JPH0446746A - バッチ処理進捗管理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体製造工程におけるウェハプロセス等に
用いられ、計算機により製造処理の管理を行うバッチ処
理進捗管理システムに関するものである。

（従来の技術） 半導体製造装置に半導体ウェハを投入して処理する場合
、複数のロットを組合わせて同時処理することをバッチ
処理という。このバッチ処理を行う場合、投入しようと
するロットの品種や工程が異なっていても、これらのロ
ットの間で製造装置にセットするべき処理条件が一致す
る限り同時処理が可能である。また、投入しようとする
ロットのウェハ枚数補正のために製品とならないグロセ
スウェハを製品ロットと共に処理することがある。

これをダミーロットという。このダミーロットを投入す
る必要がある場合には、このダミーロットの使用可能な
製造処理装置のＩＤ（ｍ別のための番号、名称等）を確
認することと、ダミーロットの処理回数を確認すること
が必要である。

従来、計算機による製造処理の管理を行っている半導体
工場では、ロットの処理を行う場合、製造処理装置の近
傍の作業者用端末にロット番号を入力し、そのロットの
工程進捗の妥当性とその製造処理装置での処理可能か否
かの確認とを行い、これが認められた場合に初めてその
作業者端末にロットの処理可能な旨及びそのロットの処
理すべき処理条件が表示されるようなバッチ処理進捗管
理システムを用いて行っている。

（発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、上記のバッチ処理進捗管理システムを用
いてバッチ処理を行う場合、次のような課題があった。

作業者は表示された各ロットの処理条件についての問い
合わせを行い、さらに作業者が各ロットの処理条件が一
致することを確認した後にロットを投入しなければなら
ないので、処理条件の確認を誤って処理の異なるロット
を製造処理装置に投入してロックアウトを発生させると
いう問題があつた。

また、ダミーロットの使用可能な製造処理装置について
も、作業者の確認不足により誤ったダミーロットを製造
処理装置に投入すると、そのダミーロットが含むガス等
で他のロットなどが汚染される等の障害が発生するとい
う問題があった。

本発明は前記従来技術の持っていた課題として、処理の
異なるロットを投入してロックアウトを発生させる点、
及び誤ったダミーロットを投入して装置を汚染させる点
について解決したバッチ処理進捗管理システムを提供す
るものである。

（課題を解決するための手段） 本発明は、前記課題を解決するなめに、品種及び工程が
規定された複数のロット、または該ロット及びダミーロ
ットで編成されるバッチに対して所定のバッチ処理を行
う製造処理装置と、前記各ロットを識別するためのロッ
ト識別情報及び前記製造処理装置を識別するための装置
識別情報に基づき、前記バッチ処理の実行が可能か否か
の判定を行うバッチ処理判定部と、前記バッチ処理判定
部により前記バッチ処理の実行が可能と判定されたとき
に、前記バッチ処理の処理条件を表示する表示部とを、
備えたバッチ処理進捗管理システムにおいて、次のよう
な手段を講じたものである。

前記ダミーロットを識別するためのダミーロット識別情
報に対応したダミーロット管理情報が記憶されたダミー
情報記憶部と、前記バッチ内のロットの総数及び前記ダ
ミーロットの指定位置を前記品種と工程の組合わせで規
定したバッチ編成条件が記憶された編成条件記憶エリア
とを設け、前記バッチ処理判定部は、前記バッチ処理の
処理条件から前記バッチで処理されるべきロット総数を
取り出し、該ロット総数と前記ロット識別情報により指
定されるロット数との一致、不一致を判定するロット数
判定手段と、前記バッチ内のダミーロットの位置と前記
バッチ編成条件との一致、不一致を判定するダミー位置
判定手段と、前記ダミーロットの位置が前記バッチ編成
条件に一致する場合に、前記ダミーロット管理情報に基
づき該ダミーロットが使用可能か否かを判定するダミー
使用判定手段と、前記装置識別情報に対応した前記製造
処理装置により前記各ロットに対する前記バッチ処理の
実行が可能か否かを判定するロット処理判定手段と、前
記ロット処理判定手段により各ロットが処理可能と判定
された場合、その判定結果を前記表示部に表示させるロ
ット処理表示手段と、前記ロット数判定手段の判定結果
が不一致、前記・ダミー位置判定手段の判定結果が不一
致、前記ダミー使用判定手段の判定結果が使用不可能、
またはロット処理判定手段の判定結果が処理不可能とな
る場合に、前記バッチ処理判定部の判定処理を停止する
判定停止手段とを、備えたものである。

