JPH0443909A - Dynamic displacement quantity measuring instrument - Google Patents

Dynamic displacement quantity measuring instrument

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Publication number
JPH0443909A
JPH0443909A JP2149971A JP14997190A JPH0443909A JP H0443909 A JPH0443909 A JP H0443909A JP 2149971 A JP2149971 A JP 2149971A JP 14997190 A JP14997190 A JP 14997190A JP H0443909 A JPH0443909 A JP H0443909A
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JP
Japan
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displacement sensor
displacement
span measurement
measurement
signal
Prior art date
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Pending
Application number
JP2149971A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Uno
宇野 博
Nobumasa Ichikawa
市川 順正
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Saginomiya Seisakusho Inc
Original Assignee
Saginomiya Seisakusho Inc
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH0443909A publication Critical patent/JPH0443909A/en
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  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えば車両基本特性試験機に適用され、被測
定体の動的変位量を計測する動的変位量計測装置に関す
るものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a dynamic displacement measurement device that is applied to, for example, a vehicle basic characteristic tester and measures the dynamic displacement of an object to be measured.

〔従来の技術及び発明が解決しようとする課題〕車両基
本特性試験機は、主として車軸め足まわりの静的剛性、
特性を計測するためのもので、各車軸(タイヤ)から加
力することを主としており、x、y、z、θ軸の力、変
位の計測、コントロールが可能な機能を有する。従来、
車両基本特性試験機においては、静的試験のみが行われ
ていたが、最近動的領域まで拡張した試験を行う要求が
高まってきている。今まで動的領域の試験が行われなか
ったのは、被測定体の動きを、静的から動的まで正確に
計測する実用的な変位センサがなかったためである。
[Problems to be solved by the prior art and the invention] Vehicle basic characteristic testing machines mainly measure the static rigidity around the axle and suspension,
It is used to measure characteristics and mainly applies force from each axle (tire), and has functions that allow measurement and control of force and displacement in the x, y, z, and θ axes. Conventionally,
Previously, only static tests were performed using basic vehicle characteristic testing machines, but recently there has been an increasing demand for tests that extend to dynamic ranges. The reason why tests in the dynamic range have not been conducted until now is that there is no practical displacement sensor that can accurately measure the movement of an object from static to dynamic.

一般に、高サイクル域まで計測することのできる非接触
式センサは、計測有効スパンが小さい。
Generally, non-contact sensors that can measure up to a high cycle range have a small effective measurement span.

また大振巾を計測することのできる非接触式センサは特
殊なものであり、高価で実用的でなかった。
Furthermore, non-contact sensors that can measure large swing widths are special, expensive, and impractical.

よって本発明は、上述した従来の問題点に鑑み、非接触
式であって長スパンの変位量を計測することのできる動
的変位量計測装置を提供することを課題としている。
Therefore, in view of the above-mentioned conventional problems, it is an object of the present invention to provide a dynamic displacement measurement device that is non-contact and capable of measuring displacement over a long span.

[課題を解決するための手段] 上記課題を解決するため本発明により成された動的変位
量計測装置は、アクチュエータと、該アクチュエータの
可動部に被測定体と対向して配置され、被測定体との間
の距離を計測して距離に応した信号を発生する非接触式
の短スパン測定用変位センサと、該短スパン測定用変位
センサに連動され、該短スパン測定用変位センサの変位
量を計測する長スパン測定用変位センサと、前記短スパ
ン測定用変位センサが発生する所定レベルの信号に対応
して予め設定された目標信号と前記短スパン測定用変位
センサが発生する信号との偏差を求めて前記アクチュエ
ータをサーボ制御するサーボ制御手段と、前記短スパン
測定用変位センサが発生する信号と前記長スパン測定用
変位センサが発生する信号とを加算する加算手段とを備
え、前記加算手段の出力信号によって前記被測定体の動
的変位量を測定することを特徴としている。
[Means for Solving the Problems] In order to solve the above-mentioned problems, a dynamic displacement measuring device according to the present invention includes an actuator, a movable part of the actuator, which is disposed facing the object to be measured; A non-contact displacement sensor for short span measurement that measures the distance to the body and generates a signal corresponding to the distance; A displacement sensor for long span measurement that measures the amount, a target signal that is preset in response to a signal of a predetermined level generated by the displacement sensor for short span measurement, and a signal generated by the displacement sensor for short span measurement. servo control means for determining a deviation and servo-controlling the actuator; and addition means for adding a signal generated by the short-span measurement displacement sensor and a signal generated by the long-span measurement displacement sensor; The method is characterized in that the amount of dynamic displacement of the object to be measured is measured based on the output signal of the means.

