JPH0445808Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、たとえば磁気デイスクの両面を研磨
したり、あるいは研磨後の両面に僅かなすじを形
成（微粗面処理）したりする両面処理装置で、磁
気デイスクを所定位置で保持するときなどに採用
される被処理板体の保持装置に関するものであ
る。

従来の技術 従来、たとえば磁気デイスクの研磨は、特開昭
56年130834号公報や特開昭58年120460号公報に見
られるように、磁気デイスクを縦軸心の周りで回
転させながら、その上面に対してラツピングテー
プを接触させることにより行なつていた。このよ
うな従来形式によると、一面の研磨を終えたのち
磁気デイスクの表裏をかえて（裏返して）他面の
研磨を行なうのであり、この裏返し作業を人手に
より行なうことから能率が悪く、かつ高価格の原
因ともなつていた。そこで最近では、たとえば第
４図、第５図に示すように、環状の下位研磨体７
０と、昇降により下位研磨体７０に対して接近離
間自在な上位研磨体７１とを、それぞれ縦軸心７
２，７３の周りに相反する方向に回転自在とし、
そして両研磨体７０，７１間に磁気デイスク７４
の保持装置７５を設けた両面研磨形式が提供され
ている。ここで保持装置７５は、縦軸心７２上に
位置する駆動軸７６に取付けた駆動ローラ７７
と、この駆動ローラ７７に対向し、周方向２個を
１組として複数組配設された遊転ローラ７８と、
対となるローラ７７，７８間で回転自在に支持さ
れるリング状のキヤリツジ７９とから構成され
る。そしてチヤツク式などの移載装置で運んでき
た磁気デイスク７４をキヤリツジ７９の中央に形
成した保持孔８０に嵌装させるとともに、この磁
気デイスク７４の下面を下位研磨体７０で受止め
させる。そして両研磨体７０，７１を回転させた
状態で、上位研磨体７１を下降して磁気デイスク
７４の上面に接当させることで両面の同時研磨を
行なつている。その際に駆動ローラ７７の回転力
がキヤリツジ７９に伝えられ、そして保持孔８０
の内周面をしての摩擦力などによつて磁気デイス
ク７４も回転することから、この磁気デイスク７
４は内面の全域に亘つて研磨される。

考案が解決しようとする問題点 上記の従来形式においてキヤリツジ７９は、薄
肉の磁気デイスク７４よりもさらに薄いリング板
であり、したがつて研磨作業時にかかる荷重は各
ローラ７７，７８への３点の偏荷重となることか
らキヤリツジ７９が撓むことになり、両面の全域
に亘つての均一な研磨は期待できない。

本考案の目的とするところは、キヤリツジを、
撓むことなく強制回転し得る被処理板体の保持装
置を提供する点にある。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決すべく本考案における被処理
板体の保持装置は、処理装置に対向する板体を固
定部側に設け、この板体に貫通孔を形成し、この
貫通孔に嵌入し、かつ貫通孔の内周面に摺接自在
な歯車部を外周に形成したキヤリツジを設けると
ともに、このキヤリツジに被処理板体の保持孔を
形成し、前記キヤリツジの歯車部に噛合する駆動
歯車を固定部側に設けている。

作 用 かかる本考案構成によると、キヤリツジの保持
孔に被処理板体を嵌装した状態で処理装置を作動
させることで、この被処理板体に対する面処理を
行なえる。そして駆動歯車の回転力が歯車部を介
してキヤリツジに伝えられ、このキヤリツジを強
制回転させるのであるが、その際にキヤリツジに
かかる荷重は、歯車部の全周多数の歯頂部群を介
して貫通孔の内周面のほぼ全周で受止められるこ
とになり、したがつてキヤリツジの強制回転は撓
むことなく行なわれる。

実施例 以下に本考案の一実施例を第１図〜第３図に基
づいて説明する。１は処理装置の一例である両面
研磨装置で、その本体２は、ベース枠２Ａと架枠
２Ｂとによつて側断面視がＣ字状に形成され、そ
して本体２の中間部には、両側面ならびに前面を
開放させた処理空間３が形成される。前記ベース
枠２Ａには上向きの固定側処理部４が配設され、
そして架枠２Ｂには下向きの可動側処理部５が配
設され、両処理部４，５は上下方向で相対向して
いる。