また、前記ダミー使用判定手段は、前記ダミーロット管
理情報内のダミーロットの現使用回数情報及び使用限度
回数情報に基づき、ダミーロットの現使用回数が使用限
度回数以下か否かを判定する回数判定手段と、前記回数
判定手段により使用限度回数以下と判定されたときに、
前記ダミーロット管理情報内の使用可能装置情報に前記
装置識別情報が存在するか否かを判定する使用装置判定
手段と、前記回数判定手段により現使用回数が越えてい
ると判定されたとき、または使用装置判定手段により前
記装置識別情報が不存在と判定されたとき、前記使用不
可能と判定する処理判定手段とで構成してもよい。

さらに、前記ロット処理判定手段は、前記各ロットの処
理が可能である前記製造処理装置を示す使用可能装置情
報に前記装置識別情報が存在するか否かを判定する処理
可能判定手段と、前記処理可能判定手段により装置識別
情報が存在すると判定されたときに、前記各ロフトの処
理条件かすべて一致するか否かを判定するロフト処理条
件判定手段と、前記処理可能判定手段により装置識別情
報が不存在と判定されたとき、またはロフト処理条件判
定手段により処理条件の異なるロットが存在すると判定
されたとき、前記処理不可能と判定する処理不可能判定
手段とで、構成してもよい。

（作用） 本発明は、以上のようにバッチ処理進捗管理システムを
構成しなので、ロット数判定手段はバッチで処理される
べきロッド総数とロット識別情報により指定されるロッ
ト数との一致、不一致を判定し、不一致の場合に判定停
止手段がバッチ処理判定部の判定処理を停止して、バッ
チ編成するロットの同時処理数を的確に実行する。ダミ
ー位置判定手段は、バッチ内のダミーロットの位置とバ
ッチ編成条件との一致、不一致を判定し、不一致の場合
に判定停止手段がバッチ処理判定部の判定処理を停止し
て、ダミーロットの編成位置の誤りを防止するように働
く。ダミー使用判定手段は、ダミーロット管理情報に基
づき該ダミーロットが使用可能か否かを判定し、使用不
可能の場合に判定停止手段がバッチ処理判定部の判定処
理を停止して、使用可能でないダミーロットの使用を防
ぐように働く。

したがって、前記課題を解決できるのである。

（実施例） 第１図は、本発明の実施例を示すバッチ処理進捗管理シ
ステムの構成ブロック図である。

このバッチ処理進捗管理システムは、複数のロフト及び
ダミーロットで編成されるバッチに対して所定のバッチ
処理を行う製造処理装置５０を有している９この製造処
理装置５０には端末制御装置５１を介して端末５２が接
続されている。この端末５２は、ロット識別情報である
ロット番号及び製造処理装置５０を識別するための装置
識別情報であるＩＤを入力するキーボード、及びバッチ
処理の処理条件の表示等を行うデイスプレィ等からなる
表示部５２ａを備えている。

この端末５２を制御する端末制御装置５１には、製造装
置近傍の複数の端末５２とシリアル回線により通信を行
うローカルコンピュータ５３が接続され、このローカル
コンピュータがＬＡＮ　（Ｌ。

ｃａｌ　Ａｒｅａ　　Ｎｅｔｗｏｒｋ＞６０を介してホ
ストコンピータ７０に接続されている。ホストコンピュ
ータ７０は、各種制御を行う他、ロットやバッチを管理
するための内部管理情報を記憶する磁気ディスク等から
なる管理記憶領域７１と、端末５２から入力された製造
処理装置５０のＩＤに対応した製造処理装置５０を用い
て指定されなロット番号のロットのバッチ処理が可能か
否かの判定を行うバッチ処理判定部７２とを有し、中央
処理装置、内部メモリ、演算装置等で構成されている。

そして、このホストコンピュータ７０には、外部メモリ
用のデータベース８０が接続されている。

第２図（ａ＞、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、第１図中の
管理記憶領域７１の格納形式を示す図であり、同図（ａ
）は工程フロー記憶部の格納形式、同図（ｂ）は工程情
報記憶部の格納形式、同図（Ｃ）はダミー情報記憶部の
格納形式、及び同図（ｄ）は−時記憶部の格納形式をそ
れぞれ示している。

