JPH0440269Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0440269Y2 JPH0440269Y2 JP10634386U JP10634386U JPH0440269Y2 JP H0440269 Y2 JPH0440269 Y2 JP H0440269Y2 JP 10634386 U JP10634386 U JP 10634386U JP 10634386 U JP10634386 U JP 10634386U JP H0440269 Y2 JPH0440269 Y2 JP H0440269Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fan
- tube
- straight pipe
- sectional area
- internal cross
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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Landscapes
- Nozzles For Electric Vacuum Cleaners (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Description
本考案は、特に半導体素子製造に用いられる拡
散炉心管、酸化炉心管、CVD炉心管のような炉
心管の清掃用治具に関する。
散炉心管、酸化炉心管、CVD炉心管のような炉
心管の清掃用治具に関する。
半導体製造に用いられる石英炉心管は、内部に挿
入されるマザーボード、ウエハボードなどの半導
体ウエハ支持治具と石英管とのこすれ合いによつ
て生ずる石英粉などの微粉が存在すると、次の使
用の際に半導体ウエハに付着して特性に影響を与
える虞があるので常に内部を清浄にする必要があ
る。しかし薬品で洗浄を行うと、洗浄の際あるい
は炉の空焼き時に雰囲気あるいは洗浄用純水の水
質の影響により却つて汚染されることがあり、酸
化膜の良否判定に用いられるフラツト・バンド電
圧値ΔVfbの不安定あるいは結晶欠陥の増大など
を引き起こして半導体素子の電気的特性が悪くな
ることがあつた。
入されるマザーボード、ウエハボードなどの半導
体ウエハ支持治具と石英管とのこすれ合いによつ
て生ずる石英粉などの微粉が存在すると、次の使
用の際に半導体ウエハに付着して特性に影響を与
える虞があるので常に内部を清浄にする必要があ
る。しかし薬品で洗浄を行うと、洗浄の際あるい
は炉の空焼き時に雰囲気あるいは洗浄用純水の水
質の影響により却つて汚染されることがあり、酸
化膜の良否判定に用いられるフラツト・バンド電
圧値ΔVfbの不安定あるいは結晶欠陥の増大など
を引き起こして半導体素子の電気的特性が悪くな
ることがあつた。
本考案は、上記のような欠点を除去し、炉心管
の内部に存在する微粉を十分に除去し、半導体素
子の特性の安定化、製造歩留りの向上が得られる
ような炉心管清掃用治具を提供することを目的と
する。
の内部に存在する微粉を十分に除去し、半導体素
子の特性の安定化、製造歩留りの向上が得られる
ような炉心管清掃用治具を提供することを目的と
する。
本考案は、真空掃除機のような吸引源に接続し
て用いられる清掃用治具を、直管部と、直管部の
先端より管軸に垂直方向に広がり、端面が大部分
は清掃される炉心管の内径よりやや小さい径を有
する円形で複数個所に突起を有する扇状部とから
なり、扇状部の端面と同心円で切断した内部断面
積が直管部の内部横断面積より小さくされたもの
とし、扇状部端面を炉心管内面に接近させて清掃
することにより炉心管内の微粉を吸引して上記の
目的を達成するものである。
て用いられる清掃用治具を、直管部と、直管部の
先端より管軸に垂直方向に広がり、端面が大部分
は清掃される炉心管の内径よりやや小さい径を有
する円形で複数個所に突起を有する扇状部とから
なり、扇状部の端面と同心円で切断した内部断面
積が直管部の内部横断面積より小さくされたもの
とし、扇状部端面を炉心管内面に接近させて清掃
することにより炉心管内の微粉を吸引して上記の
目的を達成するものである。
第１図ａ，ｂは本考案の一実施例を示し、ａが
縦断面図、ｂが側面図である。この清掃用治具
は、清掃される炉心管の内径よりやや小さい径を
有する４分の１円の、石英よりなる扇状部１と、
その扇状面に直角に結合された石英管２とからな
る。石英管２の先端は、真空掃除機やリングブロ
ーといつた吸引源に接続される接続部３となつて
おり、石英管２の長さは清掃の際この接続部が炉
心管外にあるようにされる。扇状部１の内部空間
は先端の１１部が最も狭く、約５mmの幅であり、
