JPH0441297B2 - - Google Patents
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- JPH0441297B2 JPH0441297B2 JP58002614A JP261483A JPH0441297B2 JP H0441297 B2 JPH0441297 B2 JP H0441297B2 JP 58002614 A JP58002614 A JP 58002614A JP 261483 A JP261483 A JP 261483A JP H0441297 B2 JPH0441297 B2 JP H0441297B2
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- microphone
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- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2418—Probes using optoacoustic interaction with the material, e.g. laser radiation, photoacoustics
- G01N29/2425—Probes using optoacoustic interaction with the material, e.g. laser radiation, photoacoustics optoacoustic fluid cells therefor
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
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- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/10—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void
- G01J1/16—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void using electric radiation detectors
- G01J1/1626—Arrangements with two photodetectors, the signals of which are compared
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- G—PHYSICS
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J2001/4242—Modulated light, e.g. for synchronizing source and detector circuit
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- G01N2291/0427—Flexural waves, plate waves, e.g. Lamb waves, tuning fork, cantilever
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光音響効果を利用した濃度測定装置
に関する。
に関する。
光音響型濃度測定装置は、光音響効果を利用し
て、光音響セル内に導入した被測定ガス中の特定
の固定分子の濃度、例えば自動車などのエンジン
排ガス中にパーテイキユレートの濃度や、その他
被測定ガス中の特定ガス分子の濃度、例えばアン
モニア、エチレン、オゾンなどのガス分子濃度を
測定できるようにしたものである。
て、光音響セル内に導入した被測定ガス中の特定
の固定分子の濃度、例えば自動車などのエンジン
排ガス中にパーテイキユレートの濃度や、その他
被測定ガス中の特定ガス分子の濃度、例えばアン
モニア、エチレン、オゾンなどのガス分子濃度を
測定できるようにしたものである。
例えば自動車排ガス中のパーテイキユレートの
濃度測定について説明すれば、光音響セルに導入
したパーテイキユレートを含む自動車排ガスに向
けてレーザ光を投射すると、パーテイキユレート
は、光エメルギーを吸収して加熱され、このと
き、前記レーザ光をチヨツピングすると、パーテ
イキユレートは、チヨツピング周波数に応じて繰
