検眼に対する測長装置のアライメント
が多少ずれても支障なく測定が可能である。

そして、その絞り１４０を通過した光束はレンズ１４１
により干渉平行光束とされ、第１受光部としてのホトセ
ンサ１４２に導かれる。ホトセンサ１４２はその干渉光
束に基づき干渉信号を出力する。その干渉信号は増幅器
１５［１を介して信号処理回路１４９に入力される。こ
こに、ビームスプリッタ１３５、コリメートレンズ１３
６、合焦レンズ１３７、ダイクロイックミラー１１５１
　　対物レンズ１０４、コリメートレンズ１３８、参照
ミラー１３９は測定対象物としての眼底１６０からの反
射光束と測定対象物対応参照面としての参照ミラー１３
９からの反射光束とを干渉させる測定干渉光路１５１を
構成している。

ここで、ビームスプリッタ１３５の点Ｑ４から参照ミラ
ー１３９の点Ｑ５までの距離をり、とし、点Ｑ４から眼
底１６０までの光軸距離をＬｔとする。このとき、参照
ミラー１３９が仮想的に光軸○上の位置に参照ミラー１
３９′があるものとして、この参照ミラー１３９′の反
射光と眼底１６０からの反射光とが干渉したものとみる
ことができ、Ｌ＋Ｌ−は眼底１６０から参照ミラー１３
９′　までの空気換算した光路差である。

次に、測定装置から眼底までの測定原理について説明す
る。

レーザダイオード１３０の波長λを変化させた場合、ホ
トダイオード１４６に入射する干渉光の強度は基準ミラ
ー１４４で反射される反射光と参照ミラー１４５で反射
される反射光との光路差２　（ＤＩ　　Ｄ２）に対応す
る位相差によって決定され、ホトダイオード１４２に形
成される干渉縞の強度は、参照ミラー１３９で反射され
る反射光と眼底１６０で反射される反射光との光路差２
（ＬｉＬ−）に対応する位相差によって決定される。レ
ーザーダイオード１３０から出射されるレーザー光の波
長が一定であれば、ホトダイオード１４２．１４６の干
渉縞の強度は一定の値を示す。

二こで、仮想的な参照ミラー１３９′と角膜頂点１２０
Ｐとの光軸○上での距離を第７図に示すようにＰｘとす
ると、このＰｘは角膜距離検出系を用いて角膜頂点１２
０Ｐを検出することによって求めることができる。とい
うのは、基準位置Ｙから角膜頂点位置１２０Ｐまでの距
離を測定すれば、基準位置Ｙから角膜頂点１２０Ｐまで
の距離が測定され、基準位置Ｙと仮想的な参照ミラー１
３９′との関係はあらかじめ設計によって決めることが
できるからである。

従って、Ｌｔ−Ｌｒを得ることができれば、空気換算し
た眼軸長ＡＬを求めることができ、眼軸長ＡＬは平均屈
折率をｎＡとし、 ＡＬ＝　（Ｌｔ　　Ｌｒ　　Ｐｘ）／ｎ。

として求めることができる。

Ｌｔ−Ｌｒは、以下に説明する原理に基づく測定を行う
ことによって得ることができる。

レーザー光の波長をλとし、このレーザー光の波長λを
後述するレーザー駆動部によって変化させる。その波長
変化量をΔλとすると、基準干渉光路のホトセンサ１４
６における波長変化前のレーザー光束の位相差は２π・
２（ＤＩ−Ｄ２）／λである。波長をΔλ変化させた後
の位相差は、２π・２　（ＤＩ　　Ｄ２）　／　（λ＋
Δλ）である。

従って、波長をΔλだけ変化せると、位相差が２π／λ
から２π・２　（ＤＩ−Ｄ２）　／　（λ十Δλ）だけ
変化することになる。ここで、波長λに対してその波長
変化量Δλが極めて小さいとすると、波長変化後の位相
差は、級数展開によって、２π・２　（ＤＩ　　Ｄ２）
・（１／λ−Δλ／λ２）と近似でき、その位相差の変
化量は、 ２π・２　　（ＤＩ　　Ｄ２）　　・Δλ／λ２となる
。

