JPH0438812A

JPH0438812A - 試料位置決め装置

Info

Publication number: JPH0438812A
Application number: JP2145141A
Authority: JP
Inventors: Toshitaka Kobayashi; 敏孝小林; Masahiro Tsunoda; 正弘角田; Takayasu Furukawa; 古川　貴康; Isao Kobayashi; 功小林
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1990-06-02
Filing date: 1990-06-02
Publication date: 1992-02-10
Anticipated expiration: 2013-10-22
Also published as: KR920001673A; KR950007196B1; JP2812785B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、例えば、半導体集積＠路の製造に使用される
縮小投影露光装置又は電子線描画装置等の試料の位置決
めに使用される装置に関する。

〔従来の技術〕

従来より、この種の位置決め装置は、位置決め精度が高
く、且つ位置決めに要する時間ひいては製造に要する時
間が短いことが要求される。そのため、位置決め装置に
は、ステップ移動専用の粗調（粗動）用の駆動機構と、
微調（微動）用の駆動機構を備えたステージが使用され
、粗動駆動機構による粗の位置決めの後に、微動駆動機
構による微小の位置決めを行っている。

例えば、特開昭５３−６４４７８号公報に開示される位
置決め装置では、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸等に移動可能な粗動
ステージの上に、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸等に移動可能な微動
ステージやその駆動機構等を載置している。

また、最近では、本願呂願人が特願昭６３−２８７６８
３号のように、３次元で移動可能な（具体的には、Ｘ軸
、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸方向に移動可能で、且つＸ軸・Ｙ軸
平面での微小回転や上下方向の微小傾きの移動も行う）
機能を備えた微動ステージの内側に上下方向の貫通空間
を形成し、この空間にＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に移動可能な粗
動ステージを独立させて配置したものを提案している。

このうち、後者の場合には、微動ステージとその内側に
配置される粗動ステージとが２軸駆動機構を介して高低
（上下）の位置関係を変えることができ、ステージ上の
試料保持台を持ち替えることができる。そして、試料の
粗位置決めの場合には、粗動ステージの上面を微動ステ
ージの上面よりも高くして、粗動ステージが試料保持台
をチャックを介して吸着保持し、微調整の場合には、逆
に微動ステージの上面を粗動ステージよりも高くして、
微動ステージが試料保持台を保持しつつ、各方向の位置
決めを行っている。

この後者の方式は、前者のように粗動ステージ上に微動
ステージを載せておらず、粗動ステージを微動ステージ
と独立させて移動可能にしている。

従って、粗動ステージ移動の負担が軽く、駆動機構の起
動電流や駆動電流を小さくできる。そのため、電力消費
の節約のほか、発熱量を抑えて位置決めに用いるレーザ
測長の誤差原因（発熱による空気のゆらぎ）の解消等を
図り得るが、次のような改善すべき点があった。

〔発明が解決しようとする課題〕

近年、試料１例えばウェハは８インチと大径化になる傾
向があり、それに伴い試料保持台も大型化し、試料の露
光範囲も広がるため、保持台の移動範囲が広がることに
なる。

このような実情において、後者の装置を用いてウェハの
位置決めを行う場合には、ます粗動ステージが試料保持
台をステップ移動させ（粗の位置決め）、その後で微動
ステージが試料保持台を持ち替えて微小の位置決めを行
うが、この時粗動ステージは初期の基準の位ｒに戻され
た状態にある。

そして１以上の位置決め動作を繰り返して、ステップ単
位に試料の露光や電子描画が行われる。

このような装置を用いた場合、粗動ステージがステップ
移動するたびに、粗動ステージと試料保持台の位置関係
が変化する。そのため、粗動ステージが試料保持台の必
ずしも中央或いはその付近をチャックするとは限らず、
試料保持台の端を片持ち状態でチャックすることもあっ
た。

従って、試料保持台が大型化すると、これを保持する粗
動ステージが試料保持台を端の位置でチャックした時に
、試料保持台の自重により粗動ステージ或いはその支持
機構がたわんでしまい、位置決めに悪影響を及ぼす。

