JPH0445850B2 - - Google Patents

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JPH0445850B2
JPH0445850B2 JP23253986A JP23253986A JPH0445850B2 JP H0445850 B2 JPH0445850 B2 JP H0445850B2 JP 23253986 A JP23253986 A JP 23253986A JP 23253986 A JP23253986 A JP 23253986A JP H0445850 B2 JPH0445850 B2 JP H0445850B2
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JP
Japan
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pressure
port
servo valve
valve
servo
Prior art date
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Expired
Application number
JP23253986A
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Japanese (ja)
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JPS6386005A (en
Inventor
Kazumitsu Nukui
Kozo Goto
Hiroichi Nakasone
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nagano Keiki Seisakusho KK
Tokyo Gas Co Ltd
Original Assignee
Nagano Keiki Seisakusho KK
Tokyo Gas Co Ltd
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Publication date
Application filed by Nagano Keiki Seisakusho KK, Tokyo Gas Co Ltd filed Critical Nagano Keiki Seisakusho KK
Priority to JP23253986A priority Critical patent/JPS6386005A/en
Publication of JPS6386005A publication Critical patent/JPS6386005A/en
Publication of JPH0445850B2 publication Critical patent/JPH0445850B2/ja
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  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
  • Control Of Fluid Pressure (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は圧力制御用サーボ機構に係り、特に圧
力を入力とする各種工業計器の入出力の校正を行
う圧力発生装置に適用されるサーボ弁を備えた圧
力制御用のサーボ機構に関する。
Detailed Description of the Invention (Field of Industrial Application) The present invention relates to a servo mechanism for pressure control, and in particular to a servo valve applied to a pressure generator that calibrates the input and output of various industrial instruments that input pressure. This invention relates to a servo mechanism for pressure control.

(従来の技術) 一般に、圧力を制御するためにはサーボ弁を用
いて行つているが、このサーボ弁によつて広い範
囲(レンジ)に亘つて圧力を制御するには、サー
ボ弁の特性の悪い処(最大開度近傍及び最小開度
近傍)でコントロールする必要がある。そのた
め、通常、圧力供給源からサーボ弁に至る経路に
固定レギユレータを介装してサーボ弁の特性の良
い中間開度をい使用して圧力制御を行つている。
(Prior art) Generally, pressure is controlled using a servo valve, but in order to control pressure over a wide range (range) with this servo valve, it is necessary to change the characteristics of the servo valve. It is necessary to control at the worst points (near the maximum opening and near the minimum opening). Therefore, a fixed regulator is usually interposed in the path from the pressure supply source to the servo valve, and the pressure is controlled by using the intermediate opening degree of the servo valve, which has good characteristics.

また、サーボ弁を用いて低圧から高圧に至るま
で一連の圧力を制御したい場合、サーボ弁の出口
側は大気開放されているため、制御圧力が低圧に
なるに従いサーボ弁の開度を大きくして圧力流体
(例えば高圧ガス)の流量を大きくしている。
Also, if you want to control a series of pressures from low to high pressure using a servo valve, the outlet side of the servo valve is open to the atmosphere, so as the control pressure becomes lower, the opening of the servo valve should be increased. The flow rate of pressurized fluid (for example, high pressure gas) is increased.

上記のようなサーボ機構を用いた圧力発生装置
として、従来例えば特開昭61−55715合公報に示
されるものがある。すなわちその原理を第4図を
参照して説明すると、同図において符号1は供給
圧力口であり、この供給圧力口1より圧力流体は
ジエツトポンプ2に供給される。上記ジエツトポ
ンプ2は、絞りを有していて圧力発生口4に正圧
から負圧まで発生させるようになつている。そし
て、ジエツトポンプ2を出た流体は、サーボ弁3
により圧力制御がなされて大気開放口8より放出
される。
As a pressure generating device using the above-mentioned servo mechanism, there is a conventional pressure generating device disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1983-55715. That is, the principle will be explained with reference to FIG. 4. In the figure, reference numeral 1 is a supply pressure port, and pressure fluid is supplied to the jet pump 2 from this supply pressure port 1. The jet pump 2 has a throttle and is designed to generate a range of pressure from positive to negative at the pressure generating port 4. The fluid exiting the jet pump 2 is then transferred to the servo valve 3.
The pressure is controlled by this and the gas is discharged from the atmosphere opening port 8.

