JPH0445008U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0445008U JPH0445008U JP8592490U JP8592490U JPH0445008U JP H0445008 U JPH0445008 U JP H0445008U JP 8592490 U JP8592490 U JP 8592490U JP 8592490 U JP8592490 U JP 8592490U JP H0445008 U JPH0445008 U JP H0445008U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- cylinder
- bearing
- joined
- diameter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例のウエハカツトロー
ラの斜視図、第２図は本考案の一実施例のウエハ
カツトローラを使用して半導体ウエハを分割して
いる状態を示す側面図、第３図は従来例のウエハ
カツトローラの斜視図、第４図は従来例のウエハ
カツトローラを使用して半導体ウエハを分割して
いる状態を示す側面図である。 １，２１……円柱、２，２２……ベアリング、
３，２３……シヤフト、４……リング、５，２４
……弾性体、６，２５……ウエハ、７，２６……
粘着テープ、８，２７……テーブル。
ラの斜視図、第２図は本考案の一実施例のウエハ
カツトローラを使用して半導体ウエハを分割して
いる状態を示す側面図、第３図は従来例のウエハ
カツトローラの斜視図、第４図は従来例のウエハ
カツトローラを使用して半導体ウエハを分割して
いる状態を示す側面図である。 １，２１……円柱、２，２２……ベアリング、
３，２３……シヤフト、４……リング、５，２４
……弾性体、６，２５……ウエハ、７，２６……
粘着テープ、８，２７……テーブル。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 中心に貫通孔のある円柱と、 前記円柱の両端にそれぞれ外輪が固定されたベ
アリングと、 前記ベアリングの内輪を通るシヤフトと、 前記円柱の外側両端に接合されたリングと、 前記２個のリングの間で、前記円柱の外部に接
合され、ころがり方向に対して垂直に、一定の間
隔に溝があり、かつ、凸部先端がＲ形状であり、
凸部先端直径が前記リングの直径より一定量小さ
く、前記円柱と前記リングより弾性係数の小さい
弾性体とを有することを特徴とするウエハカツト
ローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8592490U JPH0445008U (ja) | 1990-08-15 | 1990-08-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8592490U JPH0445008U (ja) | 1990-08-15 | 1990-08-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0445008U true JPH0445008U (ja) | 1992-04-16 |
Family
ID=31817330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8592490U Pending JPH0445008U (ja) | 1990-08-15 | 1990-08-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0445008U (ja) |
-
1990
- 1990-08-15 JP JP8592490U patent/JPH0445008U/ja active Pending