同様に、測定干渉光路１５１のホトセンサ１４２におけ
る位相差の変化量は、 ２π・２　　（Ｌｔ　　Ｌ、）　　・Δλ／λ２となる
。

今、ホトセンサ１４２における位相差の変化をｖｌ、ホ
トセンサ１４６における位相差の変化をｖ２とすると、 ’Ｆ＋＝４　π　（ＤＩ　　　Ｄ２）　　・Δ２．／　
λ２　　　　　（１）ｖ２＝４π　（Ｌｔ　　　Ｌ−）
　　・　Δλ／１２　　　　　（２）となり、 Δλ／λ２を上記の式から消去すると、Ｌ　ｉ　　Ｌ　
−＝　ｖ＋　／　ｖ２ と表現できる。　　　　　　　　　　　　　　（３）こ
の式は、干渉光の位相差の変化量を求めれば、仮想的な
参照面１３９′から眼底１６０までの距離（Ｌｔ　　Ｌ
−）を測定できることを意味している。

ここで、波長変化Δλが連続的であるとして、般的な干
渉の式について考察する。

一般的な干渉の式は、 Ｉ＝Ｉ＋＋ｌｚ＋２　（Ｉ＋・１２）ｌ／２・ＣＯ８δ
　（４）と表現される。

ここで、■は、ホトダイオード１４２．１４Ｓ上での干
渉光の強度、工１．１２は互いに干渉する光束の強度、
δは互いに干渉する光束の位相差であり、たとえば、 δは４π（ＤＩ　　Ｄ２）（１／λ−Δλ／λ２）であ
る。

（４）式に着目すると、波長λを連続的に変化させると
、位相差δが２π変化するたびに、　（４）式の第３項
の値が周期的に変化するので、干渉縞の強度■が周期的
に変化することがわかる。

ここで、強度変化の周期数は位相差の変化を２πで割っ
た値であり、　（３）式によって得られるｖｌ／ｖ２は
ホトセンサ１４２．１４６により得られる干渉縞の強度
変化の周期数の比を示している。よって、ホトセンサ１
４！、１４６によって得られる干渉縞の強度変化の周期
数の比を示している。

よって、ホトセンサ１４２，１４６により得られる干渉
縞の強度変化周期数を測定すれば、　（Ｌｔ　　Ｌ＝）
が求められ、眼底までの距離が既述の通りに求まること
になる。

なお、波長変化に基づく干渉縞の強度変化は、言葉を代
えて言うと、ホトセンサ１４２．１４６の特定箇所にお
ける干渉縞そのものの位相変化ともみることができる。

次に、レーザーダイオードの波長変調について説明する
。

ところで、被検眼１０３の眼球は拍動により拡大、収縮
している。すなわち、眼球は１分間に６０〜８０回の拡
大収縮を繰り返し、その変動量は３μｍ程度である。従
って、干渉縞の本数に換算すると約８本捏度となり、往
復１６本程度の干渉縞の動きが観測されるため、拍動の
一周期を８０回／６０秒＝１゜３３Ｈｚとすると、２１
．３３Ｈｚの周期で干渉縞の出力が変化する。

従って、レーザーダイオード１３０を高速波長変調して
拍動の周期に較べて充分短い間隔で測定を行う手段を採
用した。

レーザーダイオード１３０は、第６図、第８図に示すよ
うに、レーザー駆動部１５２によって制御される。

二のレーザー駆動部１５２は、第９図（イ）に示すパル
ス電流をレーザーダイオード１３０に向かって出力する
。レーザーダイオード１３０の温度は、このパルス電流
によって温度変化（上昇）し、第９図（ロ）に示す温度
変化曲線Ｔを描くことになる。この温度変化は安定する
のに数ｍＳ程度を要する。

レーザーダイオード１３０は温度変化と発光波長とが、
一対一の対応関係がある領域で使用する。ただし、温度
変化が時間に対して非線形であるため、その発光波長も
非線形で変化することになる。従って、ホトセンサ１４
２．１４６に受光される干渉縞の位相変化もこの温度変
化の非線形性に基づく影響を受けることになる。

すなわち、第９図（ハ）に示すようにホトダイオード１
４２から出力される干渉信号の干渉波形Ｃｓは、温度上
昇変化が急激な初期の段階で周期が短く、温度変化が緩
やかな後期の段階で周期が長くなる。ホトダイオード１
４６から出力される干渉信号の干渉波形Ｃ１についても
同様である。ここで、干渉波形ＣＩの周波数が干渉波形
Ｃ＠の周波数よりも高いのは、基準干渉光路１４７での
光路差（ＤＩＤ２）を測定干渉路１４７での光路差（Ｌ
ｔ　　Ｌ＝）よりも充分に大きく設計しているからであ
る。ここでは、基準光路差（ＤＩ　　Ｄ２）は（Ｌｔ　
　Ｌ、）の約６倍に設定されている。なお、基準干渉光
路１４７の設計に当たっては、その光学距離を長く延ば
すために光ファイバーを用いることができる。

