JPH0449883B2 - - Google Patents
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- JPH0449883B2 JPH0449883B2 JP25917586A JP25917586A JPH0449883B2 JP H0449883 B2 JPH0449883 B2 JP H0449883B2 JP 25917586 A JP25917586 A JP 25917586A JP 25917586 A JP25917586 A JP 25917586A JP H0449883 B2 JPH0449883 B2 JP H0449883B2
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Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
<利用分野>
本発明は、例えば大型の被測定物(ワーク)の
表面とか板状体の表面などの粗さを測定するとき
に、これらのワーク上に載置して測定できるよう
に、いわゆる携帯可能に小型軽量化した表面粗さ
測定機に関するものである。
表面とか板状体の表面などの粗さを測定するとき
に、これらのワーク上に載置して測定できるよう
に、いわゆる携帯可能に小型軽量化した表面粗さ
測定機に関するものである。
<従来技術>
ワーク表面の微細な凹凸、いわゆる表面粗さを
測定する機器として表面粗さ測定機が提供されて
いる。この種測定機は、ワーク表面のミクロンレ
ベルの凹凸を測定・検出するために非常に高精密
に構成され、その使用環境も制約されているのが
現状である。しかして構成的には、概略、ワーク
を安定載置するテーブルと、該テーブルに立設さ
れたコラムと、該コラムに上下移動可能に取り付
けられた駆動本体部と、該駆動本体部から延設支
持されてワーク表面をトレースする触針からなる
測定子とを備えてなり、これを防振台上に設置す
ると共に、駆動本体内駆動機構及び測定子とは機
外の電源・測定量演算表示機構を備えた外部表示
器と信号ケーブルを介して接続し利用するように
している。
測定する機器として表面粗さ測定機が提供されて
いる。この種測定機は、ワーク表面のミクロンレ
ベルの凹凸を測定・検出するために非常に高精密
に構成され、その使用環境も制約されているのが
現状である。しかして構成的には、概略、ワーク
を安定載置するテーブルと、該テーブルに立設さ
れたコラムと、該コラムに上下移動可能に取り付
けられた駆動本体部と、該駆動本体部から延設支
持されてワーク表面をトレースする触針からなる
測定子とを備えてなり、これを防振台上に設置す
ると共に、駆動本体内駆動機構及び測定子とは機
外の電源・測定量演算表示機構を備えた外部表示
器と信号ケーブルを介して接続し利用するように
している。
上記のような従来測定機では、ワークに接触す
るのは測定子の触針部のみである為、ワークのう
ねりや真直度等の測定時に触針のトレースする方
向をワークのトレース面と合致させるように該駆
動本体部内に測定子の移動方向を案内する基準ガ
イドを設け、これによりワーク表面の傾斜度合と
トレース方向を合わせるようにもしている。
るのは測定子の触針部のみである為、ワークのう
ねりや真直度等の測定時に触針のトレースする方
向をワークのトレース面と合致させるように該駆
動本体部内に測定子の移動方向を案内する基準ガ
イドを設け、これによりワーク表面の傾斜度合と
トレース方向を合わせるようにもしている。
また、ワークがテーブルに載置できる大きさの
場合は該ワークを直接テーブルに載置して測定し
ているが、大形物等テーブルに直接載置できない
ワークにおいては、該ワークの一部を切り取つて
載置したり、あるいは測定に必要な部分を転写し
て間接的に測定することが利用されている。
場合は該ワークを直接テーブルに載置して測定し
ているが、大形物等テーブルに直接載置できない
ワークにおいては、該ワークの一部を切り取つて
載置したり、あるいは測定に必要な部分を転写し
