JPH0443776Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0443776Y2 JPH0443776Y2 JP1987184538U JP18453887U JPH0443776Y2 JP H0443776 Y2 JPH0443776 Y2 JP H0443776Y2 JP 1987184538 U JP1987184538 U JP 1987184538U JP 18453887 U JP18453887 U JP 18453887U JP H0443776 Y2 JPH0443776 Y2 JP H0443776Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- surface condition
- head
- support part
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
（産業上の利用分野）
この考案は、例えば電解着色処理によつて表面
が電解着色された被処理物の色調や皮膜厚さなど
を測定し、あるいは表面に塗装が施された被処理
物の塗膜厚さなどを測定するのに利用される被処
理物の表面状態測定装置に関するものである。 （従来の技術） 例えば、電解着色処理によつて被処理物の表面
に着色を施す場合においては、所定の色調のもの
が得られるように、電解着色処理時に色合わせを
行うことが必要であり、古くからは肉眼によつて
色合わせを行つていた。 しかしながら、肉眼による色合わせ作業は、作
業者の感覚に頼つて行うものであるため、誤差を
生じやすく、また作業性もあまり良くないもので
あつた。 そこで、肉眼によらずして、例えば、電解着色
処理時における電流密度、電位差などの処理条件
の１つを着色状態のめやすとする手法（特開昭51
−109236号、特開昭53−67642号、特開昭58−
3994号、特開昭59−177395号）や、投光器と受光
器とを被処理物にフツクにより引掛けるようにし
たり電解処理槽の外部に設置したりする手法（特
開昭53−166488号、特開昭57−171693号）などが
開発されていた。 （考案が解決しようとする問題点） しかしながら、電解処理条件の１つを着色状態
のめやすとしようとしても、他の処理条件などに
よつても着色状態が異なつてくることがあり、そ
のため着色状態の測定を安定して精度良く行うこ
とが困難であるという問題点があつた。 また、投光器と受光器とを被処理物にフツクで
引掛けるようにする手法では作業性が著しく悪
く、また投光器と受光器とを表面処理槽の外部に
設置する手法では、投光器からの光が被処理物に
うまく照射されなかつたり、減衰が大きかつたり
するなどの問題点があつた。 （考案の目的） この考案は、上述した従来の問題点に鑑みてな
されたもので、被処理物の色調その他膜厚などの
表面状態の測定を高い精度でしかも再現性よく安
定して行うことが可能である被処理物の表面状態
測定装置を提供することを目的としている。
が電解着色された被処理物の色調や皮膜厚さなど
を測定し、あるいは表面に塗装が施された被処理
物の塗膜厚さなどを測定するのに利用される被処
理物の表面状態測定装置に関するものである。 （従来の技術） 例えば、電解着色処理によつて被処理物の表面
に着色を施す場合においては、所定の色調のもの
が得られるように、電解着色処理時に色合わせを
行うことが必要であり、古くからは肉眼によつて
色合わせを行つていた。 しかしながら、肉眼による色合わせ作業は、作
業者の感覚に頼つて行うものであるため、誤差を
生じやすく、また作業性もあまり良くないもので
あつた。 そこで、肉眼によらずして、例えば、電解着色
処理時における電流密度、電位差などの処理条件
の１つを着色状態のめやすとする手法（特開昭51
−109236号、特開昭53−67642号、特開昭58−
3994号、特開昭59−177395号）や、投光器と受光
器とを被処理物にフツクにより引掛けるようにし
たり電解処理槽の外部に設置したりする手法（特
開昭53−166488号、特開昭57−171693号）などが
開発されていた。 （考案が解決しようとする問題点） しかしながら、電解処理条件の１つを着色状態
のめやすとしようとしても、他の処理条件などに
よつても着色状態が異なつてくることがあり、そ
のため着色状態の測定を安定して精度良く行うこ
