JPH0443928A - 被測定物の放射率と温度の測定方法 - Google Patents
被測定物の放射率と温度の測定方法Info
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- JPH0443928A JPH0443928A JP15115790A JP15115790A JPH0443928A JP H0443928 A JPH0443928 A JP H0443928A JP 15115790 A JP15115790 A JP 15115790A JP 15115790 A JP15115790 A JP 15115790A JP H0443928 A JPH0443928 A JP H0443928A
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- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、被測定物の放射率とその温度を測定する方
法に関するものである。
法に関するものである。
周知のように、被測定物の温度をその表面からの熱放射
を利用して測定する放射測温方法においては、被測定物
か黒体でない場合、その物体の未知の放射率をいかにし
て処理し、放射率による温度測定誤差を小さくするかと
いうことか課題となっている。そのため、放射率による
温度測定誤差を軽減するように考案された放射温度計と
して、その放射検出ヘッドの構成説明図の第8図に示す
ようなものか知られている。
を利用して測定する放射測温方法においては、被測定物
か黒体でない場合、その物体の未知の放射率をいかにし
て処理し、放射率による温度測定誤差を小さくするかと
いうことか課題となっている。そのため、放射率による
温度測定誤差を軽減するように考案された放射温度計と
して、その放射検出ヘッドの構成説明図の第8図に示す
ようなものか知られている。
すなわち、第8図において、51は内面に金めつきを施
した半球形キャビティ(半球形空洞)であり、この半球
形キャビティ51の頂点部に設けられた測定孔の位置に
は、例えばシリコンセルやサーモパイルなとの検出素子
を用いた熱放射検出器52か配設されている。このよう
に構成される放射検出ヘッド53を被測定物の測定面に
接近して位置させると、測定面と半球形キャビティ51
内面とで測定面からの放射線の多重反射か生して黒体条
件に近くなり、みかけの放射率か高められる。これによ
り、被測定物か黒体でないための放射率による温度測定
誤差を小さくするようにしている。
した半球形キャビティ(半球形空洞)であり、この半球
形キャビティ51の頂点部に設けられた測定孔の位置に
は、例えばシリコンセルやサーモパイルなとの検出素子
を用いた熱放射検出器52か配設されている。このよう
に構成される放射検出ヘッド53を被測定物の測定面に
接近して位置させると、測定面と半球形キャビティ51
内面とで測定面からの放射線の多重反射か生して黒体条
件に近くなり、みかけの放射率か高められる。これによ
り、被測定物か黒体でないための放射率による温度測定
誤差を小さくするようにしている。
しかしなから、上記の多重反射を利用する放射温度計に
おいては、被測定物の放射率の違いによる温度測定誤差
は小さくされるようになってはいるか、被測定物の放射
率か求められるようにはなっていないため、放射率か例
えば0,5〜0.6程度と小さい場合には、測定距離の
変動によって大きな温度測定誤差か生じ易いという欠点
かある。
おいては、被測定物の放射率の違いによる温度測定誤差
は小さくされるようになってはいるか、被測定物の放射
率か求められるようにはなっていないため、放射率か例
えば0,5〜0.6程度と小さい場合には、測定距離の
変動によって大きな温度測定誤差か生じ易いという欠点
かある。
この発明は、上記の点に鑑みてなされたものであって、
被測定物の放射率をも求めることにより放射率の違いに
よる温度測定誤差を生じることなく被測定物の温度を正
確に測定し得る新規な測定方法の提供を目的とする。
被測定物の放射率をも求めることにより放射率の違いに
よる温度測定誤差を生じることなく被測定物の温度を正
確に測定し得る新規な測定方法の提供を目的とする。
上記の目的を達成するために、請求項1の発明による測
定方法は、予め、異なる既知の放射率を有し同一温度に
おける複数の物体それぞれにおいて、キャビティの測定
孔の位置に熱放射検出器を配設した放射検出ヘッドと前
記物体との測定距離を変化させて熱放射検出器の出力を
測定し、前記既知の各放射率における測定距離と熱放射
検出器の出力との関係を放射率測定用データとして求め