り返し加熱・冷却され、これに伴つて、セル内で
圧力変化、つまり、音圧変化が生じる。
濃度測定について説明すれば、光音響セルに導入
したパーテイキユレートを含む自動車排ガスに向
けてレーザ光を投射すると、パーテイキユレート
は、光エメルギーを吸収して加熱され、このと
き、前記レーザ光をチヨツピングすると、パーテ
イキユレートは、チヨツピング周波数に応じて繰
り返し加熱・冷却され、これに伴つて、セル内で
圧力変化、つまり、音圧変化が生じる。
この音圧の変化、すなわち、音波(以下、信号
音と云う)の周波数は、レーザ光のチヨツピング
周波数と同じであり、その強度は、パーテイキユ
レートが吸収する光エネルギー量に比例してい
る。従つて、この信号音の強度をマイクロホンで
検出することにより、パーテイキユレートの濃度
を測定することができる。
音と云う)の周波数は、レーザ光のチヨツピング
周波数と同じであり、その強度は、パーテイキユ
レートが吸収する光エネルギー量に比例してい
る。従つて、この信号音の強度をマイクロホンで
検出することにより、パーテイキユレートの濃度
を測定することができる。
ところで、光音響セル内に発生する信号音は、
非常に微弱であるために、従来は、高感度のマイ
クロホンを用いて信号音をキヤツチするようにし
ていた。そして、微弱な信号音を適当な電気信号
に変換するために増幅器が用いられるが、信号音
以外の外来音、つまり、雑音は、信号音波に比べ
て大きいために、増幅器として高価な狭帯域増幅
器や同期整流増幅器あるいはこれら両者を用いな
ければならなかつた。
非常に微弱であるために、従来は、高感度のマイ
クロホンを用いて信号音をキヤツチするようにし
ていた。そして、微弱な信号音を適当な電気信号
に変換するために増幅器が用いられるが、信号音
以外の外来音、つまり、雑音は、信号音波に比べ
て大きいために、増幅器として高価な狭帯域増幅
器や同期整流増幅器あるいはこれら両者を用いな
ければならなかつた。
特に、エンジン排ガス中のパーテイキユレート
の濃度測定においては、排気音が試料用の排ガス
と共にセル内に伝わつてくるために、ガス導入路
にバツフアタンクなどの消音機構を設けてたり、
また、ガスをセルに導入するための吸引ポンプか
らの雑音を避けるために、セルと吸引ポンプの間
にバツフアタンクなどの消音機構を設けたりして
いる。
の濃度測定においては、排気音が試料用の排ガス
と共にセル内に伝わつてくるために、ガス導入路
にバツフアタンクなどの消音機構を設けてたり、
また、ガスをセルに導入するための吸引ポンプか
らの雑音を避けるために、セルと吸引ポンプの間
にバツフアタンクなどの消音機構を設けたりして
いる。
しかしながら、排気音や吸気音を十分に消音す
るには、消音機構が設備的にかなり大掛かりで効
果になり、その上、試料導入の遅れやパーテイキ
ユレートが消音機構内に溜まるなど、測定誤差を
生じやすい要因となる欠点があると共に、その消
音効果に自ずと限度がある。しかも、マイクロホ
ンや増幅器の許容範囲を超える雑音がある場合に
は、測定ができなくなるものであつた。
るには、消音機構が設備的にかなり大掛かりで効
果になり、その上、試料導入の遅れやパーテイキ
ユレートが消音機構内に溜まるなど、測定誤差を
生じやすい要因となる欠点があると共に、その消
音効果に自ずと限度がある。しかも、マイクロホ
ンや増幅器の許容範囲を超える雑音がある場合に
は、測定ができなくなるものであつた。
本発明は、上述の事柄に留意してなされたもの
で、その目的とするところは、安価な構成で、雑
音に影響されることなく高精度の測定を行うこと
ができる光音響型濃度測定装置を提供することに
ある。
で、その目的とするところは、安価な構成で、雑
音に影響されることなく高精度の測定を行うこと
ができる光音響型濃度測定装置を提供することに
ある。
上記目的を達成するため、本発明に係る光音響
型濃度測定装置においては、レーザ光線の光路を
2つ作り、それぞれの光路に、内部圧力変化を検
出するマイクロホンを備えた光音響セルとチヨツ
パとを各別に設け、一方の光音響セルにはパーテ
イキユレートを含むガスを導入し、他方の光音響
セルにはパーテイキユレートを含まないガスを導
入するように構成すると共に、前記マイクロホン
として、前記チヨツパによるレーザ光のチヨツピ
ング周波数を含む共振周波数帯域を有する共振子
をもつ狭帯域のマイクロホンを用いている。
型濃度測定装置においては、レーザ光線の光路を
2つ作り、それぞれの光路に、内部圧力変化を検
出するマイクロホンを備えた光音響セルとチヨツ