とが困難であるという問題点があつた。 また、投光器と受光器とを被処理物にフツクで
引掛けるようにする手法では作業性が著しく悪
く、また投光器と受光器とを表面処理槽の外部に
設置する手法では、投光器からの光が被処理物に
うまく照射されなかつたり、減衰が大きかつたり
するなどの問題点があつた。 （考案の目的） この考案は、上述した従来の問題点に鑑みてな
されたもので、被処理物の色調その他膜厚などの
表面状態の測定を高い精度でしかも再現性よく安
定して行うことが可能である被処理物の表面状態
測定装置を提供することを目的としている。
（問題点を解決するための手段）
この考案に係る被処理物の表面状態測定装置
は、表面処理槽の上部に設置されると共に、表面
処理槽から引上げられた被処理物の片面に当接す
る押圧部を備えた表面状態測定ヘツドを前記被処
理物に対して進退自在に有する表面状態測定機
と、前記測定機と並設されると共に前記被処理物
の反対面に当接する支持部を前記測定ヘツドと同
一方向に進退自在とし且つ前記被処理物を越える
位置でその進退方向を軸として回動自在とした被
処理物支持機とを具備した構成としたことを特徴
としている。 （作用） この考案に係る被処理物の表面状態測定装置
は、表面処理槽の上部に設置してあつて、被処理
物の片面に当接する押圧部を備えた表面状態測定
ヘツドを前記被処理物に対して進退自在に有する
表面状態測定機と、前記被処理物の反対面に当接
する支持部を有する被処理物支持機とを相互に並
設してあり、前記支持機に有する支持部は前記測
定ヘツドと同一方向に進退自在とし且つ前記被処
理物を越える位置でその進退方向を軸として回動
自在としてあり、表面処理槽から引上げられた被
処理物に対して、前記押圧部を備えた表面状態測
定ヘツドを前進させて被処理物の片面に当接させ
ると共に、これと相前後して前記支持部を前記被
処理物を越える位置まで前進させたのちその進退
方向を軸として回動させて適宜後退させるように
すれば、前記被処理物は前記押圧部と支持部とに
より支持された状態となる。 この被処理物が支持された状態で、前記表面状
態測定ヘツドにより当該被処理物の表面状態、例
えば色調や膜厚などの測定が高精度で行われる。 （実施例） 第１図はこの考案に係る被処理物の表面状態測
定装置の一実施例を示し、この表面状態測定装置
１は、表面状態測定機２０と、被処理物支持機３
０とを備えている。 これらのうち、表面状態測定機２０は、測定ヘ
ツド進退用駆動手段である圧力シリンダ２を備え
ており、この圧力シリンダ２は、そのピストンロ
ツド２ａの先端にカツプリング２１およびブラケ
ツト２２を取付けている。そして、このブラケツ
ト２２は、表面状態測定ヘツドであるこの実施例
において色差計ヘツド２３を先端に備えた測定ヘ
ツド支持体２４に連結してあり、この色差計ヘツ
ド２３はこの実施例において被処理物への押圧部
を兼用したものとなつている。この圧力シリンダ
２は、前記色差計ヘツド２３を被表面処理物に当
接させることができるような進退ストロークを有
しているものである。上記色差計ヘツド２３は、
被処理物からの反射光を入力し、これを光フアイ
バーケーブル２５にて伝達して受光部本体２６に
入力し、データプロセツサ２７によつて色調の判
別を行う。 また、被処理物支持機３０は、支持部の進退用
駆動手段と回動用駆動手段とを有しているが、こ
の場合、両手段は別構成のものにのみ限定されな
いものである。そして、この実施例では、支持部
の進退用駆動手段であるモータ３は、歯車のかみ
合い方式によつてこのモータ３とともに基板３１
およびロツド３２を進退させるものであり、ロツ
ド３２は基板３１上において軸受３３により回動
可能に支持されており、ロツド３２の先端部分に
は、支持部３４の一端が固定してあり、この支持
部３４はロツド３２の回動中心に対して偏心した
状態で固定されたものとなつている。このモータ
３は、前記支持部３４を被処理物の位置よりも越
える位置まで前進させることができるような進退
ストロークを基板３１およびロツド３２に与える
ようにしてある。 さらに、このロツド３２は、支部部の回動用駆
動手段であるロータリアクチユエータ４によつて
90°の範囲で往復回動され、これによつて支持部
３４も90°の範囲で回動されるようになつている。
したがつて、支持部３４は、前記色差計ヘツド２
３と同一方向に進退自在であり、且つ被処理物を
越える位置でその進退方向を軸として回動可能で
ある。 次に、この表面状態測定装置１を使用して、被