ておき、被測定物の測温に際し、前記放射検出ヘッドと
被測定物との測定距離を少なくとも2つの異なった距離
に変化させて熱放射検出器の出力を測定し、この出力の
変化と前記放射率測定用データとから被測定物の放射率
を求め、この求めた放射率を用いて被測定物の温度を測
定するようにしたことを特徴としている。
定方法は、予め、異なる既知の放射率を有し同一温度に
おける複数の物体それぞれにおいて、キャビティの測定
孔の位置に熱放射検出器を配設した放射検出ヘッドと前
記物体との測定距離を変化させて熱放射検出器の出力を
測定し、前記既知の各放射率における測定距離と熱放射
検出器の出力との関係を放射率測定用データとして求め
ておき、被測定物の測温に際し、前記放射検出ヘッドと
被測定物との測定距離を少なくとも2つの異なった距離
に変化させて熱放射検出器の出力を測定し、この出力の
変化と前記放射率測定用データとから被測定物の放射率
を求め、この求めた放射率を用いて被測定物の温度を測
定するようにしたことを特徴としている。
また、請求項2の発明による測定方法は、予め、異なる
既知の放射率を有し同一温度における複数の物体それぞ
れにおいて、互いに多重反射特性か異なるキャビティの
測定孔の位置に熱放射検出器を配設した二つの放射検出
ヘッドを用いて、各放射検出ヘッドと前記物体との測定
距離を変化させて各熱放射検出器の出力を測定し、前記
両放射検出ヘッドにおいて前記既知の各放射率における
測定距離と熱放射検出器の出力との関係を放射率測定用
データとして求めておき、被測定物の測温に際し、前記
両放射検出ヘッドと被測定物との測定距離を同一にして
各熱放射検出器の出力を測定し、この出力の変化と前記
放射率測定用データとから被測定物の放射率を求め、こ
の求めた放射率を用いて被測定物の温度を測定するよう
にしたことを特徴としている。
既知の放射率を有し同一温度における複数の物体それぞ
れにおいて、互いに多重反射特性か異なるキャビティの
測定孔の位置に熱放射検出器を配設した二つの放射検出
ヘッドを用いて、各放射検出ヘッドと前記物体との測定
距離を変化させて各熱放射検出器の出力を測定し、前記
両放射検出ヘッドにおいて前記既知の各放射率における
測定距離と熱放射検出器の出力との関係を放射率測定用
データとして求めておき、被測定物の測温に際し、前記
両放射検出ヘッドと被測定物との測定距離を同一にして
各熱放射検出器の出力を測定し、この出力の変化と前記
放射率測定用データとから被測定物の放射率を求め、こ
の求めた放射率を用いて被測定物の温度を測定するよう
にしたことを特徴としている。
請求項1の発明に係る測定原理を第2図を参照して説明
する。第2図は、81〜ε、て表す放射率か既知の複数
の物体それぞれにおいて、キャビティの測定孔の位置に
熱放射検出器を配した放射検出ヘッドを用いて、放射検
出ヘッドと物体との測定距離を変化させた場合の測定距
離と熱放射検出器の出力との関係を示す図である。同図
は、熱放射検出器の出力は放射検出ヘッドか被測定物表
面から離れるに従って減少するか、測定距離変化による
熱放射検出器の出力の変化は放射率により異なる傾向を
示している。このことから、測定距離変化による熱放射
検出器の出力の変化から逆に放射率を知ることかできる
。したかって、第2図に示すような放射率測定用データ
を予め求めておいて、被測定物における測定距離変化に
よる熱放射検出器の出力の変化を求め、この出力変化の
値と放射率測定用データから得られる放射率既知の物体
における被測定物測温時の測定距離変化に対応する出力
変化の値とを用いて被測定物の放射率を求めることかで
きる。更に、この放射率を用いて被測定物の温度を測定
することかできる。
する。第2図は、81〜ε、て表す放射率か既知の複数
の物体それぞれにおいて、キャビティの測定孔の位置に
熱放射検出器を配した放射検出ヘッドを用いて、放射検
出ヘッドと物体との測定距離を変化させた場合の測定距
離と熱放射検出器の出力との関係を示す図である。同図
は、熱放射検出器の出力は放射検出ヘッドか被測定物表
面から離れるに従って減少するか、測定距離変化による
熱放射検出器の出力の変化は放射率により異なる傾向を
示している。このことから、測定距離変化による熱放射
検出器の出力の変化から逆に放射率を知ることかできる
。したかって、第2図に示すような放射率測定用データ
を予め求めておいて、被測定物における測定距離変化に
よる熱放射検出器の出力の変化を求め、この出力変化の
値と放射率測定用データから得られる放射率既知の物体
における被測定物測温時の測定距離変化に対応する出力
変化の値とを用いて被測定物の放射率を求めることかで