しかして、ジエツトポンプ2にて発生した圧力
は圧力発生口4に供給され、そしてこの発生圧力
は発生圧検出器5により検出される。符号1乃至
5の各機器を接続する太い実線は圧力配管であ
る。
Thus, the pressure generated by the jet pump 2 is supplied to the pressure generation port 4, and this generated pressure is detected by the generated pressure detector 5. The thick solid lines connecting the devices 1 to 5 are pressure piping.

一方、上記発生圧検出器5にて検出された検出
値は、ここで電気信号に変換されてサーボ増幅器
6に入力され、このサーボ増幅器6で圧力設定信
号7と比較演算がなされ、その演算結果がサーボ
弁3に伝達されジエツトポンプ2にコントロール
され、そして、圧力発生口4における発生圧力が
設定圧力と等しくなるようにサーボ機構全体が制
御される。なお、第4図において各機器を接続す
る細い実線は電気信号配線である。
On the other hand, the detected value detected by the generated pressure detector 5 is converted into an electric signal and inputted to the servo amplifier 6, where it is compared with the pressure setting signal 7 and the result of the calculation is is transmitted to the servo valve 3 and controlled by the jet pump 2, and the entire servo mechanism is controlled so that the pressure generated at the pressure generating port 4 becomes equal to the set pressure. In addition, in FIG. 4, the thin solid lines connecting each device are electrical signal wiring.

(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、上述した圧力制御用のサーボ機
構にあつては、供給圧力と制御発生圧力とが大気
圧に近い数Kg/cm2以下の範囲(例えば供給圧力が
3Kg/cm2、制御発生圧力2Kg/cm2)での圧力制御
であれば特別問題は生じないが、この圧力が1桁
以上高くなり、発生圧力の制御範囲が広くなつて
くると上記従来の技術ではもはや十分な制御がで
きなくなる。
(Problem to be Solved by the Invention) However, in the above-mentioned servo mechanism for pressure control, the supply pressure and the control generation pressure are within a range of several kg/cm 2 or less close to atmospheric pressure (for example, the supply pressure is 3Kg/cm 2 , control generated pressure 2Kg/cm 2 ), no particular problem will arise, but if this pressure increases by an order of magnitude or more and the control range of the generated pressure becomes wider, the above conventional Technology no longer provides sufficient control.

すなわち前記の供給圧力が60Kg/cm2の場合で制
御発生圧力を20Kg/cm2としようとするとその圧力
差は40Kg/cm2ともなつてサーボ弁3の気体通過量
が著しく増大し、したがつてサーボ弁の形状や寸
法もこの圧力値に応じた体積変化を見込んで決め
なければ安定した作動が得られなくなる。また大
気開口8での大気圧との差が20Kg/cm2となるか
ら、サーボ弁3のノズルの開度が小さくしなけれ
ば、弁体がポートを殆んど塞ぐ状態となつてサー
ボ弁としてきわめて特性の悪いところでの使用と
なり、その結果ハンチングに起こすなどにより制
御がきわめて不安定になるという問題があつた。
In other words, when the supply pressure is 60 Kg/cm 2 and the control generation pressure is set to 20 Kg/cm 2 , the pressure difference becomes 40 Kg/cm 2 and the amount of gas passing through the servo valve 3 increases significantly. Therefore, stable operation cannot be achieved unless the shape and dimensions of the servo valve are determined taking into account the change in volume depending on the pressure value. Also, since the difference between the atmospheric pressure and the atmospheric pressure at the atmospheric opening 8 is 20 kg/cm 2 , if the opening degree of the nozzle of the servo valve 3 is not made small, the valve body will almost block the port and the servo valve will not function properly. The problem was that this was used in areas with extremely poor characteristics, resulting in extremely unstable control due to hunting and other problems.