基準干渉光路１４７と測定干渉光路１５１とは、同一レ
ーザー光をビームスプリッタ１３２で分割しているので
、レーザー光の波長変化の仕方と同じである。

従って、ホトダイオード１４２の干渉信号の周期とホト
ダイオード１４６の干渉信号の周期との比は、測定光路
差り、ｔ−Ｌ、）と基準光路差（ＤＩ　　Ｄ２）との比
、　（ＤＩ　　Ｄ２）／　（Ｌｔ−Ｌ−）によってのみ
決まる。この比をＫとする。

この比Ｋを求めるために、信号処理回路１４９はホトセ
ンサ１４６の干渉信号に基づいてホトセンサ１４２の干
渉信号をサンプリングする構成とされている。

すなわち、信号処理回路１４９は、トリガー回路１５３
を有している。このトリガー回路１５３はレーザー駆動
部１５２によって同期制御され、第９図（ニ）に示すス
ライスレベル■により干渉波形Ｃ１をスライスし、干渉
波形Ｃ＋の一周期毎に、第９図（ホ）に示すタイミング
クロック信号Ｃ２を生成する機能を有する。ホトダイオ
ード１４２の干渉信号は信号処理回路１４９のＡ／Ｄコ
ンバータ１５４に入力される。Ａ／Ｄコンバータ１５４
はトリガー回路１５３のタイミングクロック信号Ｃ２に
基づき、干渉波形Ｃａの出力値をＡ／Ｄ変換してメモリ
ー１５５に向かって出力する。

これによって、干渉波形Ｃ＠がいくつのサンプリング個
数で一周期を構成しているかがわかることになる。すな
わち、ホトダイオード１４２の一周期かホトダイオード
１４６の何周期に相当するかがわかることになる。第９
図（へ）はそのメモリ１５５に記憶されたサンプリング
値を用いて干渉波形Ｃ１１を等間隔に表わした図である
。従って、信号処理回路１４９は、第２受光部の出力信
号をタイミング信号として用いて、第１受光部の出力信
号をサンプリングし、周期波信号を形成する周期波信号
形成部として機能する。

二重では、６個のサンプリング値で一周期が構成されて
いるので、Ｋ＝６である。従って、このＫを演算回路１
５６により演算し、 Ｋ＝　（Ｌｔ　　Ｌ−）／　（ＤＩ　　Ｄ２）の式を変
形した（Ｌｔ　　Ｌ＝）　＝　（ＤＩ　　Ｄ２）　／Ｋ
を計算すれば、　（ＤＩ　　Ｄ２）が既知であるので、
（Ｌｉ　　Ｌｒ）を求めることができる。よって、演算
回路１５６は、基準干渉光路の光路差と周期波信号とに
基づき、測定対象物までの距離を演算する演算部として
機能し、また眼軸長を求める場合には眼底位置測定部と
して機能することになる。

なお、一般には、比には端数となる。この場合には、ホ
トダイオード１４２の干渉信号の一周期分のデータをた
とえば内挿法によって求め、ホトダイオード１４２の干
渉信号の一周期に含まれるホトダイオード１４６の干渉
信号の一周期の個数を求めればよい。

以上、第１実施例について説明したが、干渉光学系１０
１の適宜箇所にＮＤフィルターを設けて光量調整を行う
ことにすれば、測定干渉光路１５１における干渉信号を
適正に取り出すことができる。

このＩＪ／Ｉ１１実施例によれば、二重リング像を用い
て角膜頂点の位置を測定するものであるので、０式に示
す如く、もともと、角膜の曲率半径を測定でき、従って
、角膜形状測定装置（ケラト装置）に兼用できるという
効果を賽する。

