JPH0446082Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0446082Y2 JPH0446082Y2 JP1984023890U JP2389084U JPH0446082Y2 JP H0446082 Y2 JPH0446082 Y2 JP H0446082Y2 JP 1984023890 U JP1984023890 U JP 1984023890U JP 2389084 U JP2389084 U JP 2389084U JP H0446082 Y2 JPH0446082 Y2 JP H0446082Y2
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- JP
- Japan
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- negative pressure
- diaphragm
- nipple
- case
- pressure chamber
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、ダイアフラムを用いた多段式アクチ
ユエータの改良に関する。[Detailed Description of the Invention] The present invention relates to an improvement of a multi-stage actuator using a diaphragm.
従来から、この種のアクチユエータとして、複
数枚のダイアフラムを使つて該ダイアフラムに取
着されたロツドを移動させるものが知られている
が、これは構造が複雑にならざるを得ない欠点が
ある。 Conventionally, this type of actuator has been known to use a plurality of diaphragms to move a rod attached to the diaphragms, but this has the disadvantage of having a complicated structure.
また、特開昭52−107474号公報に示されている
ように、ダイアフラムの枚数を1枚にしたものも
散見されるが、このアクチユエータ(真空駆動
器)においては、ピストン弁13の真空導入口1
1に連なる孔がピストン弁13の端面に開口せ
ず、導入孔14をピストン弁13の周面に開口さ
せてシール部材17,19の内向きの突起によつ
て閉塞させるように構成されているために、シー
ル部材17,19の内向きの突起が、導通孔14
の端縁に引つ掻かれて損傷させられるので、密封
性能の早期の低下が避けられないという問題点を
有している。 In addition, as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 52-107474, there are some cases in which the number of diaphragms is one, but in this actuator (vacuum driver), the vacuum inlet of the piston valve 13 is 1
1 does not open at the end surface of the piston valve 13, but the introduction hole 14 opens at the circumferential surface of the piston valve 13 and is closed by the inward protrusions of the seal members 17 and 19. Therefore, the inward protrusions of the seal members 17 and 19 are connected to the through hole 14.
This has the problem that early deterioration of sealing performance is unavoidable because the seal is damaged by being scratched by the edge of the seal.
本考案は、上記した従来の技術に見られる問題
点を解消することを目的とするものである。 The present invention aims to solve the problems found in the above-mentioned conventional techniques.
本考案は、上記の目的を達成するために、内部
空所を備えて互いに結合される第1、第2ケー
ス、該第1、第2ケース間に挟持されて前記第1
ケースとの間に負圧室を形成するとともに、前記
第2ケースとの間に気室を形成するダイアフラム
および前記負圧室内に配置されて前記ダイアフラ
ムを付勢するバネを有し、前記負圧室内に導入さ
れる負圧力と前記気室内に導入される大気圧との
圧力差と、前記バネの弾性力により、前記ダイア
フラムおよび該ダイアフラムに固着されたロツド
を移動させるアクチユエータにおいて、前記ダイ
アフラムの前記負圧室側に、ゴム状弾性材料をも
つて有底の略円筒形状に形成され、凹部の開口側
端部に内向きのシール突起を付されたバルブ部材
を取着され、前記第1ケースの前記バルブ部材に
対向する位置に、略円柱形状を呈して先端面に開
口する負圧導入孔を備え、先端部を前記シール突
起側へ突出させる第1ニツプルを螺着され、前記
先端面と前記シール突起との接触部および前記第
1ニツプルの周面と前記シール突起との摺接部が
ともに平滑面に形成され、前記負圧室へ通じる第
2ニツプルを付されて成るものである。 In order to achieve the above object, the present invention provides first and second cases that are coupled to each other with an internal cavity, and a second case that is sandwiched between the first and second cases.
a diaphragm forming a negative pressure chamber between the case and the second case, and a spring disposed within the negative pressure chamber to bias the diaphragm; An actuator that moves the diaphragm and a rod fixed to the diaphragm using a pressure difference between a negative pressure introduced into a chamber and an atmospheric pressure introduced into the air chamber, and the elastic force of the spring. A valve member made of a rubber-like elastic material and formed into a substantially cylindrical shape with a bottom and having an inward seal protrusion at the opening end of the recess is attached to the negative pressure chamber side, and the valve member is attached to the first case. is provided with a negative pressure introduction hole having a substantially cylindrical shape and opening at the tip face at a position facing the valve member, and a first nipple that causes the tip portion to protrude toward the seal protrusion side is screwed into the hole, and A contact portion with the seal protrusion and a sliding contact portion between the circumferential surface of the first nipple and the seal protrusion are both formed as smooth surfaces, and a second nipple communicating with the negative pressure chamber is attached.
