JPH0440340A - 液中微小物質撮像装置 - Google Patents

液中微小物質撮像装置

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JPH0440340A
JPH0440340A JP2146271A JP14627190A JPH0440340A JP H0440340 A JPH0440340 A JP H0440340A JP 2146271 A JP2146271 A JP 2146271A JP 14627190 A JP14627190 A JP 14627190A JP H0440340 A JPH0440340 A JP H0440340A
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liquid
imaging
imaging mechanism
liquid contact
fixing
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JP2146271A
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English (en)
Inventor
Shoji Watanabe
昭二 渡辺
Kenji Baba
研二 馬場
Ichirou Enbutsu
伊智朗 圓佛
Toshio Yahagi
矢萩 捷夫
Naoki Hara
直樹 原
Mikio Yoda
幹雄 依田
Tomonori Kaneko
智則 金子
Katsumi Eto
衛藤 克巳
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、付加価値の高い有用物質を生産する培養槽や
醗酵槽、さらに、排水及び廃水処理槽内溶液中の微生物
、藻類、酵母、動植物細胞等の微小生物を連続的に自動
観察できる液中微小物質撮像装置に関する。
〔従来の技術〕
微生物、藻類、酵巽、動植物細胞等の微小生物の新陳代
謝能力や特定物質の選択的摂取能力を利用して有用物質
の生産や汚濁物質の除去、さらには生物自身の培養が行
われている。これらの微小生物利用プロセスでは、主役
である微小生物を適正な状態に維持することが運転管理
上必要不可欠で、形態や形状の変化には速やかな対応が
要求される。これは、プロセス内の微小生物は運転管理
面の有用な情報を多々持ち合わせており、微小生物の特
徴からその環境状態を診断し、原因の判定と対処法を判
断できる。その情報取得手段の一つとして1画像処理技
術が応用されている。微小生物情報を日常管理に用いる
には、画質が良好で、メンテナンスに富み、正確なサン
プルを供試できる信頼性の高いオンライン撮像装置が、
まず、必要となる。これらの課題を満足した撮像装置が
実用化されていないことが有用情報の利用を加速させな
い原因となっている、。
最近、この課題に対処した微小生物の自動i察装置が提
案されている。これらの自動観察装置は。
検体試料をサンプリングして別設置のll!祭装置に供
試する方式(特開昭60−244279号公報)、直接
液中に浸漬する方式(特開昭52−89942号、特公
昭63−41639号、特開平1−312992号公報
)とに大別される。このうち、サンプリングして別設置
の観察装置に供試する方式(特開昭60−244279
号公報)はサンプリング経路の途中での微小生物の凝東
、及び、管路状態やサンプル液の環境変化により生物の
状態が変化し、標本の信頼性に欠ける。
また、この方式は観察対象であるサンプル液厚を固定す
るためにストッパをMWしている。サンプルには粗大な
異物や堅い物質も混在するプロセスもあり、ストッパが
利かず、駆動装置を焼損させる危険性がある。
生物状態を変化させずに撮像するには、直接、液中に浸
漬する必要がある。直接液中浸漬方式に関しても数例出
願されている。第−例(特公昭63−41639号公報
)はサンプル導入部のスリット間隔を一定に固定してい
る。この場合、間隔以上の生物や凝集物質の導入が困難
で正確な標本を得ることができない。この問題を避ける
ために間隔を数ミリとしているが、微小生物の撮像は高
倍率(2倍以上)にする必要があり、ピンぼけの画質と
なる。また、この例では光がサンプルに二重あたる落射
型照明法(あるいは反射型照明法)を採用しており、画
質が不十分となる。第二例(特開昭52−89942号