この第２図（ａ＞、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示すよう
に、ホストコンピータの管理記憶領域７１は、工程フロ
ー記憶部７１ａ、工程情報記憶部７１ｂ、ダミー情報記
憶部７１ｃ、及び−時記憶部７１ｄ″′ｃ１１１成され
ている。工程フロー記憶部７１ａは、各ロットのロット
番号に対応させて、ロットの品種、投入から出来までの
工程の順番等が記憶されている。また、工程情報記憶部
７１ｂは、ロットの品種と工程の組合わせで決められる
使用可能な製造処理装置が記憶された使用可能装置エリ
ア、製造処理装置５０の処理条件が記憶された処理条件
エリア、及びバッチ編成条件が記憶された編成条件記憶
エリア７１ｂ−１で構成されている。ここで、バッチの
編成条件は、第２図（ｄ）に示すように、英字しまたは
Ｄで表現されており、その文字数は、バッチ内のロット
数を示している。

また、バッチ内の各ロットについて、しは「ロット」及
びＤは「ダミーロット」を表している。ダミー情報記憶
部７１ｃは、各ダミーロットに付されたダミーロット番
号（ダミーロット識別情報）を記憶するダミーロット番
号記憶エリア、各ダミーロット番号に対応した使用限度
回数を記憶する使用限度回数エリア、現使用回数を記憶
する現使用回数エリア及び使用可能な製造処理装置が記
憶された使用可能装置エリアで構成されている。そして
、これら使用限度回数、現使用回数、及び使用可能な製
造処理装置がダミー管理情報を成している。

一時記憶部７１ｄは、バッチ処理の可能な各製造処理装
置５０ごとに設けられ、端末５２のキーボードから入力
されるロット番号またはダミーロット番号を記憶するロ
ット番号記憶エリア、各ロット番号に対応した処理条件
を記憶するための処理条件エリア、使用可能な製造処理
装置を記憶するための使用可能装置エリア、及びバッチ
編成条件記憶用の編成条件記憶エリア７１ｂ−１で構成
されている。そして、この−時記憶部７１ｄは、磁気デ
ィスクやＲＡＭ等からなり、その記憶内容は、同一の製
造処理装置から新たにバッチ投入に関する通知を受信す
るまで保存する機能を有している。

さらに、バッチ処理判定部７２は、バッチ処理の処理条
件からバッチで処理されるべきロット総数を取り出し、
該ロット総数とロット番号により指定されるロット数と
の一致、不一致を判定するロット数判定手段７２ａと、
バッチ内のダミーロットの位置とバッチ編成条件との一
致、不一致を判定するダミー位置判定手段７２ｂと、ダ
ミーロットの位置がバッチ編成条件に一致する場合にダ
ミーロット基づき該ダミーロットが使用可能か否かを判
定するダミー使用判定手段７２ｃと、装置識別情報に対
応した製造処理装置により各ロットに対するバッチ処理
の実行が可能か否かを判定するロット処理判定手段７２
ｄとを備えている。

その上、バッチ処理判定部７２は、ロット処理判定手段
７２ｄにより各ロットが処理可能と判定された場合、そ
の判定結果を表示部５２ａに表示させるロット処理表示
手段７２ｅと、ダミー位置判定手段７２ｂの判定結果が
不一致、ダミー使用判定手段７２ｃの判定結果が使用不
可能、またはロット処理判定手段７２ｄの判定結果が処
理不可能となる場合に、バッチ処理判定部７２の判定処
理を停止する判定停止手段７２ｆとを、備えている。

ダミー使用判定手段７２ｃは、ダミーロット管理情報内
のダミーロットの現使用回数情報及び使用限度回数情報
に基づき、ダミーロットの現使用回数が使用限度回数以
下か否かを判定する回数判定手段？２ｃｍ１と、回数判
定手段７２ｃｍ１により使用限度回数以下と判定された
ときにダミーロット管理情報内の使用可能装置に製造処
理装置５０のＩＤが存在するか否かを判定する使用装置
判定手段と、回数判定手段７２ｃｍ１により現使用回数
が越えていると判定されたとき、または使用装置判定手
段７２ｃｍ２により製造処理装置５０のＩＤが不存在と
判定されたとき、前記使用不可能と判定する処理判定手
段７２ｄとで、構成されている。

