JPH0445274A - 極超低鉄損一方向性極薄けい素鋼板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、アモルファスと同程度の極超低鉄損を有す
る、製品板厚の極く薄い一方向性けい素鋼板の製造方法
に関するもので、この方法によって製造される極超低鉄
損一方向性極薄けい素鋼板は、トランスなどの鉄心材料
として有利に使用される。

一方向性けい素鋼板は、製品の２次再結晶粒をゴス方位
に高度に集積させること、 また、鋼板表面上にはフォルステライト被膜を被成させ
、さらにその上に熱膨張係数の小さい絶縁被膜を被成さ
せて鋼板に張力を付与すること、などにより磁気特性の
向上を計っているもので、複雑、多岐にわたる厳格な制
御を必要とする工程を経て製造されている。

このような一方向性けい素鋼板は、主として変圧器、そ
の他電気機器の鉄心として使用されており、磁気特性と
して製品の磁束密度が高く、鉄損が低いこと、さらに表
面性状が良好な絶縁被膜を被成していることなどが要求
されている。と（にエネルギー危機を境にして電力損失
の低減を特徴とする請が著しく強まり、変圧器用鉄心材
料としての鉄損のより低い一方向性けい素鋼板の必要性
はますます高まってきている。

そして、この一方向性けい素鋼板の鉄損改善の歴史は、
ゴス方位２次再結晶集合組織の改善の歴史であると云っ
ても過言ではない。

（従来の技術） ２次再結晶粒を制御する方法として、ＡｌＮ。

ＭｎＳ及びＭｎＳｅ等の１次再結晶粒成長抑制剤、いわ
ゆるインヒビターを用いてゴス方位２次再結晶粒を優先
成長させる方法が実施されている。

一方、上記の２次再結晶集合組織を制御する冶金的手段
とは異なる鉄損改善技術も種々開発されている。すなわ
ち、市内　正：鉄と鋼、６９　（１９８３）　。

Ｐ、８９５　、特公昭５７−２２５２号公報、特公昭５
７−５３４１９号公報、特公昭５８−２６４０５号公報
、及び特公昭５８−２６４０６号公報などにはレーザー
を、又特開昭６２−９６６１７号公報、特開昭６２−１
５１５１１号公報、特開昭６２−１５１５１６号公報、
及び特開昭６２−１５１５１７号公報などにはプラズマ
を、それぞれ鋼板表面に照射することにより、鋼板に局
部微小歪を導入して磁区を細分化し、鉄損を低下させる
画期的な方法が提案開示されている。しかしながら、こ
れらの方法により得られた鋼板は、高温域まで加熱する
と微小歪が消失するため、高温の歪取り焼鈍を施す巻鉄
心トランス用材料に使用する場合、上記効果が発揮でき
ないという欠点があった。

また、一方このような高温の歪取り焼鈍を施しても鉄損
が劣化しない方法も提案開示されている。

すなわち、特公昭５０−３５６７９号公報、特開昭５９
−２８５２５号公報、及び特開昭５９−１９７５２０号
公報などには、仕上焼鈍板の表面に溝もしくはセレーシ
ヨンを形成する方法、特開昭５６−１３０４５４号公報
には、仕上焼鈍板の表面に微細再結晶粒領域を形成する
方法、特開昭６０−９２４７９号公報、特開昭６０−９
２４８０号公報、特開昭６０−９２４８１号公報、及び
特開昭６０−２５８４７９号公報などには、フォルステ
ライト賞被膜に異厚あるいは欠損領域を形成する方法、
時開＠６０−１０３１２４号公報、及び特開昭６０−１
０３１８２号公報などには、地鉄中、フォルステライト
質被膜中、又は張力付与絶縁被膜中に異組成領域を形成
する方法等がある。

しかしながら、これらの方法はいずれも工程が複雑とな
るわりには鉄損の低減効果は少なく、また、製造コスト
が高くなることもあって工業的に採用されるには至って
いない。

