JPH0447441B2 - - Google Patents
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- JPH0447441B2 JPH0447441B2 JP61192239A JP19223986A JPH0447441B2 JP H0447441 B2 JPH0447441 B2 JP H0447441B2 JP 61192239 A JP61192239 A JP 61192239A JP 19223986 A JP19223986 A JP 19223986A JP H0447441 B2 JPH0447441 B2 JP H0447441B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moisture
- humidity
- moisture sensitive
- zirconium phosphate
- hysteresis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、水溶性ジルコニウム塩、リン酸及び
Li、Na、Ｋ、Rb、又はCsを含む水溶性物質の混
合液相系から得られる結晶性及び／又は無定形リ
ン酸ジルコニウムを600℃以上で熱処理した物質
を主成分とし、雰囲気中の湿度の変化に応じてイ
ンピーダンス値の変化する感湿体の製造方法に関
する。
Li、Na、Ｋ、Rb、又はCsを含む水溶性物質の混
合液相系から得られる結晶性及び／又は無定形リ
ン酸ジルコニウムを600℃以上で熱処理した物質
を主成分とし、雰囲気中の湿度の変化に応じてイ
ンピーダンス値の変化する感湿体の製造方法に関
する。
従来、雰囲気中の湿度に感応してインピーダン
ス値が変化する感湿体としては、Al2O3、
ZrSiO2、MgAl2O4、MgCr2O4等の金属酸化物の
多孔質体、LiCl飽和溶液等の電解質塩、或いはセ
ルロースや疏水ポリマーと親水ポリマーとの共重
合ポリマー等の有機物質系のものがある。
ス値が変化する感湿体としては、Al2O3、
ZrSiO2、MgAl2O4、MgCr2O4等の金属酸化物の
多孔質体、LiCl飽和溶液等の電解質塩、或いはセ
ルロースや疏水ポリマーと親水ポリマーとの共重
合ポリマー等の有機物質系のものがある。
ところで上記感湿体のうち、金属酸化物は、熱
的、化学的安定性に優れ、多孔質焼結体を容易に
得られると言う感湿体としての利点を有している
が、現在のところ実用化及び試作されている金属
酸化物系の感湿体のうち、絶縁性のものは全体的
にインピーダンス値が高く、特に低湿度領域にお
いては108／109ohm以上と高い値を示すため、通
常の検出回路では低湿度領域での湿度測定が難し
い。その解決策として、アルカリ金属塩を添加
し、イオン導電性を持たせてインピーダンス値を
下げる試みがなされている。しかし、その殆どの
感湿体が、水分等の吸着によつて添加したアルカ
リ金属が溶離するなどのことから、経時変化及び
ヒステリシスが認められ、信頼性に欠け、また応
答速度が遅いう欠点がある。
的、化学的安定性に優れ、多孔質焼結体を容易に
得られると言う感湿体としての利点を有している
が、現在のところ実用化及び試作されている金属
酸化物系の感湿体のうち、絶縁性のものは全体的
にインピーダンス値が高く、特に低湿度領域にお
いては108／109ohm以上と高い値を示すため、通
常の検出回路では低湿度領域での湿度測定が難し
い。その解決策として、アルカリ金属塩を添加
し、イオン導電性を持たせてインピーダンス値を
下げる試みがなされている。しかし、その殆どの
感湿体が、水分等の吸着によつて添加したアルカ
リ金属が溶離するなどのことから、経時変化及び
ヒステリシスが認められ、信頼性に欠け、また応
答速度が遅いう欠点がある。
本発明は、上記の問題点を解決するためのもの
で、全湿度領域、特に定湿度側でのインピーダン
スが低く、そのため湿度測定が容易であり、経時
変化が少なく、ヒステリシスが無く、応答速度も
速い感湿体の製造方法を提供することを目的とす
る。
で、全湿度領域、特に定湿度側でのインピーダン
スが低く、そのため湿度測定が容易であり、経時
変化が少なく、ヒステリシスが無く、応答速度も