また、ロット処理判定手段７２ｄは、各ロットの処理が
可能である製造処理装置を示す使用可能装置情報に装置
識別情報が存在するか否かを判定する処理可能判定手段
７２ｄ−１と、処理可能判定手段７２ｄ−１により装置
識別情報が存在すると判定されたときに各ロットの処理
条件がすべて一致するか否かを判定するロット処理条件
判定手段７２ｄ−２と、処理可能判定手段７２ｄ−１に
より装置識別情報が不存在と判定されたとき、またはロ
ット処理条件判定手段７２ｄ−２により処理条件の異な
るロットが存在すると判定されたとき、処理不可能と判
定する処理不可能判定手段７２ｄ−３とで、構成されて
いる。

第３図は第１図の動作フローチャートであり、この図を
参照しつつ、第１図の動作を説明する。

まず、作業者はバット処理を行うに当たって、処理を行
う製造処理装置５０のＩＤとロット番号とを端末５２に
入力する（ステップ１００，１０１）。この場合、ロッ
トの順番はバッチ処理する製造処理装置５０の中での順
番に対応しており、例えば熱処理炉の場合では、順に炉
口、中央、及び炉奥に対応する。また、バッチの中にダ
ミーロットを含んで投入する場合には、個々のダミーロ
ットに振られたダミーロット番号を入力する。この製造
処理装置５０のＩＤ、ロフト番号及びダミーロット番号
の情報は、ホストコンピュータ７０に伝わり、このホス
トコンピュータ７０では以下の処理を開始する。

まず、バッチ内のロットのそれぞれの品種と工程を工程
フロー記憶部７１ａにより調べる（ステップ１０２）。

伝えられたロット番号に未登録のものがあれば、端末５
２に「存在しないロットが入力された」とのエラー表示
を出して処理を打ち切る（ステップ１０３，１０４＞。

未登録のロットがなければ、各ロットの品種と工程を用
いて、工程情報記憶部７１ｂからロットの処理条件、使
用可能装置、及びバッチ編成条件を引き出しくステップ
１０５）、−時記憶部７１ｄに保存する（ステップ１０
６）。

次に、−時記憶部７１ｄに記憶された各ロットの諸条件
をも用いてバッチ編成可能か否かを判断する。

まず、バッチの先頭ロットの処理条件を取り出す。この
処理条件から処理されるべきロットの総数を調べ、−時
記憶部７１ｄのロット数と比較する。この時、一致しな
ければ、端末５２に「ロット数が合わない」とのエラー
表示を出して処理を打ち切る（ステップ１０７，１０８
＞。一致すれば、続いてバッチ内でのダミーロットの位
置チエツクを行う。このダミーロットの位置チエ・ツク
は、以下のように行われる。

まず、バッチの先頭ロットのバッチ編成条件を一時記憶
部７１ｄから取り出す。その後、バッチの先頭ロットか
ら順番に、そのロットが製品ウェハであるか、ダミーロ
ットであるかを判断しくステップ１０９＞、これを抽出
したバッチ編成条件と順番に比較する。即ち、バッチ編
成条件でのロット位置に該当する文字が「Ｌ」であるこ
とと、該位置のロットが製品ウェハあるいはダミーロッ
トであることとの一致、またはバッチ編成条件でのロッ
ト位置に該当する文字がｒｌ）Ｊであることと、ロット
がダミーロットであることの一致を判断して（ステップ
１１０）、すべてのロットについて条件を満足すれば、
次のチエツクに進む。１つでも相違するものがあれば、
端末５２側に「ダミーロットの位置が合わない」との旨
のエラー表示を出して、処理を打ち切る（ステップ１１
１）。

また、基準となるべきロットがダミーロットであった場
合には、次のロットに関してバッチ編成条件を抽出して
上記処理を行う。すべてのロットがダミーロットであっ
た場合には（ステップ１１２）「すべてダミーロット」
との旨の表示を端末５２側に出して処理を打ち切る（ス
テップ１１１）。

バッチ内のダミーロットの位置チエツクが終了したら（
ステップ１１２＞、バッチ内にダミーロットが含まれる
場合のみ、各ダミーロットが使用可能かを確認する処理
を行う。この処理は次のように行われる。