て間接的に測定することが利用されている。
<本発明が解決しようとする問題点>
上記従来の測定機においては、装置の精度上か
らはいわゆる測定室、検査室のように環境が管理
された場所での利用となり、生産ライン現場での
簡便な利用には甚だ不具合なものであつた。これ
は各種の測定値抽出を可能とする機構としている
為、その精度維持とも相まつて機構が複雑化し、
測定機自体の寸法が大きくなつて現場での迅速簡
単な利用に不向きな大きさであることも一因であ
る。
らはいわゆる測定室、検査室のように環境が管理
された場所での利用となり、生産ライン現場での
簡便な利用には甚だ不具合なものであつた。これ
は各種の測定値抽出を可能とする機構としている
為、その精度維持とも相まつて機構が複雑化し、
測定機自体の寸法が大きくなつて現場での迅速簡
単な利用に不向きな大きさであることも一因であ
る。
また、測定機のテーブルに載置できない大形ワ
ーク品等の場合は、前述の通り測定の為の準備に
手数を要し、特別の寸法対応治具等も必要とする
など、測定の為の準備・調整等に関し、その実用
性には未が改良が望まれている点も多々存してい
るものであつた。
ーク品等の場合は、前述の通り測定の為の準備に
手数を要し、特別の寸法対応治具等も必要とする
など、測定の為の準備・調整等に関し、その実用
性には未が改良が望まれている点も多々存してい
るものであつた。
<問題点を解決するための手段>
上記の如き従来問題点に鑑みて本発明が提供さ
れたもので、角筒状に形成され、前後端が前面板
と後面板とで閉成されたケーシングと、 ケーシング内に設けられたモータによつてケー
シング内で回転駆動されるねじ軸と、 ねじ軸に螺合しねじ軸が回転されることにより
移動する送りナツトと、 ねじ軸と平行にケーシングに摺動自在に支持さ
れ、送りナツトに後方に向けて固着されたスライ
ド軸と、 ワーク測定面に向けた付勢力を有する第1の板
ばねを介してスライド軸の後端と連結されたコネ
クタ兼取付部と、 ケーシング内に配置されるピツクアツプケース
と、 一端がピツクアツプケースに固着され他端がケ
ーシングの前面板の開口から前方に突出するスキ
ツドと、 ピツクアツプケースに揺動可能に支持されると
共に第2の板ばねを介してワーク測定面に向けて
付勢され、スキツド内を挿通された触針レバー
と、 ピツクアツプケース内に設けられ、触針レバー
の変位を検出するインダクタンス型検出器と、 インダクタンス型検出器と電気的に接続され、
ピツクアツプケースから突設されると共にコネク
タ兼取付部に着脱可能に連結されるコネクタピン
兼取付ロツドと、 触針レバーの先端に固着されスキツドの先端の
開口から露出してワークの測定面に接触する触針
と、 一端がケーシング内のコネクタ兼取付部と接続
され、他端がケーシングの後端面を通つてケーシ
ング外の表示器に接続される外部端子接続用信号
ケーブルと、から成り、 前記前面板及び後面板の底部はケーシング底面
より突出せしめ、その底辺両側に平坦部を形成す
ると共にその底辺中央部にV形切欠きを形成し、
該底部をワークへの載置当接部としたことを特徴
とする。
れたもので、角筒状に形成され、前後端が前面板
と後面板とで閉成されたケーシングと、 ケーシング内に設けられたモータによつてケー
シング内で回転駆動されるねじ軸と、 ねじ軸に螺合しねじ軸が回転されることにより
移動する送りナツトと、 ねじ軸と平行にケーシングに摺動自在に支持さ
れ、送りナツトに後方に向けて固着されたスライ
ド軸と、 ワーク測定面に向けた付勢力を有する第1の板
ばねを介してスライド軸の後端と連結されたコネ
クタ兼取付部と、 ケーシング内に配置されるピツクアツプケース
と、 一端がピツクアツプケースに固着され他端がケ
ーシングの前面板の開口から前方に突出するスキ
ツドと、 ピツクアツプケースに揺動可能に支持されると
共に第2の板ばねを介してワーク測定面に向けて
付勢され、スキツド内を挿通された触針レバー
と、 ピツクアツプケース内に設けられ、触針レバー
の変位を検出するインダクタンス型検出器と、 インダクタンス型検出器と電気的に接続され、