（実施例２） 第１０図は角膜距離測定系としてアライメント光学系用
いて角膜頂点位置を求める光学系を示すものである。

第１０図において、アライメント光学系２００は第１光
学系２０１と第２光学系２０２とからなっている。第１
光学系２０１と第２光学系２０２とは光軸０１を境に対
称形である。光軸０１上には、対物レンズ２０３、ミラ
ー２０４、結像レンズ２０５が設けられている。対物レ
ンズ２０３、結像レンズ２０５は被検眼１０３の前眼部
観察の際に用いられる。ミラー２０４にはハーフミラ−
又はバンドパスミラーが用いられ、ミラー２０４は第１
１図に示す干渉光学系を用いての測定の際にレーザー光
を反射する機能を有する。この干渉光学系の構成につい
ては後述する。

第１光学系２０１は照射光学系としての点光源２０６、
ハーフミラ−２０７、レンズ２０８を有し、第２光学系
２０２は、照射光学系としての点光源２０９、ハーフミ
ラ−２１０、レンズ２１１を有する０点光源２０６はハ
ーフミラ−２０７を介してレンズ２０８の焦点位置に設
置され、点光源２０９はハーフミラ−２１０を介してレ
ンズ２１１の焦点位置に設置されている。点光源２０６
からの光はレンズ２０８によって平行光束として被検眼
１０３の角膜１２０に投影され、点光源２０９からの光
はレンズ２１１によって平行光束として角膜１２０に投
影される。

レンズ２１１による平行光束は角膜１２０の表面によっ
て反射され、その反射光束はレンズ２０８、ハーフミラ
−２０７を通過して全反射ミラー２１２に導かれ、この
全反射ミラー２１２によって反射される。一方、レンズ
２０８による平行光束は角膜１２００表面によってその
角膜の焦点位置からの発散光として反射され、その反射
光束はレンズ２１１、ハーフミラ−２１０を通過して全
反射ミラー２１３に導かれ、この全反射ミラー２１３に
よって反射される。この角膜鏡面反射ニヨッテ角ｌｌ１
１２０ニハ、点１［２０６，２０９ニ基づく輝点像２１
４．２１５が形成される。

全反射ミラー２１２の反射方向前方には物理にテレセン
トリックの絞り２１６が設置され、全反射ミラー２１３
の反射方向前方には物理にテレセントリックの絞り２１
７が設置され、テレセントリック絞り２１６．２１７は
レンズ２０８．２１１の後方焦点に位置している。

ここに、レンズ２０８、全反射ミラー２１２）絞り２１
６（レンズ２１１、全反射ミラー２１３、絞り２１７）
は受光光学系を構成している。全反射ミラー２１２．２
１３により反射された反射光は、絞り２１６．２１７を
通過してレンズ２１８．２１９にそれぞれ導かれる。絞
り２１６．２１７は各レンズ２１８．２１９に関し、イ
メージセンサ２２１と共役であり、絞り２１６．２１７
はその各レンズ２１８．２１９の焦点位置にある。レン
ズ２１８．　２１９は像側にテレセントリックに設置さ
れており、レンズ２１８．２１９に導かれた反射光は第
３受光部としての二次元イメージセンサ２２１にそれぞ
れ結像される。

このアライメント光学系２００によれば、第１２図に示
すように、被検眼１０３に対して光軸方向に測定装置の
作動距離がずれた場合でも、物理においてのアライメン
ト光学系２００の光軸０１と主光線との為す角度θ１が
作動距離がずれていない場合のアライメント光学系２０
０の光軸０１と主光線との為す角度θ１と等しく、また
、像側においてのアライメント光学系２００の光軸０１
と主光線との為す角度θ２が作動距離がずれていない場
合のアライメント光学系２００の光軸ｏ１と主光線との
為す角度θ２と等しい。

また、二次元イメージセンサ２２１には各点光＃１２０
６．２０９に基づく輝点像ｉ、ｌ　　　ｉ２１が第１４
図に示すように中心０２を境に対称位置にスプリットし
て形成される。一方、作動距離は角膜頂点１２０Ｐに一
致しているが、被検眼１０３に対して左右方向に測定装
置のアライメントがずれた場合には、第１３図に示すよ
うに、物理においてのアライメント光学系２００の光軸
０１と主光線との為す角度θ１が作動距離がずれていな
い場合のアライメント光学系２００の光軸０１と主光線
との為す角度θ１と等しく、また、像側においてのアラ
イメント光学系２００の光軸Ｏ１と主光線との為す角度
θ２が作動距離がずれていない場合のアライメント光学
系２００の光軸０１と主光線との為す角度θ２と等しい
、この場合には、輝点像１１．１２は分離せずに、二次
元イメージセンサ２２１の原点０２からの位置がずれる
。