公報)はサンプルを自由に通過させ、ストロボ閃光によ
り静止画像を得るとしているが、そのためには、サンプ
ル導入部のスリット間隔を広くする必要があり、十分な
画質を得ることができない。また、サンプル111部の
洗浄機構を持たないため、微小生物の付着やスライム等
の発生により画質が低下し、さらに、撮像画像の更新が
困難となり、画像の信頼性に欠け、高頻度のメンテナン
スを必要とする。第三例(特開平1−312992号公
報)は中空筒状体のサンプル室を設置し、ここにサンプ
ルを導いている。このため、サンプル液交換には新たな
動力源が必要で、駆動装置に連結したワイパーを往復動
させている。しかし、ワイパーのシール機能が完全でな
いと、サンプル液がワイパーの前後に回り込むだけで入
れ替えが不十分となり、正確なサンプルが得られない。
また、シールを完全なものにすると観察部のガラスを傷
付けたり、排出後のサンプル室に照明が当たると観察部
に残った水滴が乾燥して汚れが生じ、画質を低下させる
。さらに、安全性の面から光学系に設置した観察窓と中
空筒状体に新たに設置したガラス窓を対向させているが
、この窓間にサンプル液がしみ出して画質を低下させる
危険性がある。この例では、サンプル室の入口に1〜2
■の目開きストレーナを設けて粗大な夾雑物を除いてい
るが、ストレーナに微小生物やスライム等が付着して通
路が挟まり、最終的には濾過作用によりサンプルの信頼
性が得られない。さらに、光軸を水平にし、サンプル室
を重力方向に形成させているが、微小生物は重力沈降す
るので静止画像を得ることができない。
〔発明が解決しようとする課題〕
このように、従来の微小生物自動If察装置はサンプル
の正確性を欠き、画質に対する考慮も十分になされてい
ない。特に、直接液中浸漬方式ではam時の重力沈降に
対する考慮がなく、静止画像を得ることができない。ま
た、安全性の面から、観察部を二重構造にしている例も
あり、画質の低下もさることながら、メンテナンス性に
欠ける。
安全面に対しては、さらに過負荷に伴うモータ焼損や漏
水に伴う過電流防止に対する考慮もなされておらす1日
常安心して使用することができない。
このような自動11察装置で例え微小生物情報が提供さ
れても信頼性に欠け、プロセスの日常管理に適用できな
い。
本発明の目的は、微小生物情報を日常管理に用いること
のできる1画質が良好で、メンテナンスに富み、正確な
サンプルを供給できるオンライン可能な微小生物撮像装
置を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するため、本発明は浸漬可能な二つの防
水性国体をもち、前記二つの防水性国体は上下方向に配
設連結され、一方の防水性国体は浸漬対象液を保持する
構造物に固定された架台と連結された支持棒に固定し、
前記支持棒の上下位置と水平位置を調節できる手段を前
記架台に配設し、他方の防水性国体を固定された前記防
水性国体を基準とした二位置操作できる位置調節手段を
具備し、前記位置調節手段は強制操作手段と慣性操作手
段とからなり、前記固定防水性国体には前記移動防水性
国体と対向する部分に接液窓を設置して前記接液窓外の
サンプル液を撮像対象とする拡大光学装置とテレビカメ
ラを内蔵し、前記移動防水性国体には少なくとも前記固
定防水性国体の接液窓と対向する部分に前記拡大光学装
置の焦点深度に対応した凹型接液窓を設置して前記凹型
接液窓を照射する光照射手段を内蔵させ、前記二つの防
水性国体の間に洗浄手段を具備し、前記洗浄手段を前記
位置調節手段に対応して操作できる駆動手段をもち、さ
らに、前記二つの防水性国体の下部に漏水を検知できる
手段を配設する。
〔作用〕
本発明を構成する上記手段において、凹型接液窓とそれ
に対向する接液窓が接することにより凹部に取り込まれ
たサンプルを外部液の影響を受けずに固定でき、また、
二つの防水性国体を上下位置に配設することによりサン
プル内の微小生物が重力沈降するのを防止でき、静止画
像を得ることができる。これらの接液窓が接する状態で
拡大光学装置の拡大倍率に対応させかつ、焦点深度以下
の窪みギャップを有する凹型接液窓を配設することによ
り常に鮮明な画質を提供できる。サンプルの静止画像を
規定時間待た後、位置調節手段は外部液の流動力を利用
して前記サンプルが自然に入れ替わる程度に二つの接液
窓の距離を大きくする方向に動作し、この二つの操作を