このような点を解消するためには、第4図にお
いて圧力供給源から供給圧力口1に至る系路中に
手動の調圧弁(レギユレータ)を介装し、前述の
ように供給圧力が60Kg/cm2である場合このレギユ
レータにより22Kg/cm2程度にまで下げ、供給圧力
口1に送るようにして制御発生圧力20Kg/cm2を得
るようにすることになる。また制御発生圧力を30
Kg/cm2にしようとするときは前述のレギユレータ
で供給圧力口1での圧力を32Kg/cm2に調整しなお
すことが必要となる。このようにきわめて煩雑な
作業を強いられるという問題がある。
In order to solve this problem, a manual pressure regulating valve (regulator) is inserted in the line from the pressure supply source to the supply pressure port 1 in Fig. 4, and the supply pressure is adjusted to 60 kg/kg as described above. cm 2 , this regulator lowers the pressure to about 22 kg/cm 2 and sends it to the supply pressure port 1 to obtain a control generated pressure of 20 kg/cm 2 . Also control generated pressure to 30
When trying to increase the pressure to Kg/cm 2 , it is necessary to readjust the pressure at the supply pressure port 1 to 32 Kg/cm 2 using the regulator described above. In this way, there is a problem in that extremely complicated work is forced.

本発明は上述した事情に鑑み創案されたもの
で、その目的とする処は、上述した従来のサーボ
機構が有する問題点を解消し、広い圧力範囲で所
望の圧力値が容易に得られ、かつ流体の消費量が
一定で少く済む圧力制御用サーボ機構を提供する
ことにある。
The present invention was devised in view of the above-mentioned circumstances, and its purpose is to solve the problems of the conventional servo mechanism described above, to easily obtain a desired pressure value in a wide pressure range, and to It is an object of the present invention to provide a pressure control servo mechanism in which fluid consumption is constant and small.

(問題点を解決するための手段) 上述した問題点を解決するため本発明は、圧力
を制御するサーボ弁と、この制御された圧力を検
出する発生圧検出器と、この発生圧力器からの検
出値と設定値とを比較する比較増幅器とを備えた
圧力制御用サーボ機構において、サーボ弁の上流
側には、供給圧力を減圧するポート、およびこの
ポートの開度を可変とする弁部材を有し開弁方向
に付勢された可動部材を備え、その可動部材の背
部に減圧後の圧力を導入して均衡させる上流側圧
力レギユレータを設け、サーボ弁の下流側には、
大気に連通するポート、およびこのポートの開度
を可変とするロツドを有し開弁方向に付勢された
可動部材を備え、その可動部材の背部に前記減圧
後の圧力を導入して均衡させる下流側圧力レギユ
レータを設け、上記サーボ弁によつて制御された
発生圧力に連動して上記サーボ弁の供給圧と背圧
とを変化させるように構成したことを特徴とす
る。
(Means for Solving the Problems) In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a servo valve for controlling pressure, a generated pressure detector for detecting the controlled pressure, and a pressure sensor for detecting the controlled pressure. In a pressure control servomechanism equipped with a comparator amplifier that compares a detected value and a set value, a port for reducing the supply pressure and a valve member for making the opening degree of this port variable are provided on the upstream side of the servo valve. The servo valve has a movable member biased in the valve opening direction, and an upstream pressure regulator is provided at the back of the movable member to introduce and balance the reduced pressure, and on the downstream side of the servo valve,
A movable member having a port communicating with the atmosphere and a rod that makes the opening degree of this port variable and biased in the valve opening direction is provided, and the pressure after the decompression is introduced into the back of the movable member to balance it. The present invention is characterized in that a downstream pressure regulator is provided to change the supply pressure and back pressure of the servo valve in conjunction with the generated pressure controlled by the servo valve.

(作用) 本発明は前記手段により、圧力流体をサーボ弁
に供給する前に、サーボ弁によつて制御された発
生圧力によつて作動する圧力レギユレータによつ
て減圧し、この減圧された圧力をサーボ弁によつ
て制御し、所望の圧力を発生させることができ
る。そして、サーボ弁の背圧も同様に発生圧力に
よつて作動する圧力レギユレータによつて所定の
圧力に制御される。これにより、低圧から高圧に
至るまで広い圧力範囲に亘つて無段階の正確な圧
力が発生できる。
(Operation) The present invention uses the means described above to reduce the pressure of the pressure fluid by a pressure regulator operated by the generated pressure controlled by the servo valve before supplying the pressure fluid to the servo valve. It can be controlled by a servo valve to generate the desired pressure. The back pressure of the servo valve is similarly controlled to a predetermined pressure by a pressure regulator operated by the generated pressure. This allows stepless and accurate pressure to be generated over a wide pressure range from low pressure to high pressure.