ここで、レンズ２０８の焦点距離をｆ＋、レンズ２１８
の焦点距離をｆ２とし、絞り２１６を基準にして考える
。第１２図において、作動距離がΔＺだけずれると、作
動距離がずれていない場合に較べて主光線の位置が、Δ
Ｚ−ｓｉｎθ１だけずれる。

また、レンズ２０８、絞り２１６、及びレンズ２１８が
形成する光学系は第１６図に示すように物理及び像側に
テレセントリックになっているため作動距離のずれΔＺ
と二次元イメージセンサ２２１上での中心０２から輝点
ｉ、ｌ又は１２′までの距離ΔＸは比例関係にある。

従って、この光学系の倍率をβとすると、ΔＺｓｉｎθ
１＝β・ΔＸｃｏｓθ２ の関係がある。

ここでβ＝□ よって、作動距離のずれΔＺは、 ｆ　＋　　　　　　　　ｓｉｎθ１ と表わされる。

なお、輝点像１１が輝点像１２の右側にあるときを、Δ
Ｘが正、その逆の場合を△Ｘが負であると決めるものと
する。

ところで、輝点像ｉ１’　　　ｉ２’は特に区別できる
ものではないので、同時に二次元イメージセンサ２２１
に形成されている場合には、その区別を行うことができ
ない、また、仮に区別できるようになっているとしても
、互いに重なりあってくると、その位置を正確に求める
ことができないことになる。従って、輝点像１１′に対
応する点光源２０６を発光させ、その輝点像ｉＩ′の二
次元イメージセンサ２２１の画像データをフレームメモ
リに蓄積させ、次に、輝点像１２′に対応する点光源２
０９を発光させ、その輝点像１２′の画像データをフレ
ームメモリに蓄積させ、この画像データに基づき輝点像
ｉ＋　　　ｉ２’の距離を求める。二次元イメージセン
サ２２１の輝点像の間隔２ΔＸを測定すれば、ｆ＋、ｆ
２）θ１、θ２が既知であるので、作動距離のずれ△Ｚ
が求められ、角膜頂点１２０　Ｐがら測定装置の基準位
置までの距離が得られる。

なお、レンズ２１８を紙面垂直方向に上側に少しずらし
、レンズ２１９を紙面垂直方向に下側にずらすことにす
ると、第１５図に示すように、作動距離が所定のときに
、輝点像１＋’　　　１２’が上下方向にスプリットし
た状態で二次元イメージセンサ２２１上に形成されるた
め、点光源２０６．２０９を同時に点灯させたままでも
測定を行うことができる。ただし、厳密に考えると、輝
点像Ｌ＋’　　１２’の主光線が二次元イメージセンサ
２２１の観察面の垂直面内からずれるので、ΔＸとΔＺ
との関係が少しずれるが、その影響に基づく誤差は無視
できる程度に小さい。

干渉光学系１０１は、第１実施例に用いたものと大略同
一であるので、同一構成要素に同一符号を付してその詳
細な説明は省略する。

（実施例３） １１１１６図は角膜距離測定系としてコンフォーカル光
学系を用いた実施例を示すものである。

角膜距離測定系は、光源３００、集光レンズ３０１、第
１絞りとしてのピンホール板３０２）リレーレンズとし
てのコリメートレンズ３０３、ビームスプリッタ３０４
、対物レンズ３０５、レンズ３０６、スペーシャルフィ
ルタ３０７、受光器３０８からなっている。光源３００
を出射した光は集光レンズ３０１により集光され、ピン
ホール板３０２に収束される。ピンホール板３０２は二
次点光源としての役割を果たし、ピンホール板３０２の
ピンホールを通過した光はビームスプリッタ３０４によ
り反射され、コリメートレンズ３０３により平行光束と
される。

二の平行光束はレンズ３０６を介して対物レンズ３０５
に向けて反射され、収束光束として被検眼１０３に導か
れる。対物レンズ３０５はその平行光束を幾何光学的に
集光点３０９に集光させる役割を果たす、ピンホール板
３０２と集光点３０９とはコリメートレンズ３０３、対
物レンズ３０５に関して共役であり、集光点３０９とス
ペーシャルフィルタ３０７とは対物レンズ３０５、レン
ズ３０６に関して共役である。すなわち、集光点３０９
は共焦点（コンフォーカル）となっており、角膜距離測
定系は、共焦点光学系を構成している。

