JPH0444358Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案は、温水等方圧加圧装置に関し、さら
に詳述すると、加圧容器を迅速に加熱することが
できると共に加圧時に所定の高温に維持すること
のできる温水等方圧加圧装置に関する。

［従来の技術およびその問題点］ 従来、たとえば複数の回路基板を積層してなる
多層回路基板を製造するための装置として、等方
圧加圧装置がある。

この等方圧加圧装置は、槽内の温水中に浸漬し
た圧力容器内に複数枚の回路基板を収納し、その
後、この圧力容器内に純水を圧入することにより
前記回路基板を等方加圧し、これにより一体化す
るようになつている。

しかしながら、この等方圧加圧装置は、加圧容
器およびその内部の加熱が、圧力容器を温水に浸
漬することによつているので、圧力容器およびそ
の内部を所定温度に高めるのに時間がかかるとい
う問題点がある。

また、この等方圧加圧装置では、圧力容器外の
温水により加熱するので、圧力容器およびその内
部を60℃程度に昇温するのが限度である。このよ
うな温度下での等方加圧では、せいぜい５〜６層
の多層回路基板にしかプレスすることができず、
15層、30層あるいはそれ以上もの層を有する多層
回路基板にプレスすることは、到底無理である。
たとえば15層以上もの層を有する多層回路基板に
一体化するためには、従来よりも高い温度、たと
えば80℃以上に圧力容器およびその内部を加熱し
なければならない。

この考案は前記事情に基づいてなされたもので
ある。

すなわち、この考案は、圧力容器およびその内
部を迅速に高温に加熱することができ、しかもそ
の高温度を一定に維持することのできる温水等方
圧加圧装置を提供することにある。

またこの考案の他の目的は、圧力容器およびそ
の内部を従来のものよりもはるかに高温度に維持
してたとえば多層回路基板を一体にプレスするこ
とのできる温水等方圧加圧装置を提供することに
ある。

［前記問題点を解決するための手段］ 前記問題点を解決するためのこの考案の概要
は、第１図に示すように、気密に封止可能な開口
部１が前記温水の液面よりも上方に位置するよう
に、槽２内の温水３中に浸漬した圧力容器４内に
被加圧物を収納し、この圧力容器４内に水を圧入
することにより前記被加圧物を等方加圧する温水
等方圧加圧装置５おいて、 槽２内の温水３を圧力容器４と槽２内とに循環
する温水循環手段６、および、槽２内の温水３を
圧力容器４内に気密に圧入する温水圧入手段７を
備えてなることを特徴とする温水等方圧加圧装置
５である。

槽２内の温水３は、槽２内または槽２外に設け
た適宜の加熱手段により加熱することができ、こ
の温水等方圧加圧装置５により非常に多数の回路
基板を一体にプレスするのであれば、温水３の温
度は80℃以上であるのが好ましく、また温水３は
そのような温度に加熱された純水であるのが好ま
しい。

前記圧力容器４は、被加圧物を水の圧入により
高圧に加圧することができる構造を有すれば良
く、たとえば、開口部１を上部に有する耐圧容器
と、前記開口部１を気密に封止することができる
と共に被加圧物を収納するラツクを着脱自在に下
面に設けた蓋とで構成することができる。この開
口部１は、循環ポンプで圧力容器４内に温水３を
供給したときに、温水３を圧入容器４からあふれ
出して槽２内に戻す機能を有するものである。し
たがつて、かかる機能を有するのであれば、この
考案における開口部１は、前記ラツクを下面に有
する蓋を気密に封止する開口部１であるに限ら
ず、前記開口部１とは別に設けられたもの、たと
えば圧力容器４の周面を貫通する貫通孔であつて
も良い。

被加圧物としては、たとえば回路基板を挙げる
ことができるが、高温、高圧の下に加圧加工する
必要のあるものであれば特に制限がない。

第１図に示すように、前記温水循環手段６は、
槽２内の温水３を排出可能な第１排出管８と、圧
力容器４内に温水３を導入可能な第１導入管９
と、前記第１排出管８と前記第１導入管９との間
に結合された循環ポンプ１０とで形成し、前記温
水圧入手段７は、前記第１排出管８と、前記第１
導入管９と、この第１排出管８および第１導入管
９に結合した昇圧ポンプ１２と、この昇圧ポンプ
１２の駆動時に前記温水循環手段６を気密に閉鎖
する閉鎖手段、たとえば、前記循環ポンプ１０と
第１排出管８との間に介装した弁１１とで形成す
ることができる。