これらとは別に、特公昭５５−１９９７６号公報、特開
昭５６−１２７７４９号公報、特開平２−３２１３号公
報において開示されているように非晶質合金が通常の電
力用トランスや高周波トランス等の鉄心材料として注目
されて来ている。このような非晶質材料は通常の一方向
性けい素鋼板に比較して非常に優れた鉄損特性が得られ
るものの、熱的安定性に欠ける、占積率が悪い、切断が
容易でないなど実用上不利な点が多く、大量には使用さ
れていない。

また、ごく最近、市販の方向性けい素鋼板をさらに薄く
圧延し、高真空中での熱処理により、３次再結晶を生成
させることにより、鉄心用アモルファス材料に匹敵する
鉄損が得られると云う技術が、石山、荒井：日本金属学
会春期大会講演概要（１９９０年４月）　Ｐ　２９０に
示されている。

しかしながら、この手法は、１１００℃超えの高温長時
間熱処理を必要とするため、実際の製造工程には適用で
きない。

（発明が解決しようとする課題） この発明は、前記の問題点を排除し、アモルファスと同
程度の極超低鉄損を有する一方向性極薄けい素鋼板を、
有利に、かつ安定した工程で製造する方法を提案するも
のである。

（課題を解決するための手段） まず、特定発明の要旨は、 仕上げ焼鈍済みの一方向性けい素鋼板を素材として、 該鋼板表面上の非金属物質を除去すること、非金属物質
を除去した鋼板に圧下率５％から８０％の範囲で再圧延
を行なって０．０１閣から０．１５閣の範囲の板厚とす
ること、 再圧延を行なった鋼板に７００℃以上１１００℃以下の
範囲内の温度で焼鈍を行なうこと、 の各工程による極薄一方向性けい素鋼板の製造に際して
、 再圧延後、鋼板表面に、Ｓｉ＋　Ｍｎ、　Ｃｒ＋　Ｎｉ
＋　Ｍｏ＋Ｗ、　　Ｖ、　Ｔｔ、　Ｎｂ、　Ｔａ、　　
Ｂ、　Ｃｕ、　Ｚｒ、　Ｉｆ、及びＡｌｆｉの窒化物、
炭化物、又は炭窒化物のうちから選んだ１種又は２種以
上の張力付与被膜を被成させること、 を特徴とする極超低鉄損一方向性極薄けい素鋼板の製造
方法である。

ここに、この発明において張力付与被膜の被成は、再圧
延後の焼鈍の前又は後のいずれかで行なうことができる
。

つぎに他の発明の第２は、 特定発明において、前記焼鈍後で張力付与被膜を被成し
た鋼板上に、 絶縁被膜を被成させること、 を特徴とする極超低鉄損一方向性極薄けい素鋼板の製造
方法である。

つぎに他の発明の第３は、 特定発明において、前記焼鈍後で張力付与被膜を被成し
た鋼板に、 磁区細分化処理を施すこと、 を特徴とする極超低鉄損一方向性極薄けい素鋼板の製造
方法である。

さらに他の発明の第４は、 他の発明の第２において、前記絶縁被膜を被成した鋼板
に、 磁区細分化処理を施すこと、 を特徴とする極超低鉄損一方向性極薄けい素鋼板の製造
方法である。

ここに、純化焼鈍を終えた一方向性けい素鋼板表面上の
非金属物質、すなわち、フォルステライト、酸化物被膜
などの除去は、公知の化学的除去法や、機械的除去法な
どを単独又はこれらの組合せで行なえばよい。

この酸化物除去処理後、必要に応じて、従来公知の研摩
方法により鋼板表面を鏡面状態に仕上げることが望まし
い。この場合の中心線平均粗さは０．４　μ−以下とす
ることが好ましい。

再圧延後に行なう、張力付与被膜の被成は、ＣＶＤ、イ
オンブレーティング、及びイオンインプランチーシラン
などが選択され、この膜厚は、張力付与効果及び占積率
より、０．００５μ−から５．０　μｍｍの範囲とする
ことが好ましい。