きる。更に、この放射率を用いて被測定物の温度を測定
することかできる。
請求項2の発明に係る測定原理を第6図を参照して説明
する。第6図は、ε1〜ε4て表す放射率か既知の複数
の物体それぞれにおいて、互いに多重反射特性か異なる
キャビティの測定孔の位置に熱放射検出器を配した二つ
の放射検出ヘッドを用いて、各放射検出ヘッドと物体と
の測定距離を変化させた場合の測定距離と各熱放射検出
器の出力との関係を示す図である。同図は、キャビティ
の多重反射特性か異なると同一放射率であっても各熱放
射検出器の出力か異なり、しかもキャビティの違いによ
る各熱放射検出器の出力の変化は放射率によりそれぞれ
異なる傾向を示している。このことから、多重反射特性
の異なるキャビティを用いた場合の各熱放射検出器の出
力の変化から逆に放射率を知ることかできる。したかっ
て、予め、既知の放射率における第6図に示すような放
射率測定用データを求めておいて、同一測定距離にした
ときの被測定物におけるキャビティの違いによる各熱放
射検出器の出力の変化を求め、この出力変化の値と放射
率測定用データから得られる放射率既知の物体における
被測定物測温時の測定距離での各熱放射検出器の出力変
化の値とを用いて被測定物の放射率を求めることかでき
る。更に、この放射率を用いて被測定物の温度を測定す
ることかできる。
する。第6図は、ε1〜ε4て表す放射率か既知の複数
の物体それぞれにおいて、互いに多重反射特性か異なる
キャビティの測定孔の位置に熱放射検出器を配した二つ
の放射検出ヘッドを用いて、各放射検出ヘッドと物体と
の測定距離を変化させた場合の測定距離と各熱放射検出
器の出力との関係を示す図である。同図は、キャビティ
の多重反射特性か異なると同一放射率であっても各熱放
射検出器の出力か異なり、しかもキャビティの違いによ
る各熱放射検出器の出力の変化は放射率によりそれぞれ
異なる傾向を示している。このことから、多重反射特性
の異なるキャビティを用いた場合の各熱放射検出器の出
力の変化から逆に放射率を知ることかできる。したかっ
て、予め、既知の放射率における第6図に示すような放
射率測定用データを求めておいて、同一測定距離にした
ときの被測定物におけるキャビティの違いによる各熱放
射検出器の出力の変化を求め、この出力変化の値と放射
率測定用データから得られる放射率既知の物体における
被測定物測温時の測定距離での各熱放射検出器の出力変
化の値とを用いて被測定物の放射率を求めることかでき
る。更に、この放射率を用いて被測定物の温度を測定す
ることかできる。
以下、実施例に基づいてこの発明を説明する。
第1図は請求項1の発明による方法を実施するための放
射温度測定装置の一例を示す構成説明図、第2図は請求
項1の発明に係る放射率測定用データの説明図、第3図
は請求項1の発明による被測定物の放射率を求める手順
の一例を説明するための図、第4図は請求項Iの発明に
よる方法を実施するための放射温度測定装置の他の例を
示す構成説明図である。
射温度測定装置の一例を示す構成説明図、第2図は請求
項1の発明に係る放射率測定用データの説明図、第3図
は請求項1の発明による被測定物の放射率を求める手順
の一例を説明するための図、第4図は請求項Iの発明に
よる方法を実施するための放射温度測定装置の他の例を
示す構成説明図である。
第1図において、■は内面を金めつきを施して高反射率
鏡面とした半球形キャビティ、2は半球形キャビティ1
の頂点部に設けられた測定孔の位置に配設された熱放射
検出器である。この半球形キャビティ1と熱放射検出器
2により放射検出ヘッド3か構成されている。4は記憶
演算装置、5は表示装置、6は未知の放射率εSを有し
、その温度を求めるへき被測定物である。
鏡面とした半球形キャビティ、2は半球形キャビティ1
の頂点部に設けられた測定孔の位置に配設された熱放射
検出器である。この半球形キャビティ1と熱放射検出器
2により放射検出ヘッド3か構成されている。4は記憶
演算装置、5は表示装置、6は未知の放射率εSを有し
、その温度を求めるへき被測定物である。
このように構成される放射温度測定装置を用いて行われ
る被測定物6の放射率と温度の測定について、第1図〜
第3図を参照しなから、以下に説明する。
る被測定物6の放射率と温度の測定について、第1図〜
第3図を参照しなから、以下に説明する。
はじめに、第2図を参照しなから、記憶演算装置4に予
め記憶させておく放射率測定用データについて説明する
。異なる既知の放射率を有し同一温度条件における複数
の物体それぞれにおいて、放射検出ヘッド3と物体との
測定距離りを変化させ、既知の放射率を育する複数の物