速い感湿体の製造方法を提供することを目的とす
る。
そのために本発明の感湿体の製造方法は、水溶
性ジルコニウム塩、リン酸及びLi、Na、Ｋ、
Rb、又はCsを含む水溶性物質の混合液相系より
得られる結晶性及び／又は無定形リン酸ジルコニ
ウムZr（M1PO4）2・χH2O（０χ＜20）（M1＝
Li、Na、Ｋ、Rb、又はCs）を600℃以上で熱処
理し、得られる焼結体M1ZrP2O8を主成分とする
ことを特徴とする。
性ジルコニウム塩、リン酸及びLi、Na、Ｋ、
Rb、又はCsを含む水溶性物質の混合液相系より
得られる結晶性及び／又は無定形リン酸ジルコニ
ウムZr（M1PO4）2・χH2O（０χ＜20）（M1＝
Li、Na、Ｋ、Rb、又はCs）を600℃以上で熱処
理し、得られる焼結体M1ZrP2O8を主成分とする
ことを特徴とする。
本発明では、水溶性ジルコニウム塩とリン酸の
混合液相中より得られたリン酸ジルコニウムZr
（HPO4）2・χH2O（０χ＜20）のH+イオンを、
イオン交換反応により他の陽イオンに交換するこ
とにより、感湿体原料Zr（M1PO4）2・χH2O（M1
＝Li、Na、Ｋ、Rb、又はCs）を得、この感湿体
原料を100〜1000Kg／cm2で圧縮・成形加工した後、
大気中600〜1000℃で熱処理したものの両面に、
例えば対向電極を設けてサンドウイツチ型の感湿
素子を構成する。この素子は、イオン導電性によ
り全湿度領域で低いインピーダンス値を示し、特
に低湿度側でインピーダンス値が低くなり、通常
の検出回路でも容易に湿度測定を行うことが可能
となる。また感湿体原料Zr（M1PO4）2・χH2Oの
性質により、水分吸着等によるアルカリ金属の溶
離が少なく安定であるため、無定形量の多い感湿
体の中で若干ヒステリシスの認められるものがあ
るものの、殆ど経時変化及びヒステリシスが認め
られず、また応答速度は、結晶性の高い感湿体で
１〜２分以内、無定形量の多い感湿体で２〜３分
以内である。そして無定形の存在量を少なくし、
より結晶性を高めていくことにより、ヒステリシ
ス、経時変化を少なくし、応答速度を速くするこ
とができる。
混合液相中より得られたリン酸ジルコニウムZr
（HPO4）2・χH2O（０χ＜20）のH+イオンを、
イオン交換反応により他の陽イオンに交換するこ
とにより、感湿体原料Zr（M1PO4）2・χH2O（M1
＝Li、Na、Ｋ、Rb、又はCs）を得、この感湿体
原料を100〜1000Kg／cm2で圧縮・成形加工した後、
大気中600〜1000℃で熱処理したものの両面に、
例えば対向電極を設けてサンドウイツチ型の感湿
素子を構成する。この素子は、イオン導電性によ
り全湿度領域で低いインピーダンス値を示し、特
に低湿度側でインピーダンス値が低くなり、通常
の検出回路でも容易に湿度測定を行うことが可能
となる。また感湿体原料Zr（M1PO4）2・χH2Oの
性質により、水分吸着等によるアルカリ金属の溶
離が少なく安定であるため、無定形量の多い感湿
体の中で若干ヒステリシスの認められるものがあ
るものの、殆ど経時変化及びヒステリシスが認め
られず、また応答速度は、結晶性の高い感湿体で
１〜２分以内、無定形量の多い感湿体で２〜３分
以内である。そして無定形の存在量を少なくし、
より結晶性を高めていくことにより、ヒステリシ
ス、経時変化を少なくし、応答速度を速くするこ
とができる。
以下、実施例を図面に基づき説明する。
例 １
感湿体原料の出発物質となる結晶性リン酸ジル
コニウム＜Zr（HPO4）2・χH2O＞は以下に述べる
２つの調製法で合成する。
コニウム＜Zr（HPO4）2・χH2O＞は以下に述べる
２つの調製法で合成する。
１つは直接沈澱法で、ZrOCl2・8H2Oの水溶液
に過剰なHFを加えた後、更に、過剰のH3PO4を
加えN2ガスを吹き込むことにより合成する。も
う１つは加熱還流法で、ZrOCl2・8H2O＋HClの
水溶液にH3PO4＋HClの水溶液を加えて得られた
ゲル状の無定形リン酸ジルコニウムを20℃で数十
時間保つた後、H3PO4及び水で洗浄し、更に
H3PO4と共に数十時間加熱還流することにより
合成する。
に過剰なHFを加えた後、更に、過剰のH3PO4を
加えN2ガスを吹き込むことにより合成する。も
う１つは加熱還流法で、ZrOCl2・8H2O＋HClの