まず、ダミーロット番号を元にダミーロット管理情報を
検索し、そのダミーロットの現使用回数が使用限度回数
より下回っているかをチエツクする（ステップ１１３）
。使用限度回数に達したダミーロットがあれば、「使用
限度に達したダミーロットがある」との旨のエラー表示
を端末５２側に出して処理を打ち切る（ステップ１１４
）。このチエツクが終了したら、続いて、該ダミーロッ
トの使用可能装置と端末５２側から伝えられた製造処理
装置５０とを比較する（ステップ１１５）。

ダミーロットの使用可能装置が端末５２側の製造処理装
置５０を含む場合には、次の処理へ進む。

これを満足しない場合には、端末５２側に［このダミー
ロットはこの製造処理装置で処理できない」どの旨のエ
ラー表示を出して処理を打ち切る（ステップ１１４）。

以上のダミーロットのチエツクを通過したバッチに対し
て、続いて各ロットが指定された製造処理装置で処理可
能かを判断する。即ち、−時記憶部７１ｄに記憶されて
いる情報を用いて、ダミーロットを除くすべてのロット
に対して、各ロットの処理可能装置が端末５２から伝え
られた製造処理装置に含まれる場合に次の処理に進む（
ステップ１１６）。以上の条件を満足できない場合には
、「この製造処理装置で処理できないロットがある」と
の旨のエラー表示を端末５２に出して処理を打ち切る（
ステップ１１４）。

そして、次には、バッチの中のロットがすべて同一の処
理条件であることを確認する。即ち、−時記憶部７１ｄ
に記憶した情報を用いてダミー口ットを除くすべてのロ
ットの処理条件を比較して（ステップ１１７Ｌこれらが
一致した場合のみに次のステップに進む。１つでも処理
条件の違うロットがあった場合には、端末５２に「処理
条件の違うロットがある」どの旨のエラー表示を出して
、処理を打ち切る（ステップ１１８）。

以上の確認の各ステップをすべて通過したロットが指定
装置で処理可能なバッチとして認められたことになる。

その後、端末５２に該バッチの処理許可と処理する際の
処理条件を表示する（ステップ１１９）。

さらに、製造処理装置５０近傍の端末５２と製造処理装
置５０がオンラインで接続されている状態ならば、この
情報はただちに製造処理装置５０に伝送され、作業者が
端末入力通りにロットを装置の投入口にセットしてスタ
ートを入力すれば、ホストコンピュータ７０の持つ処理
条件を間違えること無く処理することが可能となる。

なお、本発明は、図示の実施例に限定されず、種々の変
形が可能である。例えば、その変形例として次のような
ものがある。

（イ）上記実施例では、ロット識別情報、装置識別情報
、及びダミーロット識別情報として数字で表した番号を
用いたが、これに限定されず、例えば数字以外の文字で
表した名称等でもよい。

（ロ）上記実施例では、ダミー情報記憶部７１ｃ及び編
成条件記憶エリア７１ｂ−１を、ホストコンピュータ７
０内に設けたが、これに限定せず、データベース等に設
けてもよい。

（ハ〉上記実施例では、バッチ処理判定部の各構成要素
をハードウェアで構成したが、ソフトウェアで構成する
ことも可能である。

（発明の効果） 以上詳細に説明したように、本発明によれば、ダミーロ
ット管理情報が記憶されたダミー情報記憶部と、バッチ
編成条件が記憶された編成条件記憶エリアとを設・け、
バッチ処理判定部に、口・ント数判定手段、ダミー位置
判定手段、ダミー使用判定手段、ロット処理判定手段、
ロット処理表示手段、及び判定停止手段を備えるように
したので、（１）処理条件のことなるロットの混入を防
ぐことができる。（２）バッチ編成するロットの同時処
理数を問違えることがなくなる。（３）ダミーロットの
編成位置を間違えることがなくなる。