張力付与被膜を被成した鋼板、又は張力付与被膜上に絶
縁被膜を被成した鋼板に施す磁区細分化処理は、レーザ
ー、プラズマなどを利用する方法、及び電子ビームを利
用する方法でよい。

つぎに、この発明の方法の適用に関し一方向性けい素鋼
板の成分組成については、従来公知の成分組成のものい
ずれもが適合するが、代表組成をあげると以下のとおり
である。

Ｃ：　０．０１ｗｔ％以上、０．１０ｗｔ％以下。

熱間圧延、冷間圧延中の組織の均一微細化のみならず、
ゴス方位の発達に有用な元素であり、少なくとも０．０
１ｗｔ％以上の添加が好ましい。

しかしながら０．１０ｗｔ％を超えて含有するとかえっ
てゴス方位に乱れが生じるので上限は０．１０ｗｔ％が
好ましい。

Ｓｉ　：　２．Ｏｗｔ％以上、４．５　ｗｔ％以下。

鋼板の比抵抗を高め鉄損の低減に有効に寄与するが、２
．Ｏｗｔ％に満たないと比抵抗が低下するだけでなく、
２次再結晶・純化のために行なわれる最終高温焼鈍中に
α−Ｔ変態によって結晶方位のランダム化を生じ、十分
な鉄損改善効果が得られず、また４、５　ｗｔ％を超え
ると冷延性が損なわれる。したがって、下限を２．Ｏｗ
ｔ％、上限を４．５　ｗｔ％とすることが好ましい。

？Ｉｎ　：　０．０２ｗｔ％以上、０．１２ｗｔ％以下
。

熱間脆化を防止するため少なくとも０．０２ｗｔ％を必
要とするが、あまり多すぎると磁気特性を劣化させるの
で、上限は０．１２ｗｔ％が好ましい。

インヒビターとしては、大別してＭｎＳ＋　ＭｎＳｅ系
とＡｌＮ系とがある。ＭｎＳ、　ＭｎＳｅ系の場合は、
Ｓ　：　０．００５　ｗｔ％以上、０．０６ｗｔ％以下
、及びＳｅ　：　０．００５　ｗｔ％以上、０．０６ｗ
ｔ％以下、のうちから選ばれる少なくとも１種。

Ｓ、Ｓｅはいずれも方向性けい素鋼板の２次再結晶を制
御するインヒビターとして有力な元素である。ともに抑
制力確保の観点からは、少なくとも０．００５　ｗｔ％
程度を必要とするが、０．０６賀ｔ％を超えるとその効
果が損なわれるので、その下限を０．００５　ｗｔ％、
上限を０．０６ｗｔ％とすることが好ましい。

ＡｌＮ系の場合は、 Ａｌ　：　０．００５　ｗｔ％以上、０．１０ｗｔ％以
下、及びＮ　：　０．００４　ｗｔ％以上、０．０１５
　ｗｔ％以下。

Ａｌ及びＮの範囲についても、上述したＭｎＳ系、Ｍｎ
Ｓｅ系の場合と同様の理由により上記の範囲とすること
が好ましい。

インヒビター成分としては上記したＳ、　Ｓｅ、　Ｉｆ
！の他に、Ｃｒ、　Ｍｏ、　Ｃｕ、　Ｓｎ、　Ｇｅ、　
ｓｂ、　Ｔｅ、　Ｂｔ及びＰなどについても有利に適合
するもので、それぞれ少量併せて含有させることもよい
、ここに上記成分の好適添加範囲はそれぞれ、Ｃｒ、　
Ｃｕ、　Ｓｎ　：　０．０１ｗｔ％以上、０．１５ｗｔ
％以下、Ｍｏ、　Ｇｅ＋　ｓｂ、　Ｔｅ、　Ｂｌ　：０
．００５　ｗｔ％以上、０．１　ｗｔ％以下、Ｐ　：　
０．０１ｗｔ％以上、０．２　ｗｔ％以下であり、これ
ら各インヒビター成分についても単独使用及び複合使用
いずれの場合もが適合する。