また、ウェハひいては試料保持台の大型化は、粗動ステ
ージのチャック機構の大型化を招く。チャック機構とし
て、大型電磁チャックを使用した場合には、駆動電流に
よる発熱量が増大し、その熱が試料保持台に伝導して熱
膨張することにより、位置決めに悪影響を及ぼす、さら
に、発熱によりレーザ測長器の光路上の空気のゆらぎが
正確な位置測定を妨げるおそれもあった。

その他、粗動ステージが試料保持台を中心から偏った位
置で１箇所だけを支持する場合には、粗動ステージをＸ
軸、Ｙ軸に直進させる場合に、その支持点を中心に粗動
ステージに回動力が作用することもあった。

本発明は１以上の点に鑑みてなされたもので、その主た
る目的とするところは、試料の大型化に伴う前述した如
き諸問題を解決して、位置決め精度の向上を図り得る装
置を提供することにある。

さらに、その他の目的は、上記主たる目的を達成できる
ほかに、粗動のＸ、Ｙ軸駆動機構が作動した時の振動が
フレーム、微動用の駆動機構（例えば圧電アクチュエー
タ）を介して微動テーブルに伝わるといった事態（この
ような事態は振動が終わるまで位置決めの整定時間がか
かる原因となる）をなくシ１位置決め作業ひいては試料
処理時間の短縮を図り得る位置決め装置を提供すること
にある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、上記主たる目的を達成するために、次のよう
な課題解決手段（これを第１の課題解決手段とする）を
提案する。なお、内容の理解を容易にするため、第１図
の実施例の符号を引用して説明する。

第１の課題解決手段は、少なくともＸ軸、Ｙ軸の２次元
で移動可能な粗動ステージ３と、３次元で移動可能な微
動ステージ４とを備え、基本的には、この粗動ステージ
３と微動ステージ４とを機械的なつながりを持たせない
で、独立させる。

そして、粗動ステージ３は、粗動駆動機構６等により支
持される基台３Ａ、この基台３Ａの上面に分散された状
態で複数配設された試料台支持用の突起３Ｂ、・・３Ｂ
ｎ等よりなり、一方、微動ステージ４内側には貫通空間
４Ａ（実施例では１貫通空間４Ａを４Ａ、・・・４Ａｎ
に分散させている）を形成して５貫通空間４Ａを粗動ス
テージ３側の突起３Ｂ、−３Ｂｎの配置に対応させ、粗
動ステージ３の基台３Ａを微動ステージ４の下側に位置
させつつ、粗動ステージ３側の突起３Ｂよ・・・３Ｂｎ
を微動ステージ４内側の貫通空間４Ａに分散配置するこ
とで、これらの複数の突起３Ｂ、・・・３Ｂｎが粗動ス
テージ３として機能する構成としてなる。

すなわち、粗動ステージ３と微動ステージ４とは、いず
れかのＺ軸駆動機構１４を介して粗動ステージ３．微動
ステージ４同士の高低の位置関係を変えることで、試料
保持台５の持ち替え可能とするが、この場合、粗動ステ
ージ３側は突起３Ｂ・・・３Ｂｎがこの役割をなす。

また、第２の課題解決手段は、上記第１の課題解決手段
を前提として、粗動ステージ３のＸ軸。

Ｙ軸の粗動駆動機構６，７（第２図に示す）等を微動ス
テージ４を支持しているフレーム１より分離して配置し
、この粗動駆動機構と粗動ステージ３とを連結部材１ｏ
を介して連結する。

さらに第２の課題解決手段の応用としては、粗動ステー
ジ３がＸ軸、Ｙ軸の他にＺ軸の粗動駆動機構により支持
される場合には、前記Ｘ軸、Ｙ軸組動駆動機構６，７と
粗動ステージ３とを可撓性を有する弾性部材１０により
連結してなる。

〔作用〕

第１の課題解決手段の作用・・・このような構成よりな
れば、ｚ＠駒助動機構１４より、微動ステージ４と粗動
ステージ３とを相対的に上下動させれば５　（イ）粗動
ステージ３側の突起３Ｂ１〜３Ｂｎの上面を微動ステー
ジ４の上面よりも高くしたリ、（ロ）その逆に微動ステ
ージ４の上面を粗動ステージ３側の突起３Ｂ、〜３Ｂｎ
の上面よりも高くすることができる。