水溶液にH3PO4＋HClの水溶液を加えて得られた
ゲル状の無定形リン酸ジルコニウムを20℃で数十
時間保つた後、H3PO4及び水で洗浄し、更に
H3PO4と共に数十時間加熱還流することにより
合成する。
次いで、以上の２つの調製法で合成された結晶
性リン酸ジルコニウムを分散させた水溶液に、各
アルカリ金属Ｍ（Li、Na、Ｋ、Rb、又はCs）の
水酸化物の水溶液をPHが11になるまで加え、全て
のH+をM+に交換し、濾過、洗浄後乾燥して感湿
体原料とする。圧力200Kg／cm2で圧縮成形した後、
厚さ0.6mm、５×５mmの板状に加工し、更に、第
１図に示す熱処理条件に従い感湿体とする。
性リン酸ジルコニウムを分散させた水溶液に、各
アルカリ金属Ｍ（Li、Na、Ｋ、Rb、又はCs）の
水酸化物の水溶液をPHが11になるまで加え、全て
のH+をM+に交換し、濾過、洗浄後乾燥して感湿
体原料とする。圧力200Kg／cm2で圧縮成形した後、
厚さ0.6mm、５×５mmの板状に加工し、更に、第
１図に示す熱処理条件に従い感湿体とする。
次に、第２図に示すように、上記の方法により
得られた感湿体１の表面にAuを蒸着して電極２
を構成し、これにリード線３を取り付けてサンド
ウイツチ型感湿素子を構成する。
得られた感湿体１の表面にAuを蒸着して電極２
を構成し、これにリード線３を取り付けてサンド
ウイツチ型感湿素子を構成する。
こうして作製した感湿素子の雰囲気温度30℃、
測定周波数1KHzにおける相対湿度０％、20％、
60％、90％でのインピーダンス値は第１図に示す
ようになる。なお、第１図中、サンプルNo.１、
４、７、10、12は比較例である。
測定周波数1KHzにおける相対湿度０％、20％、
60％、90％でのインピーダンス値は第１図に示す
ようになる。なお、第１図中、サンプルNo.１、
４、７、10、12は比較例である。
図において、20％RHでは全ての素子が105〜
106ohmのインピーダンス値を示す。また、0RH
％では、No.２とNo.３を除く全ての素子が４×
107ohm付近のインピーダンス値を示し、No.２の
No.３の場合は約３×106ohmのインピーダンス値
を示す。
106ohmのインピーダンス値を示す。また、0RH
％では、No.２とNo.３を除く全ての素子が４×
107ohm付近のインピーダンス値を示し、No.２の
No.３の場合は約３×106ohmのインピーダンス値
を示す。
上記のような特性により、従来から問題となつ
ている低湿度側の低インピーダンス化を達成で
き、湿度測定は通常の検出回路で可能になる。一
方、高湿度側では90％RHで、No.３を除く全ての
素子が103〜104ohm付近のインピーダンス値を示
し、No.２とNo.３を除く素子では０％RHから90％
RHの間でインピーダンス値は３〜４桁程度変化
する。したがつて、全湿度領域で精度ある測定が
可能となる。また、第１図に示す13個のすべての
素子には増湿、減湿によるヒステリシスは認めら
れなかつた。No.２とNo.３の素子は、０％RHから
90％RHの間でのインピーダンス値の変化は他と
比較して１桁程度小さい。
ている低湿度側の低インピーダンス化を達成で
き、湿度測定は通常の検出回路で可能になる。一
方、高湿度側では90％RHで、No.３を除く全ての
素子が103〜104ohm付近のインピーダンス値を示
し、No.２とNo.３を除く素子では０％RHから90％
RHの間でインピーダンス値は３〜４桁程度変化
する。したがつて、全湿度領域で精度ある測定が
可能となる。また、第１図に示す13個のすべての
素子には増湿、減湿によるヒステリシスは認めら
れなかつた。No.２とNo.３の素子は、０％RHから
90％RHの間でのインピーダンス値の変化は他と
比較して１桁程度小さい。
第３図はNo.13の素子の雰囲気温度30℃、35℃、
40℃、45℃のインピーダンス特性を示す。横軸は
相対湿度、縦軸はインピーダンス値である。０％
RHから50％RH付近までは湿度が増すにつれて
雰囲気温度によるインピーダンス値の差が開く傾
向が認められるが、その差は小さい。この素子を
温度補正回路無しで作動させた場合も、誤差は±
2.5％RH／10℃程度と小さく、温度補正回路を付
けた場合は誤差は±1.5％RH／10℃程度である。