パとを各別に設け、一方の光音響セルにはパーテ
イキユレートを含むガスを導入し、他方の光音響
セルにはパーテイキユレートを含まないガスを導
入するように構成すると共に、前記マイクロホン
として、前記チヨツパによるレーザ光のチヨツピ
ング周波数を含む共振周波数帯域を有する共振子
をもつ狭帯域のマイクロホンを用いている。
前記特徴的構成よりなる本発明によれば、吸・
排気音やその他の雑音の周波数帯域を外れた狭帯
域の信号音以外の周波数帯域の雑音には応答しな
い信号音の選択性を有するマイクロホンを用いる
だけでよい。従つて、従来のように、高感度のマ
イクロホンや高価な狭帯域増幅器や同期整流増幅
器、さらには、大掛かりで測定上のトラブルを生
じやすい消音機構などを必ずしも要することな
く、単純にキヤツチした信号音を増幅させるだけ
で、雑音に影響されない高感度の濃度測定が可能
になる。
排気音やその他の雑音の周波数帯域を外れた狭帯
域の信号音以外の周波数帯域の雑音には応答しな
い信号音の選択性を有するマイクロホンを用いる
だけでよい。従つて、従来のように、高感度のマ
イクロホンや高価な狭帯域増幅器や同期整流増幅
器、さらには、大掛かりで測定上のトラブルを生
じやすい消音機構などを必ずしも要することな
く、単純にキヤツチした信号音を増幅させるだけ
で、雑音に影響されない高感度の濃度測定が可能
になる。
なお、狭帯域増幅器や同期整流増幅器、さらに
は、設備的に簡単な消音機構などを併用すれば、
強い雑音下であつても低濃度の測定を行うことが
できる。
は、設備的に簡単な消音機構などを併用すれば、
強い雑音下であつても低濃度の測定を行うことが
できる。
以下、本発明の実施例を図面を参照しながら説
明する。
明する。
第1図は、例えばエンジン排ガスを被測定ガス
とし、それに含まれているパーテイキユレートの
濃度を測定するための光音響型濃度測定装置を示
し、この図において、1は測定用光音響セル、2
は比較用光音響セルである。測定用光音響セル1
には、エンジン3からの排ガスの導入管4と、吸
引ポンプ5を備えたガス排出管6とが接続されて
いる。また、比較用光音響セル2には、導入管4
からの分岐した管7と、吸引ポンプ8を備えた排
気管9とが接続されると共に、前記分岐管7に
は、パーテイキユレート除去用のフイルタ10が
設けられており、比較用光音響セル2にパーテイ
キユレートを含まない排ガスが導入されるように
構成されている。
とし、それに含まれているパーテイキユレートの
濃度を測定するための光音響型濃度測定装置を示
し、この図において、1は測定用光音響セル、2
は比較用光音響セルである。測定用光音響セル1
には、エンジン3からの排ガスの導入管4と、吸
引ポンプ5を備えたガス排出管6とが接続されて
いる。また、比較用光音響セル2には、導入管4
からの分岐した管7と、吸引ポンプ8を備えた排
気管9とが接続されると共に、前記分岐管7に
は、パーテイキユレート除去用のフイルタ10が
設けられており、比較用光音響セル2にパーテイ
キユレートを含まない排ガスが導入されるように
構成されている。
11はレーザ装置で、このレーザ装置11によ
つて発せられるレーザ光は、ビームスプリツタ1
2によつて2つの光路13,14に分けられ、そ
れぞれの光路上に測定用光音響セル1、比較用光
音響セル2が位置している。なお、前記2の光路
13,14は、2本のオプテイカルフアイバや2
台のレーザ装置によつても得ることができる。
つて発せられるレーザ光は、ビームスプリツタ1
2によつて2つの光路13,14に分けられ、そ
れぞれの光路上に測定用光音響セル1、比較用光
音響セル2が位置している。なお、前記2の光路
13,14は、2本のオプテイカルフアイバや2
台のレーザ装置によつても得ることができる。
15,16は直流モータM1,M2によつて各別
に回転駆動される回転式のチヨツパで、前記光路
13,14に各別に設けられ、各光路13,14
のレーザ光をそれぞれチヨツピングするものであ
る。このチヨツピングされたレーザ光が光音響セ
ル1,2内の導入ガスに照射されることにより、
既述したように、光音響セル1,2内にレーザ光
のチヨツピング周波数に一致する音波、つまり、
信号音が発生する。そして、この信号音の周波数
がエンジン3の排気音やポンプ5,8の吸入音そ
の他の雑音の周波数帯域から外れるように、前記
レーザ光のチヨツピング周波数を設定する。
に回転駆動される回転式のチヨツパで、前記光路
13,14に各別に設けられ、各光路13,14
のレーザ光をそれぞれチヨツピングするものであ
る。このチヨツピングされたレーザ光が光音響セ