さらにこの温水循環手段６および温水圧入手段
７の他の例として、第２図に示すように、循環ポ
ンプ１０と、一端を槽２内に開口すると共に他端
を前記循環ポンプ１０に結合する第２排出管１３
と、一端を圧力容器４内に開口すると共に他端を
前記循環ポンプに結合する第２導入管１４とで温
水循環手段６を構成し、また、昇圧ポンプ１２
と、一端を槽２内に開口すると共に他端を前記昇
圧ポンプ１２に結合する第３排出管１５と、一端
を圧力容器４内に開口すると共に他端を前記昇圧
ポンプ１２に結合する第３導入管１６と、この昇
圧ポンプ１２の駆動時に前記温水循環手段６を気
密に閉鎖する閉鎖手段、たとえば、前記第２導入
管１４の中間に設けた弁１１とで温水圧入手段７
を構成しても良い。

第２図に示す温水循環手段６および温水圧入手
段７よりも第１図に示すもののほうが、装置の構
造が簡略になつて好ましい。

次に第３図および第４図を参照しながら、この
考案の作用について説明する。

前提として、槽２内の温水３の温度をたとえば
80℃以上に加熱しておく。圧力容器４およびその
内部を加熱するために、弁１１を開状態としてお
く。次いで、第３図に示すように、昇圧ポンプ１
２の駆動を停止したまま、循環ポンプ１０を駆動
する。そうすると、槽２内の温水３は、第１排出
管８、弁１１および第１導入管９を介して圧力容
器４内に供給される。圧力容器４内の温水３は、
その開口部１からあふれ出て槽２内に戻る。この
ようにして、温水３を槽２内および圧力容器４内
を循環させると、圧力容器４は、すぐに温水３と
同じ温度に達する。次いで、循環ポンプ１０の駆
動を停止する。第４図に示すように、ラツク１７
に被加圧物（図示せず。）たとえば多数層の回路
基板を重ねて袋に収納したものを載置したラツク
１７を圧力容器４内に入れると共に前記開口部１
に気密に蓋１８をする。弁１１を閉鎖すると共に
昇圧ポンプ１２を駆動する。槽２内の温水３は、
第１排出管８、および第１導入管９を介して圧力
容器４内に圧入される。圧力容器４内の圧力が所
定圧たとえば400気圧程度に達すると、昇圧ポン
プ１２の駆動を停止する。その後、圧力容器４内
の圧力を常圧に戻し、開口部１を開けて、ラツク
１７上の被加圧物を圧力容器４外に取り出す。

第２図に示す構成のものも、この第１図に示す
構成のものと同様の作用を示す。

［実施例］ 次にこの考案の具体的な実施例を図面を参照し
ながら説明する。

第５図に示す温水等方圧加圧装置２０は、温水
２１を入れた槽２２内に、上部が温水２１の液面
の上方に露出するように圧力容器２３を浸漬し、
前記槽２２内に一端を開口する排出管２４をこの
槽２２に取り付け、この排出管２４は途中で枝別
れしていて各支管の先端開口部それぞれを循環ポ
ンプ２５と昇圧ポンプ２６とに接続する。また、
前記圧力容器２３内の底面近傍に一端開口部を有
する導入管２７をこの圧力容器２３に取り付け、
この導入管２７は途中で枝別れしていて、一方の
支管の開口部は前記昇圧ポンプ２６に接続すると
共に他方の支管の開口部は、途中にソレノイド駆
動の弁２８を介して循環ポンプ２５に結合する。
さらに前記循環ポンプ２５と前記弁２８との間の
導入管２７は、枝別れしていて、ソレノイド駆動
の開閉バルブ２９を介して一端開口部を槽２２内
に向けて開口する供給管３０と結合している。こ
の実施例では、前記第１図に示すのと同様に、排
出管２４、昇圧ポンプ２６、導入管２７および弁
２８により温水圧入手段を形成し、排出管２４、
循環ポンプ２５および導入管２７により温水循環
手段を形成している。

前記圧力容器２３は、その上部に開口部３１を
有し、この開口部３１には、その下面に着脱自在
に取り付けたラツク３２を有する蓋３３が前記開
口部３１に気密に封止することができるようにな
つている。

また、この圧力容器２３の上部周面には、直径
方向に貫通する第１貫通孔３４を有し、この第１
貫通孔３４にはクロージヤーピン３５が貫通す
る。この第１貫通孔３４は、この考案におけると
ころの、圧力容器２３内の温水２１をあふれ出さ
せる開口部としての機能を有する。その他の機能
は、後述する。