(実施例) 以下、本発明に係る圧力制御用サーボ機構の実
施例を第1図乃至第3図を参照して説明する。
(Example) Hereinafter, an example of the pressure control servo mechanism according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3.

本発明のサーボ機構は、第1図に示されるよう
に従来のサーボ機構と同様に、圧力流体は供給圧
力口1よりジエツトポンプ2に送られ、ジエツト
ポンプ2を出た流体はサーボ弁3で圧力制御がな
される一方、ジエツトポンプ2にて発生した圧力
は圧力発生口4に供給され、この圧力は発生圧検
出器5によつて検出される。そして、発生圧検出
器5の検出値はサーボ増幅器6に入力され、この
サーボ増幅器6で圧力設定信号7と比較演算がな
され、その演算結果がサーボ弁3に伝達されサー
ボ弁3がコントロールされるようになつている。
As shown in FIG. 1, in the servo mechanism of the present invention, the pressure fluid is sent to the jet pump 2 from the supply pressure port 1, and the pressure of the fluid exiting the jet pump 2 is controlled by the servo valve 3, as shown in FIG. Meanwhile, the pressure generated by the jet pump 2 is supplied to the pressure generation port 4, and this pressure is detected by the generated pressure detector 5. The detected value of the generated pressure detector 5 is input to the servo amplifier 6, where it is compared with the pressure setting signal 7, and the result of the calculation is transmitted to the servo valve 3 to control the servo valve 3. It's becoming like that.

本発明に係るサーボ機構は、上述した従来技術
の構成に以下の構成が加えられている。
The servo mechanism according to the present invention has the following configuration added to the configuration of the prior art described above.

すなわち、第1図に示されるように本発明の圧
力制御用サーボ機構は上流側圧レギユレータ10
と下流側圧力レギユレータ17とを備えており、
上流側圧力レギユレータ10は供給圧力口1とジ
エツトポンプ2との間に介装され、下流側圧力レ
ギユレータ17はサーボ弁3の出口側に介装され
ている。
That is, as shown in FIG. 1, the pressure control servo mechanism according to the present invention
and a downstream pressure regulator 17,
The upstream pressure regulator 10 is interposed between the supply pressure port 1 and the jet pump 2, and the downstream pressure regulator 17 is interposed on the outlet side of the servo valve 3.

次に、第2図を参照して圧力レギユレータの構
造とその動作を説明する。
Next, the structure and operation of the pressure regulator will be explained with reference to FIG.

上流側圧力レギユレータ10のチヤンバ11内
にはその下部にロツド12aを有した可動部材と
しての作動ピストン12が摺動自在に設けられ、
この作動ピストン12は圧縮コイルスプリング1
3により下方にに付勢されている。また、レギユ
レータ10の絞り部を構成するポートPには切頭
円錐状の弁部材14が配置され、この弁部材14
は圧縮コイルスプリング15により上方に付勢さ
れている。そして、作動ピストン12が下方に摺
動してロツド12aが弁部材14を下方に押すと
ポートPが開き流体がジエツトポンプ2側へ流れ
るようになつている。
In the chamber 11 of the upstream pressure regulator 10, an operating piston 12 as a movable member having a rod 12a at its lower part is slidably provided.
This working piston 12 is a compression coil spring 1
3, it is urged downward. Further, a truncated conical valve member 14 is disposed at the port P constituting the throttle portion of the regulator 10.
is urged upward by a compression coil spring 15. When the actuating piston 12 slides downward and the rod 12a pushes the valve member 14 downward, the port P opens and fluid flows toward the jet pump 2.