この共焦点光学系は、共焦点近傍以外の点から発した光
はスペーシャルフィルタ３０７を通過できないという光
学的性質を有する。なお、対物レンズ３０５は、集光点
３０９の位置を変更する対物レンズ部として機能する。

レンズ３０８は、ここでは、光軸０３方向に前後動可能
であり、レンズ３０６には位置検出機構としてのリニア
エンコーダ３１０が臨んでおり、リニアエンコーダ３１
０の出力は位置検出回路３１１に入力されている。リニ
アエンコーダ３１０と位置検出回路３１１とはレンズ３
０６の位置を検出する役割を果たす、受光器３０８の出
力は、増幅器３１２を介して信号処理回路３１３に入力
されている。信号処理回路３１３はトリガー・信号、タ
イミング信号を出力する機能を有する。

トリガー信号は干渉光学系のレーザーダイオード１３０
の駆動開始の際に用いられ、タイミング信号は位置検出
回路３１１によるレンズ位置特定の際に用いられる０位
置検出回路３１１はレンズ位置検出信号を演算回路１５
６に向かって出力する。演算回路１５６は、あらかじめ
対応関係が付けられているレンズ位置と装置・焦光点３
０９間との距離関係に基づき、測定装置の基準位置から
角膜頂点１２０Ｐまでの距離を演算する機能を有する。

今、集光点３０９が第１７図（ａ）に示す位置にあると
き、眼球の各反射面からの反射光はスペーシャルフィル
タ３０７を通過できず、受光１１３０Ｂにほとんど入射
しない、レンズ３０６を第１７図（ｂ）、　（ｃ）に示
すように光軸０３方向に被検眼１０３に向かって近付け
ると、集光点３０９が角膜１２０の表面にほぼ一致する
状態の時から、その角膜１２０の表面からの反射光がス
ペーシャルフィルタ３０７を通過し始めることになる。

従って、受光器３０８の出力は徐々に増大し始め、集光
点３０９が角膜１２０の表面に一致した時最大となる。

すなわち、角膜１２０の表面に集光点３０９が一致する
状態のときに、まず、最初のピークが現われる。そして
、更に、レンズ３０６を被検眼１０３に近付けて行くと
、受光器３０８からの出力には角膜１２０の裏面、水晶
体３１５の表面等の反射光に基づくピークが現われる。

従って、信号処理回路３１３に最初のピークに基づきト
リガー信号とタイミング信号とを出力させることにすれ
ば、位置検出回路３１１は集光点３０９が角膜１２０の
表面にあるときのレンズ３０６の位置を検出し、演算回
路１５６はそのレンズ３０６の位置に基づき基準位置か
ら角膜頂点１２０Ｐまでの距離を演算することになる。

同時に、トリガー信号に基づき眼底までの距離測定が開
始される。

この共焦点光学系によれば、対物レンズ３０５の開口数
（Ｎ、Ａ）を充分に大きく設計しておけば、第１８図に
示すように、集光点３０９が光軸０３に対して直交方向
に角膜頂点１２０Ｐから若干はずれたとしても、角膜１
２０の表面と集光点３０９とが一致している限り、受光
器３０８が角膜１２０の表面からの反射光をほとんど全
て受光でき、従って、角膜１２０に対する測定装置のア
ライメント誤差を許答できることになる。

たとえば、角膜１２０の曲率半径Ｒを７．７ｍｍとし、
全く対物レンズ３０５に反射光が入射しなくなる開口数
ＮＡを０．２５とすると、光軸０３に対して直交方向の
角膜頂点１２０　Ｐに対する集光点３０９のずれ量Δは
１．　９３ｍｍとなる。ただし、光軸０３に対して直交
方向に角膜頂点１２０Ｐに対して集光点３０９が１．　
９３ｍｍずれると、第１９図に示すように、光軸０３方
向に実際の角膜頂点１２０Ｐに対して集光点３０９の位
置が０、２５ｍｍずれるので、ずれ量Δを１．　９３ｍ
ｍ程度に大きく設計することはできないが、ずれ量Δを
０．　５ａｍ程度に設計しておけば、光軸方向における
実際の角膜頂点１２０Ｐに対する集光点３０９の位置ず
れは０、０１６＋＊＋ｍ程度であり、光軸方向への集光
点３０９の位置ずれを無視できる。なお、第１８図にお
いて、斜線で示す部分は角膜からの反射光を示している
。