他のNo.１〜12の素子についてもすべて上記のよう
な傾向が認められる。
40℃、45℃のインピーダンス特性を示す。横軸は
相対湿度、縦軸はインピーダンス値である。０％
RHから50％RH付近までは湿度が増すにつれて
雰囲気温度によるインピーダンス値の差が開く傾
向が認められるが、その差は小さい。この素子を
温度補正回路無しで作動させた場合も、誤差は±
2.5％RH／10℃程度と小さく、温度補正回路を付
けた場合は誤差は±1.5％RH／10℃程度である。
他のNo.１〜12の素子についてもすべて上記のよう
な傾向が認められる。
第４図はNo.13の素子の湿度変化に対する応答特
性を示し、横軸は応答時間、縦軸は出力電圧であ
り、雰囲気温度30℃、測定周波数1KHzにおける
ものである。
性を示し、横軸は応答時間、縦軸は出力電圧であ
り、雰囲気温度30℃、測定周波数1KHzにおける
ものである。
相対湿度を10％、30％、60％、90％と増湿して
応答性をみた後、逆に90％、60％、30％、10％と
減湿して応答性を見ると、応答速度は１〜２分以
内であつた。
応答性をみた後、逆に90％、60％、30％、10％と
減湿して応答性を見ると、応答速度は１〜２分以
内であつた。
例 ２
感湿体原料の出発物質となる無定形リン酸ジル
コニウムは以下の方法により調製する。
ZrOCl2・8H2Oの水溶液に過剰なH3PO4を加えて
撹拌すると直ちに無定形リン酸ジルコニウムが得
られる。次いで例１と同様な方法で全てのH+を
各アルカリ金属イオンM+（Li+、Na+、又はK+）
に交換して感湿体原料を得る。圧力100又は200
Kg／cm2で圧縮整形した後、厚さ0.6mm、５×５mm
の板状に加工する。更に第５図に示す熱処理条件
に従つて感湿体を形成し、感湿素子は、例１と同
様に第２図に示すサンドウイツチ型とする。
コニウムは以下の方法により調製する。
ZrOCl2・8H2Oの水溶液に過剰なH3PO4を加えて
撹拌すると直ちに無定形リン酸ジルコニウムが得
られる。次いで例１と同様な方法で全てのH+を
各アルカリ金属イオンM+（Li+、Na+、又はK+）
に交換して感湿体原料を得る。圧力100又は200
Kg／cm2で圧縮整形した後、厚さ0.6mm、５×５mm
の板状に加工する。更に第５図に示す熱処理条件
に従つて感湿体を形成し、感湿素子は、例１と同
様に第２図に示すサンドウイツチ型とする。
第５図はこうして作製した感湿素子の雰囲気温
度30℃、測定周波数1KHz、相対湿度０％、20％、
60％、90％でのインピーダンス値及び増湿、減湿
過程間のヒステリシスの有無を示す図である。な
お、第５図中、サンプルNo.14、15、19、20、24、
25は比較例である。
度30℃、測定周波数1KHz、相対湿度０％、20％、
60％、90％でのインピーダンス値及び増湿、減湿
過程間のヒステリシスの有無を示す図である。な
お、第５図中、サンプルNo.14、15、19、20、24、
25は比較例である。
図において、例１の結晶性リン酸ジルコニウム
を出発物質とした時と違い、無定形リン酸ジルコ
ニウムを出発物質とした時は熱処理条件の違いに
よつて得られた感湿体の中にヒステリシスの認め
られるものがある。ヒステリシスの認められない
素子の中で、No.15、16、17は、０％RHから90％
RHの間でインピーダンス値が107ohm付近から
105ohmまで２桁程度変化する。また、No.20、21、
25、26、27の素子は０％RHから90％RHの間で
インピーダンス値が107ohm付近から103ohm付近
まで４桁程度変化し、例１の素子と似た感湿特性
が得られる。応答速度を例１と同様に10％RH←
→30％RH←→60％RH←→90％RHという増湿、
減湿過程で測定したところ、２〜３分以内となり
結晶性リン酸ジルコニウムを出発物質に用いたも
のより１分程度遅い。
を出発物質とした時と違い、無定形リン酸ジルコ
ニウムを出発物質とした時は熱処理条件の違いに
よつて得られた感湿体の中にヒステリシスの認め
られるものがある。ヒステリシスの認められない
素子の中で、No.15、16、17は、０％RHから90％
RHの間でインピーダンス値が107ohm付近から
105ohmまで２桁程度変化する。また、No.20、21、