そして、試料の位置を粗調整する場合には、前記（イ）
の動作を行って、突起３Ｂ１〜ａＢｎ上に試料保持台５
を載せて、保持させる。その後、粗動ステージ３のＹ軸
、Ｙ軸等の粗動機構６，７により粗動ステージ３ひいて
は試料保持台５をステップ移動させる。このようにして
、試料１６の粗の位置決めがなされる。

この後、（ロ）の動作が選択され、試料保持台５は微動
ステージ４側に持ち替えられた後、微動駆動機構１２．
１３　（第２図に示す）、１４を介して必要な微動調整
（例えば、試料保持台５のΔＸ、ΔＹ、ΔＺ方向の微動
や、Ｙ軸・Ｙ軸平面の回転角△θ、上下方向の傾き角Δ
λ等の調整）がなされ、試料１６の微小な位置決めがな
される。

この時、粗動ステージ３側は、基準位置に戻される。

以上の動作を繰り返していくことで、試料保持台５と粗
動ステージ３との相対位置が変化する。

このような試料保持台５と粗動ステージ３との相対位置
が変化した場合でも、本課題解決手段では、試料保持台
５を粗動ステージ３の基台３Ａに分散配設された複数の
突起３Ｂ、〜３Ｂｎで保持するので、従来のように試料
保持台５の端を片持ちするといった事態を回避できる。

従って、試料保持台５等のオーバフ１ングによる撓みの
発生を防止する。

また、粗動ステージ３を複数の突起３Ｂ工〜３Ｂｎで複
数支持するので、粗動ステージ３をＹ軸。

Ｙ軸に直進させた場合に、粗動ステージに回動力が生じ
るのをなくすことができる。

さらに、粗動ステージ３が試料保持台５をチャックにて
吸着保持する場合には、チャックの突起３Ｂ、〜３Ｂｎ
ごとに分散配置できる。

そのため、チャックとして例えば電磁チャックのような
ものを使用する場合でも、各電磁チャックを小型にする
ことができ、チャック機構の発熱量を抑制し、試料保持
台５の熱膨張による変形を防ぎ、かつ発熱による空気ゆ
らぎをなくしてレーザ測長の誤差をなくす。

従って、以上の各作用により高精度の位置決めを行い得
る。

第２の課題解決手段の作用・・本課題解決手段では、粗
動ステージ３のＹ軸、Ｙ軸等の駆動機４１６゜７をフレ
ーム１より分離して配置するので、粗動ステージ３の移
動中でも、その駆動機構からの振動が試料保持台５に伝
わらないため、粗動後にすぐ微動ステージによる微小の
位置決めを可能とし。

位置決めの整定時間を短縮することができる。

また、第２の課題解決手段において、Ｙ軸、Ｙ軸粗動翻
動機構６，７と粗動ステージ３とを可撓性を有する弾性
部材１０により連結した場合には、粗動ステージ３がＺ
軸方向に移動した場合でも、その移動を弾性部材１０の
弾性変形を介して吸収できるので、粗動ステージと粗動
調整に支障をきたすことはない。

〔実施例〕

本発明の一実施例を図面に基づき説明する。

第１図は本実施例に係る試料位置決め装置の縦断面図、
第２図はその一部省路上面図である。

これらの図において、１は装置のフレームで、フレーム
１の内側空間２に粗動ステージ３及び微動ステージ４が
配置される。

粗動ステージ３は、方形状の基台３Ａと、その上面に分
散して複数配設された突起３Ｂ、・・３Ｂｎとで構成さ
れる。実施例では、突起３Ｂは、第２図に示すように３
Ｂ、〜３Ｂ、の計８個としである。なお、第２図では、
後述する試料保持台５を省略して作図しである。第２図
に示すように粗動ステージ３は、その基台３Ａの一辺が
Ｘ軸粗動翻動機構６と、他辺がＹ＠粗動機構７とそれぞ
れ可襖性の弾性部材１０を介して連結され、これらの連
結部材１０及び基台３Ａの下に配置した図示していない
Ｚ細粗動駆動機構を介して支持される。