繰り返すことで、外部液の正確なサンプルが得られる。
二つの接液窓が広がった段階で洗浄手段を操作するが、
外部液の流動作用により洗浄機能が増長する。また、洗
浄時も接液窓周囲には液が満たされており、接液窓が乾
燥する恐れがなく、光を連続的に照射できる、サンプル
を取り込む段階で粗大、あるいは、堅い異物が接液窓間
に混入した場合、位置調節手段を構成する慣性操作手段
の機能により押し付けが抑制され、接液窓の破損や傷つ
きを防止できる。
万一、破損して国体内に液が侵入した場合は漏水検知器
が作動し、国体内への電源を遮断することができる。さ
らに、防水性匡体支持捧の上下位置と水平位置を調節す
ることによりメンテナンスを容易に実施できる。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を第1図により説明する。第1
図は活性汚泥による下水処理設備への適用例で、処理機
能をまず、簡単に説明する。家庭や工場等から排出され
た下水は前処理プロセス(図示せず)で粗大な夾雑物を
除いた後、曝気槽1に流入する。曝気槽1に導入された
流入下水は曝気槽の後流に配置された沈殿池(図示せず
)から返送される活性汚泥と称される微生物群との混合
液2となる。この混合液2には、微生物だけでなく、前
処理プロセスで除去されなかった夾雑物も混入しており
、−括して活性汚泥と称される。
混合液2は曝気槽1の底部に設置された散気管3から噴
射される空気4により撹拌流動と、酸素供給が行われ、
液中の汚染物質が活性汚泥の働きにより処理される。曝
気槽1から流出した混合液2は前述した沈殿池で活性汚
泥が重力沈降し、その上澄液は処理水として河川や海等
に放流される。
一方、沈殿した活性汚泥の欠部分は曝気槽1に再循環さ
れ、増殖分に相当する一部を余剰汚泥として系外に排出
し、脱水、焼却等の処理工程を経る。
このような水処理設備において、活性汚泥の管理は重要
な運転業務内容の一つである。特に、沈降性の良好な活
性汚泥を形成する維持管理が要求される。活性汚泥の沈
降性の悪化は、バルキングに伴う汚泥膨化9発泡やスカ
ム発生に伴う汚泥浮上等がある。沈降性が悪化すると、
処理水への汚泥流出のみならず、曝気処理機能の低下、
さらには汚泥処理機能にも大きな負担を強いる。ところ
で、これらの異常現象は活性汚泥に出現する微生物に影
響していることが広く知られている。このため、活性汚
泥中の微生物を観察することは運転業務上必要不可欠で
ある。本発明はこの観点に立ち、画質が良好で、メンテ
ナンスに富み、かつ、混合液2の正確なサンプルを採取
できる微小生物の自動撮像装置を提供するもので、以下
にその詳細を説明する。
10は混合液2をI11察する撮像装置で、曝気槽混合
液内に浸漬される。撮像装置10の詳細を第2図に示す
。撮像袋[10は、固定支持棒12に接続された固定防
水国体10Aと、固定防水国体10Aを基準に往復動作
可能な移動防水国体10Bと、これら二つの防水国体を
連結する連結棒11で構成される。第2図では、連結棒
11を一本しか示していないが、複数本設置するのが好
ましい。
連結棒11は移動防水国体10Bに固定され、固定防水
国体10Aに固定されたガイド板13゜13′に沿って
往復動できる。二つの防水国体10A、IOBは上下方
向に配設され、対向する領域の一部に接液窓14A、1
4.Bが設置されている。接液窓周辺の詳細構造を示す
一例を第3図に示す。固定防水国体10Aには凸型ある
いは平抜型の接液窓14Aを設置し、移動防水国体10
Bには、凸部の上部を凹型あるいは単に凹型とする接液
窓14Bを設置する。第4図は接液窓14Bの構造を示
す一例で、凸部の囲りを高くシ、中央部に窪みを持たせ
る。この窪み厚みdは、二つの接液窓14A、14Bが
接した時点で、混合液2の一部を保持するサンプル液の
厚みとなる。従って、微生物の拡大を目的とする撮像装
置では、無闇に厚く出来ない。この厚みdは、固定防水
国体10Aに内蔵され、接液窓14A、14Bが接した
状態で両接液窓間に取込まれるサンプル液に焦点を合わ
せた拡大光学レンズ19の拡大倍率に対応した焦点深度
以下とする。具体的には拡大光学レンズ19の拡大倍率
が二倍以下であれば、250μm以下の窪み厚みdとす
るのが良い。二つの接液窓14A、14Bは各々固定器
具15A、15Bで固定防水国体10A、移動防水匡体
10Bに固定される。なお、固定器具15A、15Bは
、各各の接液窓を固定した状態で、接液窓14A。
