JPH0440316B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

（産業上の利用分野） 本発明は、金属・セラミツクス接合体およびそ
の接合法に関するもので、さらに詳しくは、金属
部材とセラミツク部材をろう付けで一体的に結合
してなる金属・セラミツクス接合体およびその接
合法に関するものである。 （従来の技術および解決しようとする問題点） ジルコニア、窒化珪素、炭化珪素等のセラミツ
クスは、機械的強度、耐熱性、耐摩耗性にすぐれ
ているため、ガスタービンエンジン部品、エンジ
ン部品等の高温構造材料あるいは耐摩耗材料とし
て実用化が図られている。しかし、セラミツクス
は一般に硬くて、脆いため金属材料に比較して成
形加工性が劣る。また、靭性が乏しいため、衝撃
力に対する抵抗が弱い。このため、セラミツク材
料のみでエンジン部品のような機械部品を形成す
ることは難しく、一般には金属部材とセラミツク
部材を結合した複合構造体としての形で使用され
ることが多い。 例えば、実開昭61−108329号公報には、金属部
材の円筒状かん合孔内に、セラミツク部材の円柱
状かん入部をかん挿し、ろう付けにより両部材を
一体的にかん着した構造が示されている。しか
し、この構造の如く、前記円柱状かん入部の全外
表面と前記円筒状かん合孔の全内表面で、熱膨張
係数が異なる２種類の材料を結合した場合には、
過大な残留応力が発生してセラミツク部材の破壊
を生じ易く、実用上問題がある。 この問題の解決のため、セラミツク部材と金属
部材の接合部位を特定の位置に限定することがな
されている。例えば、特開昭61−219766号公報に
は、セラミツク軸の端部を金属軸に形成した閉塞
孔に挿入して、前記セラミツク軸の突き合わせ端
面と前記閉塞孔底端面の間はセラミツクスと金属
の両方に結合可能な中間材を介して接合するとと
もに、前記セラミツク軸の外周面と前記金属軸の
閉塞孔内周面との間はセラミツクスおよび金属の
いずれかと結合しない中間材を介して結合する構
造が示されている。 また、ヨーロツパ特許EP−Ａ−0195640号公報
には、セラミツク部材に設けた凸部を金属部材に
設けた凹部に挿入し、前記凸部の外周面と前記凹
部の内周面の間を活性金属ろうで一体的に接合す
るとともに、前記凸部端面と前記凹部底面の間に
は隙間を設けた構造の接合方法が示されている。 さらにまた、特開昭61−169164号公報には、セ
ラミツク部材に設けた凸部を金属部材に設けたス
リーブ部にかん合し、前記凸部の外周面と前記ス
リーブ部の内周面の間の一部分のみをろう材で接
合した接合構造が示されている。 ところが、前記特開昭61−219766号公報に記載
の構造は、使用温度が上昇して、セラミツク軸の
外周面と前記金属軸の閉塞孔内周面との間の焼ば
め効果がなくなると、必要な強度をセラミツク軸
の突き合わせ端面と金属軸の閉塞孔底面の接合部
だけで確保しなければならなくなるので、セラミ
ツク軸が細く、しかも使用温度が高温となる場合
には、必要な強度の確保が困難となる欠点があつ
た。 一方、前記ヨーロツパ特許EP−Ａ−0195640号
公報に示されている構造の接合法では、セラミツ
ク部材と金属部材の接合予定表面の間に活性金属
ろうを配置し、該ろうをその位置で溶融させて、
両部材の接合を行つている。かかる方法でろう付
けを行うと、ろうの中に気泡やひけ等の欠陥が発
生し易く、十分な接合強度が得られない欠点があ
る。 また、前記特開昭61−169164号公報に記載の構
造は、セラミツク部材に設けた凸部の接合予定表