前記固定側処理部４では、ベース枠２Ａと一体
の筒体６に回転軸７が挿通され、この回転軸７は
軸受８を介して縦軸心９の周りに回転自在であ
り、その回転は、ベース枠２Ａ内に設けたモータ
１０の出力軸１１と回転軸７の下端との間に無端
伝動装置１２を介在させることで可能となる。前
記回転軸７の上部はフランジ部７ａに形成され、
このフランジ部７ａには取付け板１３を介して、
処理体の一例である下位研磨体（砥石など）１４
が取付けられる。他方の可動側処理部５では、架
枠２Ｂと一体で上下方向の外筒体１５に内筒体１
６が挿通され、この内筒体１６は軸受１７を介し
て縦軸心１８の周りに回転のみ自在に支持され
る。この内筒体１６の回転は、架枠２Ｂに設けた
モータ１９の出力軸２０と内筒体１６の上端との
間に無端伝動装置２１を介在させることで可能と
なり、その際に縦軸心１８は下部の縦軸心９と同
一線上にある。前記内筒体１６内にはスプライン
筒２２が固定され、このスプライン筒２２にスプ
ライン嵌合して挿通するスプライン軸２３が設け
られる。このスプライン軸２３の下部に形成した
軸部２３ａの中間にはキー２４を介してボス部材
２５が固着され、そして下端には球軸受２６を介
してフランジ材２７が遊動自在に取付けてある。
このフランジ材２７からのピン２８はボス部材２
５側に挿通されている。そしてフランジ材２７の
下面には、取付け板２９を介して上位研磨体３０
が取付けられる。前記軸部２３ａの上端には軸受
３１を介してブラケツト３２が取付けられ、この
ブラケツト３２に、前記外筒体１５に取付けたシ
リンダ装置３３が連動されている。両処理部４，
５において、少なくとも研磨体１４，３０は処理
空間３内に突出している。

両処理部４，５の間に保持装置３４を介在させ
ている。すなわちベース枠２Ａ側からのボルト・
ナツト３５を介して板体３６が上下位置調整自在
に取付けられ、この板体３６の三箇所（単数、複
数など数は限定されない）には丸形の貫通孔３７
が形成されている。これら貫通孔３７に嵌入され
るキヤリツジ３８が設けられ、このキヤリツジ３
８の外周全面には、貫通孔３７の内周面上で摺接
自在な歯車部３９が形成されている。この摺接
は、ほぼ密な嵌入で回転により行なわれる。そし
て各貫通孔３７の外側には、対応する貫通孔３７
に一部を連通させて通し孔４０が形成され、この
通し孔４０内に、前記キヤリツジ３８の歯車部３
９に常時噛合する駆動歯車４１が配設される。こ
の駆動歯車４１を上端に取付けた縦軸４２は、板
体３６の下面から連設した取付け部材４３側に軸
受４４を介して回転自在に支持されている。そし
て縦軸４２の下端には伝動輪４５が固定され、板
体３６に適宜設けた案内輪４６を介して全ての伝
動輪４５間に、共通の無端回動体４７が張設され
ている。縦軸４２のうちの１本は上方へ突出し、
この突出部はモータ４８に無端伝動装置４９を介
して連動連結している。前記キヤリツジ３８はリ
ング板状であつて、被処理板体の一例である磁気
デイスク５０の保持孔５１を形成している。な
お、一枚のキヤリツジ３８に対する保持孔５１の
数は単数、複数など任意であり、また形状も矩形
など任意である。

５５は磁気デイスク５０を供給し、そして取出
すための移載装置で、架枠２Ｂの側面に取付けた
左右方向のレール５６と、このレール５６に摺動
部５７を介して支持案内される移動台５８と、こ
の移動台５８にガイド装置５９を介して案内され
る昇降体６０と、移動台５８と昇降体６０との間
に設けた昇降用のシリンダ装置６１と、前記昇降
体６０の複数箇所に設けた下向きの吸着具（バキ
ユームカツプなど）６２とから構成され、前記移
動台５８の往復移動は、シリンダ装置、駆動チエ
ン、螺軸機構（いずれも図示せず）などにより行
なわれる。