処理物の表面状態を測定する要領について説明す
る。 ここでは、第２図に示すようなアルミニウム合
金製形材の表面処理ライン（矢印Ｘ方向に進行）
に適用した場合を例にとつて示しており、表面状
態測定装置（この場合は明度測定装置）１は、第
２図に示す表面処理ライン、すなわち、水洗槽１
１、予備槽１２、着色Ａ槽１３、着色Ｂ槽１４、
水洗槽１５、水洗槽１６において、着色Ｂ槽１４
と水洗槽１５との間の検査場１７に設置してあ
る。つまり、表面状態測定装置１は、着色Ｂ槽１
４の上部に設置され、この着色Ｂ槽１４から引上
げられた被処理物に対して測定を行う。 そして、電解着色処理時には、第３図に示すよ
うに、明度測定装置１とほぼ同じレベルにキヤリ
ヤバー５１が位置しており、キヤリヤバー５１に
は多数の被処理物５２が吊り下げてあり、このキ
ヤリヤバー５１の長手方向に対して直交する方向
に色差計ヘツド２３、支持部３４等が進退するよ
うになつている。 まず、第４図ａに示すように、偏心状態で一端
が固定された支持部３４は上向きの状態となつて
おり、キヤリヤバー５１は矢印Ａ方向にさらに上
昇移動する。このキヤリヤバー５１がさらに上昇
移動して所定位置で停止したのち、第４図ｂに示
すように、モータ３が正回転駆動して、このモー
タ３、ロータリアクチユエータ４、基板３１、ロ
ツド３２、軸受３３および支持部３４が一体とな
つて前進し、支持部３４が被処理物５２の位置を
越えるところまで矢印Ｂ方向に前進して停止す
る。 次に、第４図ｃに示すように、ロータリアクチ
ユエータ４が90°だけ正回転し、ロツド３２を介
して支持部３４も矢印Ｃ方向に同時に90°回動す
る。 次いで、モータ３が逆回転駆動し、このモータ
３３、ロータリアクチユエータ４、基板３１、ロ
ツド３２、軸受３３および支持部３４を後退さ
せ、第４図ｄに示すように、支持部３４が被処理
物５２に当接する位置まで矢印Ｄ方向に後退させ
る。 続いて、圧力シリンダ２を駆動してそのピスト
ンロツド２ａを第４図ｅの矢印Ｅ方向に押出作動
させ、色差計ヘツド２３が被処理物５２に当接す
る位置で停止させ、被処理物５２を支持部３４と
色差計ヘツド（押圧部）２３との間ではさんだ状
態にして、当該被処理物５２からの反射光を色差
計ヘツド２３に入力し、光フアイバーケーブル２
５により伝達したのち受光部本体２６で受光し、
データプロセツサ２７によつて色調の判別を行
う。 この後、第４図ｆに示すように、圧力シリンダ
２を引込作動させて色差計ヘツド２３を矢印Ｆ方
向に後退させ、またモータ３を正回転駆動させ
て、第４図ｇに示すように、支持部３４をその前
進限位置まで矢印Ｇ方向に前進させて被処理物５
２から離した状態とし、その後ロータリアクチユ
エータ４を90°だけ逆回転させて、第４図ｈに示
すように、支持部３４を矢印Ｈ方向に同時に90°
回動させる。 引続いて、モータ３を逆回転駆動して、このモ
ータ３、ロータリアクチユエータ４、基板３１、
ロツド３２、支持部３４等を第４図ｉの矢印Ｉ方
向に一体で後退させ、また第４図ｊに示すように
キヤリヤバー５１を矢印Ｊ方向に降下させる。 このような第４図ａ〜第４図ｊに示した要領に
よつて、被処理物５２の色調測定を終了するが、
データプロセツサ２７により出力される色調測定
結果はコンピユータに入力され、コンピユータに
おいては明度Ｌデータによつて式（sec）の演算
を行い、通電時間の設定基準からこの後の通電時
間（Tsec）を算出し、この算出された通電時間
（Tsec）を適宜の表示手段（CRT，LC，EL等）
によつて表示すると同時に整流器操作盤に送給
し、必要通電時間（Tsec）だけ整流器を作動さ
せて電解着色槽１４で上記時間（Tsec）の電解
着色処理を行い、次いでキヤリヤバー５１を再度
上昇させたのち、第４図ａ〜第４図ｊに示した要
領で再度色調測定を行う。 なお、上述した実施例では、表面状態測定機２
０の測定ヘツド２３の部分が被処理物５２に対す
る押圧部を兼ねるようにしているが、測定ヘツド
の部分と押圧部とが別になつていてもよいもので
ある。
は、表面処理槽の上部に設置されると共に、表面
処理槽から引上げられた被処理物の片面に当接す
る押圧部を備えた表面状態測定ヘツドを前記被処
理物に対して進退自在に有する表面状態測定機
と、前記測定機と並設されると共に前記被処理物
の反対面に当接する支持部を前記測定ヘツドと同
一方向に進退自在とし且つ前記被処理物を越える
位置でその進退方向を軸として回動自在とした被
