JPH0447182A - 真空ポンプ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、真空を発生させてワークを吸着テーブルに固
定するための真空ポンプ装置に関する。

［従来の技術］ ワークに加工作業を施す際、このワークを正確に且つ強
固に位置決めする必要があるが、ワークの材質や形状等
により接触型のクランプ手段を使用することが不適当な
場合がある。

このため、真空ポンプを用いてワークを吸着テーブルに
吸着保持する装置が考えられる。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、前記の装置では、ワークが吸着テーブル
に確実に吸着されているか否かを検出することが困難で
あり、このため、吸着不良の状態でワークに加工作業が
施されてこのワークを高精度に加工することができない
という問題がある。

しかも、単一の真空ポンプで複数の吸着テーブルにワー
クを吸着保持しようとする際、一の吸着テーブルに空気
洩れが発生すると、他の吸着テーブルが所望の負圧を維
持できず、ワークを確実に固定することが困難となると
いう問題がある。

本発明は、この種の問題を解決するものであり、吸着テ
ーブルと真空ポンプとの間における空気洩れを容易に且
つ確実に検出することができ、ワークの吸着不良を可及
的に阻止することが可能な真空ポンプ装置を提供するこ
とを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記の課題を解決するために、本発明はワークを吸着保
持するための吸着テーブルと、前記吸着テーブルに連通
自在な真空ポンプと、前記吸着テーブルと真空ポンプと
の間に配設される流体除去用タンクと、 前記吸着テーブルと真空ポンプとの間に配設される圧力
センサとを備えることを特徴とする。

さらに、本発明はワークを吸着保持するための複数の吸
着テーブルと、 各吸着テーブルに一体的に連通自在な単一の真空ポンプ
と、 各吸着テーブルと真空ポンプとの間に配設される流体除
去用タンクと、 各吸着テーブルと真空ポンプとの間に配設される圧力セ
ンサとを備えることを特徴とする。

［作用コ 上記の本発明に係る真空ポンプ装置では、真空ポンプの
駆動作用下にワークが吸着テーブルに吸着保持されると
ともに、圧力センサを介してこのワークの吸着状態が検
出される。このため、ワークが吸着テーブルに確実に固
定された状態でこのワークに所定の加工作業が施され、
高精度な加工作業が遂行される。

さらに、本発明に係る真空ポンプ装置では、単一の真空
ポンプにより複数の吸着テーブルにワークを吸着保持す
るとともに、各ワークの吸着状態が圧力センサにより検
出される。このため、たとえば、一の吸着テーブルに空
気洩れが生じた時に、この吸着テーブルと真空ポンプと
を連通させている開閉弁が閉塞され、他の吸着テーブル
によるワークの吸着保持作業が好適に遂行される。

［実施例コ 本発明に係る真空ポンプ装置について実施例を挙げ、添
付の図面を参照しながら以下詳細に説すする。

第１図において、参照符号１０は、本発明の第１の実施
例に係る真空ポンプ装置を示す。この真空ポンプ装置１
０は、ワークＷを吸着保持するた約の吸着テーブル１２
と、前記吸着テーブル１２に連通ずる高温運転型の真空
ポンプ１４と、前記吸着テーブル１２と真空ポンプ１４
との間に配設される流体除去用タンク１６と、前記吸着
テーブル１２と真空ポンプ１４との間に配設される圧力
センサ１７と、前記タンク１６に併設される流体除去用
補助タンク１８と、前記真空ポンプ１４に前記タンク１
６と補助タンク１８とを選択的に連通自在な切換用弁で
ある開閉弁２０乃至２６とを備える。

前記吸着テーブル１２には、管路２８の一端が接続され
ており、この管路２８の他端側が管路３０．３２に分岐
して管路３０にタンク１６が接続される一方、管路３２
に補助タンク１８が接続された後、−本化して真空ポン
プ１４に接続される。

前記管路３０には、タンク１６の入口側と出口側とにそ
れぞれ開閉弁２０．２２が配設されるとともに、この開
閉弁２２に近接して圧力センサ１７が設けられる。前記
管路３２には、補助タンク１８の入口側と出口側とにそ
れぞれ開閉弁２４．２６が配設される。

前記タンク１６は、開閉弁３４を備えた流体排出口３６
と、タンク１６内の流体の水位を検出して前記開閉弁３
４を開閉するための検出手段（レベルセンサ）３８とを
有する。

前記補助タンク１８は、同様に開閉弁４０を備えた流体
排出口４２と、補助タンク１８円の流体の水位を検出し
て前記開閉弁４０を開閉するための検出手段４４とを有
する。