上記した構成を備えた本考案のアクチユエータ
は、使用に当たつて、第1ケースの中央部に螺着
された第1ニツプルを調整対象機械装置の負圧発
生部に接続されるとともに、第2ニツプルを内径
寸法を微小に形成されたオリフイスを介して大気
に開放される。 When the actuator of the present invention having the above-mentioned configuration is used, the first nipple screwed into the center of the first case is connected to the negative pressure generating part of the mechanical device to be adjusted, and the second nipple is connected to the negative pressure generating part of the mechanical device to be adjusted. The nipple is exposed to the atmosphere through an orifice with a minute inner diameter.
第1ニツプルを経由した負圧によつて負圧室内
が減圧され、ダイアフラムに対する吸引力がバネ
による押圧力を上回ると、ダイアフラムが第1ニ
ツプル側へ接近し、バルブ部材のシール突起と第
1ニツプルの先端部との隙間を通つて吸い出され
る空気量と、第2ニツプルに接続されたオリフイ
スを通つて負圧室内へ送られる空気量が互いにバ
ランスしている間は、ダイアフラムおよびロツド
が停止した状態に保たれる。 When the negative pressure in the negative pressure chamber is reduced by the negative pressure passing through the first nipple, and the suction force against the diaphragm exceeds the pressing force by the spring, the diaphragm approaches the first nipple, and the seal protrusion of the valve member and the first nipple The diaphragm and rod are stopped while the amount of air sucked out through the gap with the tip of the nipple and the amount of air sent into the negative pressure chamber through the orifice connected to the second nipple are balanced. kept in condition.
バルブ部材の内向きのシール突起と第1ニツプ
ルの先端部が互いに接触して第1ニツプルの負圧
導入孔が閉塞されると、第2ニツプルに接続され
たオリフイスを経由して供給される大気圧によつ
て負圧室内の圧力が上昇し、ダイアフラムがバネ
に押されて第2ケース側へ移動し、第1ニツプル
とバルブ部材のシール突起との接触を解除させて
負圧室内を再び減圧させ、再びダイアフラムおよ
びロツドの移動を生じさせる。 When the inward seal protrusion of the valve member and the tip of the first nipple come into contact with each other and the negative pressure introduction hole of the first nipple is closed, the large volume supplied via the orifice connected to the second nipple is The pressure inside the negative pressure chamber increases due to the atmospheric pressure, and the diaphragm is pushed by the spring and moves toward the second case, breaking contact between the first nipple and the seal protrusion of the valve member, and depressurizing the negative pressure chamber again. to cause the diaphragm and rod to move again.
第1ニツプルの先端部とバルブ部材のシール突
起との相互接近に伴うダイアフラムおよびロツド
の停止位置は、第1ケースに対する第1ニツプル
の突出量によつて定まり、第1ニツプルの突出量
は、両部材のネジ係合部を調整することによつて
調整される。 The stopping position of the diaphragm and the rod as the tip of the first nipple and the seal protrusion of the valve member approach each other is determined by the amount of protrusion of the first nipple with respect to the first case. Adjustment is made by adjusting the threaded engagement portion of the member.
以下、本考案の実施例を図面にしたがつて説明
する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第1図は、本考案の第1実施例の部分正断面図
で、第1ケース1および第2ケース2の開口縁部
1a,2aの間にダイアフラム3の外周縁を挟持
させて、第1ケース1とダイアフラム3との間に
負圧室4を構成するとともに、第2ケース2とダ
イアフラム3との間に大気に連通する気室5を形
成し、ダイアフラム3の気室5側に、第2ケース
2の中央孔部2bを貫通するロツド6の一端が固
着されている。 FIG. 1 is a partial front sectional view of the first embodiment of the present invention, in which the outer peripheral edge of the diaphragm 3 is sandwiched between the opening edges 1a and 2a of the first case 1 and the second case 2, and the first A negative pressure chamber 4 is formed between the case 1 and the diaphragm 3, and an air chamber 5 communicating with the atmosphere is formed between the second case 2 and the diaphragm 3. 2. One end of a rod 6 passing through the central hole 2b of the case 2 is fixed.