前記蓋３３には、その周側面に、この蓋３３を
前記開口部３１に装着するときに、前記第１貫通
孔３４に一致する第２貫通孔３６を開設する。

前記蓋３３は、回転機構であるロータリーアク
チユエーター３７と昇降機構である昇降シリンダ
ー３８に、図示しない支持体を介して結合する。

このロータリーアクチユエーター３７は、第１
切り換え弁３９を介して空気圧で駆動し、また、
前記昇降シリンダー３８は、第２切り換え弁４０
を介して空気圧で駆動する。

前記クロージヤーピン３５は、往復動機構であ
る水平移動用シリンダー４１に結合していて、こ
の水平移動用シリンダー４１は、第３切り換え弁
４２により空気圧で駆動する。

前記第１切り換え弁３９、第２切り換え弁４
０、第３切り換え弁４２それぞれは、空気を送り
込む送気管４３および空気を排出する排気管４４
を結合する。

一方、前記槽２２内の水は、槽２２内に配置す
るヒータ４５により所定温度の温水２１に加熱さ
れる。

槽２２内の温水２１の液面よりも上方の槽２２
内周面には、冷却管４６を配設していて、温水２
１の層２２外へ立ち昇る蒸気を抑制することがで
きるようになつている。

なお、４７で示すのは、圧力容器２３内の水圧
を除くためのドレン弁である。

次に以上構成のこの温水等方圧加圧装置２０の
作用について説明する。

先ず、槽２２内に所定量の水、特に純水を入
れ、ヒータ４５により、この水を加熱して所定た
とえば80℃の温水２１にする。

初期状態として、第１切り換え弁３９をB1の
状態にしておき、蓋３３を開口部３１の上方以外
の位置にしておくと共にクロージヤーピン３５を
開口部３１から退避した状態としておく。

次いで、ソレノイドを駆動して弁２８を開放す
ると共に循環ポンプ２５を駆動して、排出管２４
および導入管２７を介して槽２２内の温水２１を
圧力容器２３内に導入する。循環ポンプ２５の駆
動を継続すると、圧力容器２３内に温水２１が供
給される一方であり、遂には、第１貫通孔３４か
らあふれ出て、あふれ出た温水２１は槽２２内に
戻る。つまり、循環機構により、温水２１が槽２
２と圧力容器２３内とを循環することとなる。こ
の温水２１の循環を継続することにより、圧力容
器２３の内外から、圧力容器２３が加熱され、所
定温度たとえば80℃になる。

圧力容器２３が所定温度に達すると、循環ポン
プ２５の駆動を停止すると共に弁２８を閉鎖す
る。

ラツク３２に複数層たとえば30層の回路基板を
重ねたものを袋に入れて配置しておく。

第１切り換え弁３９をA1状態に切り換え、空
気圧をロータリーアクチユエーター３７に送り込
むことにより、蓋３３を水平回転し、第１切り換
え弁２８をB1状態にしてロータリーアクチユエ
ーター３７を停止することにより、蓋３３を開口
部３１の上方に位置させる。次いで、第２切り換
え弁４０をC2の状態にして昇降シリンダー３８
を下降するように駆動して、蓋３３を開口部３１
に装着する。開口部３１に蓋３３を装着したなら
ば、第２切り換え弁４０をB2の状態にすると共
に第３切り換え弁４２をC3の状態にして水平移
動用シリンダー４１を駆動してクロージヤーピン
３５を水平移動し、これによりクロージヤーピン
３５を第１貫通孔３４および第２貫通孔３６を貫
通させて、蓋３３を気密に開口部３１に装着す
る。この時、ラツク３２は圧力容器２３内に収納
されている。

この後、昇圧ポンプ２６を駆動して排出管２４
および導入管２７を介して槽２２内の温水２１を
圧力容器２３内に圧入する。温水２１は、圧力容
器２３内が所定圧に達するまで、これを圧入す
る。

この温水２１の圧入により、ラツク３２に配置
された複数層の回路基板は、所定温度の下に、等
方的に加圧されて一体の回路基板に成型される。

圧力容器２３内が所定圧力に達した後は、昇圧
ポンプ２６の駆動を停止すると共に開閉バルブ２
９を開放し、循環ポンプ２５を駆動することによ
り、供給管３０を介して、槽２２内の温水２１を
槽２２中に循環する。これにより、槽２２内の温
水２１は、槽２２内で滞留して温度勾配を生じる
ことなく、均一な温度分布を維持することとな
る。