次に上記実施例の両面研磨措置１を使用して磁
気デイスク５０を研磨する作用を説明する。

磁気デイスク５０を供給する前に両処理部４，
５、ならびに保持装置３４は回転を停止してい
る。そして可動側処理部５では、シリンダ装置３
３の収縮によつて上位研磨体３０は上昇し、離間
している。この状態で、側方において各吸着具６
２により磁気デイスク５０を吸着してなる移動台
５８を横移動させ、両研磨体１４，３０に昇降体
６０を位置させる。このとき各磁気デイスク５０
が保持孔５１に合致して対向している。次いでシ
リンダ装置６１の伸展で昇降体６０を下降させ、
磁気デイスク５０を保持孔５１に嵌装させる。そ
して吸着具６２による吸着を解除したのち、シリ
ンダ装置６１の収縮で昇降体６０を上昇させ、さ
らに移動台５８を横移動させて昇降体６０を両研
磨体１４，３０の間から側方へ退去させる。この
とき、嵌装された磁気デイスク５０の下面は下位
研磨体１４で受止められる。次いでシリンダ装置
３３の伸展により、ブラケツト３２、スプライン
軸２３などを介して上位研磨体３０を下降させる
とともに各モータ１０，１９，４８を始動させ
る。これにより上位研磨体３０が磁気デイスク５
０の上面に接触し、かつ両研磨体１４，３０が相
反する方向に回転して各磁気デイスク５０の両面
研磨が行なわれる。すなわち固定側処理部４で
は、モータ１０の回転力が無端伝動装置１２、回
転軸７、取付け板１３などを介して下位研磨体１
４に伝えられ、この下位研磨体１４を縦軸心９の
周りに回転させる。また可動側処理部５では、モ
ータ１９の回転力が無端伝動装置２１、内筒体１
６、スプライン筒２２、スプライン軸２３、ピン
２８、取付け板２９などを介して上位研磨体３０
に伝えられ、この上位研磨体３０を縦軸心１８の
周りに回転させる。その際に両研磨体１４，３０
や磁気デイスク５０の多少の変位は、球軸受２６
を介してのフランジ材２７の変位で吸収し得る。
上述した両面の研磨中に、モータ４８の回転力は
無端伝動装置４９、無端回動体４７、縦軸４２な
どを介して各駆動歯車４１に伝えられる。これに
より各駆動歯車４１に歯車部３９を介して噛合し
ているキヤリツジ３８が貫通孔３７内で回転し、
そして磁気デイスク５０がキヤリツジ３８と同方
向に回転することになつて、磁気デイスク５０の
両面研磨は全域に亘つて均一に行なわれることに
なる。駆動歯車４１の回転力を受けて貫通孔３７
内で回転するキヤリツジ３８は、駆動歯車４１と
歯車部３９との噛合で平面方向の荷重が発生する
が、この荷重は、歯車部３９の全周に存在する多
数の歯頂部群を介して貫通孔３７の内周面のほぼ
全周で均一に受止められることになり、したがつ
てキヤリツジ３８の強制回転は撓むことなく行な
われる。

上記実施例では両縦軸心９，１８を回転軸心と
した形式を述べたが、これは回転軸心を傾斜軸心
や横軸心とした形式であつてもよい。さらに実施
例では両面研磨形式を示したが、これは、たとえ
ば固定側処理部４を受け板構造とした片面研磨形
式であつてもよい。

上記実施例では磁気デイスク５０の研磨作業を
示したが、被処理板体としては磁気デイスク５０
以外の物品であつてもよく、また処理装置による
処理作業は研磨以外であつてもよい。

考案の効果 上記構成の本考案によると、キヤリツジの保持
孔に被処理板体を嵌装したのち処理装置を作動さ
せることで、この被処理板体の面に対する処理作
業を行なうことができる。この処理作業中に駆動
歯車の回転力が歯車部を介してキヤリツジに伝え
られ、このキヤリツジを強制回転させることで被
処理板体の面全域に亘る均一な処理作業を行なう
ことができる。その際にキヤリツジにかかる荷重
は、歯車部の全周多数の歯頂部群を介して貫通孔
の内周面ほぼ全周で均一に受止めることができ、
したがつてキヤリツジの強制回転は撓むことなく
行なうことができて、全面均一で良好な研磨を行
なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は本考案の一実施例を示し、第
１図は縦断側面図、第２図は要部の平面図、第３
図は同縦断側面図、第４図は従来例を示す一部切
欠き正面図、第５図は同概略平面図である。 １……両面研磨装置（処理装置）、２……本体
（固定部）、４……固定側処理部、５……可動側処
理部、９……縦軸心、１４……下位研磨体、１８
……縦軸心、３０……上位研磨体、３４……保持
装置、３６……板体、３７……貫通孔、３８……
キヤリツジ、３９……歯車部、４１……駆動歯
車、５０……磁気デイスク（被処理板体）、５１
……保持孔、５５……移載装置、６２……吸着
具。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 処理装置に対向する板体を固定部側に設け、こ
   の板体に貫通孔を形成し、この貫通孔に嵌入し、
   かつ貫通孔の内周面に摺接自在な歯車部を外周に
   形成したキヤリツジを設けるとともに、このキヤ
   リツジに被処理板体の保持孔を形成し、前記キヤ
   リツジの歯車部に噛合する駆動歯車を固定部側に
   設けたことを特徴とする被処理板体の保持装置。