ダイアフラム3の負圧室4側に、中央孔部2b
を備えた案内部材9を配置され、該案内部材9の
中央部に、ゴム状弾性材料をもつて形成され、深
さdになる凹部7aを備えて該凹部7aの開口部
近辺に内向きのシール突起7bを突設された有底
の円筒形状のバルブ部材7を固着され、第1ケー
ス1のバルブ部材7と対向する位置に、略円柱形
状を呈して先端面8bに開口する負圧導入孔8c
を備えた第1ニツプル8を、先端面8bとシール
突起7bとの間に距離d-を保つて螺着され、そ
の際、先端面8bとシール突起7bとの接触部が
平滑面に形成されているとともに、第1ニツプル
8の周面とシール突起7bとの接触部が平滑面に
形成され、第1ケース1に負圧室4へ通じる第2
ニツプル10を付され、案内部材9と第1ケース
1との間にバネ11を介装され、かくて本実施例
が構成される。 A central hole 2b is provided on the negative pressure chamber 4 side of the diaphragm 3.
A guide member 9 is disposed in the center of the guide member 9, and a recess 7a formed of a rubber-like elastic material and having a depth d is provided in the center of the guide member 9. A bottomed cylindrical valve member 7 having a protruding seal protrusion 7b is fixed thereto, and a negative pressure introduction member having a substantially cylindrical shape and opening at a tip end face 8b is installed at a position facing the valve member 7 of the first case 1. hole 8c
The first nipple 8 having a first nipple 8 is screwed onto the tip surface 8b and the sealing protrusion 7b while keeping a distance d - between the tip surface 8b and the sealing protrusion 7b. In addition, the contact portion between the circumferential surface of the first nipple 8 and the seal protrusion 7b is formed into a smooth surface, and the second case 1 is connected to the negative pressure chamber 4.
A nipple 10 is attached, and a spring 11 is interposed between the guide member 9 and the first case 1, thus configuring this embodiment.
第2図および第3図は、上記の構成になる本考
案のアクチユエータにおけるバルブ部材7の作動
状況を示す要部拡大断面図で、第2図は、負圧室
4内へ負圧が導入されず、負圧室4内と気室5内
との間に圧力差を生じていない場合を示し、ダイ
アフラム3が第2ケース2に支えられて第1ニツ
プル8の先端面8bとバルブ部材7のシール突起
7bとの間に距離d-が保たれている。 2 and 3 are enlarged cross-sectional views of essential parts showing operating conditions of the valve member 7 in the actuator of the present invention configured as described above, and FIG. 2 shows a state in which negative pressure is introduced into the negative pressure chamber 4. First, a case is shown in which there is no pressure difference between the inside of the negative pressure chamber 4 and the inside of the air chamber 5, and the diaphragm 3 is supported by the second case 2 and the tip surface 8b of the first nipple 8 and the valve member 7 are A distance d - is maintained between the seal projection 7b and the seal projection 7b.
第3図は、第1ニツプル8を使用対象機械装置
の負圧発生部に接続されるとともに、第2ニツプ
ル10が図示しない微小内径のオリフイスを経て
大気開放され、負圧室4内が減圧されて気室5内
との圧力差による押圧力がバネ11の弾性力を越
え、ダイアフラム3が第1ニツプル8側へ移動
し、第1ニツプル8の先端部8aがバルブ部材7
のシール突起7bに接触して第1ニツプル8の負
圧導入孔8cを閉塞している場合を示すものであ
る。 In FIG. 3, the first nipple 8 is connected to the negative pressure generating part of the mechanical device to be used, and the second nipple 10 is opened to the atmosphere through an orifice with a minute inner diameter (not shown), and the pressure inside the negative pressure chamber 4 is reduced. The pressing force due to the pressure difference with the inside of the air chamber 5 exceeds the elastic force of the spring 11, the diaphragm 3 moves toward the first nipple 8, and the tip 8a of the first nipple 8 touches the valve member 7.
This figure shows a case where the negative pressure introduction hole 8c of the first nipple 8 is closed by contacting the seal protrusion 7b.