また、第2図にジエツトポンプ2及びサーボ弁
3の構造が示され、ジエツトポンプ2は内部に絞
りを有し、サーボ弁はフラツパ式弁である。
Further, FIG. 2 shows the structures of the jet pump 2 and the servo valve 3. The jet pump 2 has an internal throttle, and the servo valve is a flap type valve.

一方、下流側圧力レギユレータ17のチヤンバ
18内にはその下部にロツド19aを有した可動
部材としてこの作動ピストン19が摺動自在に設
けられ、この作動ピストン19は圧縮コイルスプ
リング20により上方に付勢されている。また、
レギユレータ17の絞り部を構成するポートPに
は、作動ピストン19のロツド19aの先端が配
置され作動ピストン19aの上方への摺動により
ロツド19aの先端がポートPから離れてポート
Pが開き、サーボ弁3を出た流体が大気開放口8
に放出されるようなつている。
On the other hand, in the chamber 18 of the downstream pressure regulator 17, an actuating piston 19 is slidably provided as a movable member having a rod 19a at its lower part, and the actuating piston 19 is urged upward by a compression coil spring 20. has been done. Also,
The tip of the rod 19a of the actuating piston 19 is placed in the port P that constitutes the constriction part of the regulator 17. As the actuating piston 19a slides upward, the tip of the rod 19a separates from the port P, opening the port P, and opening the servo. The fluid exiting the valve 3 is released into the atmosphere opening port 8.
It looks like it's being emitted.

次に、圧力レギユレータの動作について説明す
る。
Next, the operation of the pressure regulator will be explained.

1 初期状態 供給圧力口1より圧力が加わつていない状態
において、上流側圧力レギユレータ10は矢印
方向に若干力を加えて回路内に圧力を導くよ
うな初期状態に、下流側圧力レギユレータ17
は矢印方向に若干力を加えて大気開放口8へ
放出させるような初期状態になつている。ここ
で使用している上流側圧力レギユレータ10は
減圧弁を構成し、下粒側圧力レギユレータ17
は背圧調整弁を構成する。発生圧は各レギユレ
ータ10,17にパイロツト圧力信号としてレ
ギユレート圧をコントロールできるようになつ
ている。
1 Initial state When no pressure is applied from the supply pressure port 1, the upstream pressure regulator 10 is brought into an initial state in which pressure is introduced into the circuit by applying a slight force in the direction of the arrow, and the downstream pressure regulator 17
is in an initial state in which a slight force is applied in the direction of the arrow to cause the gas to be released into the atmosphere opening 8. The upstream pressure regulator 10 used here constitutes a pressure reducing valve, and the lower grain side pressure regulator 17
constitutes a back pressure regulating valve. The generated pressure can be controlled as a pilot pressure signal to each regulator 10, 17.

2 動作状態 供給圧力口1より圧力が加わつた状態におい
て上述のレギユレータ10,17の初期状態に
より、ジエツトポンプ2及びサーボ弁3へ圧力
は導入される。そして、サーボ弁3のフラツパ
の作用によりノズル開度が変化して発生圧とし
て現われる。
2. Operating state In a state where pressure is applied from the supply pressure port 1, pressure is introduced into the jet pump 2 and the servo valve 3 according to the initial state of the regulators 10 and 17 described above. Then, the nozzle opening degree changes due to the action of the flapper of the servo valve 3, which appears as a generated pressure.

(1)圧力上昇 フラツパを閉じ、ノズル開度を小さくするこ
とにより発生圧は高くなり、上流側レギユレー
タ10には矢印方向に力(発生圧による)が
加わり、作動ピストン12は下方に摺動して弁
部材14は押し下げられポートPは更に開き、
回路内により高い圧力が導かれる。
(1) Pressure increase By closing the flapper and reducing the nozzle opening, the generated pressure increases, a force (due to the generated pressure) is applied to the upstream regulator 10 in the direction of the arrow, and the actuating piston 12 slides downward. The valve member 14 is pushed down and the port P is further opened.
Higher pressure is introduced into the circuit.