圧力センサ１７、開閉弁２０乃至２６．３４および４０
並びに検出手段３８．４４は、制御回路４６に接続され
ている。

次に、上記のように構成される真空ポンプ装置の動作を
説明する。

まず、開閉弁３４が閉塞されて開閉弁２０．２２が開放
される一方、開閉弁２４．２６が閉塞された後、吸着テ
ーブル１２にワークＷが配置される。

真空ポンプ１４が駆動され、管路３０．２８を介してワ
ークＷが吸着テーブル１２上に吸着保持された状態で、
このワークＷに所定の加工作業が施される。その際、ワ
ークＷには、切削液が供給されており、この切削液が、
管路２８．３０によりタンク１６内に貯留される。この
ため、真空ポンプ１４には空気のみが導入され、この真
空ポンプ１４が故障することを可及的に阻止することが
できる。

タンク１６内の切削液が所定量に達したことが検出手段
３８を介して検出されると、制御回路４６により、まず
、開閉弁４０が閉塞された後、真空ポンプ１４側の開閉
弁２６が開放されて補助タンク１８内が吸引されて真空
になる。

次に、吸着テーブル１２側の開閉弁２４が開放される一
方、開閉弁２０．２２が閉塞されるとともに、開閉弁３
４が開放されてタンク１６内の切削液が流体排出口３６
から外部に排出される。このため、補助タンク１８が、
真空ポンプ１４に連通してワークＷの吸着保持作業を引
き続き遂行することができる。

タンク１６からの切削液排出作業が終了したことが検出
手段３８により検出されると、開閉弁３４が閉塞される
とともに、真空ポンプ１４側の開閉弁２２が開放されて
タンク１６内が真空になり、さらに吸着テーブル１２側
の開閉弁２０が開放される。そして、開閉弁２４．２６
が閉塞されるとともに、開閉弁４０が開放されて補助タ
ンク１８内の切削液の排出作業が行われる。

従って、タンク１６および補助タンク１８からの切削液
排出作業が、自動的に且つ確実に行われ、作業者が目視
により切削液の量を確認するものに比べ、作業者の負担
を低減し得るとともに、この切削液排出作業が一層確実
に行われるに至る。

この場合、本実施例によれば、吸着テーブル１２と真空
ポンプ１４との間における真空圧が圧力センサ１７によ
って検出され、制御回路４６に供給されている。このた
め、吸着作業を開始すべく開閉弁２０．２２の開放状態
で真空ポンプ１４を所定時間駆動させた後に、圧力セン
サ１７を介して検出された真空圧が、所望の負圧になら
なければ、吸着テーブル１２あるいはタンク１６に空気
洩れが生じていることが確認される。従って、開閉弁２
０，２２が閉塞されるとともに、異常ランプの点灯等が
なされ、ワークＷの加工作業が停止される。

さらに、真空ポンプ１４を駆動させている際に、圧力セ
ンサ１７により所定時間所望の負圧が検出されなければ
、ワークＷが吸着不良となっている場合が多く、開閉弁
２０．２２を閉塞させてこのワークＷの加工作業が中断
される。

これにより、吸着テーブル１２に対してワークＷが確実
に保持されていない状態で、このワークＷに加工作業が
施されることがなく、前記加工作業の効率化並びに自動
化が容易に達成されるという効果が得られる。

次に、本発明の第２の実施例に係る真空ポンプ装置につ
いて、第２図を参照しながら以下に説明する。なお、第
１の実施例に係る真空ポンプ装置１０と同一の構成要素
には、同一の参照符号を付してその詳細な説明は省略す
る。

第２の実施例に係る真空ポンプ装置５０は、特に王台の
吸着テーブル１２ａ乃至１２Ｃを備え、この吸着テーブ
ル１２ａ乃至１２ｃと真空ポンプ１４との間に配設され
る流体除去用タンク１６ａ乃至１６ｃの人口側および出
口側に開閉弁２０ａ乃至２０ｃ、２２ａ乃至２２Ｃが配
設される。

各吸着テーブル１２ａ乃至１２ｃに接続された管路２８
ａ乃至２８Ｃに圧力センサ１７ａ乃至１７ｃが配設され
るとともに、この管路２８ａ乃至２８ｃから分岐した管
路３２ａ乃至３２Ｃに、開閉弁２４ａ乃至２４ｃが配設
される。