14Bより出張らない構造とする。従って、固定器具1
5A、15Bの防水国体への固定は皿ねしを使用するか
、防水国体部側にさらに段差を設けてねじ止めするのが
良い。
移動性国体10Bには、接液窓14Bを通して窪み部の
サンプル液に照射可能な光照射手段18を内蔵させる。
光照射手段18は光源部を撮像装WIOの外部に設置し
、例えば、ライトガイドを介して接液窓14Bに照射し
ても良いが、第2図のように、直接、光源部を設置して
も良い。光源部を内蔵する場合、移動防水国体10Bの
裏蓋10B′に固定した接続器20にセットするように
すると、裏蓋10B′を着脱することにより光源ランプ
18の交換が容易となる。さらに、第2図に示すように
、集光可能なコリメータレンズ17等を光照射手段18
の前方に配置することにより、発生光のムダが減少し、
また、光の散乱を防ぐことできる。
固定防水国体10Aには、前述の拡大光学レンズ19と
、拡大光学レンズ19の光像を受光し、光像を電気信号
に変換するテレビカメラ20を内蔵させ、電気信号20
aを支持棒12あるいは専用配管を通して曝気[1の外
部に伝送することできる。
このように配設した二つの防止国体は、固定防水国体]
、OA内に支持板24A、24Bで固定された移動用駆
動装置22の動作に連動して移動防水国体10Bが二位
置操作される。この操作は、移動用駆動装置22の回転
に対応して上下方向に移動する移動板25と移動板25
の動きを移動防水国体1. OBに伝達する伝達棒26
で行うが、二つの防水国体が接近した状態で移動板25
と伝達棒26の間に若干の遊びを持たせ、その遊びを連
結棒11に設置した慣性手段30で補償する。慣性手段
30には、例えば、コイルばねを利用できる。
第5図及び第6図を用いて、移動防水国体10Bの二位
置操作をさらに詳細に説明する。
第5図は、移動板25が下方に移動し、伝達棒26を押
し付けて移動防水国体10Bを押し下げ、接液窓14 
Aと14B間を広げた状態である。この状態では混合液
2自身の流動力を利用して、混合液2が自由に接液窓間
を流通できる。従って、サンプル液交換のための駆動源
は必要としない。
この操作では、慣性手段30は圧縮されている。
第6図は、移動板26が上方に移動し、伝達棒26を遊
ばせた形で慣性手段30の慣性力で移動防水国体10B
が上方に押し上げられる。この押し上げ力は、慣性手段
30に加えて、中空構造である移動防水国体10Bの混
合液2からの浮力も作用する。このような構成にするこ
とにより、接液窓間あるいは防止匡体間に粗大な異物や
堅い物質が混入しても駆動装置22の強制力が伝わらず
、接液窓14A、14Bに傷つけることや破損を防ぐこ
とができる。当然ながら、異物の混入かない場合は、接
液窓14A、14Bは密着し、窪み厚dに対応したサン
プルが、常時、得られる。また。
接液窓14Bは上部が凹型となっており、接液窓1、4
 Aと接した状態では外部混合液2の流動の影響を受け
ない6さらに、二つの防水国体10A。
10Bが上下方向、すなわち、重力方向に配置され、接
液窓間に採取されたサンプルは重力方向に非常に薄く、
例え沈降しても下部の接液窓14Bで停止するため、安
定した静止画像を得ることができる。
接液窓間を広げた状態の第5図で、洗浄手段32を作動
できる。洗浄手段32は洗浄用駆動装置34に連接棒3
5を介して連結されている。洗浄手段32の作動は、接
液窓間が広く、混合液2が自由に流通しているため、接
液窓14A、14Bに無理な力を加えることなく窓面の
付着物を除去できる。また、接液窓間に混合液2が自然
に満たされており、光照射による窓面が乾燥することも
ない。
なお、二つの防水国体の底部に浅水検知器28゜29を
配設しており、接液窓の破損、シール機構の劣化等に伴
う浅水を素早く検知でき、電源遮断等の対策が可能であ
る。
第1図において、撮像装置10は支持棒12に連結固定
される。さらに支持棒12は曝気槽1構造物に固定され
た架台5に連結された支持架台6で保持される。撮像装
[10及び支持棒12と支持架台6はワイヤ41で接続
し、水深位置の安定を図っている。ワイヤ41はドラム
42に連結されており、ドラム42のハンドル操作で撮
像装置10の水深位置を自由に調節することができる。
さらに、ワイヤ41及びあるいは支持棒12にストッパ
ーを設け、支持棒12を調節位置から移動するのを防止
する。この操作により、水深方向の微生物状態をIl!