この場合には、第1ニツプル8を経由する負圧
が遮断され、第2ニツプル10に接続された図示
しない微小内径のオリフイスを通つて送られる空
気によつて負圧室4内の負圧力が低下し(大気圧
に近くなる方向)、ダイアフラム3に対する吸引
力を弱化させるので、ダイアフラム3が気室5側
に移動して負圧導入孔8cとシール突起7bとの
接触がなくなり、負圧導入孔8cの閉塞が解除さ
れ、再び第1ニツプル8の先端部8aを通つて負
圧室4内に負圧が導入される。 In this case, the negative pressure passing through the first nipple 8 is cut off, and the negative pressure in the negative pressure chamber 4 is reduced by air sent through an orifice with a minute inner diameter (not shown) connected to the second nipple 10. The pressure decreases (in the direction of becoming close to atmospheric pressure), weakening the suction force on the diaphragm 3, so the diaphragm 3 moves toward the air chamber 5 side, and the contact between the negative pressure introduction hole 8c and the seal protrusion 7b disappears, and the negative pressure is introduced. The hole 8c is unblocked, and negative pressure is again introduced into the negative pressure chamber 4 through the tip 8a of the first nipple 8.
従つて、再びダイアフラム3が第1ニツプル8
側に移動する。 Therefore, the diaphragm 3 is again connected to the first nipple 8.
Move to the side.
以上の繰り返し後、図示しない微小内径のオリ
フイスを通つて送られる空気量と負圧導入孔8c
に流れ出る空気量とが互いにバランスして、ダイ
アフラム3およびロツド6が停止した状態に保た
れる。 After repeating the above, the amount of air sent through an orifice with a minute inner diameter (not shown) and the negative pressure introduction hole 8c
The amount of air flowing out is balanced with each other, and the diaphragm 3 and the rod 6 are kept in a stopped state.
以上で第1段階の作動が完了する。 This completes the first stage of operation.
つぎに第1ニツプル8を閉塞し第2ニツプル1
0が切換えられてバネ11を圧縮するに足りる所
定の負圧を導入すると、ダイアフラム3はロツド
6とともに負圧室4内と気室5内との圧力差によ
り第1ニツプル8側に移動する。 Next, the first nipple 8 is closed and the second nipple 1 is closed.
0 is switched to introduce a predetermined negative pressure sufficient to compress the spring 11, the diaphragm 3 moves together with the rod 6 toward the first nipple 8 due to the pressure difference between the negative pressure chamber 4 and the air chamber 5.
これによつて第2段階の作動が完了する。 This completes the second stage of operation.
ただし、ダイアフラム3の第1ニツプル8側へ
の最大移動量は、ダイアフラム3に添えられた案
内部材9の第1ニツプル8側端縁と第1ケース1
の負圧室4側の段部との接触によつて規制され
る。 However, the maximum amount of movement of the diaphragm 3 toward the first nipple 8 is between the edge of the guide member 9 attached to the diaphragm 3 on the first nipple 8 side and the first case 1.
is regulated by contact with the stepped portion on the negative pressure chamber 4 side.
次いで、第4図および第5図に従つて、本考案
の第2実施例を説明する。 Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 and 5.
本実施例は、以下に述べる点を除き上記の第1
実施例と同様の構成を備える。 This example is based on the first example above, except for the points described below.
It has the same configuration as the embodiment.
すなわち、第1ケース1の負圧室4側に、弗素
またはナイロン等の耐ガソリン性樹脂材料による
第1シールリング12およびゴム状弾性材料によ
る第2シールリング13が、第1シールリング1
2をダイアフラム3側に配置されて取着され、第
2シールリング13によつて、第1ニツプル8と
第1ケース1の螺合部のシール性を確保するとと
もに、負圧室4内へ導入されたガソリン雰囲気の
第2シールリング13側への侵入を第1シールリ
ング12に阻止させて第2シールリング13の膨
潤を防止し、あわせて作動中における第1ニツプ
ル8の位置ずれを、該第1ニツプル8に対する弾
性保持によつて抑止させるものである。 That is, on the negative pressure chamber 4 side of the first case 1, a first seal ring 12 made of a gasoline-resistant resin material such as fluorine or nylon and a second seal ring 13 made of a rubber-like elastic material are attached to the first seal ring 1.