一方、下流側圧力レギユレータ17の作動ピ
ストン19には、チヤンバ18内のピストン上
側の圧力が高いため矢印方向と逆の方向に力
が加わり回路内の圧力を大気開放口8に放出し
ないように動作する。
On the other hand, since the pressure above the piston in the chamber 18 is high, a force is applied to the operating piston 19 of the downstream pressure regulator 17 in the direction opposite to the direction of the arrow, so that the actuating piston 19 operates so as not to release the pressure in the circuit to the atmosphere opening port 8. do.

(2) 定圧力固定 圧力上昇の動作後、サーボ増幅器6における
圧力設定信号7と発生圧検出器5からの検出値
とが比較演算され両者が等しくなると、サーボ
弁3のフラツパの位置を固定し、ノズル開度を
一定にすることにより発生圧はある値で一定
し、圧力発生口4に所望の圧力が供給される。
(2) Fixed pressure constant After the pressure increase operation, the pressure setting signal 7 in the servo amplifier 6 and the detected value from the generated pressure detector 5 are compared and calculated, and when they become equal, the position of the flapper of the servo valve 3 is fixed. By keeping the nozzle opening constant, the generated pressure is kept constant at a certain value, and a desired pressure is supplied to the pressure generating port 4.

このとき、上流側圧力レギユレータ10では
矢印方向の力がレギユレータ10内の圧縮コ
イルスプリング13,15の反力と均衡し、回
路内への圧力供給は一定になる。下流側圧力レ
ギユレータ10では矢印方向と逆方向の力
(発生圧による)がジエツトポンプ2及びサー
ボ弁3を通過した圧力とレギユレータ内で均衡
し、大気開放口8へ放出させる状態は初期状態
と同じになる。
At this time, in the upstream pressure regulator 10, the force in the direction of the arrow is balanced with the reaction force of the compression coil springs 13 and 15 within the regulator 10, and the pressure supply into the circuit becomes constant. In the downstream pressure regulator 10, the force (due to the generated pressure) in the direction opposite to the direction of the arrow is balanced within the regulator with the pressure that has passed through the jet pump 2 and the servo valve 3, and the state in which it is released to the atmosphere opening 8 is the same as the initial state. Become.

(3) 圧力下降 サーボ弁3のフラツパを開き、ノズル開度を
大きくすることにより発生圧を低下させる。
(3) Pressure reduction The generated pressure is reduced by opening the flapper of servo valve 3 and increasing the nozzle opening.

上流側圧力レギユレータ10は、矢印方向
の力が減少し、作動ピストン12は上方へ摺動
し弁部材14はポートPを閉塞し始め、供給圧
力口1よりの圧力が減圧されて回路内へ加わ
る。
In the upstream pressure regulator 10, the force in the direction of the arrow decreases, the operating piston 12 slides upward, the valve member 14 begins to close the port P, and the pressure from the supply pressure port 1 is reduced and added to the circuit. .

一方、下流側圧力レギユレータ17では、発
生圧の低下により、作動ピストン19へ作用す
る矢印方向と反対方向の力が減少し、コイル
スプリング20の反力である矢印方向の力に
より作動ピストン19は上方へ摺動しポートP
を開き、そして、ジエツトポンプ2及びサーボ
弁3を通過する圧力を大気開放口8より放出
し、回路内の圧力を全体的に低下させ、即ち発
生圧の下降となる。
On the other hand, in the downstream pressure regulator 17, due to the decrease in the generated pressure, the force acting on the actuating piston 19 in the direction opposite to the direction of the arrow decreases, and the force in the direction of the arrow, which is the reaction force of the coil spring 20, causes the actuating piston 19 to move upward. Slide to port P
is opened, and the pressure passing through the jet pump 2 and servo valve 3 is released from the atmosphere opening port 8, thereby lowering the pressure in the circuit as a whole, that is, the generated pressure is lowered.

以上の説明から明らかなように本実施例では低
圧から高圧に至るまで無段階の圧力設定が可能で
あり、圧力の高低による流体消費量の変化が少な
い。
As is clear from the above description, in this embodiment, the pressure can be set steplessly from low pressure to high pressure, and there is little change in fluid consumption due to high or low pressure.

なお、発生圧力が低いなど、条件が限定される
場合には、ピストンに代えダイヤフラム、ベロー
ズ等を可動部材とすることができる。
Note that if the conditions are limited, such as when the generated pressure is low, a diaphragm, bellows, etc. can be used as the movable member instead of the piston.