〔作 用] 一般に、測定対象である例えば車両の車輻が路面から受
ける振動は、速度又は加速度の周波数スペクトル分布は
略−様であり、被測定体は短時間で大振巾変位域で移動
することがない。すなわち、高い周波数になると変位(
振巾)は小さくなる。
[Function] In general, the frequency spectrum distribution of velocity or acceleration of vibrations that the object to be measured, such as a vehicle, receives from the road surface is approximately -, and the object to be measured moves in a large amplitude displacement range in a short period of time. There's nothing to do. In other words, when the frequency becomes high, the displacement (
(width) becomes smaller.

また、アクチュエータのサーボ制御手段の周波数応答特
性は一般に、第6図に示すように、車両のバネ上定数で
決まる約2旧以下の範囲で十分に大きな応答性を有する
Further, the frequency response characteristic of the servo control means of the actuator generally has a sufficiently large response in a range of about 2 or less determined by the sprung mass constant of the vehicle, as shown in FIG.

従って、サーボ制御手段が追従することのできる周波数
範囲の大きな変位は、長スパン測定用変位センサによっ
て、サーボ制御手段が追従することのできない周波数範
囲の小さな変位は、短スパン測定用変位センサによって
それぞれ検出されるので、上記構成によって得られる、
短スパン測定用変位センサが発生する信号と長スパン測
定用変位センサが発生する信号との加算信号によって、
静的から動的までの変位量を測定することができる。
Therefore, large displacements in a frequency range that can be tracked by the servo control means are handled by a displacement sensor for long span measurements, and small displacements in a frequency range that cannot be tracked by the servo control means are handled by a displacement sensor for short span measurements. Since it is detected, obtained by the above configuration,
By the addition signal of the signal generated by the displacement sensor for short span measurement and the signal generated by the displacement sensor for long span measurement,
It is possible to measure displacement from static to dynamic.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings.

第1図は本発明による動的変位量計測装置の一実施例を
示す図であり、同図において、Xは被測定体であり、こ
の被測定体Xは図示しない車両基本特性試験機に載置さ
れた車両の一部分であり、車両基本特性試験機によって
車両に加えられる振動によって変位する。lは被測定体
Xと対向して配置され、被測定体Xとの間の距離を計測
して被測定体Xに対して所定距離10より接近或いは離
間することに応して所定レベル、すなわち零レベルを中
心に相反する一方向又は十方向に変化する信号を発生す
る非接触式の短スパン測定用変位センサであり、所定の
範囲の被測定体xLy)変位に対し、高い精度で被測定
体Xとの間の距離に相当する電気信号を出力し、しかも
十分己こ高い周波数応答性を有するものである。この非
接触式の短スパン測定用変位センサ1としては、第2図
に示すようなレーザ式変位センサが好ましく適用可能で
ある。
FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the dynamic displacement amount measuring device according to the present invention. In the figure, X is an object to be measured, and this object to be measured It is a part of the vehicle that is placed on the vehicle, and is displaced by the vibrations applied to the vehicle by the vehicle basic characteristics tester. l is placed facing the object to be measured X, and measures the distance between the object and the object to be measured. This is a non-contact type displacement sensor for short span measurement that generates signals that change in one direction or ten opposite directions around the zero level, and can be measured with high accuracy for the displacement of the object to be measured (xLy) within a predetermined range. It outputs an electrical signal corresponding to the distance between it and the body X, and has a sufficiently high frequency response. As this non-contact displacement sensor 1 for short span measurement, a laser displacement sensor as shown in FIG. 2 is preferably applicable.

上記レーザ式変位センサにおいては、図示のように、半
導体レーザC1から出たレーザ光が非球面透光レンズC
2を通り反射板C3に照射する。
In the above laser displacement sensor, as shown in the figure, the laser beam emitted from the semiconductor laser C1 is transmitted through the aspherical transparent lens C1.
2 and irradiates the reflector C3.