（作　用） 素材としての仕上げ焼鈍済みの一方向性けい素鋼板は、
一般に、けい素鋼スラブを熱間圧延した熱延板に、８０
０℃から１１００℃の温度の均一化焼鈍を経て一回冷延
法か、又は、通常８５０℃から１０５０℃の温度の中間
焼鈍をはさんでさらに冷延する２回冷延法を適用し、後
者の場合の１回目の圧延は圧下率を５０％から８０％、
前者の場合及び後者の２回目の圧延の場合には５０％か
ら８５％の圧下率で通常０．１５論から０．３５■厚の
冷延板とするが、必要に応じ０．１５　ｍ−以下として
もよい。

つぎに、冷延を終えた鋼板は、表面脱脂後７５０℃から
８５０℃の湿水素中で脱炭および１次再結晶焼鈍を施す
。

このような処理を施した後、鋼板表面に焼鈍分離剤を塗
布する。

なお、この際−船釣には仕上げ焼鈍後必要不可欠とされ
るフォルステライト被膜については、その除去をより容
易にするため、焼鈍分離剤としてＭｇＯにＡ　ｊ！　！
０３＋　Ｚｒ０ｚ、　Ｔｉｏ！などを５０％以上で混入
させることが好ましく、かくして、鋼板表面の鏡面処理
を簡便にするのにも役立て得る。

何れにしても、焼鈍分離剤塗布後、２次再結晶粒を十分
に発達させるために施されるもので通常は、箱焼鈍によ
って直ちに１０００℃以上に昇温し、その温度に保持す
ることによって行なわれる。

なお、コズ方位に高度に揃った２次再結晶粒組織を発達
させるためには、８２０℃から９００℃の低い温度で保
定焼鈍をするか、そのほか例えば０．５℃／ｈから１５
℃／ｈの昇温速度の徐熱焼鈍を行なったものであっても
よい。

２次再結晶後の純化焼鈍は、飽水素中、１１００℃以上
で１時間から２０時間の条件で十分に鋼板の純化を達成
させる。

以上のようにして、仕上げ焼鈍済みの一方向性けい素鋼
板が得られる。

前記鋼板を素材として、まず、鋼板表面上の非金属物質
、すなわち、酸化物被膜（これにはフォルステライト被
膜も勿論含まれる）を、公知°の酸洗などの化学除去法
や、切削、研削などの機械的除去法、またはこれらの方
法の組合せにより除去する。

この非金属物質除去処理の後、必要に応じて鋼板表面を
鏡面状態に仕上げることがあり、この鏡面仕上げは、化
学研摩、電解研摩、又はパフがけなどの機械的研摩、あ
るいはこれらの方法の組合せにて行なえばよい。

つぎに、酸化物を除去した鋼板は、圧下率５％から８０
％の再圧延により０．０１園から０．１５閣の範囲の板
厚にする。

この場合においての圧延で圧下率を限定する理由は、圧
下率が５％未満では、鋼板に与える加工歪が小さくて、
粒界移動の易動度（Ｍｏｂｆｌｉｔｙ）が小さいため、
結晶粒の粗大化が起りにくく、また、逆に圧下率が８０
％を超えると、転位密度が高くなりすぎて結晶粒を粗大
化させることが困難になるためである。

また、板厚の限定理由は、０．１５ｍ−を超える厚さで
は、厚すぎて板厚による鉄損の低減効果が十分でなく　
、０．０１ｍ５＋以下では、薄すぎて製造の面でも、取
扱いの面でも困難となり実用的でないことによる。