面にメタライズ層を形成し、該メタライズ層と、
金属部材に設けたスリーブ部の内表面とをろう付
けして得られる。この方法は、セラミツク部材の
ろう付け部の限定法としてはすぐれているが、セ
ラミツク部材のメタライズ処理のための余分な工
程が必要となるばかりか、適用がメタライズ層の
形成が可能なセラミツク材料に限られる欠点があ
る。 本発明の目的は上述した不具合を解消して、製
造が容易でしかも室温ならびに高温のいずれにお
いても接合強度が極めて強い金属・セラミツクス
接合体とその接合法を提供しようとするものであ
る。 （問題点を解決するための手段） 本発明の金属・セラミツクス接合体は、セラミ
ツク部材に設けた凸部が金属部材に設けた凹部に
挿入されて、しかも前記凸部の外周面と前記凹部
の内表面がろう付けにより一体的に接合されてい
る構造の金属・セラミツクス接合体において、上
記凸部先端表面にはろうと非接合性の物質からな
る薄い層、該凸部先端表面の上記凹部底面の間に
はろうと非接合物質からなる低弾性中間体を介在
させて、金属部材とセラミツク部材の実質的接合
を上記凸部外周面と上記凹部内表面の間に限定し
ていることを特徴とするものである。 さらにまた、本発明の金属・セラミツクス接合
体の接合法は、セラミツク部材に設けた凸部が金
属部材に設けた凹部に挿入されて、しかも前記凸
部の外周面と前記凹部の内表面がろう付けにより
一体的に結合されている構造の金属・セラミツク
ス接合体の接合法において、接合工程が、 ａ 金属部材の一端に凹部、セラミツク部材に凸
部を設ける工程、 ｂ 上記金属部材の凹部内の接合予定表面にNi
メツキを施したのち、凹部底面上に低弾性体を
配置し、さらに該弾性体の上に活性金属を含有
するろうを配設する工程、 ｃ 前記凸部先端に黒鉛を塗布する工程 ｄ 前記凹部内に上記凸部を挿入して、セラミツ
ク部材と金属部材の接合用組立体を形成する工
程、 ｅ 上記組立体を真空あるいは不活性雰囲気中で
ろうの融点以上の温度に加熱して、ろうを融解
させ、該溶融ろうで前記凸部外周面と凹部内表
面の間に存在する隙間を充填する工程、 ｆ 上記組立体を冷却し、ろうを凝固させてセラ
ミツク部材の凸部外周面と金属部材の凹部内表
面の間の接合を完了させる工程 からなることを特徴とするものである。 本発明は、金属・セラミツクス接合体につい
て、セラミツク部材内に発生する残留応力に及ぼ
す前記接合体の接合部の構造の影響を有限要素法
により解析して最適形状を決定したのち、該形状
を具体化するための方法について広範かつ詳細な
検討を行い完成したものである。 （作用） 本発明の金属・セラミツクス接合体は、金属部
材とセラミツク部材の実質的接合位置を、セラミ
ツク部材に設けた凸部の外周面と金属部材に設け
た凹部の内表面の間に限定するとともに、低弾性
材料からなる中間体を介在させて、該凸部先端表
面と前記凹部底面との直接的接触を妨げれば、接
合強度と信頼性が高い接合体となることを見いだ
したことによる。 接合位置が、上記以外の位置の場合には、両部
材の接合端部に発生する残留応力が過大となつた
り、十分な接合強度が得られないので好ましくな
い。例えば、接合が、前記凸部の表面と前記凹部
の内表面の接触部全域でなされる場合には、接合
温度からの冷却途中で接合端において、上記残留
応力のためセラミツク部材が破損することがある
ので好ましくない。 また、接合位置が上記凸部先端表面と上記凹部
底面の場合には、該凸部の直径が小さくなると接
合面積が減少し、接合部の強度が低下するので好
ましくない。これに対して、接合が本発明の如く