次に、このように構成される真空ポンプ装置５０の動作
について以下に概略的に説明する。

まず、開閉弁２４ａ乃至２４Ｃが閉塞される一方、各開
閉弁２０ａ乃至２０Ｃ１２２ａ乃至２２Ｃが開放されて
真空ポンプ１４の作用下に吸着テーブル１２ａ乃至１２
ｃにワークＷが吸着保持され、このワークＷに加工作業
が施される。

二こで、吸着テーブル１２ａから空気洩れが発生してい
ることが圧力センサ１７ａにより検出された場合、開閉
弁２０ａ、２２ａが閉塞されるとともに、この吸着テー
ブル１２ａ上のワークＷの加工作業が停止される。この
ため、吸着テーブル１２ａから真空ポンプ１４までの通
路が自動的に閉塞され、他の吸着テーブル１２ｂ、１２
ｃによるワークＷの吸着保持作業が確実に遂行される。

従って、単一の真空ポンプ１４を用いて、複数の吸着テ
ーブル１２ａ乃至１２ＣにそれぞれワークＷを一体的に
且つ効率的に吸着保持させることができるという効果が
得られる。

［発明の効果］ 以上のように、本発明に係る真空ポンプ装置では、次の
ような効果乃至利点を有する。

真空ポンプの駆動作用下にワークが吸着テーブルに吸着
保持されるとともに、圧力センサを介してこのワークの
吸着状態が検出される。このため、吸着不良のワークに
加工作業を施す恐れがなく、このワークを確実に固定し
て高精度な加工作業が遂行される。

さらに、本発明に係る真空ポンプ装置では、単一の真空
ポンプにより複数の吸着テーブルにワークを吸着保持さ
れるとともに、各ワークの吸着状態が圧力センサにより
検出される。このため、一の吸着テーブルに空気洩れが
生じた時には、この吸着テーブルと真空ポンプとを連通
させている開閉弁が閉塞されて他の吸着テーブルに所望
の負圧を維持することができ、この他の吸着テーブルに
よるワークの吸着保持作業が好適に遂行される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例に係る真空ポンプ装置の
構成説明図、 第２図は本発明の第２の実施例に係る真空ポンプ装置の
構成説明図である。 ０・・・真空ポンプ装置 ２．１２ａ〜１２ｃ・・・吸着テーブル４・・・真空ポ
ンプ ６．１６　ａ　〜１６　ｃ・・・タンク７．１７ａ〜１
７ｃ・・・圧カセンサ 訃・・補助タンク ０．２０　ａ　〜２０　Ｃ−・・開閉弁２．２２　ａ　
〜２２　ｃ−・・開閉弁４．２４　ａ　〜２４　ｃ、　
２６・・−開閉弁８．２８　ａ　〜２８　ｃ−・・開閉
弁訃・・検出手段 ０・・・開閉弁 ４・・・検出手段 ０・・・真空ポンプ装置

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）ワークを吸着保持するための吸着テーブルと、 前記吸着テーブルに連通自在な真空ポンプと、前記吸着
   テーブルと真空ポンプとの間に配設される流体除去用タ
   ンクと、 前記吸着テーブルと真空ポンプとの間に配設される圧力
   センサとを備えることを特徴とする真空ポンプ装置。
2. （２）請求項１記載の真空ポンプ装置において、前記タ
   ンクは、開閉弁を備えた流体排出口と、タンク内の流体
   の水位を検出して前記開閉弁を開閉するための検出手段
   とを有することを特徴とする真空ポンプ装置。
3. （３）請求項１記載の真空ポンプ装置において、前記タ
   ンクに併設されるとともに、真空ポンプに連通自在な補
   助タンクを備えることを特徴とする真空ポンプ装置。
4. （４）ワークを吸着保持するための複数の吸着テーブル
   と、 各吸着テーブルに一体的に連通自在な単一の真空ポンプ
   と、 各吸着テーブルと真空ポンプとの間に配設される流体除
   去用タンクと、 各吸着テーブルと真空ポンプとの間に配設される圧力セ
   ンサとを備えることを特徴とする真空ポンプ装置。
5. （５）請求項４記載の真空ポンプ装置において、前記タ
   ンクは、開閉弁を備えた流体排出口と、タンク内の流体
   の水位を検出して前記開閉弁を開閉するための検出手段
   とを有することを特徴とする真空ポンプ装置。
6. （６）請求項４記載の真空ポンプ装置において、前記タ
   ンクに併設されるとともに、真空ポンプに連通自在な少
   なくとも一の補助タンクを備えることを特徴とする真空
   ポンプ装置。