JPH044192Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH044192Y2 JPH044192Y2 JP1983020010U JP2001083U JPH044192Y2 JP H044192 Y2 JPH044192 Y2 JP H044192Y2 JP 1983020010 U JP1983020010 U JP 1983020010U JP 2001083 U JP2001083 U JP 2001083U JP H044192 Y2 JPH044192 Y2 JP H044192Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- semiconductor
- component
- bridge circuit
- elastic support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の技術分野〕
本考案は振動物体などに加わる圧力を検出する
場合に用いる圧力変換器に関するものである。
場合に用いる圧力変換器に関するものである。
近時、頻繁に用いられつつある半導体圧力変換
器は、旧来の歪ゲージ式圧力変換器に比べて感度
や周波数特性が優れているという利点がある。し
かし、この半導体圧力変換器を振動物体などに実
装した場合、振動物体の加速度成分も含めて検出
してしまい、圧力成分のみの出力信号を得ること
ができないという欠点を有している。
器は、旧来の歪ゲージ式圧力変換器に比べて感度
や周波数特性が優れているという利点がある。し
かし、この半導体圧力変換器を振動物体などに実
装した場合、振動物体の加速度成分も含めて検出
してしまい、圧力成分のみの出力信号を得ること
ができないという欠点を有している。
本考案はこのような欠点に鑑みなされたもの
で、その目的は圧力成分のみの出力信号を取り出
すことができる圧力変換器を提供することにあ
る。
で、その目的は圧力成分のみの出力信号を取り出
すことができる圧力変換器を提供することにあ
る。
本考案は、半導体圧力変換素子を真空容器の外
部受圧面に取付ける一方、真空容器内部において
所定質量の重りを支持する弾性支持体を設けると
共に、この弾性支持体の歪みを検出する半導体歪
み検出素子を設け、さらにこれら半導体圧力変換
素子および半導体歪み検出素子をそれぞれ構成要
素とする第１および第２のブリツジ回路を設け、
これら２つのブリツジ回路の出力信号を差動増幅
器に入力することにより、この差動増幅器から振
動加速度成分を含まない圧力成分のみの信号を取
出すように構成したものである。
部受圧面に取付ける一方、真空容器内部において
所定質量の重りを支持する弾性支持体を設けると
共に、この弾性支持体の歪みを検出する半導体歪
み検出素子を設け、さらにこれら半導体圧力変換
素子および半導体歪み検出素子をそれぞれ構成要
素とする第１および第２のブリツジ回路を設け、
これら２つのブリツジ回路の出力信号を差動増幅
器に入力することにより、この差動増幅器から振
動加速度成分を含まない圧力成分のみの信号を取
出すように構成したものである。
第１図は本考案による圧力変換器の構造を示す
断面図、第２図はその電気回路を示す図である。
これらの図において、半導体圧力変換素子１は真
空容器２の外部受圧ダイヤフラム２Ａ表面に取付
けられている。一方、真空容器２の内部空間には
所定質量の重り３が弾性支持板４によつて弾性的
に支持されると共に、この弾性支持板４にはこの
支持板４の歪みを検出する半導体歪み検出素子５
が取付けられている。そして、半導体圧力変換素
子１は所定の抵抗値を有する抵抗器RP1〜RP3と
ブリツジ接続され、また半導体歪み検出素子５も
所定の抵抗値を有する抵抗器RA1〜RA3とブリツ
ジ接続されている。これによつて、半導体圧力変
換素子１、抵抗器RP1〜RP3および電源E1とから
成る第１のブリツジ回路６が形成され、また半導
体歪み検出素子５、抵抗器RA1〜RA3および電源
E2とから成る第２のブリツジ回路７が形成され
ている。
断面図、第２図はその電気回路を示す図である。
これらの図において、半導体圧力変換素子１は真
空容器２の外部受圧ダイヤフラム２Ａ表面に取付
けられている。一方、真空容器２の内部空間には
所定質量の重り３が弾性支持板４によつて弾性的
に支持されると共に、この弾性支持板４にはこの
支持板４の歪みを検出する半導体歪み検出素子５
が取付けられている。そして、半導体圧力変換素
子１は所定の抵抗値を有する抵抗器RP1〜RP3と
ブリツジ接続され、また半導体歪み検出素子５も
所定の抵抗値を有する抵抗器RA1〜RA3とブリツ
ジ接続されている。これによつて、半導体圧力変
換素子１、抵抗器RP1〜RP3および電源E1とから
成る第１のブリツジ回路６が形成され、また半導
体歪み検出素子５、抵抗器RA1〜RA3および電源
E2とから成る第２のブリツジ回路７が形成され
ている。
この第１のブリツジ回路６の出力電圧信号V1
はバツフアアンプ８を介して作動増幅器１０の
（＋）入力端に入力され、また第２のブリツジ回
路７の出力電圧信号V2はバツフアアンプ９を介
して差動増幅器１０の（−）入力端に入力されて
いる。
はバツフアアンプ８を介して作動増幅器１０の
（＋）入力端に入力され、また第２のブリツジ回
路７の出力電圧信号V2はバツフアアンプ９を介
して差動増幅器１０の（−）入力端に入力されて
いる。
このような構成の圧力変換器は気体または流体
などの外圧を受ける物体の受圧面に真空容器２の
受圧ダイヤフラム面を表側にして取付けられる。
などの外圧を受ける物体の受圧面に真空容器２の
受圧ダイヤフラム面を表側にして取付けられる。
このような構成において、真空容器２を振動物
体に取付けた場合、半導体圧力変換素子１の抵抗
値が振動物体に対する外圧に応じて変化するた
め、第１のブリツジ回路６からは外圧に応じた電
圧信号V1が出力される。一方、振動物体の振動
に伴つて重り３も振動して弾性支持板４を歪ませ
るため、第２のブリツジ回路６からは振動物体の
振動加速度αに応じた振幅の電圧信号V2が出力
される。
体に取付けた場合、半導体圧力変換素子１の抵抗
値が振動物体に対する外圧に応じて変化するた
め、第１のブリツジ回路６からは外圧に応じた電