祭できる。また、メンテナンス時には支持架台6の近傍
まで引上げて点検操作する。
この場合、固定架台5に対して支持架台6の位置変更を
架台位置調節手段7により実施できる。架台位1111
ff節手段7は、例えば、ピニオン・ラックを利用する
。ピニオン・ラックは往復動及び回転機構のいずれでも
よい。架台位置調節手段7を設備することにより、メン
テナンスが容易となる。
8は現場操作盤で、光源調節手段、洗浄用駆動手段、移
動用駆動手段の調節機構やモニタ手段等を配設できる。
また、現場操作盤8と同様な操作機能を持たせたリモー
ト盤9を1例えば、遠隔の管理棟に設置しても良い。
上記実施例では、凹型接液窓に関して一体型構造方式と
したが、凸型の上部に任意厚みの孔あきフィルムや金属
箔を取付けても良い。
また、実施例では言及しなかったが、拡大光学レンズお
よび/またはテレビカメラの位置調節機構を固定防水国
体に配設して焦点調節を行っても良い。この場合、拡大
光学レンズを電子式にし、自動焦点機能を持たせても良
い。
さらに、固定防水国体に移動用及び洗浄用駆動手段を配
設したが、分割して設置しても差し支えない。また、固
定防水国体と移動防水国体に内蔵する光学手段を変えて
も画質に影響がないことは当然である。この実施例では
、二つの防水国体を縦型配置したが、横型でも使用可能
である。
さらに、接液窓14A、14Bの国体側にシール機能を
有する透明板を設置しても良い。この透明板は、接液窓
14A、14Bの破損による水洩れが匣体内に影響する
のを防止する効果がある。
本発明では固定防水国体と移動防水国体の接液窓構造を
限定した説明をしたが、これに限定するものではなく、
例えば両者を入替えた方式でも良い。
さらに、凹型接液窓は2つの防水国体に設着しても良い
。この場合、両者の窪みギャップが拡大光学手段の焦点
深度以下となるようにする。また、2つの防水国体に内
蔵した各種撮像手段並びに駆動手段を入換えて配設して
も何ら支障がない。
なお、本発明は活性汚泥プロセスの曝気槽に適用した例
を述べたが、適用例はこれに限定するものでない。
微生物利用プロセスの反応槽は勿論のこと、プロセス各
所の流入水及び流出水管理や、河川、湖沼などの生物監
視9発酵や培養などの酵母、細胞管理にも適用できる。
さらに、半導体や水製造プロセスの洗浄水、製造水監視
にも応用できる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、二つの防水性国体を上下に配設し、凹
型接液窓にサンプルを取込むので、サンプル内の微ホ生
物の沈降を防止でき、また、外部液の流動の影響を抑制
できるので1画質の良好な静止画像を安定して得ること
ができる。一方の防水性国体の全体を移動させるため、
外部液の流通が自由となり、サンプルの排出を完全に行
え、外部液と同一のサンプルを撮像対象とすることがで
きるので正確な観察情報が得られる。
サンプルの取込み時に柔軟な慣性手段を用いるので、夾
雑物の無理な力が加わらず、窓面の破損や傷の防止に効
果もある。また、国体の分離操作を容易に行えるので接
液窓や光源ランプの交換等メンテナンス性にも富んでい
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示すシステム系統図、第2
図は本発明の一実施例を示す撮像装置本体の断面図、第
3図はサンプル部の断面図、第4図はサンプル取込み用
接液窓の斜視図、第5図及び第6図はサンプルの排出及
び取込み動作を説明する断面図である。 1・・・曝気槽、2・・・混合液、IOA・・・固定防
水国体、10B・・・移動防水国体、11・・・連結棒
、12・・・支持棒、14A、14B・・・接液窓、1
8・・・光照射手段、19・・・拡大光学レンズ、20
・・・テレビカメラ、22・・・移動用駆動装置、32
・・・洗浄手段、34・・・第 凹 /DB 亮 菌 第 図 不 圀 沃 算 乙 阻

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、互いに連結し、液中に浸漬可能な二つの撮像機構部
    をもち、第一の撮像機構部に拡大光学手段と撮像手段を
    具備し、第二の撮像機構部に照明手段を具備し、前記第
    一の撮像機構部を外部と固定する手段と、前記第一の撮
    像機構部を基準として前記第二の撮像機構部を往復動さ