体における測定距離りと熱放射検出器2の出力Eとの関
係を測定し、これを放射率測定用データとして記憶演算
装置4に予め記憶(入力)させておく。
め記憶させておく放射率測定用データについて説明する
。異なる既知の放射率を有し同一温度条件における複数
の物体それぞれにおいて、放射検出ヘッド3と物体との
測定距離りを変化させ、既知の放射率を育する複数の物
体における測定距離りと熱放射検出器2の出力Eとの関
係を測定し、これを放射率測定用データとして記憶演算
装置4に予め記憶(入力)させておく。
図示の例では、既知の放射率と、〜ε、(添字数字の大
きいものはと放射率か大きいことを表す)を存する5種
類の物体から放射率測定用データを求めている。図に示
すように、熱放射検出器2の出力Eは、測定距離りか長
くなるに従って減少するか、その変化の度合いが放射率
によって異なる傾向を示している。
きいものはと放射率か大きいことを表す)を存する5種
類の物体から放射率測定用データを求めている。図に示
すように、熱放射検出器2の出力Eは、測定距離りか長
くなるに従って減少するか、その変化の度合いが放射率
によって異なる傾向を示している。
このような特性の放射率測定用データを予め記憶演算装
置4に記憶させておき、被測定物6の測温を行う。まず
、放射検出ヘッド3と被測定物6との測定距離を距離h
1に設定し、測定距離h1のときの熱放射検出器2の出
力E(εS、 hl)を記憶演算袋f14に入力する。
置4に記憶させておき、被測定物6の測温を行う。まず
、放射検出ヘッド3と被測定物6との測定距離を距離h
1に設定し、測定距離h1のときの熱放射検出器2の出
力E(εS、 hl)を記憶演算袋f14に入力する。
続いて放射検出ヘッド3を上方に移動させ、測定距離h
2のときの熱放射検出器2の出力E・(εs、ht)を
記憶演算装置4に入力する。上記の再出力か与えられる
と、記憶演算装置5は、次の手順にて、まず放射率とS
を演算により求める。すなわち、測定距離h1のときの
出力E(εs、t++)に対する測定距離h2のときの
出力E(εs、h2)の比V(εs、 has )を求
める。次いて、予め記憶されている第2図に示す放射率
測定用データから、既知の放射率ε1において、測定距
離か上記り、のときの熱放射検出器2の出力E (ff
+ 、 h+)に対する測定距離が上記h2のときの熱
放射検出器2の出力E(ε、 、 h、)の比V(ε+
、 To* )を求める。同様にして、上記放射率測
定用データから、他の既知の放射率ε、(n=2〜5)
それぞれにおいて、測定距離り、のときの熱放射検出器
2の出力E(ε、、h、)に対する測定距離h2のとき
の熱放射検出器2の出力E(ε、、h2)の比V(ε、
、 h+2)を求める。
2のときの熱放射検出器2の出力E・(εs、ht)を
記憶演算装置4に入力する。上記の再出力か与えられる
と、記憶演算装置5は、次の手順にて、まず放射率とS
を演算により求める。すなわち、測定距離h1のときの
出力E(εs、t++)に対する測定距離h2のときの
出力E(εs、h2)の比V(εs、 has )を求
める。次いて、予め記憶されている第2図に示す放射率
測定用データから、既知の放射率ε1において、測定距
離か上記り、のときの熱放射検出器2の出力E (ff
+ 、 h+)に対する測定距離が上記h2のときの熱
放射検出器2の出力E(ε、 、 h、)の比V(ε+
、 To* )を求める。同様にして、上記放射率測
定用データから、他の既知の放射率ε、(n=2〜5)
それぞれにおいて、測定距離り、のときの熱放射検出器
2の出力E(ε、、h、)に対する測定距離h2のとき
の熱放射検出器2の出力E(ε、、h2)の比V(ε、
、 h+2)を求める。
これにより、第3図に示すような、測定距離をhl、h
2に変化させたときの既知の放射率ε、における熱放射
検出器2の出力比V(ε、 、 has )か得られる
。そして、被測定物6にて求めた上記の出力比V(εs
、 t++* )と、既知の放射率ε、(n=1〜5)
における出力比v(ε。、 hat )との値の大小関
係を比較し、例えば第3図に示すような関係にある場合
には、次のような式により被測定物6の放射率εSを求
めることかてきる。
2に変化させたときの既知の放射率ε、における熱放射
検出器2の出力比V(ε、 、 has )か得られる
。そして、被測定物6にて求めた上記の出力比V(εs
、 t++* )と、既知の放射率ε、(n=1〜5)
における出力比v(ε。、 hat )との値の大小関
係を比較し、例えば第3図に示すような関係にある場合
には、次のような式により被測定物6の放射率εSを求
めることかてきる。