2 is arranged and attached to the diaphragm 3 side, and the second seal ring 13 ensures the sealing performance of the threaded part of the first nipple 8 and the first case 1, and it is introduced into the negative pressure chamber 4. The first seal ring 12 prevents the gasoline atmosphere from entering the second seal ring 13 side, thereby preventing swelling of the second seal ring 13, and also prevents displacement of the first nipple 8 during operation. This is suppressed by elastically holding the first nipple 8.
以上に詳述したように、本考案のアクチユエー
タは、内部空所を備えて互いに結合される第1、
第2ケース、該第1、第2ケース間に挟持されて
前記第1ケースとの間に負圧室を形成するととも
に、前記第2ケースとの間に気室を形成するダイ
アフラムおよび前記負圧室内に配置されて前記ダ
イアフラムを付勢するバネを有し、前記負圧室内
に導入される負圧力と前記気室内に導入される大
気圧間の圧力差と、前記バネの弾性力により、前
記ダイアフラムおよび該ダイアフラムに固着され
たロツドを移動させるアクチユエータにおいて、
前記ダイアフラムの前記負圧室側に、ゴム状弾性
材料をもつて有底の略円筒形状に形成され、凹部
の開口側端部に内向きのシール突起を付されたバ
ルブ部材を取着され、前記第1ケースの前記バル
ブ部材に対向する位置に、略円柱形状を呈して先
端面に開口する負圧導入孔を備え、先端部を前記
シール突起側へ突出させる第1ニツプルを螺着さ
れ、前記先端面と前記シール突起との接触部およ
び前記第1ニツプルの周面と前記シール突起との
摺接部がともに平滑面に形成され、前記負圧室へ
通じる第2ニツプルを付されて成ることにより、
第1ニツプルの負圧導入孔の開閉作動に際し、第
1ニツプルの先端面および先端部と接触するシー
ル突起に対する引つ掻き作用が生じないために、
シール突起の損傷による密封性能の低下の恐れが
全くないので、アクチユエータは長期にわたつて
正常な機能を保持し得るので、実用面の効果は極
めて大きい。 As described in detail above, the actuator of the present invention has first and second parts coupled to each other and having an internal cavity.
a second case, a diaphragm sandwiched between the first and second cases to form a negative pressure chamber with the first case and an air chamber with the second case; and a diaphragm that forms a negative pressure chamber with the second case; A spring is disposed inside the chamber and biases the diaphragm, and due to the pressure difference between the negative pressure introduced into the negative pressure chamber and the atmospheric pressure introduced into the air chamber, and the elastic force of the spring, the An actuator for moving a diaphragm and a rod fixed to the diaphragm,
A valve member is attached to the negative pressure chamber side of the diaphragm, the valve member is made of a rubber-like elastic material and is formed into a bottomed, substantially cylindrical shape, and has an inward seal protrusion at an end on the opening side of the recess; A negative pressure introduction hole having a substantially cylindrical shape and opening at a tip end is provided at a position facing the valve member of the first case, and a first nipple having a tip end protruding toward the seal protrusion side is screwed to the first case; A contact portion between the tip surface and the seal protrusion and a sliding contact portion between the circumferential surface of the first nipple and the seal protrusion are both formed as smooth surfaces, and a second nipple communicating with the negative pressure chamber is provided. By this,
When opening and closing the negative pressure introduction hole of the first nipple, there is no scratching effect on the tip surface of the first nipple and the seal protrusion that comes into contact with the tip.
Since there is no risk of deterioration of sealing performance due to damage to the seal protrusion, the actuator can maintain its normal function for a long period of time, so the practical effect is extremely large.
第1図は、本考案の第1実施例に係るアクチユ
エータの部分正断面図、第2図および第3図は、
同実施例の要部の作動状況を示す拡大断面図、第
4図は、本考案の第2実施例に係るアクチユエー
タの部分正断面図、第5図は、同実施例の要部の
拡大断面図である。
1……第1ケース、1a……開口縁部、2……
第1ケース、2a……開口縁部、2b……中央孔
部、3……ダイアフラム、4……負圧室、5……
気室、6……ロツド、7……バルブ部材、7a…
…凹部、7b……シール突起、8……第1ニツプ
ル、8a……先端部、8b……先端面、8c……
負圧導入孔、9……案内部材、9a……案内孔、
10……第2ニツプル、11……バネ、12……
第1シールリング、13……第2シールリング。
FIG. 1 is a partial front sectional view of an actuator according to a first embodiment of the present invention, and FIGS. 2 and 3 are
FIG. 4 is a partial front sectional view of an actuator according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of the main parts of the same embodiment. It is a diagram. 1...First case, 1a...Opening edge, 2...