照射されたレーザ光は被測定体Xに固着された反射板C
3により拡散反射され、この拡散反射光の一部が受光レ
ンズC4を通過して光位置検出素子(PSD)C5上に
スポットを結び、スポットは検出距離に応してPSDC
5上を移動するので、この移動量で反射板C3までの距
離と判断している。PSDC5はシリコンフォトダイオ
ードを応用した光スポットの位置検出用センサで、非分
割型であるので連続的な電気信号が得られる。
The irradiated laser beam passes through a reflector C fixed to the object to be measured
A part of this diffusely reflected light passes through the light receiving lens C4 and forms a spot on the optical position detection element (PSD) C5.
5, this amount of movement is determined to be the distance to the reflector C3. PSDC5 is a sensor for detecting the position of a light spot using a silicon photodiode, and since it is a non-divided type, a continuous electric signal can be obtained.

その原理は、第3図に示すように、PSDC5に光スポ
ットが入射すると、入射位置には光エネルギーに比例し
た電荷が発生する。発生した電荷は光電流として抵抗層
(P層)を通り、電極より出力される。抵抗層は電極ま
での距gI(抵抗値)に逆比例して分割され、取り出さ
れる。ここで、電極間の距離を2L、光電流をI(1、
電極から取り出される電流を11.I2とすれば、光電
流■。
The principle is as shown in FIG. 3, when a light spot is incident on the PSDC 5, a charge proportional to the light energy is generated at the incident position. The generated charge passes through the resistance layer (P layer) as a photocurrent and is output from the electrode. The resistance layer is divided and taken out in inverse proportion to the distance gI (resistance value) to the electrode. Here, the distance between the electrodes is 2L, and the photocurrent is I(1,
The current taken out from the electrode is 11. If I2, the photocurrent ■.

−I I+Tzとなり、PSDC5の中心を原点とした
場合には、 I+ =Io  (L  XA)/2’LT2=1゜(
L+xa ) /2 L (12−I+ )/ (1,−I2 )=xA/LII
 /Ig = (L−XA )/ (LfXA )なる
式が成り立つ。
-I I+Tz, and if the center of PSDC5 is the origin, I+ = Io (L XA) / 2'LT2 = 1° (
L+xa)/2 L(12-I+)/(1,-I2)=xA/LII
The formula /Ig = (L-XA)/(LfXA) holds true.

上述したレーザ式変位センサは、第4図に示すように、
反射板C3との間の距離が所定4M i oにあるとき
の出力が零であり、距離の増大によって正方向に、距離
の減少によって負方向に所定範囲−ffi、〜+12内
において直線的に変化する電圧をそれぞれ出力するよう
に動作し、この所定範囲外では有効な信号が得られない
The above-mentioned laser displacement sensor, as shown in FIG.
The output is zero when the distance to the reflector C3 is a predetermined 4Mio, and linearly within a predetermined range -ffi to +12 in the positive direction as the distance increases and in the negative direction as the distance decreases. They each operate to output varying voltages, and no valid signal can be obtained outside this predetermined range.

上記短スパン測定用変位センサ1はアクチュエータ2の
可動部2aによって支持され、このアクチュエータ2の
駆動によって、被測定体Xとの間の距離が調整されるよ
うになっている。アクチュエータ2は、上記可動部2a
とこの可動部2aを駆動するサーボモータ2bとからな
り、サーボモータ2bの出力軸に固着されたビニオン歯
車2cが可動部2aに形成されたラック2dに噛合され
て構成されており、サーボモータ2bの回転によって可
動部2aとこれに支持された短スパン測定用変位センサ
1とが移動されるようになっている。
The displacement sensor 1 for short span measurement is supported by a movable part 2a of an actuator 2, and the distance between it and the object to be measured X is adjusted by driving the actuator 2. The actuator 2 has the movable part 2a
and a servo motor 2b that drives the movable part 2a, and a pinion gear 2c fixed to the output shaft of the servo motor 2b is meshed with a rack 2d formed on the movable part 2a, and the servo motor 2b The rotation of the movable part 2a and the short span measurement displacement sensor 1 supported by the movable part 2a are moved.