es= (Cεs−ε4)/ (V (ε* 、t++
2)−V(ε4. has))l ’ (V(εs
、 hat)■(ε、 、 hat ) )+ε4 そして、求めた放射率εSを用いて、例えばE(εs、
h、)/εSから黒体における熱放射検出器2の出力E
(T)を求めることにより、被測定物の温度Tを容易
に求めることかできる。なお、被測定物の温度Tは表示
装置5にて表示されるようになっている。
2)−V(ε4. has))l ’ (V(εs
、 hat)■(ε、 、 hat ) )+ε4 そして、求めた放射率εSを用いて、例えばE(εs、
h、)/εSから黒体における熱放射検出器2の出力E
(T)を求めることにより、被測定物の温度Tを容易
に求めることかできる。なお、被測定物の温度Tは表示
装置5にて表示されるようになっている。
このようにして、被測定物の放射率をも求めることかで
きるので、放射率の違いによる温度測定誤差を生しるこ
となく被測定物の温度を正確に求めることかできる。な
お、上記実施例では被測定物6の測温に際し、−個の放
射検出ヘッド3を用いる構成としたが、第4図に示すよ
うに、放射検出ヘッド3及び同一のキャビティを有する
これとは別の放射検出ヘッド3を異なる測定距離の位置
にそれぞれ位置させるようにしてもよい。また、測定距
離を三通り以上とし、このときの熱放射検出器の出力を
用い補間操作を行って被測定物における測定距離変化に
よる熱放射検出器の出力の変化を求めるようにしてもよ
い。
きるので、放射率の違いによる温度測定誤差を生しるこ
となく被測定物の温度を正確に求めることかできる。な
お、上記実施例では被測定物6の測温に際し、−個の放
射検出ヘッド3を用いる構成としたが、第4図に示すよ
うに、放射検出ヘッド3及び同一のキャビティを有する
これとは別の放射検出ヘッド3を異なる測定距離の位置
にそれぞれ位置させるようにしてもよい。また、測定距
離を三通り以上とし、このときの熱放射検出器の出力を
用い補間操作を行って被測定物における測定距離変化に
よる熱放射検出器の出力の変化を求めるようにしてもよ
い。
第5図は請求項2の発明による方法を実施するための放
射温度測定装置の一例を示す構成説明図、第6図は請求
項2の発明に係る放射率測定用データの説明図、第7図
は請求項2の発明による被測定物の放射率を求める手順
の一例を説明するための図である。
射温度測定装置の一例を示す構成説明図、第6図は請求
項2の発明に係る放射率測定用データの説明図、第7図
は請求項2の発明による被測定物の放射率を求める手順
の一例を説明するための図である。
第5図において、13aは第1放射検出ヘツトであって
、内面を金めつきを施して高反射率鏡面とした半球形キ
ャビティllaの頂点部に設けられた測定孔の位置に熱
放射検出器12を配設して構成したものである。また、
13bは第2放射検出ヘツドであって、上記第1放射検
出ヘツト13aの半球形キャビティllaよりも小径と
した半球形キャビティllbの頂点部の測定孔の位置に
熱放射検出器12を配設して構成したものである。14
は記憶演算装置、15は表示装置、16はその放射率ε
Sと温度を求めるへき被測定物である。
、内面を金めつきを施して高反射率鏡面とした半球形キ
ャビティllaの頂点部に設けられた測定孔の位置に熱
放射検出器12を配設して構成したものである。また、
13bは第2放射検出ヘツドであって、上記第1放射検
出ヘツト13aの半球形キャビティllaよりも小径と
した半球形キャビティllbの頂点部の測定孔の位置に
熱放射検出器12を配設して構成したものである。14
は記憶演算装置、15は表示装置、16はその放射率ε
Sと温度を求めるへき被測定物である。
このように構成される放射温度測定装置を用いて行われ
る被測定物16の放射率と温度の測定について、第5図
〜第7図を参照しなから、以下に説明する。
る被測定物16の放射率と温度の測定について、第5図
〜第7図を参照しなから、以下に説明する。
はじめに、第6図を参照しながら、記憶演算装置14に
予め記憶させておく放射率測定用データについて説明す
る。既知の放射率を有し同一温度条件における物体それ
ぞれにおいて、互いに多重反射特性か異なるキャビティ
を備えた上記の二つの放射検出ヘッド13a、 13b
を用いて、各放射検出ヘッド13a、13bと物体との
測定距離りを変化させた場合の測定距離りと各熱放射検
出器12の出力との関係を測定し、これを放射率測定用
データとして記憶演算装置14に予め入力しておく。
予め記憶させておく放射率測定用データについて説明す
る。既知の放射率を有し同一温度条件における物体それ