（４）使用可能でないダミーロットを使ってしまうこと
がなくなる。（５）工程により処理できない製造処理装
置へバッチを誤って投入することがなくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示すバッチ処理進捗管理シス
テムの構成ブロック図、第２図（ａ）。 （ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は第１図中の管理記憶領域７１
の格納形式を示す図、第３図は第１図の動作フローチャ
ートである。 ５０・・・・・・製造処理装置、５２ａ・・・・・・表
示部、７１ｂ−１・・・・・・編成条件記憶エリア、７
１ｃ・・・・・・ダミー情報記憶部、７２・・・・・・
バッチ処理判定部、７２ａ・・・・・・ロット数判定手
段、７２ｂ・・・・・・ダミー位置判定手段、７２ｃ・
・・・・・ダミー使用判定手段、７２０−１・・・・・
・回数判定手段、７２ｃｍ２・・・・・・使用装置判定
手段、７２ｃｍ３・・・・・・処理判定手段、７２ｄ・
・・・・・ロット処理判定手段、７２ｄ−１・・・・・
・処理可能判定手段、７２ｄ−２・・・・・・ロット処
理条件判定手段、７２ｄ−３・・・・・・処理不可能判
定手段、７２ｅ・・・・・・ロット処理表示手段、７２
ｆ・・・・・・判定停止手段。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、品種及び工程が規定された複数のロット、または該
   ロット及びダミーロットで編成されるバッチに対して所
   定のバッチ処理を行う製造処理装置と、 前記各ロットを識別するためのロット識別情報及び前記
   製造処理装置を識別するための装置識別情報に基づき、
   前記バッチ処理の実行が可能か否かの判定を行うバッチ
   処理判定部と、 前記バッチ処理判定部により前記バッチ処理の実行が可
   能と判定されたときに、前記バッチ処理の処理条件を表
   示する表示部とを、 備えたバッチ処理進捗管理システムにおいて、前記ダミ
   ーロットを識別するためのダミーロット識別情報に対応
   したダミーロット管理情報が記憶されたダミー情報記憶
   部と、 前記バッチ内のロットの総数及び前記ダミーロットの指
   定位置を前記品種と工程の組合わせで規定したバッチ編
   成条件が記憶された編成条件記憶エリアとを設け、 前記バッチ処理判定部は、 前記バッチ処理の処理条件から前記バッチで処理される
   べきロット総数を取り出し、該ロット総数と前記ロット
   識別情報により指定されるロット数との一致、不一致を
   判定するロット数判定手段と、 前記バッチ内のダミーロットの位置と前記バッチ編成条
   件との一致、不一致を判定するダミー位置判定手段と、 前記ダミーロットの位置が前記バッチ編成条件に一致す
   る場合に、前記ダミーロット管理情報に基づき該ダミー
   ロットが使用可能か否かを判定するダミー使用判定手段
   と、 前記装置識別情報に対応した前記製造処理装置により前
   記各ロットに対する前記バッチ処理の実行が可能か否か
   を判定するロット処理判定手段と、前記ロット処理判定
   手段により各ロットが処理可能と判定された場合、その
   判定結果を前記表示部に表示させるロット処理表示手段
   と、 前記ロット数判定手段の判定結果が不一致、前記ダミー
   位置判定手段の判定結果が不一致、前記ダミー使用判定
   手段の判定結果が使用不可能、またはロット処理判定手
   段の判定結果が処理不可能となる場合に、前記バッチ処
   理判定部の判定処理を停止する判定停止手段とを、 備えたことを特徴とするバッチ処理進捗管理システム。 ２、請求項１記載のバッチ処理進捗管理システムにおい
   て、 前記ダミー使用判定手段は、 前記ダミーロット管理情報内のダミーロットの現使用回
   数情報及び使用限度回数情報に基づき、ダミーロットの
   現使用回数が使用限度回数以下か否かを判定する回数判
   定手段と、 前記回数判定手段により使用限度回数以下と判定された
   ときに、前記ダミーロット管理情報内の使用可能装置情
   報に前記装置識別情報が存在するか否かを判定する使用
   装置判定手段と、 前記回数判定手段により現使用回数が越えていると判定
   されたとき、または使用装置判定手段により前記装置識
   別情報が不存在と判定されたとき、前記使用不可能と判
   定する処理判定手段とで構成し、 前記ロット処理判定手段は、 前記各ロットの処理が可能である前記製造処理装置を示
   す使用可能装置情報に前記装置識別情報が存在するか否
   かを判定する処理可能判定手段と、前記処理可能判定手
   段により装置識別情報が存在すると判定されたときに、
   前記各ロットの処理条件がすべて一致するか否かを判定
   するロット処理条件判定手段と、 前記処理可能判定手段により装置識別情報が不存在と判
   定されたとき、またはロット処理条件判定手段により処
   理条件の異なるロットが存在すると判定されたとき、前
   記処理不可能と判定する処理不可能判定手段とで、 構成したバッチ処理進捗管理システム。