上記凸部外周面と上記凹部内表面の接触部のみで
行われる場合には、ろうとセラミツク部材ならび
に金属部材が反応し、両部材の間に強固な接合部
が構成されるばかりでなく、接合温度からの冷却
にさいして焼ばめ効果が付加されるので、安定し
て高強度が得られるので好ましいものである。 接合部の上記位置への限定は、ろうと接合性を
持たない物質からなる薄い膜をセラミツク部材に
設けた凸部先端表面へ形成させることと、該物質
からなる中間体を金属部材に設けた凹部底面の上
に配置することで行う。ろうと接合性を持たない
物質の一例としては黒鉛がある。前記凸部先端表
面への黒鉛膜の形成は、黒鉛粒子の懸濁液を使用
し、刷毛またはスプレーによる塗布、あるいは浸
漬で簡単に行うことが出来る。また、前記中間体
としては、たとえば黒鉛繊維からなるスライバ
ー、フエルト、ウエブ、ウエブ焼結体、織布のよ
うな低弾性体を単独でまたは組合せで使用する。 該低弾性体からなる中間体の介在は、ろうと前
記凹部底面の接合を阻止する効果だけでなく、接
合温度からの冷却に際しセラミツク部材と金属部
材の収縮量の差により生ずる前記凸部先端と前記
凹部底面の間の相互干渉を防止し、接合部に過大
な残留応力が発生することを阻止する効果と、溶
融したろうを凸部外周面と凹部内表面の間の隙間
に効率良く浸透させる効果も有している。 本発明では、セラミツク部材と金属部材の接合
を、セラミツク部材と化学的結合が可能な活性金
属元素を含有する活性金属ろうで行う。該ろうと
しては、前記活性金属元素を含む合金ろうであつ
てもよいし、金属基材の上に活性金属元素を被覆
した構造のろう材でもよい。さらにまた、活性金
属箔と活性金属の箔と活性金属を含まないろうを
重ねて使用してもよい。ろう材に対する活性金属
の添加量の調整、取り扱いの容量さあるいは製造
の容易さを考慮すると、金属基材の上に活性金属
元素を被覆した構造のろうの使用が好ましく、金
属基材の上に活性金属元素を蒸着した構造のろう
の使用がより好ましい。該活性金属元素として
は、被接合セラミツク部材が窒化物、炭化物を少
なくとも含むセラミツクスの場合にはZr，Ti，
Ta，Hf，Ｖ，Cr，La，Sc，ＹおよびMoからな
る群から選ばれた少なくとも一種の金属元素が好
ましく、被接合セラミツク部材が酸化物セラミツ
クスの場合には、Be，ZrおよびTiよりなる群か
ら選ばれた少なくとも一種の金属元素が好まし
い。 本発明の金属・セラミツクス接合体を形成する
セラミツク材料としては、上記活性金属ろうと高
強度の接合部が得られるセラミツク材料であれば
いずれの材料でもよいが、実用性を考慮すると、
窒化珪素、炭化珪素、サイアロン、ジルコニア、
アルミナ、ムライト、チタン酸アルミニウムおよ
びコージエライトよりなる群から選ばれた少なく
とも一種のセラミツク材料とするのが好ましい。
これらのセラミツク材料のいずれを使用するか
は、本発明の金属・セラミツクス接合体の使用目
的と接合すべき金属材料の種類に応じて決定すれ
ばよい。 上記活性金属ろうはセラミツク部材との濡れ性
が良いので、セラミツク部材に対してメタライズ
処理のような特別な前処理をする必要はない。ま
た、金属部材に対しては、Niメツキをすれば濡
れが良くなる。従つて、該ろうを使用すれば所定
の接合位置へ毛細管現象を利用して溶融ろうを浸
透させる事が出来るので、被接合部に形成する隙
間の管理を行うだけで、欠陥の少ないろう付けを
行うことが出来る。ろう付け温度における該隙間
の上限値としては、300μm以下とするのが好まし
く、150μm以下とするのがより好ましい。該隙間