ぞれにおいて、互いに多重反射特性か異なるキャビティ
を備えた上記の二つの放射検出ヘッド13a、 13b
を用いて、各放射検出ヘッド13a、13bと物体との
測定距離りを変化させた場合の測定距離りと各熱放射検
出器12の出力との関係を測定し、これを放射率測定用
データとして記憶演算装置14に予め入力しておく。
図示の例では、既知の放射率ε、〜ε、(添字数字の大
きいものほど放射率か大きいことを表す)を有する4種
類の物体から放射率測定用データを求めている。図に示
すように、キャヒテイlla、llbの多重反射特性か
異なると同一放射率であっても熱放射検出器12の出力
か異なり、しかもキャビティ1laSllbの違いによ
る熱放射検出器I2の出力の変化は放射率によりそれぞ
れ異なる傾向を示している。なお、第6図では測定距離
と熱放射検出器の出力との関係を示す特性か直線で示さ
れているが、実際には右下かりの曲線となる(第2図参
照)。
きいものほど放射率か大きいことを表す)を有する4種
類の物体から放射率測定用データを求めている。図に示
すように、キャヒテイlla、llbの多重反射特性か
異なると同一放射率であっても熱放射検出器12の出力
か異なり、しかもキャビティ1laSllbの違いによ
る熱放射検出器I2の出力の変化は放射率によりそれぞ
れ異なる傾向を示している。なお、第6図では測定距離
と熱放射検出器の出力との関係を示す特性か直線で示さ
れているが、実際には右下かりの曲線となる(第2図参
照)。
このような特性の放射率測定用データを予め記憶演算装
置14に記憶させておき、被測定物16の測温を行う。
置14に記憶させておき、被測定物16の測温を行う。
まず、両放射検出ヘッド13a、 13bを被測定物1
6から同じ距離だけ離し、同一測定距離h1での各熱放
射検出器12の出力を記憶演算装置14に入力する。上
記の両出力が与えられると、記憶演算装置14は、次の
手順にて被測定物16の放射率εSを演算により求める
。すなわち、第1放射検出ヘツド13aの熱放射検出器
12の出力E(εS。
6から同じ距離だけ離し、同一測定距離h1での各熱放
射検出器12の出力を記憶演算装置14に入力する。上
記の両出力が与えられると、記憶演算装置14は、次の
手順にて被測定物16の放射率εSを演算により求める
。すなわち、第1放射検出ヘツド13aの熱放射検出器
12の出力E(εS。
C+)に対する第2放射検出ヘツド13bの熱放射検出
器12の出力E (εs、 Cz)の比V Ce s、
Cat)を求める。次に予め入力されている第6図に
示す放射率測定用データから、放射率か81で測定距離
か上記h1において、第1放射検出ヘツド+3aの熱放
射検出器I2の出力E(C1,C+)に対する第2放射
検出ヘツド13bの熱放射検出器12の出力E Cat
、 C2) (7)比v(ε+、c+*)ヲ求メル。
器12の出力E (εs、 Cz)の比V Ce s、
Cat)を求める。次に予め入力されている第6図に
示す放射率測定用データから、放射率か81で測定距離
か上記h1において、第1放射検出ヘツド+3aの熱放
射検出器I2の出力E(C1,C+)に対する第2放射
検出ヘツド13bの熱放射検出器12の出力E Cat
、 C2) (7)比v(ε+、c+*)ヲ求メル。
同様にして、上記放射率測定用データから、測定距離り
、での他の既知の放射率ε、(n=2〜4)それぞれに
おいて、第1放射検出ヘツド13aの熱放射検出器12
の出力E(ε、、C,)に対する第2放射検出ヘツト1
3bの熱放射検出器12の出力E(ε、、C2)の比V
(ε。、 C,、>を求める。
、での他の既知の放射率ε、(n=2〜4)それぞれに
おいて、第1放射検出ヘツド13aの熱放射検出器12
の出力E(ε、、C,)に対する第2放射検出ヘツト1
3bの熱放射検出器12の出力E(ε、、C2)の比V
(ε。、 C,、>を求める。
これにより、第7図に示すような、測定距離h1ての既
知の放射率ε、における各熱放射検出器I2の出力比V
(C1,C1□)か得られる。そして、被測定物16て
求めた上記の出力比V(εs+C+□)と、既知の放射
率ε、(n=1〜4)における上記の出力比V(εs、
C+z)との値の大小関係を比較し、例えば第7図に示
すような関係にある場合には、次のような式により被測
定物16の放射率εSを求めることができる。
知の放射率ε、における各熱放射検出器I2の出力比V
(C1,C1□)か得られる。そして、被測定物16て
求めた上記の出力比V(εs+C+□)と、既知の放射
率ε、(n=1〜4)における上記の出力比V(εs、
C+z)との値の大小関係を比較し、例えば第7図に示
すような関係にある場合には、次のような式により被測