再圧延後、焼鈍を行なうのであるが、この焼鈍の前又は
後に、ＣＶＤ、イオンブレーティング、イオンインプラ
ンテーションにより、Ｓｉ、　？Ｉｎ、　Ｃｒ。

Ｎｉ、　Ｍｏ、　ｗ、　　ｖ、　Ｔｉｌ　Ｎｂｌ　Ｔａ
＋　　ＢＩ　Ｃｕ、　Ｚｒｌ　Ｈｆｌ及びＡｌの窒化物
、炭化物、又は炭窒化物のうちから選んだ１種又は２種
以上の少なくとも一層の張力付与被膜を鋼板表面上に被
成させる。

この張力付与被膜の膜厚は、ｏ、ｏｏｓｐ−未満では張
力付与効果が小さいため鉄損を低下させる効果が小さ（
、また、５μ論を超えるほどの膜厚では、占積率の面で
も、経済性の点でも不利なので、０．００５μ−から５
μ謬の範囲にすることが好適である。

再圧延後の焼鈍の条件としては、７００℃以上１１００
℃以下の範囲内の温度で再結晶を行なわせる。

この焼鈍温度範囲を限定する理由は、７００℃以下では
結晶中の加工歪を解放し再結晶をさせることができず、
また、１１００℃以上では板厚が薄いため安定して形状
の良好な製品を得ることが困難になり、かつ、経済性も
劣ることによる。

また、この焼鈍において、鉄損を低下さすために必要な
再結晶を十分に行なわせるための時間としては、２時間
以上とすることが好ましいが、２０時間を超えるような
長時間は不要である。

かくして得られる極超低鉄損一方向性極薄けい素鋼板に
おける張力付与被膜の絶縁性を、さらに増強して、トラ
ンスの鉄心などの用途に、より適合させるため、張力付
与被膜上に絶縁被膜を重ね被成させることができる。

この絶縁被膜は、コロイダルシリカ、あるいはりん酸塩
とコロイダルシリカを主成分とする塗膜の焼付層よりな
り、その形成は、従来公知の方法をそのまま用いてよい
。

さらに、前記張力付与被膜を被成した鋼板、又は、張力
付与被膜上に絶縁被膜を被成した鋼板につき、鉄損の一
層の向上を目的として磁区細分化処理を施すことができ
る。

この磁区細分化処理は、レーザー、プラズマ、あるいは
電子ビームを用いて、圧延方向と交わる方向に３閣から
２０ｍｍの走査間隔で照射するが、これらの方法は、従
来公知の手法をそのまま用いることでよい。

前記いずれの場合も裁断その他の加工が施された後に歪
取り焼鈍が行なわれるが、この焼鈍は従来の方法を用い
ることができる。

（実施例） 実施例１ 表１に示す化学成分を含有する５種類のけい素鋼スラブ
を、通常の方法で熱間圧延・中間焼鈍・冷間圧延・脱炭
および１次再結晶焼鈍を行なった後、 ２次再結晶焼鈍を施して０．１５曽蒙とから０．２５−
醜厚の一方向性けい素鋼板とした。

これらのけい素鋼板を素材として、鋼板表面上の酸化物
をベルトサンダーで除去した後、電解研摩を施した後、
１０％から７０％の圧下率で圧延し、０．０８■■の板
厚とした。

０．０８ｍｍの板厚に圧延後、１０７０℃の焼鈍の前又
は後で張力付与被膜としてＴｉＮ被膜を被成（膜厚０．
２μ腸から０．３μ■）した鋼板に、さらに以下の処理
を施した。