なお、この粗動ステージ３側のＺ細粗動駆動機構は、試
料１６を他の搬送機構（図示せず）等と受は渡しする場
合に用いる。

本実施例のＸ軸粗動駆動機構６及びＹ軸粗動駆動機構７
は、スクリューロッド８．サーボモータ９等のねじ送り
機構よりなり、フレーム１とは分離して配置しである。

粗動ステージ３は±２５ｍのストローク可動ができ、±
２μｍの停止精度を持っている。そして、スクリューロ
ッド８がフレーム１を貫通し、ロッド先端８と粗動ステ
ージ３とが前述したごとく可撓性の連結部材１ｏを介し
て連結される。突起３Ｂ、〜３Ｂ、の上面には、それぞ
れの電磁チャック１１が配設される。

微動ステージ４は、粗動ステージ３よりも面積を大きく
した方形状を呈し、その内側に上下方向を貫通させた複
数の穴部（空間）４Ａが配設される。穴部４Ａは、粗動
ステージ側の突起３Ｂ１〜３Ｂ、に対応させて、穴部４
Ａ工〜４Ａ、の計８個とし、これらの穴部を分散配置し
である。

そして、この微動ステージ４の下方に粗動ステージ３の
基台３Ａが位置し、突起３Ｂ１〜３Ｂ、が穴部４Ａ１〜
４Ａ、にそれぞれ嵌装しである。

微動ステージ４は、Ｘ＠微微動助動機構１２Ｙ軸微動駆
動機構１３及びＺ細微動駈動機構１４により支持される
。これらのＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸のそれぞれの微動駆動機構
は、例えば圧電素子のアクチュエータにより構成される
。これらの圧電素子は、８０μｍの変位が可能で、この
うちＺ軸微動駆動機構１４は、３個用いて微動ステージ
４を３点支持し、それぞれのＺ軸微動駆動機構の変位量
を異なるようにすれば、微動ステージ４の上下方向の傾
きΔλの制御も可能である。また、Ｘ軸。

Ｙ軸双方の微動駆動機構１２．１３を協働させることで
、Ｘ軸・Ｙ軸平面に微小回転△θを得ることも可能であ
る。ここでは、圧電素子アクチュエータ１２，１３．１
４により、△Ｘ、ΔＹ微動は±０．０２μｍ、ΔＺ微動
は±Ｏ，１μｍ、△θ微動は±０．０２μｍ／２０ｍｍ
、Δλ傾き（チルト）は±０．１μｍ　／　２０　ｍ　
ｍの各精度を保って位置決めを行う。

このようなステージ３，４の組込みにより、これらのス
テージ同士は互いに独立に移動可能である。具体的には
、粗動ステージ３と微動ステージ４とは、突起３Ｂと穴
部４Ａとの間に空間を確保することで、それぞれがＸ軸
、Ｙ軸の２方向に移動可能で、また、Ｚ軸方向の移動が
可能である。

微動ステージ４の上面にも、複数の電磁チャック１３が
分散して配置される。なお、電磁チャック１３は、省略
しても良い、その理由は、微動ステージ４は、サブミク
ロン単位で微小移動するため、このくらいの移動では、
試料保持台５はチャックしなくとも、外部からの大きな
衝撃がない限り固定状態を充分に保ち得るためである。

粗動ステージ３及び微動ステージ４の上方には、試料保
持台５が配置される。試料保持台５は、その上面に試料
１６を真空吸着する真空吸着台１５と、レーザ測長用ミ
ラー１７とを搭載しである。

次に本実施例の動作を説明する。

試料１６の位置決めを行う場合には、予め３本の２＠微
動靜動機構１４により、微動ステージ４を粗動ステージ
３の突起３Ｂより１０μｍ低い位置まで下げる。この状
態では、粗動ステージ３の突起３Ｂが試料保持台５を支
持し、電磁チャック１１を作動させて試料保持台５を突
起３Ｂ上で吸着保持する。この場合、試料保持台５は、
その大きさの関係で、必ずしも全部の突起３Ｂ１〜３Ｂ
ｎにより支持されるものではなく、最低３箇所の突起上
の電磁チャックにより吸着保持（チャック）される。

その後、Ｘ軸粗動駆動機構６及びＹ軸粗動註動機構７を
介して試料保持台５をＸ軸、Ｙ軸方向にステップ送りす
る。

なお、本実施例では、粗動ステージ３が試料保持台５を
ステップ移動１５ｍｍさせ、これを１．４０ｍ５以内で
可動させるので、試料保持台５には０゜４Ｇの加速度が
かかる。その加速度に対してずれないだけの電磁チャッ
ク１】−の吸着力は、チャック材質を５２０Ｃにし、化
学ニッケルメッキを１０〜２０μｍを施し、コイルに０
．１〜０．２Ａ（従来の大型電磁チャックの場合は、は
７ＬＡ）の電流を流すことにより得られる。この電流値
であると、コイルの温度変化は０．５℃以下に抑えるこ
とが可能である。