ピツクアツプケースから突設されると共にコネク
タ兼取付部に着脱可能に連結されるコネクタピン
兼取付ロツドと、 触針レバーの先端に固着されスキツドの先端の
開口から露出してワークの測定面に接触する触針
と、 一端がケーシング内のコネクタ兼取付部と接続
され、他端がケーシングの後端面を通つてケーシ
ング外の表示器に接続される外部端子接続用信号
ケーブルと、から成り、 前記前面板及び後面板の底部はケーシング底面
より突出せしめ、その底辺両側に平坦部を形成す
ると共にその底辺中央部にV形切欠きを形成し、
該底部をワークへの載置当接部としたことを特徴
とする。
<作用>
ワークの測定部位に測定機の触針が接触するよ
うに測定機本体底部を該ワークに当接載置せし
め、次いで信号ケーブルで連絡した駆動制御源側
で駆動スイツチをON投入してやれば、該本体内
の駆動機構により触針を連結しているピツクアツ
プがその軸方向に所定距離だけスライドし、この
とき触針がワーク表面をトレースしてその凹凸に
追従した変位動作を行なう。
うに測定機本体底部を該ワークに当接載置せし
め、次いで信号ケーブルで連絡した駆動制御源側
で駆動スイツチをON投入してやれば、該本体内
の駆動機構により触針を連結しているピツクアツ
プがその軸方向に所定距離だけスライドし、この
とき触針がワーク表面をトレースしてその凹凸に
追従した変位動作を行なう。
この変位動作によつて内蔵する変換器が所定の
電気信号を創成し、信号ケーブルを介して連絡さ
れた外部表示部へ出力し、もつて測定粗さを表示
する。
電気信号を創成し、信号ケーブルを介して連絡さ
れた外部表示部へ出力し、もつて測定粗さを表示
する。
この測定作業時において、ワークの測定機当接
面が平坦部である場合は測定機本体の前面板及び
後面板の底部平坦部が該ワーク平坦部に当接し、
安定した載置状態として、触針部及び本体がふら
つくことなく測定作業を行なうことができる。ま
た、ワークの測定機当接面が円柱形である場合
は、前記前面板及び後面板の底部V形切欠きによ
り該円柱面に当接し、安定した載置姿勢をとるこ
とができる。
面が平坦部である場合は測定機本体の前面板及び
後面板の底部平坦部が該ワーク平坦部に当接し、
安定した載置状態として、触針部及び本体がふら
つくことなく測定作業を行なうことができる。ま
た、ワークの測定機当接面が円柱形である場合
は、前記前面板及び後面板の底部V形切欠きによ
り該円柱面に当接し、安定した載置姿勢をとるこ
とができる。
<実施例>
以下、本発明の好適な実施例を図面に基づいて
説明する。第1図ないし第3図において、1は測
定機本内Aのケーシングであり、角柱状に形成し
てその両端部を前面板2、後面板3で閉成してい
る。しかして前面板2側には、後述するケーシン
グ内部の駆動機構と着脱自在に連結され、前面板
2に対し、揺動自在に該板2を遊挿して触針4と
スキツド5からなる測定部がケーシング外部に突
出するピツクアツプ6と、該測定部を保護するノ
ーズピース7を設けている。8は、前記後面板3
側からケーシング外部に延長された信号ケーブル
であり、一端側はケーシング内部の前記ピツクア
ツプ6からの信号ロツド6a,6a及び駆動機構
のモータ部等に接続され、他端側には、該ピツク
アツプ信号を処理し、所要の粗さデータ等を表示
する演算表示機構と共に測定機本内Aの前記駆動
モータ等へ電流を供給する電源機構等を備えた表
示器(図示せず)の接続端子(図示せず)に連結
されるコネクタ9を接続している。
説明する。第1図ないし第3図において、1は測
定機本内Aのケーシングであり、角柱状に形成し
てその両端部を前面板2、後面板3で閉成してい
る。しかして前面板2側には、後述するケーシン
グ内部の駆動機構と着脱自在に連結され、前面板
2に対し、揺動自在に該板2を遊挿して触針4と
スキツド5からなる測定部がケーシング外部に突
出するピツクアツプ6と、該測定部を保護するノ
ーズピース7を設けている。8は、前記後面板3
側からケーシング外部に延長された信号ケーブル
であり、一端側はケーシング内部の前記ピツクア
ツプ6からの信号ロツド6a,6a及び駆動機構