ル1,2内の導入ガスに照射されることにより、
既述したように、光音響セル1,2内にレーザ光
のチヨツピング周波数に一致する音波、つまり、
信号音が発生する。そして、この信号音の周波数
がエンジン3の排気音やポンプ5,8の吸入音そ
の他の雑音の周波数帯域から外れるように、前記
レーザ光のチヨツピング周波数を設定する。
前記チヨツピング周波数の設定は、例えば直流
モータM1,M2に対する直流電圧の張設によつて
簡単に変更設定することができる。この場合、一
方のチヨツパ15のチヨツピング周波数を、光音
響セル1に固有のレゾナンス周波数に設定し、他
方のチヨツパ16においても同様に光音響セル2
に固有のレゾナンス周波数に設定することが好ま
しい。なお、前記各レゾナンス周波数が前述した
各種雑音の周波数帯域を外れるものであることは
云うまでもない。
モータM1,M2に対する直流電圧の張設によつて
簡単に変更設定することができる。この場合、一
方のチヨツパ15のチヨツピング周波数を、光音
響セル1に固有のレゾナンス周波数に設定し、他
方のチヨツパ16においても同様に光音響セル2
に固有のレゾナンス周波数に設定することが好ま
しい。なお、前記各レゾナンス周波数が前述した
各種雑音の周波数帯域を外れるものであることは
云うまでもない。
17,18は光音響セル1,2内で発生した信
号音を検出するマイクロホンで、最も信号音が高
いセル中央部に配置されている。このマイクロホ
ン17,18は、第2図に示すように、音叉型の
共振子19と、共振子19が敏感に共振する箇所
に接続子20を介して取り付けた振動板21とか
らなる。そして、共振子19は、前記レーザ光の
チヨツピング周波数を含む狭帯域の周波数帯域で
共振すると共に、その振動に伴つて圧電気を発生
する、それ自体が圧電素子の一種である水晶製の
もであり、振動板21が信号音によつて振動する
と、その振動が接続子20を通して共振子19に
伝えられ、共振子19がその振動に応じた電気信
号を電極22から端子23に出力するように構成
されている。
号音を検出するマイクロホンで、最も信号音が高
いセル中央部に配置されている。このマイクロホ
ン17,18は、第2図に示すように、音叉型の
共振子19と、共振子19が敏感に共振する箇所
に接続子20を介して取り付けた振動板21とか
らなる。そして、共振子19は、前記レーザ光の
チヨツピング周波数を含む狭帯域の周波数帯域で
共振すると共に、その振動に伴つて圧電気を発生
する、それ自体が圧電素子の一種である水晶製の
もであり、振動板21が信号音によつて振動する
と、その振動が接続子20を通して共振子19に
伝えられ、共振子19がその振動に応じた電気信
号を電極22から端子23に出力するように構成
されている。
なお、第1図において、24はマイクロホン1
7,18から出力される電気信号を増幅する増幅
器、25は一方のマイクロホン17側の電気信号
を他方のマイクロホン18側の電気信号で除算す
る除算器、26は集光レンズ、27はパージアエ
アの供給管、28はブリユスター窓、29はレー
ザパワーメータである。
7,18から出力される電気信号を増幅する増幅
器、25は一方のマイクロホン17側の電気信号
を他方のマイクロホン18側の電気信号で除算す
る除算器、26は集光レンズ、27はパージアエ
アの供給管、28はブリユスター窓、29はレー
ザパワーメータである。
上記構成によれば、マイクロホン17,18が
検出した信号音を電気信号に変換して増幅し、除
算器25によつて電気信号を除算することによ
り、排ガス中の干渉成分の影響を消去する状態
で、その電気信号の強度を基にしてパーテイキユ
レートの濃度を測定することができると共に、レ
ーザパワーが不安定であるときは、レーザパワー
メータ29による検出結果を基にして補正するこ
とができる。
検出した信号音を電気信号に変換して増幅し、除
算器25によつて電気信号を除算することによ
り、排ガス中の干渉成分の影響を消去する状態
で、その電気信号の強度を基にしてパーテイキユ
レートの濃度を測定することができると共に、レ
ーザパワーが不安定であるときは、レーザパワー
メータ29による検出結果を基にして補正するこ
とができる。
そして、光音響セル1,2がたとえ同一形状で
あてつも、セル内の圧力やセル内を流れるガスの
密度や比熱の全てが異なるものであり、これによ
つて、光音響セル1,2に固有のレゾナンス周波
数が不一致になるのであるが、チヨツパ15,1
6のチヨツピング周波数を調節することによつ
て、レーザ光のチヨツピングを光音響セル1,2