    せる駆動手段を前記第一あるいは第二の撮像機構部に内
    蔵させ、前記第一撮像機構部と前記第二の撮像機構部に
    対向して接液窓を配置し、前記接液窓間の微小物質含有
    液を撮像することを特徴とする液中微小物質撮像装置。 2、互いに連結し、液中に浸漬可能な二つの撮像機構部
    をもち、第一の撮像機構部に拡大光学手段と撮像手段を
    具備し、第二の撮像機構部に照明手段を具備し、前記第
    一の撮像機構部を外部と接続固定する手段と、前記固定
    手段を操作し、前記二つの撮像機構部の液深位置を調節
    する第一の位置調節手段と、前記撮像機構部と前記固定
    手段の水平方向位置を調節する第二の位置調節手段とを
    具備することを特徴とする液中微小物質撮像装置。 3、液中に浸漬可能な二つの撮像機構部をもち、前記第
    一の撮像機構部を外部と固定する手段と、前記第一の撮
    像機構部を基準として前記第二の撮像機構部を往復動さ
    せる駆動手段を前記第一あるいは第二の撮像機構部に内
    蔵させ、前記第一の撮像機構部と第二の撮像機構部に対
    向して接液窓を配置し、少なくとも前記接液窓の一方の
    他の前記接液窓に接する領域の一部分に凹部を設け、前
    記凹部に導入された微小物質含有液を撮像することを特
    徴とする液中微小物質撮像装置。 4、液中に浸漬可能な二つの撮像機構部をもち、前記第
    一の撮像機構部を外部と固定する手段と、前記固定手段
    に鉛直方向に前記第一撮像機構部と前記第二の撮像機構
    部とを配置し、前記第一の撮像機構部を基準として前記
    第二撮像機構部を往復動させる駆動手段を前記第一ある
    いは第二の撮像機構部に内蔵させ、前記第一撮像機構部
    と前記第二撮像機構部に対向して接液窓を配置し、少な
    くとも前記接液窓の一方の他の前記接液窓に接する領域
    の一部分に凹部を設け、前記凹部に導入された微小物質
    含有液を撮像することを特徴とする液中微小物質撮像装
    置。 5、請求項4において、前記凹部型接液窓の角部を曲線
    とする液中微小物質撮像装置。 6、請求項4において、前記凹部型接液窓の一部に切り
    欠部を設けた液中微小物質撮像装置。 7、請求項4において、前記接凹部型接液窓を前記第二
    撮像機構部に配置する液中微小物質撮像装置。 8、液中に浸漬可能な二つの撮像機構部をもち、前記第
    一の撮像機構部を外部と固定する手段と、前記固定手段
    に鉛直方向に前記第一撮像機構部と前記第二撮像機構部
    とを配置し、前記第一撮像機構部を基準として前記第二
    撮像機構部を往復動させる駆動手段を前記第一あるいは
    第二の撮像機構部に内蔵させ、前記第一撮像機構部と前
    記第二撮像機構部に対向して接液窓を配置し、前記接液
    窓を洗浄する手段と、前記洗浄手段を駆動する手段を前
    記第一あるいは第二の撮像機構部に内蔵させることを特
    徴とする液中微小物質撮像装置。 9、請求項1において、2つの撮像機構部内の底部に洩
    水検知手段を設けた液中微小物質撮像装置。 10、請求項1において、2つの撮像機構部を連結する
    領域に往復動駆動手段に連動して作動する慣性手段を配
    備することを特徴とする液中微小物質撮像装置。
JP2146271A 1990-06-06 1990-06-06 液中微小物質撮像装置 Pending JPH0440340A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5821163A (en) * 1996-02-13 1998-10-13 Vlsi Technology, Inc. Method for achieving accurate SOG etchback selectivity

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US5821163A (en) * 1996-02-13 1998-10-13 Vlsi Technology, Inc. Method for achieving accurate SOG etchback selectivity

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