のモータ部等に接続され、他端側には、該ピツク
アツプ信号を処理し、所要の粗さデータ等を表示
する演算表示機構と共に測定機本内Aの前記駆動
モータ等へ電流を供給する電源機構等を備えた表
示器(図示せず)の接続端子(図示せず)に連結
されるコネクタ9を接続している。
また、前記前面板2及び後面板3はその側辺と
なる側の寸法をケーシング1の断面側辺長(第2
図上で上下方向の寸法)よりは若干大きくして、
その底辺2a,3a側がケーシング底面から若干
突出するように配置して該ケーシング端部を閉成
するようにしている。2b,3bは前面板2と後
面板3の前記底辺2a,3aの中央部に形成した
V形切欠きであり、従つて、該底辺は平坦部とV
形切欠き部が形成されているものである。
なる側の寸法をケーシング1の断面側辺長(第2
図上で上下方向の寸法)よりは若干大きくして、
その底辺2a,3a側がケーシング底面から若干
突出するように配置して該ケーシング端部を閉成
するようにしている。2b,3bは前面板2と後
面板3の前記底辺2a,3aの中央部に形成した
V形切欠きであり、従つて、該底辺は平坦部とV
形切欠き部が形成されているものである。
しかして上記前面板2と後面板3は、その底辺
2a,3aがケーシング1より突出しているの
で、第2図に示すように測定作業時にワークWへ
当接させることにより、該底辺部をワークへの測
定機載置当接部として利用し、ワーク表面が平坦
な場合は前記底辺部2a,3aの平坦部を、また
ワーク表面が円弧状あるいは円柱状等ワークの場
合は前記V形切欠き2b,3bをそれぞれ測定機
載置当接部として安定的に該測定機を設定できる
ようにしている。
2a,3aがケーシング1より突出しているの
で、第2図に示すように測定作業時にワークWへ
当接させることにより、該底辺部をワークへの測
定機載置当接部として利用し、ワーク表面が平坦
な場合は前記底辺部2a,3aの平坦部を、また
ワーク表面が円弧状あるいは円柱状等ワークの場
合は前記V形切欠き2b,3bをそれぞれ測定機
載置当接部として安定的に該測定機を設定できる
ようにしている。
第2図にはケーシング1内の構造を示してい
る。
る。
図において、10は駆動モータであり、減速器
11及び取り付け誤差等による多少の偏心を吸収
して駆動伝達をするフレキシブルカツプリング1
2を介して同軸的に送りねじ軸13を接続してい
る。14は、送りねじ軸13に螺合してねじ軸方
向に移動可能な送りナツトであり、該ナツトには
該ねじ軸と平行方向に移動するスライド軸15を
その軸受け15aによりケーシング内壁に支持し
て一体的に固定しており、該スライド軸15の一
端にはジヨイントブロツク16、板バネ17を介
して、ピツクアツプ6の非連結時には該スライド
軸15と略平行で同方向に延長したピツクアツプ
連結ロツド18を揺動可能に取り付けている。上
記スライド軸15は、ケーシング底面、具体的に
は前面板2と後面板3の底辺2a,3a間で形成
する仮想平面と略平行に移動できるように配置し
ている。ピツクアツプ連結ロツド18は、その先
端側に前述ピツクアツプ6の信号ロツド6a,6
aが着脱自在に嵌入される取り付け孔を形成して
いるものであり、該孔部に前記信号ケーブル8と
信号ロツド6a,6aの接点(図示せず)6が設
けられている。
11及び取り付け誤差等による多少の偏心を吸収
して駆動伝達をするフレキシブルカツプリング1
2を介して同軸的に送りねじ軸13を接続してい
る。14は、送りねじ軸13に螺合してねじ軸方
向に移動可能な送りナツトであり、該ナツトには
該ねじ軸と平行方向に移動するスライド軸15を
その軸受け15aによりケーシング内壁に支持し
て一体的に固定しており、該スライド軸15の一
端にはジヨイントブロツク16、板バネ17を介
して、ピツクアツプ6の非連結時には該スライド
軸15と略平行で同方向に延長したピツクアツプ
連結ロツド18を揺動可能に取り付けている。上
記スライド軸15は、ケーシング底面、具体的に
は前面板2と後面板3の底辺2a,3a間で形成
する仮想平面と略平行に移動できるように配置し