中間の１２部で次第に狭められていて、内部の断
面積が石英管２の内部横断面積より小さく、吸い
口４での吸引力が高くなるようにされている。ま
た、この治具と炉心管とがこすれることによつて
微粉を増さないために、扇状部１の端面には複数
個所に突起５が形成され、清掃の際に炉心管内面
と接触する面積を非常に小さくしている。 この治具を用いて清掃した炉心管を用いて処理
した場合、例えばウエハに付着した0.5μｍ以上の
大きさの微粉の数は20〜30個／cm2程度にすること
ができ、従来の40〜60個／cm2にくらべて半減し
た。また形成された酸化膜の破壊電界を測定する
と、8MV／cm以上の良品率を約４％向上させる
ことができた。
縦断面図、ｂが側面図である。この清掃用治具
は、清掃される炉心管の内径よりやや小さい径を
有する４分の１円の、石英よりなる扇状部１と、
その扇状面に直角に結合された石英管２とからな
る。石英管２の先端は、真空掃除機やリングブロ
ーといつた吸引源に接続される接続部３となつて
おり、石英管２の長さは清掃の際この接続部が炉
心管外にあるようにされる。扇状部１の内部空間
は先端の１１部が最も狭く、約５mmの幅であり、
中間の１２部で次第に狭められていて、内部の断
面積が石英管２の内部横断面積より小さく、吸い
口４での吸引力が高くなるようにされている。ま
た、この治具と炉心管とがこすれることによつて
微粉を増さないために、扇状部１の端面には複数
個所に突起５が形成され、清掃の際に炉心管内面
と接触する面積を非常に小さくしている。 この治具を用いて清掃した炉心管を用いて処理
した場合、例えばウエハに付着した0.5μｍ以上の
大きさの微粉の数は20〜30個／cm2程度にすること
ができ、従来の40〜60個／cm2にくらべて半減し
た。また形成された酸化膜の破壊電界を測定する
と、8MV／cm以上の良品率を約４％向上させる
ことができた。
本考案によれば、清掃される炉心管の内面に近
接させることのできる端面をもつ扇状部と直管部
からなる石英製清掃用治具を用いることにより、
炉心管内に存在する微粉を吸引してその数を激減
させることができ、半導体素子の製造歩留りの向
上に極めて有効である。
接させることのできる端面をもつ扇状部と直管部
からなる石英製清掃用治具を用いることにより、
炉心管内に存在する微粉を吸引してその数を激減
させることができ、半導体素子の製造歩留りの向
上に極めて有効である。
第１図は本考案の一実施例を示し、ａが縦断面
図、ｂが右側面図である。 １……扇状部、２……石英管、５……突起。
図、ｂが右側面図である。 １……扇状部、２……石英管、５……突起。
Claims (1)
- 吸引源に接続して用いられるものにおいて、直
管部と、該直管部の先端より管軸に垂直方向に広
がり、端面が大部分は清掃される炉心管の内径よ
りやや小さい径を有する円形で複数個所に突起を
有する扇状部とからなり、該扇状部の端面と同心
円で切断した内部断面積が前記直管部の内部横断
面積より小さいことを特徴とする炉心管清掃用治
具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10634386U JPH0440269Y2 (ja) | 1986-07-11 | 1986-07-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10634386U JPH0440269Y2 (ja) | 1986-07-11 | 1986-07-11 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6312830U JPS6312830U (ja) | 1988-01-27 |
| JPH0440269Y2 true JPH0440269Y2 (ja) | 1992-09-21 |
Family
ID=30981610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10634386U Expired JPH0440269Y2 (ja) | 1986-07-11 | 1986-07-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0440269Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-07-11 JP JP10634386U patent/JPH0440269Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6312830U (ja) | 1988-01-27 |
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