昇圧ポンプ２６の駆動を停止したまま、圧力容
器２３内を一定時間所定圧力に維持した後、ドレ
ン弁２８を開放して圧力容器２３内の水圧を開放
する。

第３切り換え弁４２をA3の状態にして水平移
動用シリンダー４１を駆動してクロージヤーピン
３５を後退して、これを第２貫通孔３６から除去
する。

第３切り換え弁４２をB3の状態にしてクロー
ジヤーピン３５を初期状態にすると共に、第２切
り換え弁４０をA2の状態にして昇降シリンダー
３８を駆動して蓋３３を上昇させる。蓋３３が上
死点に達したならば、第２切り換え弁４０をB2
の状態にすると共に、第１切り換え弁３９をC1
状態にして蓋３３を前回とは反対方向に回転し、
第１切り換え弁３９をB1の状態にして蓋３３を
開口部３１から逃げた位置に配置する。

ラツク３２から、一体に成型された30層の回路
基板を取り出して、これを得る。

以上の工程が一個の多層回路基板を成型する工
程である。

この実施例装置によると、従来装置よりも迅速
に圧力容器２３を所定の高温度に加熱し、加圧中
においても所定の高温度に圧力容器２３内を維持
することができる。したがつて、効率よく、等方
加圧成型を行なうことができる。

［効果］ この考案によると、槽内の温水に浸漬した圧力
容器を、前記温水を槽内と圧力容器内とに循環し
て、圧力容器の内外からこれを加熱するので、迅
速に所望の温度にすることができる。また、この
ようにして所定温度に加熱された圧力容器内に
は、槽内の温水を圧入するので、温度の低下を生
じることなく、所定の温度で被加圧物を等方的に
加圧することができる。

この温水等方圧加圧装置は、温水の循環、圧入
を行なうので、理論的には水の沸点近くまでの温
度で等方加圧成型を行なうことができる。

したがつて、この温水等方圧加圧装置による
と、たとえば従来よりもはるかに多数の枚数の回
路基板の一体化を達成することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はこの考案の構成を示す縦
断面説明図、第３図および第４図はこの考案の作
用を示す縦断面説明図、並びに第５図はこの考案
の一実施例を示す説明図である。 １……開口部、２……槽、３……熱水、４……
圧力容器、５……温水等方圧加圧装置、６……温
水循環手段、７……温水圧入手段、８……第１排
出管、９……第１導入管、１０……循環ポンプ、
１１……弁、１２……昇圧ポンプ、１３……第２
排出管、１４……第２導入管、１５……第３排出
管、１６……第３導入管。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 気密に封止可能な開口部が温水の液面よりも
   上方に位置するように、槽内の温水中に浸漬し
   た圧力容器内に被加圧物を収納し、この圧力容
   器内に水を圧入することにより前記被加圧物を
   等方加圧する温水等方圧加圧装置において、 槽内の温水を圧力容器内と槽内とに循環する
   温水循環手段および槽内の温水を圧力容器内に
   気密に圧入する温水圧入手段とを備えてなるこ
   とを特徴とする温水等方圧加圧装置。 (2) 前記温水が純水である前記実用新案登録請求
   の範囲第１項に記載の温水等方圧加圧装置。 (3) 前記温水循環手段は、槽内の温水を排出可能
   とする第１排出管と、圧力容器内に温水を導入
   可能とする第１導入管と、前記第１排出管と前
   記第１導入管との間に結合された循環ポンプと
   で形成し、前記温水圧入手段は、前記第１排出
   管と、前記第１導入管と、この第１排出管およ
   び第１導入管に結合した昇圧ポンプと、前記循
   環ポンプおよび第１導入管との間に結合した弁
   とで形成する前記実用新案登録請求の範囲第１
   項または２項に記載の温水等方圧加圧装置。 (4) 前記温水循環手段が、循環ポンプと、一端を
   槽内に開口すると共に他端を前記循環ポンプに
   結合する第２排出管と、一端を圧力容器内に開
   口すると共に他端を前記循環ポンプに結合し、
   中間に弁を有する第２導入管とからなり、前記
   温水圧入手段が、昇圧ポンプと、一端を槽内に
   開口すると共に他端を前記昇圧ポンプに結合す
   る第３排出管と、一端を圧力容器内に開口する
   と共に他端を前記昇圧ポンプに結合する第３導
   入管とからなる前記実用新案登録請求の範囲第
   １項または第２項に記載の温水等方圧加圧装
   置。