次に、第3図を参照して本発明のサーボ機構が
制御性を向上させる理由を説明する。
Next, the reason why the servo mechanism of the present invention improves controllability will be explained with reference to FIG.

制御性は向上させるには、第3図において出口
圧力(発生圧力)Bにより近い値で供給圧Aを設
定する必要がある。例えば、2Kg/cm2の出力圧力
Bを得るのに、供給圧力Aが50Kg/cm2の時と5
Kg/cm2の時ではフラツパ位置Eによるノズル開度
Dの変化による出力圧力Bの変化の割合が供給圧
力Aが5Kg/mm2の時の方が小さい。そこで、本発
明では上流側圧力レギユレータによつて減圧して
供給圧力Aと出力圧力Bとの差を小さくしてい
る。
In order to improve controllability, it is necessary to set the supply pressure A at a value closer to the outlet pressure (generated pressure) B in FIG. 3. For example, to obtain an output pressure B of 2Kg/ cm2 , when the supply pressure A is 50Kg/ cm2 ,
kg/cm 2 , the rate of change in output pressure B due to change in nozzle opening degree D due to flapper position E is smaller when supply pressure A is 5 kg/mm 2 . Therefore, in the present invention, the pressure is reduced by the upstream pressure regulator to reduce the difference between the supply pressure A and the output pressure B.

また、出力圧力Bに対してより近い値で払い圧
力環境Cを設定する必要がある。例えば50Kg/cm2
という出力圧力Bを得るのに払い圧力環境Cが0
Kg/cm2の時と、45Kg/cm2の時ではノズル開度Dの
大きさが払い圧力環境Cが45Kg/cm2の時の方が大
きくでき、厳密な制御を必要としなくて済む。そ
こで本発明では下流側圧力レギユレータによつて
出口圧力Bと払い圧力環境Cとの差を小さくして
いる。
Furthermore, it is necessary to set the pressure environment C to a value closer to the output pressure B. For example, 50Kg/cm 2
To obtain the output pressure B, the pressure environment C is 0.
The nozzle opening degree D is different when the pressure environment C is 45 kg/cm 2 and when the pressure environment C is 45 kg/cm 2 , and strict control is not required. Therefore, in the present invention, the difference between the outlet pressure B and the purging pressure environment C is reduced by a downstream pressure regulator.

以上、上下流側圧力レギユレータの組合せによ
り、ジエツトポンプ2及びサーボ弁3の動作領域
を特性の良い処で使用でき、それによる制御性の
向上は勿論、出力圧力の分解能向上も可能とな
る。
As described above, by combining the upstream and downstream pressure regulators, the operating range of the jet pump 2 and the servo valve 3 can be used in areas with good characteristics, which not only improves controllability but also improves the resolution of the output pressure.

次に、圧力供給60Kg/cm2で発生圧力を20Kg/cm2
としたときの圧力分布の例を示す。
Next, the generated pressure is 20Kg/cm 2 with a pressure supply of 60Kg/cm 2
An example of pressure distribution is shown below.

供給圧力口1では60Kg/cm2、Aは21Kg/cm2、B
は20Kg/cm2、Cは19Kg/cm2であり、AとBの差及
び及びBとCの差はいずれも1Kg/cm2である。
Supply pressure port 1 is 60Kg/cm 2 , A is 21Kg/cm 2 , B
is 20Kg/cm 2 , C is 19Kg/cm 2 , and the difference between A and B and the difference between B and C are both 1Kg/cm 2 .

(発明の効果) 以上、実施例の説明から明らかなように、本発
明は、圧力を制御するサーボ弁の圧力供給側と背
圧側にそれぞれ圧力レギユレータを設け、発生圧
力に連動してサーボ弁の供給圧と背圧とを変化さ
せるようにしたため、圧力設定を行うだけで低圧
から高圧に至るまで広い圧力範囲に亘つて無段階
の正確な圧力が発生できる。
(Effects of the Invention) As is clear from the description of the embodiments, the present invention provides pressure regulators on the pressure supply side and the back pressure side of a servo valve that controls pressure, and controls the servo valve in conjunction with the generated pressure. Since the supply pressure and back pressure are changed, stepless and accurate pressure can be generated over a wide pressure range from low pressure to high pressure just by setting the pressure.