干渉光学系１０１の構成は、第１実施例、第２実施例と
大略同一であるので、同一構成要素に同一符号を付して
示す、なお、その第１６図において、３１４はダイクロ
イックミラー　レンズ３０６は第１実施例のレンズ１３
７に相当し、レンズ３０３は第１実施例のコリメートレ
ンズ１３６に相当している。

以上の実施例において、模型眼ユニット１４１を角膜と
眼底の２面により形成し、眼軸長の計測について説明を
行ったが、これを水晶体の各面又は角膜内面等に設定す
ることにより各面間の眼内長さの測定を行うべく本発明
を適用できる。

（効果） 本発明に係わる請求項１に記載の測長装置は、以上説明
したように構成したので、光学部品を可動させなくとも
測定対象物までの距離を正確に測定できる効果がある。

本発明に係わる請求項３に記載の測長装置は、以上説明
したように、角膜頂点は幾何光学的光学系を用いて測定
し、眼底位置は干渉光学系を用いて測定することにした
ので、アライメント精度に厳格さを要求されなくとも、
眼軸長を正確に測定できる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第９図は本発明に係わる測長装置の第１実
施例を説明するための説明図であって、第１図は本発明
に係わる測長装置の光学系を示す図、 第２図は第１図に示す二次元イメージセンサに形成され
るリング像を示す図、 第３図、第４図は第１図に示す角膜距離測定光学系の作
用を模式的に説明するための説明図、第５図は角膜頂点
位置検出を説明するための説明図、 第６図は干渉光学系の作用を説明するための光学図、 第７は角膜頂点位置と眼底位置とに基づき眼軸長を求め
るための説明図、 第８図は信号処理回路のブロック図、 第９＠はその信号処理回路の作用を説明するためのタイ
ミングチャート、 第１０図ないし第１５図は本発明に係わる測長装置の第
２実施例を示す図であって、 ｔＪ１０図はその角膜距離測定系を示す光学図、第１１
図はその干渉光学系を示す図、 第１２図、第１３図はその角膜距離測定系の作用を示す
光学模式図、 第１４図、第１５図は二次元イメージセンサに形成され
た輝点像を示す図、 第１６図ないし第１９図は本発明に係わる測長装置の第
３実施例を示す図であって、 第１６図はその光学図、 第１７図はその角膜距離測定系の集光点の位置の変化を
示す説明図、 第１８図、第１９図はアライメントずれの説明図、であ
る。 １００・・・角膜距離測定系、１０１・・・干渉光学系
１０２・・・リング状光源投影部（照射光学系）１０３
・・・被検眼、１０４・・・対物レンズ１０７、　２２
１．３０８・・・二次元イメージセンサ（第３受光部） １１０・・・絞り（第２絞り）、１２４・・・絞り（第
１絞り）１２０・・・角膜、１２０Ｐ・・・角膜頂点１
３０・・・レーザーダイオード １３２・・・ビームスプリッタ １３９・・・参照ミラー（測定対象物対応面）１４４・
・・基準ミラー（基準対象物）１４２・・・ホトセンサ
（第１受光部）１４６・・・ホトセンサ（第２受光部）
１４５・・・参照ミラー（基準対象物対応面）１４７・
・・基準干渉光路 １６０・・・眼底 １４９・・・信号処理回路（周期波信号形成部）１５１
・・・測定干渉光路 １５６・・・演算部（眼底位置測定部、角膜位置測定部
）２０６．２０９・・・光源 ２１６．２１７．３０１．３０２・・・絞り３０３・・
・コリメートレンズ（リレーレンズ部）３０４・・・ビ
ームスプリッタ、３０５・・・対物レンズ第１７図 第１８ 図 第１９ 図 Ｑ、２５ｍｍ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）可干渉距離が長くかつ波長変化が可能なレーザ光
   を発するレーザー光源と、 測定対象物により反射されたレーザー光と測定対象物対
   応参照面により反射されたレーザー光とを干渉させる測
   定干渉光路と該測定干渉光路より長い光路長を有して基
   準対象物により反射されたレーザー光と基準対象物対応
   参照面により反射されたレーザー光とを干渉させる基準
   干渉光路とを形成し、前記レーザー光源からのレーザー
   光を前記測定干渉光路と前記基準干渉光路とに導くビー
   ムスプリッタと、 前記測定干渉光路を経由して干渉光として導かれた光を
   受光する第１受光部と、 前記基準干渉光路を経由して干渉光として導かれた光を