First case, 2a...Opening edge, 2b...Central hole, 3...Diaphragm, 4...Negative pressure chamber, 5...
Air chamber, 6... Rod, 7... Valve member, 7a...
... recess, 7b... seal protrusion, 8... first nipple, 8a... tip, 8b... tip surface, 8c...
Negative pressure introduction hole, 9... guide member, 9a... guide hole,
10...Second nipple, 11...Spring, 12...
1st seal ring, 13...2nd seal ring.
Claims (1)
ケース1,2、該第1、第2ケース1,2に挟持
されて前記第1ケース1との間に負圧室4を形成
するとともに、前記第2ケース2との間に気室5
を形成するダイアフラム3および前記負圧室4内
に配置されて前記ダイアフラム3を付勢するバネ
11を有し、前記負圧室4内に導入される負圧力
および前記気室5内に導入される大気圧間の圧力
差と前記バネ11の弾性力により、前記ダイアフ
ラム3および該ダイアフラム3に固着されたロツ
ド6を移動させるアクチユエータにおいて、前記
ダイアフラム3の前記負圧室4側に、ゴム状弾性
材料をもつて有底の略円筒形状に形成され、凹部
7aの開口側端部に内向きのシール突起7bを付
されたバルブ部材7を取着され、前記第1ケース
1の前記バルブ部材7に対向する位置に、略円柱
形状を呈して先端面8bに開口する負圧導入孔8
cを備え、先端部8aを前記シール突起7b側へ
突出させる第1ニツプル8を螺着され、前記先端
面8bと前記シール突起7bとの接触部および前
記第1ニツプル8の周面と前記シール突起7bと
の摺接部がともに平滑面に形成され、前記負圧室
4へ通じる第2ニツプル10を付されて成るアク
チユエータ。 a first and a second coupled to each other with an internal cavity;
Cases 1 and 2 are sandwiched between the first and second cases 1 and 2 to form a negative pressure chamber 4 with the first case 1, and an air chamber 5 with the second case 2.
It has a diaphragm 3 forming a diaphragm 3 and a spring 11 disposed in the negative pressure chamber 4 to bias the diaphragm 3. In the actuator that moves the diaphragm 3 and the rod 6 fixed to the diaphragm 3 by the pressure difference between the atmospheric pressures and the elastic force of the spring 11, a rubber-like elastic member is attached to the negative pressure chamber 4 side of the diaphragm 3. A valve member 7 formed of material into a substantially cylindrical shape with a bottom and having an inward seal protrusion 7b attached to the open end of the recess 7a is attached to the valve member 7 of the first case 1. A negative pressure introduction hole 8 having a substantially cylindrical shape and opening at the tip surface 8b is located opposite to the
c, and a first nipple 8 that projects the tip 8a toward the seal protrusion 7b is screwed on, and the contact portion between the tip surface 8b and the seal protrusion 7b, the circumferential surface of the first nipple 8, and the seal The actuator is provided with a second nipple 10 that communicates with the negative pressure chamber 4 and has a smooth surface on which it slides in contact with the protrusion 7b.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2389084U JPS60137204U (en) | 1984-02-23 | 1984-02-23 | actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2389084U JPS60137204U (en) | 1984-02-23 | 1984-02-23 | actuator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60137204U JPS60137204U (en) | 1985-09-11 |
| JPH0446082Y2 true JPH0446082Y2 (en) | 1992-10-29 |
Family
ID=30517536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2389084U Granted JPS60137204U (en) | 1984-02-23 | 1984-02-23 | actuator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60137204U (en) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52107474A (en) * | 1976-03-05 | 1977-09-09 | Toho Gasu Kougiyou Kk | Three stage control device for operating positions of vacuum type driving apparatus |
-
1984
- 1984-02-23 JP JP2389084U patent/JPS60137204U/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60137204U (en) | 1985-09-11 |
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