ＴｉＮ被膜上に、リン酸塩とクロム酸を主成分とする絶
縁被膜を被成する。

ＴｉＮ被膜上からエレクトロンビームによる磁区細分化
処理を施す。

絶縁被膜上からレーザによる磁区細分化処理を施す。

これらの処理によって得た鋼板の鉄損（Ｗｌｓ／ｓ−）
を表２に示す。

表 注８０印は適合項目を示す。

表２から明らかなように、これらの鋼板の鉄損は０．１
１Ｗ／ｋｇから０．３６Ｗ／ｋｇと優れた値を示してい
る。

実施例２ Ｃ：　　０．０７３　ｗｔ％、　　Ｓｔ　：　３．３９
　ｗｔ％Ｍｎ　：　　０．０７２　ｅｙｔ％、　　Ｍｏ
　：　０．０１３　ｗｔ％Ｓｅ：　　０．０２１　ｗｔ
％、　　Ａｌ　：　０．０２６　ｗｔ％を含有するけい
素鋼スラブを、１４２０℃で３時間加熱後熱間圧延して
２．２腫厚の熱延板とした。その後、１０５０℃の中間
焼鈍をはさんで２回の冷間圧延を施して０．２３謹厚の
冷延板とした。その後、８４０℃の湿水素中で脱炭を兼
ねる１次再結晶焼鈍を施した後、鋼板表面上にフォルス
テライトを主成分とする焼鈍分離剤を塗布し、８５０℃
から１０℃／ｈで１１５０℃まで昇温してゴス方位２次
再結晶粒を発達させ、その後１２３０℃の飽水素中で純
化焼鈍を行なって得られた一方向性けい素鋼板を素材に
用いた。

この鋼板表面上のフォルステライト被膜をベルトサンダ
ーにより除去し、ついで電解研摩を行なって中心線平均
粗さＲａ　：　０．０８μｍｍの鏡面に仕上げた後、再
圧延の圧下率５６．５％で冷間圧延を行なって０．１■
厚みとした。その後、鋼板表面を脱脂した後、表３に区
別したそれぞれの方法で、種々の窒化物、炭化物、炭窒
化物よりなる張力付与被膜（膜厚０．０５μｍ）を被成
し、７００℃から１１００℃の範囲内の温度で焼鈍を行
ない、しかる後、コロイダルシリカとりん酸塩を主体と
する絶縁被膜（膜厚０．２μ■）を被成した。

その後、鋼板表面上に加速電圧：　２５０　ｋＶ、加速
電流：　１．ＯｍＡの電子ビームを圧延方向に対しｉ角
をなす方向に走査間隔８■で照射し、磁区細分化を行な
った。

かくして得られた鋼板の鉄損Ｗ、３．．。を表３に示す
。

表 ・イオンインプランチーシラン・・・３表３から明らか
なように磁区細分化処理を施したこれらの鋼板の鉄損は
、Ｗ＋３／ｓｌｌで０．１２Ｗ／ｋｇから０．２５Ｗ／
ｋｇと鉄心用アモルファス並の極超低鉄損を示している
。

（発明の効果） この発明によれば、仕上げ焼鈍済みの一方向性けい素鋼
板を素材として、極薄に再圧延した後、特定発明におい
ては、張力付与被膜の被成と再結晶焼鈍を行なうことに
より、鉄心用アモルファスなみの極超低鉄損を示す一方
向性極薄けい素鋼板が容易に製造でき、 加えて発明の第２においては、絶縁被膜を被成さすこと
により、絶縁性をさらに増強し、発明の第３、第４にお
いては、磁区細分化処理を行なうことにより鉄損の一層
の向上が計れるものである。