   受光する第２受光部と、 前記レーザ光源の発光波長を変化させるレーザー駆動部
   と、 前記第２受光部の出力信号をタイミング信号として用い
   て前記第１受光部の出力信号をサンプリングし、周期波
   信号を形成する周期波信号形成部と、 前記基準干渉光路の光路長と前記周期波信号の周期とに
   基づき測定対象物までの距離を求める演算部と、 を有することを特徴とする測長装置。
2. （２）特許請求の範囲第１項に記載の測長装置において
   、レーザー駆動部は、レーザ光源をパルス点灯させるこ
   とにより前記レーザー光源の温度を変化させ、該レーザ
   ー光源の発光波長が温度変化に基づき変化される構成で
   あることを特徴とする測長装置。
3. （３）可干渉距離が長くかつ波長変化が可能なレーザ光
   を発するレーザー光源と、 被検眼眼底により反射されたレーザー光と眼底対応参照
   面により反射されたレーザー光とを干渉させる測定干渉
   光路と該測定干渉光路より長い光路長を有して基準対象
   物により反射されたレーザー光と基準対象物対応参照面
   により反射されたレーザー光とを干渉させる基準干渉光
   路とを形成し、前記レーザー光源からのレーザー光を前
   記測定干渉光路と前記基準干渉光路とに導くビームスプ
   リッタと、 前記測定干渉光路を経由して干渉光として導かれた光を
   受光する第１受光部と、 前記基準干渉光路を経由して干渉光として導かれた光を
   受光する第２受光部と、 前記レーザ光源の発光波長を変化させるレーザー駆動部
   と、 前記第２受光部の出力信号をタイミング信号として用い
   て前記第１受光部の出力信号をサンプリングし、周期波
   信号を形成する周期波信号形成部と、 前記基準干渉光路の光路長と前記周期波信号の周期とに
   基づき眼底までの距離を求める眼底位置測定部と、 前記被検眼の角膜に光束を照射する照射光学系と、 前記角膜からの反射光を第３受光部に導く受光光学系と
   、 前記第３受光部の出力に基づき前記被検眼の角膜位置を
   求める角膜位置測定部とを有し、前記角膜位置と眼底位
   置とから前記被検眼の眼軸長を測定することを特徴とす
   る測長装置。
4. （４）特許請求の範囲第３項に記載の測長装置において
   、 前記受光光学系は、被検眼角膜からの反射光を対物レン
   ズの前方と共役位置に配置した第１絞りを介して第３受
   光部に導く第１受光系及び被検眼角膜からの反射光を対
   物レンズの後方と共役位置に配置した第２絞りを介して
   第３受光部に導く第２受光系とから形成され、 前記角膜位置測定部は、前記第１絞りと前記第２絞りと
   を通過した被検眼角膜からの反射光束の前記第３受光部
   での位置から角膜位置を求める構成とされていることを
   特徴とする測長装置。
5. （５）特許請求の範囲第３項に記載の測長装置において
   、 前記照射光学系は、被検眼角膜へ斜めに平行光束を照射
   する構成とされ、 前記受光光学系は、被検眼角膜からの斜めへの反射光を
   受け取る対物レンズ部と、その後方焦点位置に配置した
   絞りとから構成され、 前記第３受光部は、前記対物レンズ部及び前記第３絞り
   を介して受光する構成とされ、 前記角膜位置測定部は、前記第３受光部での受光位置か
   ら角膜位置を求める構成とされていることを特徴とする
   測長装置。
6. （６）特許請求の範囲第３項記載の測長装置において、 前記照射光学系は、被検眼角膜を照射するための点光源
   と、 該点光源の像を前記被検眼角膜近傍にその位置を変更可
   能に形成する対物レンズとから形成され、前記受光光学
   系は、被検眼角膜からの反射光を前記対物レンズを通過
   した後に前記照射光学系から分離するビームスプリッタ
   ーと、前記対物レンズ部に対し前記点光源の像と共役位
   置の第２絞りとから形成され、 前記第２受光部は、被検眼角膜からの反射光のうち前記
   第２絞りを介して受光するように構成され、 前記角膜位置測定部は、前期対物レンズ部によつて形成
   される点光源の像位置の変化に応じた前記第２受光部の
   信号の強度から被検眼角膜位置を求めるものであり、 前記眼底位置測定部と角膜測定部から眼軸長を求めるこ
   とを特徴とする測長装置。