短スパン測定用変位センサ1は被測定体Xとの距離に応
じた電気信号を発生し、この電気信号をセンサアンプ3
を介して加算点4の一人力と加算点5の十人力とに供給
する。加算点4の十人力は、これに、被測定体Xとの距
離が所定値i0のときに上記短スパン測定用変位センサ
1が発生する電気信号のレベルに相当する零電圧を印加
するためアースに接続されている。加算点4の出力に得
られるセンサアンプ3の出力の電気信号とアース電位と
の差である偏差信号はサーボアンプ6を介してサーボモ
ータ2bに供給され、これによってサーボモータ2bは
センサアンプ3の出力の電気信号が零電位となるように
回転される。すなわち、短スパン測定用変位センサ1が
発生する電気信号のレベルが零となる方向にビニオン歯
車2Cを介してラック2dを駆動し、アクチュエータ2
の可動部2a及びこれに支持された短スパン測定用変位
センサlを移動する。
The displacement sensor 1 for short span measurement generates an electrical signal according to the distance to the object to be measured X, and this electrical signal is sent to the sensor amplifier 3.
It is supplied to the one-man power of addition point 4 and the ten-man power of addition point 5 through. Addition point 4, 10-man power, applies a zero voltage corresponding to the level of the electrical signal generated by the short span measurement displacement sensor 1 when the distance to the object to be measured X is a predetermined value i0. It is connected to the. A deviation signal, which is the difference between the electrical signal of the output of the sensor amplifier 3 obtained at the output of the summing point 4 and the ground potential, is supplied to the servo motor 2b via the servo amplifier 6. It is rotated so that the output electrical signal is at zero potential. That is, the rack 2d is driven via the pinion gear 2C in the direction in which the level of the electric signal generated by the short span measurement displacement sensor 1 becomes zero, and the actuator 2
The movable part 2a and the displacement sensor l for short span measurement supported by the movable part 2a are moved.

以上によって、上記加算点4及びサーボアンプ6は、短
スパン測定用変位センサlが発生する所定レベルの信号
に対応して予め設定された目標信号(アース電位)と短
スパン測定用変位センサ1が発生する信号との偏差を求
めてアクチュエータ2をサーボ制御するサーボ制御手段
として働いている。
As described above, the summing point 4 and the servo amplifier 6 are configured so that the target signal (earth potential) set in advance corresponds to the signal of a predetermined level generated by the displacement sensor 1 for short span measurement and the displacement sensor 1 for short span measurement. It functions as a servo control means that servo-controls the actuator 2 by determining the deviation from the generated signal.

上記短スパン測定用変位センサ1を支持している可動部
2aには、この可動部2aの変位量を計測する長スパン
測定用変位センサ7が連結されている。長スパン測定用
変位センサ7は接触式のセンサによって構成され、可動
部2aの変位量に相当する大きさの電気信号を発生し、
これをセンサアンプ8を介して上記加算点5の十人力に
印加する。これによって加算点5の出力には、長スパン
測定用変位センサ7が発生する信号と上記短スパン測定
用変位センサ1が発生する信号とを加算した被測定体X
の変位量に相当する電気信号を出力する。
A long span measurement displacement sensor 7 for measuring the amount of displacement of the movable part 2a is connected to the movable part 2a that supports the short span measurement displacement sensor 1. The long span measurement displacement sensor 7 is composed of a contact type sensor, and generates an electric signal of a magnitude corresponding to the amount of displacement of the movable part 2a,
This is applied via the sensor amplifier 8 to the ten-man power of the addition point 5. As a result, the output of the summing point 5 is the object to be measured
Outputs an electrical signal corresponding to the amount of displacement.

以上説明した構成において、装置の動作を以下説明する
と、全被測定体Xが任意の位置に静止しているときには
、短スパン測定用変位センサlはその出力が零となるよ
うにアクチュエータ2によって移動されて被測定体Xと
短スパン測定用変位センサ1との距離が所定値10とな
るようにされているが、このとき長スパン測定用変位セ
ンサ7が出力する電気信号は零になるように設定してお
く。
In the configuration described above, the operation of the device will be explained below. When all the objects to be measured X are stationary at arbitrary positions, the short span measurement displacement sensor l is moved by the actuator 2 so that its output becomes zero. The distance between the object to be measured Set it.