25、26、27の素子は０％RHから90％RHの間で
インピーダンス値が107ohm付近から103ohm付近
まで４桁程度変化し、例１の素子と似た感湿特性
が得られる。応答速度を例１と同様に10％RH←
→30％RH←→60％RH←→90％RHという増湿、
減湿過程で測定したところ、２〜３分以内となり
結晶性リン酸ジルコニウムを出発物質に用いたも
のより１分程度遅い。
例 ３
例１、例２に示す方法に従つて調製した結晶性
と無定形のリン酸ジルコニウムを混合して、感湿
体原料の出発物質とする。例１と同様な方法で得
たリン酸ジルコニウム中のH+をすべて各アルカ
リ金属イオンM+に交換して感湿体原料を得る。
その原料より、例１、例２の場合と同様に、第２
図に示すサンドウイツチ型の感湿素子を構成す
る。
と無定形のリン酸ジルコニウムを混合して、感湿
体原料の出発物質とする。例１と同様な方法で得
たリン酸ジルコニウム中のH+をすべて各アルカ
リ金属イオンM+に交換して感湿体原料を得る。
その原料より、例１、例２の場合と同様に、第２
図に示すサンドウイツチ型の感湿素子を構成す
る。
得られた素子の感湿特性は、処理温度が100℃
以下では、ヒステリシスが若干認められるが、
1000℃付近の温度で熱処理するとヒステリシスは
まつたく認められず、結晶性のリン酸ジルコニウ
ムのみを出発物質として得た感湿素子と同じ特性
が得られた。応答速度は、600℃以下の温度で熱
処理した素子は３分程度、1000℃付近で処理した
素子は１〜２分以内で例１に示す素子と同等であ
る。
以下では、ヒステリシスが若干認められるが、
1000℃付近の温度で熱処理するとヒステリシスは
まつたく認められず、結晶性のリン酸ジルコニウ
ムのみを出発物質として得た感湿素子と同じ特性
が得られた。応答速度は、600℃以下の温度で熱
処理した素子は３分程度、1000℃付近で処理した
素子は１〜２分以内で例１に示す素子と同等であ
る。
第６図は第１図に示すNo.１〜13に対する応答性
についてのデータを示したものである。
についてのデータを示したものである。
60→90％RH変化に対して最終応答値の90％ま
で変化する応答時間は、第６図のようになり、５
分を境界にした場合、Zr（NaPO4）2・χH2Oの
1000℃の場合を除き、熱処理温度が600℃とそれ
以上では明確な差が認められる。
で変化する応答時間は、第６図のようになり、５
分を境界にした場合、Zr（NaPO4）2・χH2Oの
1000℃の場合を除き、熱処理温度が600℃とそれ
以上では明確な差が認められる。
第７図は第１図に示すNo.１〜13に対する経時安
定性のデータを示したものである。
定性のデータを示したものである。
実験室内で500日放置したときのインピーダン
ス変化も±５％RHを境界にすると、熱処理温度
が600℃以下とそれ以上では明確な差が認められ
る。
ス変化も±５％RHを境界にすると、熱処理温度
が600℃以下とそれ以上では明確な差が認められ
る。
以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、出発原料にリン酸ジルコニウムZr（MI
PO4）2・χH2O（０χ＜20）（Ｍ＝Li、Na、Ｋ、
Rb、又はCs）を用いることで、そのもののイオ
ン導電性により全湿度領域、特に低湿度側の低イ
ンピーダンス化を達成でき、更に、応答速度が速
く、ヒステリシスが無く、経時変化の小さい安定
した感湿素子を得ることができる。
ば、出発原料にリン酸ジルコニウムZr（MI
PO4）2・χH2O（０χ＜20）（Ｍ＝Li、Na、Ｋ、
Rb、又はCs）を用いることで、そのもののイオ
ン導電性により全湿度領域、特に低湿度側の低イ
ンピーダンス化を達成でき、更に、応答速度が速
く、ヒステリシスが無く、経時変化の小さい安定
した感湿素子を得ることができる。
第１図は本発明による感湿体の一実施例の特性
を示す図、第２図は本発明による感湿体により構
成した感湿素子を示す図、第３図は本発明による
感湿体のインピーダンス特性を示す図、第４図は
本発明による感湿体の応答特性を示す図、第５図
は本発明による感湿体の他の実施例の特性を示す
図、第６図は第１図に示すNo.１〜13に対する応答
性についてのデータを示す図、第７図は第１図に
