JPH0445949A - インクジェットプリンタヘッド用ノズル板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はインクジェットプリンタヘッドに用いられるノ
ズル板に関する。さらに詳しくは複数のノズル開口を備
えたノズル板と、その背後にインクと直接接触してイン
クを加圧するインク押圧器を配設したインクジェットプ
リンタヘッドに用いられるノズル板に関する。

［従来の技術］ 複数のノズル開口を備えたノズル板と、その背後にイン
クと直接接触してインクを加圧するインク押圧器を配設
したインクジェットプリンタヘッドは特公昭６０−８９
５３号公報に開示されている。

このインクジェットプリンタヘッドのインク押圧器であ
る圧電交換器は表裏両面に金属電極が形成されている。

この金属電極間に通電され、変位が発生し、充填されて
いるインクをノズル開口より吐出する。

そして、このインクシェツトプリンタヘッドては、ノズ
ル開口の穴径精度が大きくインクの吐出特性に影響を及
ぼす。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、このインクジェットプリンタヘッドでは
、ノズル板は金属の電鋳法やエツチング法により形成さ
れている。そのため穴径精度は低い。インクの吐出特性
が不安定となり、良好な印字品位が得られないという課
題がある。

そこで本発明の目的とするところは、ノズル開口の穴径
精度の高いノズル板を提供すること１こある。

［課題を解決するための手段１ 本発明のノズル板は、記録媒体に対向するよう配設され
る複数のノズル開口を有するノズル板と、その背後に位
置するインク押圧器から少なくとも構成されるインクジ
ェットプリンタヘッドに於て、前記ノズル板が感光性有
機高分子樹脂からなり、以下の工程により形成されるこ
とを特徴とする。

（］）所定厚の感光性有機高分子樹脂膜を形成する工程
。

（２）所定形状のノズル開口のパターンマスクを通して
、感光性有機高分子（ｂ１脂膜を露光する工程。

（３）感光性高分子樹脂膜を現像する工程。

［実　施　例］ そこで以下に本発明のノズル板を用いたインクジェット
プリンタヘッドの構造な一実施例を、図示した実施例に
より説明する。本例のインク押圧器は圧電変換器を用い
ているが、発熱体によるインク押圧器、静電気力を利用
するインク押圧器等も使用でき、これに限定されるもの
ではない。

第２図は、インクジェットプリンタ／＼ツドの断面を示
したものである。このインクジェットプリンタヘッドｌ
は、プラテン２の軸方向に走行する図示しないキャリッ
ジ上に搭載されている。

３はプラテン軸の方向にインク滴を吐出するだめのノズ
ル間口４を有するノズル板である。

５はこのノズル板３と間隔制御部材６により所定位置に
ある圧電変換器である。この圧電変換器５は、第３図に
示すように、ＰＺＴよりなる圧電素子１］の一面に共通
電極］２を、他面にパターン電極１３を有する。そして
ノズル開口４と等しい間隔の切れ込みをもつ櫛歯形状の
構成を有する振動子１０となる。

圧電変換器５はパターン電極１３と共通電極間１２に選
択的に電圧を加えることにより、ノズル板３の面に直角
の方向に変位する。ノズル板３と振動子１０の間に存在
するインク７は押圧され、ノズル４からプラテン２上に
ある記録紙８に吐出される。

９はノズル板３と間隔制御部材６を接合する接着剤層で
ある。

次に本発明のノズル板について第１図をもとに説明する
。

本発明に用いられる感光性有機高分子樹脂は、特に限定
されるものではな（、ポジ型、ネガ型の何れも使用でき
る。本例ではネガ型について説明する。

（］）感光性有機高分子１′８Ｊ脂膜３１を形成する。

方法としては、キャスト法、ロールコー］−法等がある
が特に限定されるものではない。

（２）所定形状のノズル開口を有するパターンマスク３
２を通して、紫外線３３を感光性有機高分子樹脂３１を
露光する。

（３）現像液３４により、感光性有機高分子樹脂膜３１
のノズル開口となる未露光部を溶解除去する。

（４）感光性有機高分子膜３１を現像液３４より取り出
し硬化し、ノズル板３５とする。

表１に本発明により形成されたノズル板の大形精度と金
属の電鋳法及びエツチング法により形成されたノズル板
のノズル開口の穴形精度を示す。

表 ］ 〔発明の効果１ 以上述べたように、本発明のノズル板はノズル開口の穴
径精度が高い。そのためインクの吐出特性が優れ、良好
な印字が得られるという優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のノズル板の製造方法を示す断面図。 第２図は、本発明のノズル板を用いたインクジェットプ
リンタヘッドの構造を示す断面図。 第３図は圧電変換器の斜視図である。 １　・ ２　・ ４　・ ７　・ １０　・ ｌ　１　・ １２　・ ３１　・ ３２　・ ３５　・ ・インフジエラｌ−ブリンクヘッド ・・プラテン ・板状部制 ・ノズル開口 圧電変換器 間隔制御部材 インク ・・記録紙 接着剤層 振動子 圧電素子 共通電極 ・・パターン電極 ・感光性有機高分子樹脂膜 バクーンマスク ・・紫外線 ・現像液 ノズル板 −へ−イｇ カ　句ＣＩ）へ 第２図 １．インフシ豊、２斗へラド ２、プラテン

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 記録媒体に対向するよう配設される複数のノズル開口を
   有するノズル板と、その背後に位置するインク押圧器か
   ら少なくとも構成されるインクジェットプリンタヘッド
   用ノズル板に於て、前記ノズル板が感光性有機高分子樹
   脂からなり、以下の工程により形成されることを特徴と
   するインクジェットプリンタヘッド用ノズル板。 （１）所定厚の感光性有機高分子樹脂膜を形成する工程
   。 （２）所定形状のノズル開口のパターンマスクを通して
   、感光性有機高分子樹脂膜を露光する工程。 （３）感光性高分子樹脂膜を現像する工程。