処理物支持機とを具備した構成としたことを特徴
としている。 （作用） この考案に係る被処理物の表面状態測定装置
は、表面処理槽の上部に設置してあつて、被処理
物の片面に当接する押圧部を備えた表面状態測定
ヘツドを前記被処理物に対して進退自在に有する
表面状態測定機と、前記被処理物の反対面に当接
する支持部を有する被処理物支持機とを相互に並
設してあり、前記支持機に有する支持部は前記測
定ヘツドと同一方向に進退自在とし且つ前記被処
理物を越える位置でその進退方向を軸として回動
自在としてあり、表面処理槽から引上げられた被
処理物に対して、前記押圧部を備えた表面状態測
定ヘツドを前進させて被処理物の片面に当接させ
ると共に、これと相前後して前記支持部を前記被
処理物を越える位置まで前進させたのちその進退
方向を軸として回動させて適宜後退させるように
すれば、前記被処理物は前記押圧部と支持部とに
より支持された状態となる。 この被処理物が支持された状態で、前記表面状
態測定ヘツドにより当該被処理物の表面状態、例
えば色調や膜厚などの測定が高精度で行われる。 （実施例） 第１図はこの考案に係る被処理物の表面状態測
定装置の一実施例を示し、この表面状態測定装置
１は、表面状態測定機２０と、被処理物支持機３
０とを備えている。 これらのうち、表面状態測定機２０は、測定ヘ
ツド進退用駆動手段である圧力シリンダ２を備え
ており、この圧力シリンダ２は、そのピストンロ
ツド２ａの先端にカツプリング２１およびブラケ
ツト２２を取付けている。そして、このブラケツ
ト２２は、表面状態測定ヘツドであるこの実施例
において色差計ヘツド２３を先端に備えた測定ヘ
ツド支持体２４に連結してあり、この色差計ヘツ
ド２３はこの実施例において被処理物への押圧部
を兼用したものとなつている。この圧力シリンダ
２は、前記色差計ヘツド２３を被表面処理物に当
接させることができるような進退ストロークを有
しているものである。上記色差計ヘツド２３は、
被処理物からの反射光を入力し、これを光フアイ
バーケーブル２５にて伝達して受光部本体２６に
入力し、データプロセツサ２７によつて色調の判
別を行う。 また、被処理物支持機３０は、支持部の進退用
駆動手段と回動用駆動手段とを有しているが、こ
の場合、両手段は別構成のものにのみ限定されな
いものである。そして、この実施例では、支持部
の進退用駆動手段であるモータ３は、歯車のかみ
合い方式によつてこのモータ３とともに基板３１
およびロツド３２を進退させるものであり、ロツ
ド３２は基板３１上において軸受３３により回動
可能に支持されており、ロツド３２の先端部分に
は、支持部３４の一端が固定してあり、この支持
部３４はロツド３２の回動中心に対して偏心した
状態で固定されたものとなつている。このモータ
３は、前記支持部３４を被処理物の位置よりも越
える位置まで前進させることができるような進退
ストロークを基板３１およびロツド３２に与える
ようにしてある。 さらに、このロツド３２は、支部部の回動用駆
動手段であるロータリアクチユエータ４によつて
90°の範囲で往復回動され、これによつて支持部
３４も90°の範囲で回動されるようになつている。
したがつて、支持部３４は、前記色差計ヘツド２
３と同一方向に進退自在であり、且つ被処理物を
越える位置でその進退方向を軸として回動可能で
ある。 次に、この表面状態測定装置１を使用して、被
処理物の表面状態を測定する要領について説明す
る。 ここでは、第２図に示すようなアルミニウム合
金製形材の表面処理ライン（矢印Ｘ方向に進行）
に適用した場合を例にとつて示しており、表面状
態測定装置（この場合は明度測定装置）１は、第
２図に示す表面処理ライン、すなわち、水洗槽１
１、予備槽１２、着色Ａ槽１３、着色Ｂ槽１４、
水洗槽１５、水洗槽１６において、着色Ｂ槽１４
と水洗槽１５との間の検査場１７に設置してあ
る。つまり、表面状態測定装置１は、着色Ｂ槽１
４の上部に設置され、この着色Ｂ槽１４から引上
げられた被処理物に対して測定を行う。 そして、電解着色処理時には、第３図に示すよ
うに、明度測定装置１とほぼ同じレベルにキヤリ
ヤバー５１が位置しており、キヤリヤバー５１に
は多数の被処理物５２が吊り下げてあり、このキ
ヤリヤバー５１の長手方向に対して直交する方向
に色差計ヘツド２３、支持部３４等が進退するよ
うになつている。 まず、第４図ａに示すように、偏心状態で一端
が固定された支持部３４は上向きの状態となつて
おり、キヤリヤバー５１は矢印Ａ方向にさらに上