のレゾナンス周波数に容易に一致させることがで
き、このことによつても、測定精度を高くするこ
とができる。
あてつも、セル内の圧力やセル内を流れるガスの
密度や比熱の全てが異なるものであり、これによ
つて、光音響セル1,2に固有のレゾナンス周波
数が不一致になるのであるが、チヨツパ15,1
6のチヨツピング周波数を調節することによつ
て、レーザ光のチヨツピングを光音響セル1,2
のレゾナンス周波数に容易に一致させることがで
き、このことによつても、測定精度を高くするこ
とができる。
第3図は、マイクロホン17,18の他の実施
例を示し、この実施例におけるマイクロホン1
7,18は、レーザ光のチヨツピング周波数を含
む狭帯域の共振周波数帯域を有する金属製の音叉
型共振子19と、この共振子19の振動を電気信
号に変換して取り出す圧電素子30とからなるも
のである。この構造において、仮想線で示すよう
に、接続子20を介して振動板21を取り付けて
もよく、このように、レーザ光のチヨツピング周
波数を含む共振周波数帯域を有する共振子19を
もつ狭帯域のマイクロホン17,18の具体構成
は、任意に変更できる。
例を示し、この実施例におけるマイクロホン1
7,18は、レーザ光のチヨツピング周波数を含
む狭帯域の共振周波数帯域を有する金属製の音叉
型共振子19と、この共振子19の振動を電気信
号に変換して取り出す圧電素子30とからなるも
のである。この構造において、仮想線で示すよう
に、接続子20を介して振動板21を取り付けて
もよく、このように、レーザ光のチヨツピング周
波数を含む共振周波数帯域を有する共振子19を
もつ狭帯域のマイクロホン17,18の具体構成
は、任意に変更できる。
第1図は、光音響型濃度測定装置の構成を示す
図、第2図および第3図はそれぞれ、マイクロホ
ンの構造を示す図である。 1,2……光音響セル、13,14……光路、
15,16……チヨツパ、17,18……マイク
ロホン、19……共振子。
図、第2図および第3図はそれぞれ、マイクロホ
ンの構造を示す図である。 1,2……光音響セル、13,14……光路、
15,16……チヨツパ、17,18……マイク
ロホン、19……共振子。
Claims (1)
- 1 光音響効果を利用した濃度測定装置におい
て、レーザ光線の光路を2つ作り、それぞれの光
路に内部圧力変化を検出するマイクロホンを備え
た光音響セルとチヨツパとを各別に設け、一方の
光音響セルにはパーテイキユレートを含むガスを
導入し、他方の光音響セルにはパーテイキユレー
トを含まないガスを導入するように構成すると共
に、前記マイクロホンとして、前記チヨツパによ
るレーザ光のチヨツピング周波数を含む共振周波
数帯域を有する共振子をもつ狭帯域のマイクロホ
ンを用いたことを特徴とする光音響型濃度測定装
置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58002614A JPS59145957A (ja) | 1983-01-08 | 1983-01-08 | 光音響型濃度測定装置 |
| DE3345077A DE3345077C2 (de) | 1983-01-08 | 1983-12-13 | Optoakustisches Gerät zur Konzentrationsmessung von Gasen und/oder Teilchen |
| US06/838,564 US4817413A (en) | 1983-01-08 | 1986-03-11 | Method of using an opto-acoustic apparatus for measuring concentration of gas |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58002614A JPS59145957A (ja) | 1983-01-08 | 1983-01-08 | 光音響型濃度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59145957A JPS59145957A (ja) | 1984-08-21 |
| JPH0441297B2 true JPH0441297B2 (ja) | 1992-07-07 |
Family
ID=11534270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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