このような状態において、被測定体Xが図示しない出力
基本特性試験機によって第5図(a)に示すように変位
されると、短スパン測定用変位センサlの出力信号に基
づいてアクチュエータ2がサーボ制御され、アクチュエ
ータ2の変位を測定している長スパン測定用変位センサ
7の出力には、第5図ら)に示すような電気信号が発生
される。しかし、サーボ制御系の周波数応答性によりア
クチュエータ2による短スパン測定用変位センサlの移
動は被測定体Xの変位に追従せず、長スパン測定用変位
センサ7の出力の電気信号は被測定体Xの変位に追従し
たものとならず、この追従できなかった変位に相当する
第5図(C)に示すような電気信号が短スパン測定用変
位センサ1の出力に発生される。従って、短スパン測定
用変位センサlの出力の電気信号と長スパン測定用変位
センサ7の出力の電気信号とを加算した第5図(d)に
示す電気信号を得ることによって、被測定体Xの変位量
を正確に測定することができる。
In such a state, when the measured object X is displaced as shown in FIG. The long span measurement displacement sensor 7, which is servo-controlled and measures the displacement of the actuator 2, generates an electrical signal as shown in FIGS. However, due to the frequency response of the servo control system, the movement of the short-span measurement displacement sensor l by the actuator 2 does not follow the displacement of the measured object X, and the electrical signal output from the long-span measurement displacement sensor 7 It does not follow the displacement of X, and an electrical signal as shown in FIG. 5(C) corresponding to the displacement that cannot be followed is generated at the output of the short span measurement displacement sensor 1. Therefore, by obtaining the electrical signal shown in FIG. 5(d), which is the sum of the electrical signal of the output of the displacement sensor 1 for short span measurement and the electrical signal of the output of the displacement sensor 7 for long span measurement, the The amount of displacement can be accurately measured.

上述のように、長スパン計測のための計測用長スパンの
アクチュエータ2を設け、この長スパン計測用のアクチ
ュエータ2の可動部2aの先端に非接触式の短スパン測
定用変位センサlを取付けている。非接触式の短スパン
測定用変位センサIと被測定体Xとの間の距離は、この
短スパン測定用変位センサ1の出力をモニタすることで
測定可能である。また、長スパンのアクチュエータ2に
取付けられた長スパン測定用変位センサ7は接触式のも
のであり、アクチュエータ2の可動部2aすなわち短ス
パン測定用変位センサ1の動きをこの出力で正確に計測
することができる。従って、アクチュエータ2の可動部
2a上の短スパン測定用変位センサ1と被計測体Xとの
間の距離すなわち真の計測値は、長スパン測定用変位セ
ンサ7と短スパン測定用変位センサ1の出力の和から求
めることができる。
As described above, a long span actuator 2 for long span measurement is provided, and a non-contact displacement sensor l for short span measurement is attached to the tip of the movable part 2a of the actuator 2 for long span measurement. There is. The distance between the non-contact type displacement sensor I for short span measurement and the object to be measured X can be measured by monitoring the output of the displacement sensor 1 for short span measurement. Further, the long span measurement displacement sensor 7 attached to the long span actuator 2 is of a contact type, and the movement of the movable part 2a of the actuator 2, that is, the short span measurement displacement sensor 1, is accurately measured by this output. be able to. Therefore, the distance between the short span measurement displacement sensor 1 on the movable part 2a of the actuator 2 and the measured object X, that is, the true measurement value, is the distance between the long span measurement displacement sensor 7 and the short span measurement displacement sensor 1. It can be determined from the sum of the outputs.

ところで、短スパン測定用変位センサlは、その出力信
号が常に零になるように、これを支持しているアクチュ
エータ2により零追尾制御される。
By the way, the short span measurement displacement sensor l is controlled to zero tracking by the actuator 2 supporting it so that its output signal is always zero.

すなわち、アクチュエータ2はその可動部2aに支持し
た短スパン測定用変位センサ1と被測定体Xとの距離が
ioとなるようにサーボ制御されるが、第6図の特性図
から明らかなようにサーボ制御の応答時間が有限である
ので、被測定体Xの移動速度により速度偏差が生しるよ
うになる。この速度偏差によって生しる変位偏差が短ス
パン測定用変位センサlの有効測定範囲一2.〜+12
内に入っているときには正確な距離測定ができるので、
被測定体Xが周波数の高い成分を含んで大きな振巾で変
位されても、その真の計測値は、長スパン測定用変位セ
ンサ7と短スパン測定用変位センサ1の出力の和から求
めることができる。
That is, the actuator 2 is servo-controlled so that the distance between the short-span measurement displacement sensor 1 supported on the movable part 2a and the measured object X is io, but as is clear from the characteristic diagram in FIG. Since the response time of the servo control is finite, a speed deviation will occur depending on the moving speed of the object X to be measured. The displacement deviation caused by this speed deviation is within the effective measurement range of the short span measurement displacement sensor l. ~+12
Accurate distance measurement is possible when inside the
Even if the measured object X includes a high-frequency component and is displaced with a large amplitude, the true measurement value can be obtained from the sum of the outputs of the long-span measurement displacement sensor 7 and the short-span measurement displacement sensor 1. I can do it.