が300μm以上では、ろうの上昇高さが減少し、所
定の接合距離が得られなくなるので好ましくな
い。 また、本発明の金属・セラミツクス接合体で
は、接合端部における残留応力値が接合距離に比
例して変化する。しかし、該残留応力値をセラミ
ツクスの破壊応力以下の応力値以下に押さえるの
に必要な接合距離Ｌは、セラミツク部材の性質あ
るいは凸部の直径Ｄに依存する。例えば、セラミ
ツク部材が窒化珪素からなる場合には、前記接合
距離Ｌと前記凸部直径Ｄの比（Ｌ／Ｄ）を0.2〜
0.8とするのが好ましく、0.2〜0.6とするのがより
好ましく、0.2〜0.4とするのがもつとも好まし
い。上記Ｌ／Ｄの0.2以下では、接合距離が短か
すぎて、接合強度が不足する心配があるので好ま
しくない。また、Ｌ／Ｄが0.8以上では、接合端
部に発生する残留応力が大きくなりすぎて、セラ
ミツク部材が破損し易くなるので好ましくない。 （実施例） 次に、図面により本発明をさらに詳しく説明す
る。第１図は、接合部に発生する残留応力を有限
要素法で求めるのに使用した接合体の概略図であ
る。この図では、セラミツク部材１に設けた凸部
２の外表面の一部と金属部材４に設けた凹部５の
内表面の一部とが接合距離Ｌで接合されている。
第１表は、第１図の如き接合体をろうの凝固温度
から室温まで冷却した場合に、凸部先端表面３と
凹部底面６の関係により、接合端７に発生する残
留応力がどう変化するかを計算した結果を示した
ものである。番号１は、凹部底面６と凸部先端表
面３の間が非接合で、しかも両表面の間に所定長
の隙間を設けて、両表面の相互干渉が起こらない
とした場合の計算結果である。さらに、番号２は
凹部底面６と凸部先端表面３が非接合状態で密着
している場合、番号３は凹部底面６と凸部先端表
面３の間が接合されている場合に相当する。第１
表から明らかな如く、残留応力が最小なのは番号
１の場合である。

【表】 第２図は、第１図の接合体の凸部先端表面３と
凹部底面６の間に所定の隙間を設け、凸部外表面
と凹部内表面の間の接合距離Ｌを変化させた場合
に、該接合距離Ｌと接合端７に発生する残留応力
の計算値の関係を示す図である。第２図から明ら
かな如く、上記接合距離Ｌの増加とともに残留応
力も上昇する。 上記残留応力の許容値は、使用するセラミツク
材料の強度に応じて設定すればよいが、現在利用
可能なセラミツク材料の強度と安全率を考慮する
と、50Kg／mm²以下とするのが好ましく、40Kg／mm²
以下とするのがより好ましい。 なお、第１図に示した接合体の凸部先端表面３
と凹部底面６の間に設ける隙間の大きさＧは、ろ
うの凝固温度から室温までの冷却中に、凹部底面
６と凸部先端表面３の間に相互干渉が起こらない
大きさとする。 従つて、以下の関係を満足する大きさとすれば
良い。 Ｇ＞（接合端７から金属部材の凹部底面６まで
の距離）×（金属部材の熱膨張係数−セラミツク部
材の熱膨張係数）×（ろうの凝固温度−室温） 該隙間の設置は、上述の如く凹部底面Ｃと凸部先
端表面３の間の相互干渉防止が目的であるから、
該隙間は空間であつても良いし、両表面の間に中
間材として低弾性体を配置し緩衝材として機能さ
せても良い。かかる低弾性体として、たとえば黒
鉛遷移からなるスライバー、フエルト、ウエブ、
ウエブ焼結体、織布のようなものが利用できる。 実施例 １ 直径：18mmの溶体化処理済インコロイ903丸棒
の一端に内径：11.05mm、深さ８mmの凹部と直
径：12mmの細軸部を受けた金属部材と、常圧焼結
法による窒化珪素焼結体の一端に直径：11.0mm、