そしてこの発明によって得られる製品はトランスなどの
鉄心に用いて好適である。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. １．仕上げ焼鈍済みの一方向性けい素鋼板を素材として
   、 該鋼板表面上の非金属物質を除去すること、非金属物質
   を除去した鋼板に圧下率５％か ら８０％の範囲で再圧延を行なって０．０１ｍｍから０
   ．１５ｍｍの範囲の板厚とすること、 再圧延を行なった鋼板に７００℃以上１１００℃以下の
   範囲内の温度で焼鈍を行なうこと、 の各工程による極薄一方向性けい素鋼板の 製造に際して、 再圧延後、鋼板表面に、Ｓｉ，Ｍｎ，Ｃｒ，Ｎｉ，Ｍｏ
   ，Ｗ，Ｖ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｂ，Ｃｕ，Ｚｒ，Ｈｆ，
   及びＡｌの窒化物、炭化物、又は炭窒化物のうちから選
   んだ１種又は２種以上の張力付与被膜を被成させること
   、 を特徴とする極超低鉄損一方向性極薄けい 素鋼板の製造方法。
2. ２．張力付与被膜の被成が、再圧延後の焼鈍前である請
   求項第１項記載の極超低鉄損一方向性極薄けい素鋼板の
   製造方法。
3. ３．張力付与被膜の被成が、再圧延後の焼鈍後である請
   求項第１項記載の極超低鉄損一方向性極薄けい素鋼板の
   製造方法。
4. ４．仕上げ焼鈍済みの一方向性けい素鋼板を素材として
   、 該鋼板表面上の非金属物質を除去すること、非金属物質
   を除去した鋼板に圧下率５％か ら８０％の範囲で再圧延を行なって０．０１ｍｍから０
   ．１５ｍｍの範囲の板厚とすること、 再圧延を行なった鋼板に７００℃以上１１００℃以下の
   範囲内の温度で焼鈍を行なうこと、 の各工程による極薄一方向性けい素鋼板の 製造に際して、 再圧延後、鋼板表面に、Ｓｉ，Ｍｎ，Ｃｒ，Ｎｉ，Ｍｏ
   ，Ｗ，Ｖ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｂ，Ｃｕ，Ｚｒ，ＨＦ，
   及びＡｌの窒化物、炭化物、又は炭窒化物のうちから選
   んだ１種又は２種以上の張力付与被膜を被成させること
   、 焼鈍後で張力付与被膜を被成した鋼板上に、絶縁被膜を
   被成させること、 を特徴とする極超低鉄損一方向性極薄けい 素鋼板の製造方法。
5. ５．仕上げ焼鈍済みの一方向性けい素鋼板を素材として
   、 該鋼板表面上の非金属物質を除去すること、非金属物質
   を除去した鋼板に圧下率５％か ら８０％の範囲で再圧延を行なって０．０１ｍｍから０
   ．１５ｍｍの範囲の板厚とすること、 再圧延を行なった鋼板に７００℃以上１１００℃以下の
   範囲内の温度で焼鈍を行なうこと、 の各工程による極薄一方向性けい素鋼板の 製造に際して、 再圧延後、鋼板表面に、Ｓｉ，Ｍｎ，Ｃｒ，Ｎｉ，Ｍｏ
   ，Ｗ，Ｖ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｂ，Ｃｕ，Ｚｒ，Ｈｆ，
   及びＡｌの窒化物、炭化物、又は炭窒化物のうちから選
   んだ１種又は２種以上の張力付与被膜を被成させること
   、 焼鈍後で張力付与被膜を被成した鋼板上に 磁区細分化処理を施すこと、 を特徴とする極超低鉄損一方向性極薄けい 素鋼板の製造方法。
6. ６．仕上げ焼鈍済みの一方向性けい素鋼板を素材として
   、 該鋼板表面上の非金属物質を除去すること、非金属物質
   を除去した鋼板に圧下率５％か ら８０％の範囲で再圧延を行なって０．０１ｍｍから０
   ．１５ｍｍの範囲の板厚とすること、 再圧延を行なった鋼板に７００℃以上１１００℃以下の
   範囲内の温度で焼鈍を行なうこと、 の各工程による極薄一方向性けい素鋼板の 製造に際して、 再圧延後、鋼板表面に、Ｓｉ，Ｍｎ，Ｃｒ，Ｎｉ，Ｍｏ
   ，Ｗ，Ｖ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｂ，Ｃｕ，Ｚｒ，Ｈｆ，
   及びＡｌの窒化物、炭化物、又は炭窒化物のうちから選
   んだ１種又は２種以上の張力付与被膜を被成させること
   、 焼鈍後で張力付与被膜を被成した鋼板上に、絶縁被膜を
   被成させること、 絶縁被膜を被成した鋼板に磁区細分化処理 を施すこと、 を特徴とする極超低鉄損一方向性極薄けい 素鋼板の製造方法。