圧信号V1が出力される。一方、振動物体の振動
に伴つて重り３も振動して弾性支持板４を歪ませ
るため、第２のブリツジ回路６からは振動物体の
振動加速度αに応じた振幅の電圧信号V2が出力
される。
この場合、電圧信号V1には第３図ａに示すよ
うに振動物体の加速度成分P〓と外圧成分P〓との２
つの成分が含まれる。しかし、この電圧信号V1
は差動増幅器１０の（＋）入力端に供給され、こ
こにおいて振動物体の振動加速度αに対応した電
圧信号V2（第３図ｂ）との差が求められる。この
結果、電圧信号V1に含まれる加速度成分P〓は電
圧信号V2によつて打消され、差動増幅器１０か
らは振動物体に加わる外圧成分のみに対応した電
圧信号Ｖが出力されるようになる。この場合、電
圧信号Ｖは絶対圧に対応したものとなる。
うに振動物体の加速度成分P〓と外圧成分P〓との２
つの成分が含まれる。しかし、この電圧信号V1
は差動増幅器１０の（＋）入力端に供給され、こ
こにおいて振動物体の振動加速度αに対応した電
圧信号V2（第３図ｂ）との差が求められる。この
結果、電圧信号V1に含まれる加速度成分P〓は電
圧信号V2によつて打消され、差動増幅器１０か
らは振動物体に加わる外圧成分のみに対応した電
圧信号Ｖが出力されるようになる。この場合、電
圧信号Ｖは絶対圧に対応したものとなる。
以上の説明から明らかなように本考案は、半導
体圧力変換素子を真空容器の受圧面に取付ける一
方で、真空容器の内部で所定質量の重みを支持す
る弾性支持板を設け、物体の振動に伴う加速度を
この弾性支持板の歪みによつて検出し、この歪み
検出信号によつて半導体圧力変換素子の出力信号
に含まれる加速度成分をキャンセルするように構
成したものである。このため、加速度成分を含ま
ない圧力成分のみの信号を取出すことができる。
従つて、例えばタービンの羽根に作用する流体の
圧力を測定する場合などに極めて都合が良いもの
となる。
体圧力変換素子を真空容器の受圧面に取付ける一
方で、真空容器の内部で所定質量の重みを支持す
る弾性支持板を設け、物体の振動に伴う加速度を
この弾性支持板の歪みによつて検出し、この歪み
検出信号によつて半導体圧力変換素子の出力信号
に含まれる加速度成分をキャンセルするように構
成したものである。このため、加速度成分を含ま
ない圧力成分のみの信号を取出すことができる。
従つて、例えばタービンの羽根に作用する流体の
圧力を測定する場合などに極めて都合が良いもの
となる。
第１図は本考案の実施例を示す断面構成図、第
２図はその電気回路を示す図、第３図はブリツジ
回路の出力電圧と振動加速度との関係を示すグラ
フである。 １……半導体圧力変換素子、２……真空容器、
３……重り、４……弾性支持板、５……半導体歪
み検出素子、６，７……ブリツジ回路、１０……
差動増幅器。
２図はその電気回路を示す図、第３図はブリツジ
回路の出力電圧と振動加速度との関係を示すグラ
フである。 １……半導体圧力変換素子、２……真空容器、
３……重り、４……弾性支持板、５……半導体歪
み検出素子、６，７……ブリツジ回路、１０……
差動増幅器。
Claims (1)
- ある一つの周壁を受圧面とした真空容器と、そ
の受圧面の外面側に取付けられた半導体圧力変換
素子と、真空容器の内部空間に所定質量の重りを
指示する弾性支持体と、この弾性支持体の歪みを
検出する半導体歪み検出素子と、前記半導体圧力
交換素子を構成要素とする第１のブリツジ回路
と、前記半導体歪み検出素子を構成要素とする第
２のブリツジ回路と、これら第１および第２のブ
リツジ回路の出力信号を入力とする差動増幅器と
を備え、この差動増幅器から加速度成分を含まな
い圧力成分のみの信号を取出すように構成された
圧力変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001083U JPS59127147U (ja) | 1983-02-16 | 1983-02-16 | 圧力変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001083U JPS59127147U (ja) | 1983-02-16 | 1983-02-16 | 圧力変換器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59127147U JPS59127147U (ja) | 1984-08-27 |
| JPH044192Y2 true JPH044192Y2 (ja) | 1992-02-07 |
Family
ID=30151146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001083U Granted JPS59127147U (ja) | 1983-02-16 | 1983-02-16 | 圧力変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59127147U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9574964B2 (en) * | 2015-07-07 | 2017-02-21 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Mobile computer atmospheric barometric pressure system |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5524685A (en) * | 1978-08-11 | 1980-02-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Pressure sensor |
-
1983
- 1983-02-16 JP JP2001083U patent/JPS59127147U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59127147U (ja) | 1984-08-27 |
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