長さ：10mmの凸部を設けたセラミツク部材を作製
した。上記凹部の底部隅部には、0.2Cの面取り
が、また開放端隅部にはテーパー加工がしてあ
る。同じく、上記凸部の先端のエツヂ部は0.5Cの
丸め加工が、根元部にはR2で局面加工がしてあ
る。該凹部の内表面に厚さ：10μmのNiメツキを
施したのち、該凹部底面上に厚さ：0.4mmの黒鉛
フエルトを配置し、さらに該黒鉛フエルトの上に
厚さ：0.1mmの銀ろう板の表面上に厚さ2μmのTi
を蒸着した活性金属ろうを配置した。一方、凸部
先端表面に黒鉛を塗布したのち、該凸部を前記金
属部材の凹部内に挿入して接合用組立体を形成し
た。次に、該接合用組立体を真空中で850℃まで
昇温してろう付けを行つたのち、インコロイ903
所定の時効硬化処理を行つて第３図に示す如き接
合部形状の接合体を作製した（本発明例と称す）。
また、比較例として、上記金属部材とセラミツク
部材を使用して、金属部材の凹部底面にのみNi
メツキを施したのち、凹部底面上への黒鉛フエル
トの配置と凸部先端表面への黒鉛の塗布をせず
に、上記接合体のろう付けと同じ活性金属ろうを
使用してろう付けし、上記接合体と同じ熱処理を
行つて、第１図に示す如き接合部形状の接合体を
作製した（比較例と称す）。これら２種類の接合
体について、接合部断面を切断してろう付けの状
態を比較したところ、本発明例では接合がセラミ
ツク部材の凸部外周面１８と凹部内表面１９の間
で接合距離4.5mmにわたつてなされており、比較
例では接合が凸部先端表面３と凹部底面６の間で
行われていた。次に、これらの２種類の接合体に
ついて、ねじり強度試験と引き抜き試験を450℃
で行い、第２表に示す結果を得た。この結果から
明らかな如く、セラミツク軸の外周面で金属部材
の凹部内表面と接合した本発明の接合体は、セラ
ミツク軸の先端部と金属部材の凹部底面で接合し
た比較例の接合体よりすぐれた接合強度を有して
いる。

【表】 実施例 ２ 通常の銀ろうを使用して、実施例１に記載の本
発明例と同じ形状の接合体（比較例）を作製し
た。該比較例の接合体についても、接合部断面を
切断してろう付けの状態を確認した。該比較例で
は、銀ろうがセラミツク部材の凸部外周面１８と
金属部材の凹部内表面１９の間に浸透し、該ろう
と金属部材が接合状態にあつた。一方、窒化珪素
からなるセラミツク部材と銀ろうは接合がなされ
ていなかつた。このことから明らかな如く、該比
較例のセラミツク部材と金属部材の結合は、金属
部材の凹部内表面とセラミツク部材と凸部外周面
の間に銀ろうを介して焼ばめでなされいる状態に
相当する。次に、該比較例と実施例１に記載の本
発明例について、450℃〜750℃の温度範囲におけ
る接合部のねじり強度と引抜き強度を比較し、第
３表に示す結果を得た。第３表の結果から明らか
な如く、本発明の接合体は600℃以上の高温では、
比較例よりすぐれた接合強度を有している。これ
は、本発明の接合体は、金属部材とセラミツク部
材がろう付けにより一体的に接合されているため
である。比較例では、結合が焼ばめでなされてい
るため、温度が上昇すると締め代が低下し、接合
強度が急激に低下するものである。

【表】 実施例 ３ 翼車２１と軸部が常圧焼結法による窒化珪素で
一体的に形成されているタービンロータの軸部先
端に直径12.0mm、長さ7.5mmの凸部２２を設けて
セラミツク部材とした。また、直径：20mmのイン
コロイ903の丸棒の一端に、直径：12mmの合金鋼
（例えばJIS−SNCM439）の丸棒を摩擦圧接した
棒材を準備した。次に、該棒材をターボチヤージ