以上の粗動調整後に、３本のＺ軸圧電素子アクチュエー
タ１４を伸ばし、微動ステージ４を粗動テーブル３の突
起３Ｂ上面よりも１０μｍ高い位置まで上げる。この時
、粗動ステージ３側の電磁チャック１１のスイッチを切
り、微動ステージ４側の電磁チャック１３のスイッチを
入れる。このようにして、試料保持台５は、微動ステー
ジ４側に持ち替えられ、微動ステージ４によって吸着保
持される。この時、粗動ステージ３は元の基準位置に戻
される。

その後、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸周の圧電素子アクチュエータ
１２，１３．１４等を用いて試料保持台５ひいては試料
１６の微小な位置決め（ΔＸ、ΔＹ、ΔＺの各方向の位
置決め、Δθの微小回転。

Δλの傾き調整）がなされる。

以上の粗動位置決め、微動位置決めを繰り返して、単位
ステップあたりの試料１６の露光又は電子描画が次々と
実行される。この場合、粗動ステージ３と試料保持台５
の相対位置がステップ送りのたびに変化していくので、
試料保持台５を支持する突起３Ｂも代わっていく。

しかして、本実施例によれば、次のような効果を奏し得
る。

■まず、粗動ステージ３は微動ステージ４と独立させて
駆動可能なので、粗動ステージ３の駆動力の負担を軽く
する。

■また。試料保持台５と粗動ステージ３との相対位置が
変化した場合でも、試料保持台５を粗動ステージ３の突
起３Ｂ１〜３Ｂｎのうち最低３箇所の突起により吸着保
持するので、従来のような片持ちを回避できる。従って
、試料保持台５等のオーバハングによる撓みの発生を防
止する。

また、試料保持台５を粗動ステージ３の突起３Ｂ□〜３
Ｂｎのうち最低３箇所の突起により吸着保持するので、
粗動ステージ３をＸ軸、Ｙ軸に直進させた場合に、粗動
ステージに回動力が働くのをなくすことができる。

さらに、粗動ステージ３側の電磁チャック１１を分散さ
せるので、各電磁チャック１１を小型とし、電磁チャッ
ク１１の発熱量を抑制し、試料保持台５の熱膨張による
変形を防ぎ、かつ発熱にょる空気ゆらぎをなくしてレー
ザ測長の誤差をなくす。従って１以上の各作用により高
精度の位置決めを行い得る。

■粗動ステージ３のＸ軸、Ｙ軸等の駆動機構６゜７をフ
レーム１より分離して配置するので、粗動ステージ３が
移動中でも、その駆動機構からの振動が試料保持台５に
伝わらないため、粗動後の微動位置決め調整に入る場合
の位置決め整定時間を短縮することができる。具体的に
、本実施例では。

単位ステップあたりの位置決めに要する時間を、ステッ
プ移動１５ｍｍの粗動と、その後の微動を含めても、０
．４秒以下にすることができる。

なお、実施例では、突起３Ｂ１〜３Ｂｎを嵌装する微動
ステージ４側の貫通空間４Ａを穴部４Ａ〜４Ａｎで構成
するが、穴部４Ａの一部を切欠き溝に代えてもよく、ま
た、微動ステージ４側に突起３Ｂ１〜３Ｂｎをまとめて
収容できる一つの穴部としてもよい。

〔発明の効果〕

以上のように、第１の課題解決手段では、微動ステージ
の内側に粗動ステージを独立させて配置した方式の位置
決め装置であっても、粗動ステージは複数の突起により
試料保持台を保持するので、試料保持台等のオーバハン
グによる撓みをなくシ。

かつ粗動ステージのＸ軸、Ｙ軸等の安定した移動動作を
保証し、また、電磁チャック機構を使用した場合には、
その発熱量を抑制するので、試料保持台が大型化しても
、極めて高精度の試料の位置決めを行うことができる。

