JPH0443875A - マグネット式真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はマグネット方式のドライ真空ポンプに関するも
のである。

〔発明の背景〕

従来は第３図に示すようにモータ１が回転するとクラン
クシャフト２の偏心量だけ連接棒３が上下に移動する。

連接棒が下降すると吸気口４がら空気５が吸込まれ、連
続棒が上昇すると空気が圧縮されて排気弁６を押し上げ
て排気する。排気行程において空気を全部排気できない
ため、空気残りが生じ到達圧力の低下がある。排気量を
大きくするためには、ダイヤフラムの面積を大きくしな
ければならない。しかしダイヤプラムの強度および移動
可能量に限界があるので排気量を大きくできない。そこ
で排気量を大きくしたい場合には、並列運転にするので
真空ポンプが大きくなる欠点があった。ポンプおよびモ
ータ軸受部にグリース等の潤滑油を使用していたため、
低温時に起動しにくかった。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくし２　
ドライの高真空でコンパクトな真空ポンプにすることで
ある。

〔発明の概要〕

本発明は、ダイヤフラムにマグネットを内蔵し外部磁界
の極性変化によってダイヤフラムを上下に移動させてポ
ンピング作用をする。また多段構造にしてドライの高真
空の得られるに工夫したものである。

〔発明の実施例〕

本発明は第１図、第２図に示すようにマグネット１を内
蔵したダイヤフラム２を角形状コイル３を装着した第１
段コア４でダイヤフラム外周上下面を挾んでポンプ室を
形成する。

空気５は吸気弁６を通して第１段ポンプ室７に吸込まれ
る。次に第１段コアに装着したコイルの極性を変えるこ
とにより、ダイヤフラムを下側に移動させて第１段ポン
プ室に吸入されていた空気を第２段ポンプ室８に送り込
む。この時第１段ポンプ室から第２段ポンプ室の空気移
動はダイヤプラム中心穴９で行なう。ダイヤフラムが下
側に移動した時は、内蔵マグネットとダイヤスラム上部
が離れるので中心穴が開く。ダイヤプラムが上側に移動
した時は内蔵マグネットとダイヤフラム上部が接触して
シールするので中心穴は閉じる。

第２段ポンプ室から第３段ポンプ室１０の空気の移動も
同様に行なう。そして空気は最終段の排気口１１から大
気へ排気される。

各ポンプ室は積み重ねてボルト１２で締め付けられてい
る。

〔発明の効果〕

本発明によれば、ポンプ室の内壁が曲面にしであるため
、ダイヤフラムが曲面にならって排気できるので空気の
排気残しがなくなり、かつ多段構造にできるので到達圧
力が良くなる。

ポンプおよび駆動源にグリース等の潤滑油を使用してい
ないことと、摺動面がないので摩耗粉の発生がないので
クリーンな真空が得られる。またグリース等の潤滑油を
使用していないので低温起動が容易である。

ポンプは容易に組立１分解ができるので保守が容易であ
る。またポンプ室を積み重ねることにより多段にできる
のでコンパクトにできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の縦断面図、第２図は本発明の上面図、
第３図は従来技術の縦断面図である。 １はマグネット、２はダイヤフラム、３は角形状コイル
、４は第１段コア、６は吸気弁である。 特許出願人の名称　日立工機株式会社 Ｊ且】−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. マグネット内蔵ダイヤフラムの円周上下面を角形リング
   状コイル付コアで挾んでポンプ室を形成し、前記コイル
   の極性を変えることにより、ダイヤフラムを上下に移動
   させてポンピング作用し、かつ前記構成部品を多段にし
   て、ドライ高真空を得られるようにしたマグネット式真
   空ポンプ。