また、本発明によれば、サーボ弁の動作領域を
特性の良い処で使用でき、所望の発生圧力値を容
易に得ることができる。
Further, according to the present invention, the operating range of the servo valve can be used in a region with good characteristics, and a desired generated pressure value can be easily obtained.

さらに、本発明によれば、低圧から高圧に至る
まで圧力流体(例えば高圧ガス)の消費量の変化
が少なく、しかもこの消費量が少くて済む。
Further, according to the present invention, there is little change in the amount of pressure fluid (for example, high pressure gas) consumed from low pressure to high pressure, and this amount of consumption can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明に係る圧力制御用サーボ機構の
実施例のブロツク図、第2図は同サーボ機構の断
面図、第3図は同サーボ機構の説明図、第4図は
従来の圧力制御用サーボ機構のブロツク図であ
る。 1……供給圧力口、2……ジエツトポンプ、3
……サーボ弁、4……圧力発生口、5……発生圧
検出器、6……サーボ増幅器、7……圧力設定信
号、8……大気開放口、10……上流側圧レギユ
レータ、12……可動部材としての作動ピスト
ン、14…弁部材、17……下流側圧力レギユレ
ータ、19……可動部材としての作動ピストン、
19a……ロツド、P……ポート。
Fig. 1 is a block diagram of an embodiment of the servo mechanism for pressure control according to the present invention, Fig. 2 is a sectional view of the servo mechanism, Fig. 3 is an explanatory diagram of the servo mechanism, and Fig. 4 is a conventional pressure control servo mechanism. FIG. 2 is a block diagram of a servo mechanism for 1... Supply pressure port, 2... Jet pump, 3
... Servo valve, 4 ... Pressure generation port, 5 ... Pressure detector, 6 ... Servo amplifier, 7 ... Pressure setting signal, 8 ... Atmospheric release port, 10 ... Upstream pressure regulator, 12 ... Working piston as a movable member, 14... Valve member, 17... Downstream pressure regulator, 19... Working piston as a movable member,
19a... Rod, P... Port.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 圧力を制御するサーボ弁と、この制御された
圧力を検出する発生圧検出器と、この発生圧検出
器からの検出値と設定値とを比較する比較増幅器
とを備えた圧力制御用サーボ機構において、サー
ボ弁の上流側には、供給圧力を減圧するポート、
およびこのポートの開度を可変とする弁部材を有
し開弁方向に付勢された可動部材を備え、その可
動部材の背部に減圧後の圧力を導入して均衡させ
る上流側圧力レギユレータを設け、サーボ弁の下
流側には、大気に連通するポート、およびこのポ
ートの開度を可変とするロツドを有し開弁方向に
付勢された可動部材を備え、その可動部材の背部
に前記減圧後の圧力を導入して均衡させる下流側
圧力レギユレータを設け、上記サーボ弁によつて
制御された発生圧力に連動して上記サーボ弁の供
給圧と背圧とを変化させるように構成したことを
特徴とする圧力制御用サーボ機構。
1. A pressure control servo mechanism that includes a servo valve that controls pressure, a generated pressure detector that detects this controlled pressure, and a comparison amplifier that compares the detected value from this generated pressure detector with a set value. In the upstream side of the servo valve, there is a port for reducing the supply pressure,
and a movable member that has a valve member that changes the opening degree of this port and is biased in the valve opening direction, and an upstream pressure regulator that introduces and balances the pressure after pressure reduction on the back of the movable member. , the downstream side of the servo valve is equipped with a movable member that has a port communicating with the atmosphere and a rod that changes the opening degree of this port and is biased in the valve opening direction, and the back of the movable member is provided with the above-mentioned reduced pressure. A downstream pressure regulator is provided to introduce and balance the subsequent pressure, and the supply pressure and back pressure of the servo valve are changed in conjunction with the generated pressure controlled by the servo valve. Features a servo mechanism for pressure control.
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