ている。ピツクアツプ連結ロツド18は、その先
端側に前述ピツクアツプ6の信号ロツド6a,6
aが着脱自在に嵌入される取り付け孔を形成して
いるものであり、該孔部に前記信号ケーブル8と
信号ロツド6a,6aの接点(図示せず)6が設
けられている。
スライド軸15のピツクアツプ連結ロツド18
は、上述及び第2図から明らかなように、一体的
形状をU字形としているもので、これにより、モ
ータ等も含めた駆動機構部寸法が長くなり、従つ
て本体が長尺化するのを防ぐようにしている。ま
た、前記連結ロツド18は板バネ17により揺動
可能であるから、上記U字形一体形状として一部
材で形成する場合は、その反転曲折部(U字底
部)等を薄肉部として板バネ機能を持たせ、前記
ロツド18側が揺動するようにできることは明ら
かである。
は、上述及び第2図から明らかなように、一体的
形状をU字形としているもので、これにより、モ
ータ等も含めた駆動機構部寸法が長くなり、従つ
て本体が長尺化するのを防ぐようにしている。ま
た、前記連結ロツド18は板バネ17により揺動
可能であるから、上記U字形一体形状として一部
材で形成する場合は、その反転曲折部(U字底
部)等を薄肉部として板バネ機能を持たせ、前記
ロツド18側が揺動するようにできることは明ら
かである。
ピツクアツプ6は、測定機本体Aのピツクアツ
プ連結ロツド18により揺動自在に支持されてい
るものであり、その内部には、ピツクアツプ本体
内壁面に固定されたインダクタンス型変位検出器
61に対向してフエライト板62を一端に取り付
けた触針レバー63がその中間部をピツクアツプ
本体前端部で板バネ64により支持されて設けら
れており、該レバー63の先端には下向きの触針
4が取り付けられ、さらに該触針レバー63及び
触針4を適宜間隔で挿通するスキツド5を該ピツ
クアツプ本体前端部に固定して構成している。し
かして触針4がワークWへ当接していないときは
スキツド5の先端面より僅かに突出すべく、触針
レバー63は前記板バネ64により設定されて該
スキツド(ピツクアツプ本体)に対し揺動可能に
支持されているものである。また、インダクタン
ス型検出器61はそのコイル線端(図示せず)を
前述の信号ロツド6a,6aに接続しているもの
であり、これにより測定時の触針レバー63の揺
動、即ちフエライト板62の揺動変位が前記検出
器61の電流を変化させ、この変化の最終的にワ
ークの表面粗さ等として表示器に表示されるので
ある。
プ連結ロツド18により揺動自在に支持されてい
るものであり、その内部には、ピツクアツプ本体
内壁面に固定されたインダクタンス型変位検出器
61に対向してフエライト板62を一端に取り付
けた触針レバー63がその中間部をピツクアツプ
本体前端部で板バネ64により支持されて設けら
れており、該レバー63の先端には下向きの触針
4が取り付けられ、さらに該触針レバー63及び
触針4を適宜間隔で挿通するスキツド5を該ピツ
クアツプ本体前端部に固定して構成している。し
かして触針4がワークWへ当接していないときは
スキツド5の先端面より僅かに突出すべく、触針
レバー63は前記板バネ64により設定されて該
スキツド(ピツクアツプ本体)に対し揺動可能に
支持されているものである。また、インダクタン
ス型検出器61はそのコイル線端(図示せず)を
前述の信号ロツド6a,6aに接続しているもの
であり、これにより測定時の触針レバー63の揺
動、即ちフエライト板62の揺動変位が前記検出
器61の電流を変化させ、この変化の最終的にワ
ークの表面粗さ等として表示器に表示されるので
ある。
上記のようなピツクアツプ機構は、モータ10
の駆動によりその軸方向に進退移動するので、測
定精度あるいは使用操作の便宜性からは駆動方向
の基準となるスライド軸15と平行移動するのが
好ましい。そのため該ピツクアツプ6はワークW
への当接時にスライド軸15、換言すれば該軸と
平行面を形成する、前面板2と後面板3間の前述
仮想平面と平行になるべく、またスキツド5先端
面が該仮想平面と同様のレベル位置に存するべ