昇移動する。このキヤリヤバー５１がさらに上昇
移動して所定位置で停止したのち、第４図ｂに示
すように、モータ３が正回転駆動して、このモー
タ３、ロータリアクチユエータ４、基板３１、ロ
ツド３２、軸受３３および支持部３４が一体とな
つて前進し、支持部３４が被処理物５２の位置を
越えるところまで矢印Ｂ方向に前進して停止す
る。 次に、第４図ｃに示すように、ロータリアクチ
ユエータ４が90°だけ正回転し、ロツド３２を介
して支持部３４も矢印Ｃ方向に同時に90°回動す
る。 次いで、モータ３が逆回転駆動し、このモータ
３３、ロータリアクチユエータ４、基板３１、ロ
ツド３２、軸受３３および支持部３４を後退さ
せ、第４図ｄに示すように、支持部３４が被処理
物５２に当接する位置まで矢印Ｄ方向に後退させ
る。 続いて、圧力シリンダ２を駆動してそのピスト
ンロツド２ａを第４図ｅの矢印Ｅ方向に押出作動
させ、色差計ヘツド２３が被処理物５２に当接す
る位置で停止させ、被処理物５２を支持部３４と
色差計ヘツド（押圧部）２３との間ではさんだ状
態にして、当該被処理物５２からの反射光を色差
計ヘツド２３に入力し、光フアイバーケーブル２
５により伝達したのち受光部本体２６で受光し、
データプロセツサ２７によつて色調の判別を行
う。 この後、第４図ｆに示すように、圧力シリンダ
２を引込作動させて色差計ヘツド２３を矢印Ｆ方
向に後退させ、またモータ３を正回転駆動させ
て、第４図ｇに示すように、支持部３４をその前
進限位置まで矢印Ｇ方向に前進させて被処理物５
２から離した状態とし、その後ロータリアクチユ
エータ４を90°だけ逆回転させて、第４図ｈに示
すように、支持部３４を矢印Ｈ方向に同時に90°
回動させる。 引続いて、モータ３を逆回転駆動して、このモ
ータ３、ロータリアクチユエータ４、基板３１、
ロツド３２、支持部３４等を第４図ｉの矢印Ｉ方
向に一体で後退させ、また第４図ｊに示すように
キヤリヤバー５１を矢印Ｊ方向に降下させる。 このような第４図ａ〜第４図ｊに示した要領に
よつて、被処理物５２の色調測定を終了するが、
データプロセツサ２７により出力される色調測定
結果はコンピユータに入力され、コンピユータに
おいては明度Ｌデータによつて式（sec）の演算
を行い、通電時間の設定基準からこの後の通電時
間（Tsec）を算出し、この算出された通電時間
（Tsec）を適宜の表示手段（CRT，LC，EL等）
によつて表示すると同時に整流器操作盤に送給
し、必要通電時間（Tsec）だけ整流器を作動さ
せて電解着色槽１４で上記時間（Tsec）の電解
着色処理を行い、次いでキヤリヤバー５１を再度
上昇させたのち、第４図ａ〜第４図ｊに示した要
領で再度色調測定を行う。 なお、上述した実施例では、表面状態測定機２
０の測定ヘツド２３の部分が被処理物５２に対す
る押圧部を兼ねるようにしているが、測定ヘツド
の部分と押圧部とが別になつていてもよいもので
ある。
以上説明してきたように、この考案に係る被処
理物の表面状態測定装置は、表面処理工程の流れ
の中において、表面処理槽から引上げられた被処
理物の表面状態を速やかに測定することができ、
測定の作業性を高めることができると共に、表面
状態測定ヘツドによつて被処理物の表面状態を測
定するに際し、当該被処理物を測定ヘツドと支持
部との間で支持するようにしているので、被処理
物の表面状態の測定を安定してかつ確実に行うこ
とが可能であり、また測定ヘツド、押圧部および
支持部はいずれも進退可能となつており、測定時
以外は退避しているため被処理物の搬入降下時お
よび搬出上昇時にぶつかることはなく、円滑に作
業を行うことができるようになつている共に表面
処理ラインにおける生産性の低下を防止すること
が可能であり、被処理物の色調その他膜厚などの
表面状態の測定を高い精度でしかも再現性よく安
定して行うことが可能であつて、表面処理工程の
全自動化に貢献できるなどの非常に優れた効果が
もたらされる。
理物の表面状態測定装置は、表面処理工程の流れ
の中において、表面処理槽から引上げられた被処
理物の表面状態を速やかに測定することができ、
測定の作業性を高めることができると共に、表面
状態測定ヘツドによつて被処理物の表面状態を測
定するに際し、当該被処理物を測定ヘツドと支持
部との間で支持するようにしているので、被処理
物の表面状態の測定を安定してかつ確実に行うこ
とが可能であり、また測定ヘツド、押圧部および
支持部はいずれも進退可能となつており、測定時