さらに第２の課題解決手段によれば、粗動テーブルのＸ
軸、Ｙ＠１ｌｆｌ動機構が駆動中でも、その振動が試料
保持台に伝わらないため、その後に行われる微動位置決
めの整定時間が短くなり、位置決め全体の作業ひいては
試料処理時間の短縮を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例たる試料位置決め装置の縦
断面図、第２図は、上記実施例の一部省路上面図である
。ｌ・・・フレーム、３・・・粗動ステージ、３Ａ・・・
基台、３　Ｂ（３］３．〜３Ｉ３ｎ）・突起、・・微動ステージ、　４　Ａ　（４Ａ１〜４　Ａ　ｎ　）−Ｈ通空間（
穴部）、第図５・・・試料保持台、６・・・Ｘ軸粗動靜動機構。７・・・Ｙ軸粗動翻動機構、１０・・・連結部材、・・Ｘ細微動訃動機構、・・ＹＭ微微動創動機構１４・・、４．、□８）延トミ４くニー、・１　・フレーム、３・・粗動ステージ、３Ａ・・・基台
、　３　Ｂ　（３Ｂ＋−３ＢＩ＋）・・突起、４・微動
ステージ、４Ａ（４Ａ＋〜４Ａ、、１・貫通空間（穴部
）、５・試料保持台、６　・Ｘ細粗動駆動機構。７・Ｙ細粗動駆動機構、１０−・連結部材、１２・・・
Ｘ軸微動駆動機構、１３・・Ｙ軸微動駆動機構、１４　
Ｚ細微動駆動Ｗ＆慣、１６・・・試料。

Claims

【特許請求の範囲】１、少なくともＸ軸、Ｙ軸の２次元で移動可能な粗動ス
テージと、３次元で移動可能な微動ステージとを備え、
該微動ステージの内側に形成した上下方向の貫通空間に
前記粗動ステージを独立させて配置し、前記粗動ステー
ジ、微動ステージの高低の位置関係をＺ軸駆動機構を介
して変えて、試料保持台を前記粗動ステージと前記微動
ステージとで持ち替え可能にしてなる試料位置決め装置
において、前記粗動ステージは、粗動駆動機構により支持される基
台、該基台の上面に分散された状態で複数配設された試
料台支持用の突起等よりなり、一方、前記微動ステージ
内側の貫通空間を前記粗動ステージ側の突起の配置に対
応させ、前記粗動ステージの基台を前記微動ステージの
下側へ位置させつつ、前記突起を前記微動ステージ内側
の貫通空間に分散配置することで、これらの複数の突起
が粗動ステージとして機能する構成としてなることを特
徴とする試料位置決め装置。２、第１請求項において、前記微動ステージの内側に形
成した貫通空間は、該微動ステージに分散して配設した
複数個の穴又は切欠き状の溝よりなる試料位置決め装置
。３、第１請求項又は第２請求項において、前記粗動ステ
ージの各突起上面及び前記微動ステージの上面には、試
料台を制御信号により吸着するチャック機構を配設して
なる試料位置決め装置。４、第１請求項ないし第３請求項のいずれか１項におい
て、前記粗動ステージの駆動機構のうちＸ軸、Ｙ軸粗動
駆動機構は、前記微動ステージを支持しているフレーム
より分離して配置され、このＸ軸、Ｙ軸粗動駆動機構と
前記粗動ステージとを連結部材を介して連結してなる試
料位置決め装置。５、第１請求項ないし第４請求項のいずれか１項におい
て、前記粗動ステージは、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸のそれぞれ
の粗動駆動機構を介して支持され、このうち、Ｘ軸、Ｙ
軸の粗動駆動機構は、前記微動ステージを支持している
フレームより分離して配置され、このＸ軸、Ｙ軸粗動駆
動機構と前記粗動ステージとが可撓性を有する弾性部材
を介して連結される試料位置決め装置。６、第１請求項ないし第５請求項のいずれか１項におい
て、前記微動ステージはＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の微動駆動機
構を備え、且つ前記Ｘ軸、Ｙ軸の協働作用によりＸ軸・
Ｙ軸平面を微動回転し、また、前記Ｚ軸微動駆動機構は
、３個用いて前記微動ステージを３点支持し、各Ｚ軸微
動駆動機構の微動量を異ならせて前記微動ステージの傾
き制御を可能にしてなる試料位置決め装置。