ヤロータの構成に必要な外径に機械加工するとと
もに、インコロイ９０３側の端部に直径：12.05
mm、深さ：7.0mmの凹部２５を設けて金属部材と
した。該凹部の内表面にNiメツキを施したのち、
実施例１記載の方法と同じ方法で接合し、接合部
が第４図の如き概略構造を有するターボチヤージ
ヤロータ用接合体を作製した。該接合体に対し
て、所定の工程に従つて仕上げ加工を行いターボ
チヤージヤ用タービンロータを作製した。該ター
ボチヤージヤ用タービンロータを排気量2000c.c.の
ガソリンエンジンに組付け、タービン回転数12万
rpmで連続200hrの回転試験を行つたのち、接合
部のねじり強度試験を行いエンジン試験前の強度
と比較したが、接合強度の低下は認められなかつ
た。 （発明の効果） 以上説明したように、セラミツク部材に設けら
れた凸部が金属部材に設けられた凹部に挿入され
て、金属部材とセラミツク部材の実質的接合が上
記凸部外周面と上記凹部内表面の間で、活性金属
ろうによりなされている構造を有する本発明の金
属・セラミツクス接合体は、上記凸部先端表面に
はろう非接合性の物質からなる薄い層、前記凸部
先端表面と上記凹部底面の間には、ろうと非接合
性物質からなる低弾性中間体が介在しているの
で、接合部位の限定を容易にしかも確実に行える
ので、接合後にセラミツク部材の接合端に生ずる
残留応力の低減と管理が可能となり、接合強度の
向上とばらつきの減少が達成される。さらにま
た、本発明の接合法では、前記凹部底面の上にろ
うと非接合性の物質からなる中間体を設置したの
ち、該中間体の上に活性金属ろうを配置して、上
記凸部先端表面と該中間体の間で該ろうを融解さ
せてろう付けを行うので、前記凸部外周面と前記
凹部内表面の間に形成させる隙間の大きさを管理
するだけで、溶融したろうを該隙間の間に毛細管
現象を利用して浸透させることが可能となるの
で、欠陥の少ないろう付け部が得られるだけでは
なく、ろう付けの信頼性も向上する。従つて、本
発明の金属・セラミツクス接合体は、高強度、高
信頼性を必要とするエンジン部品やその他の産業
用機械部品へ適用すれば、セラミツクス材料のす
ぐれた性能を生かした機械部品等とすることが出
来る。 例えば、本発明の金属・セラミツクス接合体
で、タービンホイールおよびタービンシヤフトの
一部が窒化珪素セラミツクス、その他の部分が高
強度を有する金属からなるターボチヤージヤロー
タを構成すれば、応答性と耐久性にすぐれた高効
率のタービチヤージヤとすることが出来る。 このように、本発明の金属・セラミツクス接合
体は、セラミツクスの耐熱性、耐摩耗性、高強度
などの特性を生かして、ターボチヤージヤロータ
やガスタービンロータなどのエンジン部品や高温
にさらされたり繰り返し荷重を受ける構造体部品
として使用することができ、かつこれらを耐久性
にすぐれたものとして提供することができる利点
を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、金属部材に設けた凹部にセラミツク
部材に設けた凸部を接合した場合に接合部に発生
する残留応力を計算するのに使用した接合体の概
略構造図、第２図は、金属部材とセラミツク部材
の接合を上記凸部外周面と上記凹部内表面で行つ
た場合の、接合距離と接合端に発生する残留応力
との関係を示す説明図、第３図は、本発明の金
属・セラミツクス接合体の一具体例の接合部の構
造を示す部分断面図、第４図は、本発明の金属・
セラミツクス接合体の他の具体例の接合部の構造
を示す部分断面図である。 １，１１……セラミツク部材、２，１２……凸