以外は退避しているため被処理物の搬入降下時お
よび搬出上昇時にぶつかることはなく、円滑に作
業を行うことができるようになつている共に表面
処理ラインにおける生産性の低下を防止すること
が可能であり、被処理物の色調その他膜厚などの
表面状態の測定を高い精度でしかも再現性よく安
定して行うことが可能であつて、表面処理工程の
全自動化に貢献できるなどの非常に優れた効果が
もたらされる。
第１図はこの考案に係る被処理物の表面状態測
定装置の一実施例を示す平面説明図、第２図は第
１図に示した表面状態測定装置が設置される表面
処理ラインの一例を略示する平面説明図、第３図
は第１図に示した表面状態測定装置と被処理物搬
送用キヤリアバーとの位置関係を示す側面説明
図、第４図ａ〜第４図ｊは第１図に示した表面状
態測定装置によつて被処理物の色調を測定する要
領を順次示す斜面説明図である。 １……被処理物の表面状態測定装置、２……圧
力シリンダ（測定ヘツドの進退用駆動手段）、３
……モータ（支持部の進退用駆動手段）、４……
ロータリアクチユエータ（支持部の回動用駆動手
段、２０……表面状態測定機、２３……色差計ヘ
ツド（表面状態測定ヘツド）、３０……被処理物
支持機、３４……支持部、５２……被処理物。
定装置の一実施例を示す平面説明図、第２図は第
１図に示した表面状態測定装置が設置される表面
処理ラインの一例を略示する平面説明図、第３図
は第１図に示した表面状態測定装置と被処理物搬
送用キヤリアバーとの位置関係を示す側面説明
図、第４図ａ〜第４図ｊは第１図に示した表面状
態測定装置によつて被処理物の色調を測定する要
領を順次示す斜面説明図である。 １……被処理物の表面状態測定装置、２……圧
力シリンダ（測定ヘツドの進退用駆動手段）、３
……モータ（支持部の進退用駆動手段）、４……
ロータリアクチユエータ（支持部の回動用駆動手
段、２０……表面状態測定機、２３……色差計ヘ
ツド（表面状態測定ヘツド）、３０……被処理物
支持機、３４……支持部、５２……被処理物。
Claims (1)
- 表面処理槽の上部に設置されると共に、表面処
理槽から引上げられた被処理物の片面に当接する
押圧部を備えた表面状態測定ヘツドを前記被処理
物に対して進退自在に有する表面状態測定機と、
前記測定機と並設されると共に前記被処理物の反
対面に当接する支持部を前記測定ヘツドと同一方
向に進退自在とし且つ前記被処理物を越える位置
でその進退方向を軸として回動自在とした被処理
物支持機とを具備したことを特徴とする被処理物
の表面状態測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987184538U JPH0443776Y2 (ja) | 1987-12-03 | 1987-12-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987184538U JPH0443776Y2 (ja) | 1987-12-03 | 1987-12-03 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0189308U JPH0189308U (ja) | 1989-06-13 |
| JPH0443776Y2 true JPH0443776Y2 (ja) | 1992-10-15 |
Family
ID=31475893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987184538U Expired JPH0443776Y2 (ja) | 1987-12-03 | 1987-12-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0443776Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5325255B2 (ja) * | 1972-05-31 | 1978-07-26 |
-
1987
- 1987-12-03 JP JP1987184538U patent/JPH0443776Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0189308U (ja) | 1989-06-13 |
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