定物16の放射率εSを求めることができる。
εS= ((ε、−ε、)/ (V (ε* + C
at )−V(εi+ Cat))l ” (V
(εs、Cl2)■(ε、 、 C,、’) )十ε。
at )−V(εi+ Cat))l ” (V
(εs、Cl2)■(ε、 、 C,、’) )十ε。
そして、求めた放射率εSを用いて、例えばE(εs、
Cυ/εSから黒体における熱放射検出器12の出力E
(T)を求めることにより、被測定物の温度Tを容易
に求めることができる。なお、被測定物の温度Tは表示
装置t15にて表示されるようになっている。このよう
にして、被測定物の放射率をも求めることかできるので
、放射率の違いによる温度測定誤差を生じることなく被
測定物の温度を正確に求めることができる。
Cυ/εSから黒体における熱放射検出器12の出力E
(T)を求めることにより、被測定物の温度Tを容易
に求めることができる。なお、被測定物の温度Tは表示
装置t15にて表示されるようになっている。このよう
にして、被測定物の放射率をも求めることかできるので
、放射率の違いによる温度測定誤差を生じることなく被
測定物の温度を正確に求めることができる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、請求項1の発明による測定方法に
よれば、被測定物における測定距離を変化させて熱放射
検出器の出力の変化を求め、この出力変化の値と予め求
めておいた放射率既知の物体における放射率測定用デー
タとから被測定物の放射率を求め、被測定物の温度を測
定するようにした方法であるから、放射率の違いによる
温度測定誤差を生じることなく被測定物の温度を正確に
求めることかできる。
よれば、被測定物における測定距離を変化させて熱放射
検出器の出力の変化を求め、この出力変化の値と予め求
めておいた放射率既知の物体における放射率測定用デー
タとから被測定物の放射率を求め、被測定物の温度を測
定するようにした方法であるから、放射率の違いによる
温度測定誤差を生じることなく被測定物の温度を正確に
求めることかできる。
また、請求項2の発明による測定方法によれば、互いに
多重反射特性か異なる牛ヤヒティの測定孔の位置に熱放
射検出器を配した二つの放射検出ヘッドを用いて、同一
測定距離にしたときの被測定物におけるキャビティの違
いによる各熱放射検出器の出力の変化を求め、この出力
変化の値と予め求めておいた放射率既知の物体における
放射率測定用データとから被測定物の放射率を求め、そ
の温度を測定するようにした方法であるから、放射率の
違いによる温度測定誤差を生しることなく被測定物の温
度を正確に求めることかできる。
多重反射特性か異なる牛ヤヒティの測定孔の位置に熱放
射検出器を配した二つの放射検出ヘッドを用いて、同一
測定距離にしたときの被測定物におけるキャビティの違
いによる各熱放射検出器の出力の変化を求め、この出力
変化の値と予め求めておいた放射率既知の物体における
放射率測定用データとから被測定物の放射率を求め、そ
の温度を測定するようにした方法であるから、放射率の
違いによる温度測定誤差を生しることなく被測定物の温
度を正確に求めることかできる。
第1図は請求項1の発明による方法を実施するための放
射温度測定装置の一例を示す構成説明図、第2図は請求
項1の発明に係る放射率測定用データの説明図、第3図
は請求項1の発明による被測定物の放射率を求める手順
の一例を説明するための図、第4図は請求項1の発明に
よる方法を実施するための放射温度測定装置の他の例を
示す構成説明図、第5図は請求項2の発明による方法を
実施するための放射温度測定装置の一例を示す構成説明
図、第6図は請求項2の発明に係る放射率測定用データ
の説明図、第7図は請求項2の発明による被測定物の放
射率を求める手順の一例を説明するための図、第8図は
従来の放射温度計の放射検出ヘッドの構成説明図である
。 L 1la111b−半球形キャビティ、2.12−熱
放射検出器、 3−放射検出ヘッド、13a−第1放射検出ヘツド、1
3b−第2放射検出ヘツト、 4.14−記憶演算装置、5.15−表示装置、6.1
6 被測定物。 特許出願人 株式会社神戸製鋼所
射温度測定装置の一例を示す構成説明図、第2図は請求
項1の発明に係る放射率測定用データの説明図、第3図
は請求項1の発明による被測定物の放射率を求める手順
の一例を説明するための図、第4図は請求項1の発明に
よる方法を実施するための放射温度測定装置の他の例を
示す構成説明図、第5図は請求項2の発明による方法を
実施するための放射温度測定装置の一例を示す構成説明