部、３，１３……凸部先端表面、４，１４……金
属部材、５，２５……凹部、６，１６……凹部底
面、７……接合端、１０，２０……黒鉛フエル
ト、１８……凸部外周面、１９……凹部内表面、
２０……低弾性中間体、２１……タービン翼車、
２２……セラミツク軸、２４……金属軸、３０…
…ろう。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ セラミツク部材に設けた凸部が金属部材に設
   けた凹部に挿入されて、しかも前記凸部の外周面
   と前記凹部の内表面がろう付けにより一体的に接
   合されている構造の金属・セラミツクス接合体に
   おいて、 上記凸部先端表面にはろうと非接合性の物質か
   らなる薄い層、該凸部先端表面と上記凹部底面の
   間にはろうと非接合性物質からなる低弾性中間体
   を介在させて、金属部材とセラミツク部材の実質
   的接合を上記凸部外周面と上記凹部内表面の間に
   限定していることを特徴とする金属・セラミツク
   ス接合体。 ２ 上記非接合性物質がカーボンである特許請求
   の範囲第１項記載の金属・セラミツクス接合体。 ３ 前記中間体がスライバー、フエルト、ウエ
   ブ、ウエブ焼結体、織布よりなる群から選ばれた
   少なくとも一種の低弾性体からなるものである特
   許請求の範囲第１項ないし第２項のいずれかに記
   載の金属・セラミツクス接合体。 ４ 前記ろうが活性金属を含有するろうである特
   許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記
   載の金属・セラミツクス接合体。 ５ 前記凸部外周面と凹部内表面の接合距離Ｌと
   該凸部直径Ｄとの比Ｌ／Ｄが0.2〜0.8である特許
   請求の範囲第１項ないし第４項のいずれかに記載
   の金属・セラミツクス接合体。 ６ セラミツク部材がターボチヤジヤロータのタ
   ービンロータ側回転軸、金属部材がコンプレツサ
   ホイール側回転軸である特許請求の範囲第１項な
   いし第５項のいずれかに記載の金属・セラミツク
   ス接合体。 ７ セラミツク部材に設けた凸部が金属部材に設
   けた凹部に挿入されて、しかも前記凸部の外周面
   と前記凹部の内表面がろう付けにより一体的に結
   合されている構造の金属・セラミツクス接合体の
   製造方法において、 ａ 金属部材の一端に凹部、セラミツク部材に凸
   部を設ける工程、 ｂ 上記金属部材の凹部内の接合予定表面にNi
   メツキを施したのち、凹部底面上に低弾性体を
   配置し、さらに該弾性体の上に活性金属を含有
   するろうを配設する工程、 ｃ 前記凸部先端に黒鉛を塗布する工程、 ｄ 前記凹部内に上記凸部を挿入して、セラミツ
   ク部材と金属部材の接合用組立体を形成する工
   程、 ｅ 上記組立体を真空あるいは不活性雰囲気中で
   ろうの融点以上の温度に加熱して、ろうを融解
   させ、該溶融ろうで前記凸部外周面と凹部内表
   面の間に存在する隙間を充填する工程、 ｆ 上記組立体を冷却し、ろうを凝固させてセラ
   ミツク部材の凸部外周面と金属部材の凹部内表
   面の間の接合を完了させる工程からなることを
   特徴とする金属・セラミツクス接合体の接合
   法。 ８ セラミツク部材の凸部外周面と金属部材の凹
   部内表面の間に存在する隙間への溶融ろうの充填
   が毛細管現象が利用したものであると特許請求の
   範囲第７項に記載の金属・セラミツクス接合体の
   接合法。