く、駆動機構及びピツクアツプ等の寸法、配置が
設定されている。
の駆動によりその軸方向に進退移動するので、測
定精度あるいは使用操作の便宜性からは駆動方向
の基準となるスライド軸15と平行移動するのが
好ましい。そのため該ピツクアツプ6はワークW
への当接時にスライド軸15、換言すれば該軸と
平行面を形成する、前面板2と後面板3間の前述
仮想平面と平行になるべく、またスキツド5先端
面が該仮想平面と同様のレベル位置に存するべ
く、駆動機構及びピツクアツプ等の寸法、配置が
設定されている。
ノーズピース7は、前述の通りピツクアツプ6
の特に外部に突出するスキツド等の保護機能を主
として奏するので、後述のような載置測定は取り
外しての利用もできるが、その下面側を平坦にし
て前述の前面板2と後面板3の底辺で形成する仮
想平面と略同レベルに位置させることにより、小
寸法ワーク測定時にノーズピース部分のみをワー
ク表面に当接させて利用できるようにしている。
の特に外部に突出するスキツド等の保護機能を主
として奏するので、後述のような載置測定は取り
外しての利用もできるが、その下面側を平坦にし
て前述の前面板2と後面板3の底辺で形成する仮
想平面と略同レベルに位置させることにより、小
寸法ワーク測定時にノーズピース部分のみをワー
ク表面に当接させて利用できるようにしている。
以上のような構成によりワークWの表面粗さを
測定する場合、第4図aのような平面板形状の場
合には測定機本体Aを該ワークW上に載置し、図
示しない表示器側より駆動信号を与えれば、モー
タ10の作動によりピツクアツプ6が進退してそ
の触針4がワーク表面をトレースし、表面粗さを
検出する。このトレースは、測定機本体の底面、
即ち前述仮想平面と略平行にピツクアツプ6が進
退するので、ワークW表面に接触している触針4
も略平行に移動し、もつて誤差の生じにくい粗さ
測定ができることになる。この場合、スキツド5
もワークW表面をトレースするので、該スキツド
と関連しながら独立して変位する触針4の変位量
はいわゆる「うねり」成分をスキツド5により除
去された成分、即ち表面粗さとして得ることにな
る。
測定する場合、第4図aのような平面板形状の場
合には測定機本体Aを該ワークW上に載置し、図
示しない表示器側より駆動信号を与えれば、モー
タ10の作動によりピツクアツプ6が進退してそ
の触針4がワーク表面をトレースし、表面粗さを
検出する。このトレースは、測定機本体の底面、
即ち前述仮想平面と略平行にピツクアツプ6が進
退するので、ワークW表面に接触している触針4
も略平行に移動し、もつて誤差の生じにくい粗さ
測定ができることになる。この場合、スキツド5
もワークW表面をトレースするので、該スキツド
と関連しながら独立して変位する触針4の変位量
はいわゆる「うねり」成分をスキツド5により除
去された成分、即ち表面粗さとして得ることにな
る。
上記測定において、測定機の載置表面が必ずし
もいわゆる平坦面である場合とは限らないが、若
干の波打ち面(凹凸面)、換言すれば測定機本体
Aの前面板2と後面板3のケーシング1に対する
底部突出量よりも小さい程度の波打ち面であれ
ば、該前面板2と後面板3の突出により測定機本
体を二点支持とするので、安定した載置が可能で
あつて、測定中に本体Aがふらつくこともなく、
結局精度のよい測定を行なえることになる。
もいわゆる平坦面である場合とは限らないが、若
干の波打ち面(凹凸面)、換言すれば測定機本体
Aの前面板2と後面板3のケーシング1に対する
底部突出量よりも小さい程度の波打ち面であれ
ば、該前面板2と後面板3の突出により測定機本
体を二点支持とするので、安定した載置が可能で
あつて、測定中に本体Aがふらつくこともなく、
結局精度のよい測定を行なえることになる。
第4図bは測定位置がワークのコーナ部平坦面
である場合を示している。このような位置であつ
ても測定機本体底面が平坦であるから、第4図a
と同要領で測定作業ができることはいうまでもな
い。
である場合を示している。このような位置であつ
ても測定機本体底面が平坦であるから、第4図a