図、第6図は請求項2の発明に係る放射率測定用データ
の説明図、第7図は請求項2の発明による被測定物の放
射率を求める手順の一例を説明するための図、第8図は
従来の放射温度計の放射検出ヘッドの構成説明図である
。 L 1la111b−半球形キャビティ、2.12−熱
放射検出器、 3−放射検出ヘッド、13a−第1放射検出ヘツド、1
3b−第2放射検出ヘツト、 4.14−記憶演算装置、5.15−表示装置、6.1
6 被測定物。 特許出願人 株式会社神戸製鋼所
Claims (2)
- (1)予め、異なる既知の放射率を有し同一温度におけ
る複数の物体それぞれにおいて、キャビティの測定孔の
位置に熱放射検出器を配設した放射検出ヘッドと前記物
体との測定距離を変化させて熱放射検出器の出力を測定
し、前記既知の各放射率における測定距離と熱放射検出
器の出力との関係を放射率測定用データとして求めてお
き、被測定物の測温に際し、前記放射検出ヘッドと被測
定物との測定距離を少なくとも2つの異なった距離に変
化させて熱放射検出器の出力を測定し、この出力の変化
と前記放射率測定用データとから被測定物の放射率を求
め、この求めた放射率を用いて被測定物の温度を測定す
るようにしたことを特徴とする被測定物の放射率と温度
の測定方法。 - (2)予め、異なる既知の放射率を有し同一温度におけ
る複数の物体それぞれにおいて、互いに多重反射特性が
異なるキャビティの測定孔の位置に熱放射検出器を配設
した二つの放射検出ヘッドを用いて、各放射検出ヘッド
と前記物体との測定距離を変化させて各熱放射検出器の
出力を測定し、前記両放射検出ヘッドにおいて前記既知
の各放射率における測定距離と熱放射検出器の出力との
関係を放射率測定用データとして求めておき、被測定物
の測温に際し、前記両放射検出ヘッドと被測定物との測
定距離を同一にして各熱放射検出器の出力を測定し、こ
の出力の変化と前記放射率測定用データとから被測定物
の放射率を求め、この求めた放射率を用いて被測定物の
温度を測定するようにしたことを特徴とする被測定物の
放射率と温度の測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15115790A JPH0443928A (ja) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | 被測定物の放射率と温度の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15115790A JPH0443928A (ja) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | 被測定物の放射率と温度の測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0443928A true JPH0443928A (ja) | 1992-02-13 |
Family
ID=15512599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15115790A Pending JPH0443928A (ja) | 1990-06-08 | 1990-06-08 | 被測定物の放射率と温度の測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0443928A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007208287A (ja) * | 1994-12-19 | 2007-08-16 | Applied Materials Inc | 基板温度測定のための装置 |
| JP2020034430A (ja) * | 2018-08-30 | 2020-03-05 | 株式会社チノー | 温度測定方法及び温度測定装置 |
-
1990
- 1990-06-08 JP JP15115790A patent/JPH0443928A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007208287A (ja) * | 1994-12-19 | 2007-08-16 | Applied Materials Inc | 基板温度測定のための装置 |
| JP2020034430A (ja) * | 2018-08-30 | 2020-03-05 | 株式会社チノー | 温度測定方法及び温度測定装置 |
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