示すNo.１〜13に対する経時安定性のデータを示す
図である。 １……感湿体、２……電極、３……リード線。
を示す図、第２図は本発明による感湿体により構
成した感湿素子を示す図、第３図は本発明による
感湿体のインピーダンス特性を示す図、第４図は
本発明による感湿体の応答特性を示す図、第５図
は本発明による感湿体の他の実施例の特性を示す
図、第６図は第１図に示すNo.１〜13に対する応答
性についてのデータを示す図、第７図は第１図に
示すNo.１〜13に対する経時安定性のデータを示す
図である。 １……感湿体、２……電極、３……リード線。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 水溶性ジルコニウム塩、リン酸及びLi、Na、
Ｋ、Rb、又はCsを含む水溶性物質の混合液相系
より得られる結晶性及び／又は無定形リン酸ジル
コニウムZr（M1PO4）2・χH2O（０χ＜20）（M1
＝Li、Na、Ｋ、Rb、又はCs）を600℃以上で熱
処理することを特徴とする焼結体M1ZrP2O8を主
成分とした感湿体の製造方法。 ２ 特許請求の範囲第１項記載の方法において、
感湿体を板状に加工し、その両面に対向して一対
の電極を設けることを特徴とする感湿体の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61192239A JPS6347902A (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 | 感湿体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61192239A JPS6347902A (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 | 感湿体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6347902A JPS6347902A (ja) | 1988-02-29 |
| JPH0447441B2 true JPH0447441B2 (ja) | 1992-08-04 |
Family
ID=16287969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61192239A Granted JPS6347902A (ja) | 1986-08-18 | 1986-08-18 | 感湿体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6347902A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB9200583D0 (en) * | 1992-01-13 | 1992-03-11 | Hutton Geoffrey H | Improvements in or relating to a moisture sensor |
| DE102015200217A1 (de) * | 2015-01-09 | 2016-07-14 | Robert Bosch Gmbh | Sensorvorrichtung und Verfahren zum Erfassen zumindest eines gasförmigen Analyten sowie Verfahren zum Herstellen einer Sensorvorrichtung |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54143187A (en) * | 1978-04-28 | 1979-11-08 | Hitachi Ltd | Moisture sensing element |
-
1986
- 1986-08-18 JP JP61192239A patent/JPS6347902A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6347902A (ja) | 1988-02-29 |
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