〔効 果〕〔effect〕

以上説明したように本発明によれば、非接触式の短スパ
ン測定用変位センサと長スパン測定用変位センサとを組
み合わせて使用しているので、短スパン測定用変位セン
サが発生する信号と長スパン測定用変位センサが発生す
る信号との加算手段によって、非接触式のセンサであっ
ても静的から動的までの長スパンの変位量を計測するこ
とのできる。
As explained above, according to the present invention, since the non-contact type displacement sensor for short span measurement and the displacement sensor for long span measurement are used in combination, the signal generated by the short span measurement displacement sensor and the long span measurement displacement sensor are used in combination. By adding the signal to the signal generated by the span measurement displacement sensor, even a non-contact type sensor can measure the amount of displacement over a long span from static to dynamic.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1eは本発明−二よる動的変位量計測装置の一実施例
を示す図、 第2図は第1図中の短スパン測定用変位センサの詳細を
示す図、 第3図は第2図のセンサの原理を説明するための図、 第4図は第2図のセンサの出力特性を示すグラ乙 第5図は第1図の装置の動作時の各部の状態を示す波形
図、 第6図はサーボ系の周波数特性を示すグラフである。 1・・・短スパン測定用変位センサ、2・・・アクチュ
エータ、2a・・・可動部、3・・・センサアンプ、4
・・・加算点、5・・・加算点、6・・・サーボアンプ
、7・・・長スパン測定用変位センサ、X・・・被測定
体。 第 図 第3図 第4図 第20
1e is a diagram showing an embodiment of the dynamic displacement amount measuring device according to the present invention-2, FIG. 2 is a diagram showing details of the displacement sensor for short span measurement in FIG. 1, and FIG. Figure 4 is a graph showing the output characteristics of the sensor in Figure 2. Figure 5 is a waveform diagram showing the state of each part during operation of the device in Figure 1. The figure is a graph showing the frequency characteristics of the servo system. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Displacement sensor for short span measurement, 2... Actuator, 2a... Movable part, 3... Sensor amplifier, 4
... addition point, 5 ... addition point, 6 ... servo amplifier, 7 ... displacement sensor for long span measurement, X ... object to be measured. Figure 3 Figure 4 Figure 20

Claims (1)

【特許請求の範囲】 アクチュエータと、 該アクチュエータの可動部に被測定体と対向して配置さ
れ、被測定体との間の距離を計測して距離に応じた信号
を発生する非接触式の短スパン測定用変位センサと、 該短スパン測定用変位センサに連動され、該短スパン測
定用変位センサの変位量を計測する長スパン測定用変位
センサと、 前記短スパン測定用変位センサが発生する所定レベルの
信号に対応して予め設定された目標信号と前記短スパン
測定用変位センサが発生する信号との偏差を求めて前記
アクチュエータをサーボ制御するサーボ制御手段と、 前記短スパン測定用変位センサが発生する信号と前記長
スパン測定用変位センサが発生する信号とを加算する加
算手段とを備え、 前記加算手段の出力信号によって前記被測定体の動的変
位量を測定する、 ことを特徴とする動的変位量計測装置。
[Claims] An actuator, and a non-contact type short circuit that is disposed on a movable part of the actuator to face an object to be measured, and that measures the distance between the object and the object and generates a signal according to the distance. a displacement sensor for measuring a span; a displacement sensor for long span measurement that is linked to the displacement sensor for short span measurement and measures the amount of displacement of the displacement sensor for short span measurement; and a predetermined displacement sensor generated by the displacement sensor for short span measurement. servo control means for servo-controlling the actuator by determining a deviation between a target signal preset in response to a level signal and a signal generated by the short-span measurement displacement sensor; It is characterized by comprising an adding means for adding the generated signal and the signal generated by the long span measurement displacement sensor, and measuring the amount of dynamic displacement of the object to be measured based on the output signal of the adding means. Dynamic displacement measuring device.
JP2149971A 1990-06-11 1990-06-11 Dynamic displacement quantity measuring instrument Pending JPH0443909A (en)

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4960943A (en) * 1972-10-13 1974-06-13
JPS5068545A (en) * 1973-10-23 1975-06-07

Patent Citations (2)

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