と同要領で測定作業ができることはいうまでもな
い。
次に、第5図は円柱形状ワークの測定例を示し
ているもので、この場合は上述の前面板2と後面
板3の平坦な底辺2a,3aを利用することがで
きない。しかしながら、本発明の場合は該底辺中
央にV形切欠き部2b,3bを形成しているの
で、第4図例と同様の要領で、ワークWの上面に
単に載置するだけで該切欠き部がワーク上面に跨
がり収束する如く当接して、測定機本体Aを安定
載置することができ、その測定作業に何ら異なる
ところは生じない。
ているもので、この場合は上述の前面板2と後面
板3の平坦な底辺2a,3aを利用することがで
きない。しかしながら、本発明の場合は該底辺中
央にV形切欠き部2b,3bを形成しているの
で、第4図例と同様の要領で、ワークWの上面に
単に載置するだけで該切欠き部がワーク上面に跨
がり収束する如く当接して、測定機本体Aを安定
載置することができ、その測定作業に何ら異なる
ところは生じない。
尚、この場合、触針4部は円柱の頂部をトレー
スするので、前述の如く測定時の触針レベルを測
定機本体の仮想底面と同レベルに設定すれば、円
柱ワークの場合は前記前面板2と後面板3のV形
切欠き部2b,3bの切欠き深さ分だけ触針4及
びピツクアツプ本体等が上方に傾斜変位すること
になる。しかしながら、触針4はスキツド5と共
にピツクアツプ本体に応動し、しかもワーク表面
のうねり成分を除去するスキツド5が固定された
ピツクアツプ本体とは独立して変位しトレースす
るように設けられている。そして触針のワーク当
接点はスキツド5の先端から貫通した位置であ
り、スキツド先端(ワーク当接面)は一般に孤面
を形成しているので、上述程度の傾斜変位では前
記平坦ワークの場合と同じであつて精度的誤差は
生ぜず、従つて測定機能には何らの影響も与えな
いことになる。
スするので、前述の如く測定時の触針レベルを測
定機本体の仮想底面と同レベルに設定すれば、円
柱ワークの場合は前記前面板2と後面板3のV形
切欠き部2b,3bの切欠き深さ分だけ触針4及
びピツクアツプ本体等が上方に傾斜変位すること
になる。しかしながら、触針4はスキツド5と共
にピツクアツプ本体に応動し、しかもワーク表面
のうねり成分を除去するスキツド5が固定された
ピツクアツプ本体とは独立して変位しトレースす
るように設けられている。そして触針のワーク当
接点はスキツド5の先端から貫通した位置であ
り、スキツド先端(ワーク当接面)は一般に孤面
を形成しているので、上述程度の傾斜変位では前
記平坦ワークの場合と同じであつて精度的誤差は
生ぜず、従つて測定機能には何らの影響も与えな
いことになる。
<効果>
以上述べてきたように、本発明によれば次のよ
うな種々の効果を奏する、実用性に極めて優れた
載置型の表面粗さ測定機を提供することができ
る。
うな種々の効果を奏する、実用性に極めて優れた
載置型の表面粗さ測定機を提供することができ
る。
本願発明は、ケーシングの前面板と後面板と
にV形切欠き部を形成したので、ケーシングを
ワーク上に安定して載置することが出来る。
にV形切欠き部を形成したので、ケーシングを
ワーク上に安定して載置することが出来る。
本願発明は、スキツドを第1の板ばねを介し
て支持し、触針レバーを第2の板ばねを介して
支持しているので、うねり表面形状に対しては
スキツドが第1の板ばねを介して追従移動して
吸収するのでうねり表面のワークでも正確に表
面粗さ測定が出来る。
て支持し、触針レバーを第2の板ばねを介して
支持しているので、うねり表面形状に対しては
スキツドが第1の板ばねを介して追従移動して
吸収するのでうねり表面のワークでも正確に表
面粗さ測定が出来る。
本願発明は、第2の板ばねを介して触針レバ
ーの揺動支点としているので、揺動支点の軸と
ばねを別個に設けた場合と比較して部品点数が
減少し、ピツクアツプがコンパクトになる効果
がある。
ーの揺動支点としているので、揺動支点の軸と
ばねを別個に設けた場合と比較して部品点数が
減少し、ピツクアツプがコンパクトになる効果
がある。
本願発明はスライド軸をガイド軸としてピツ
クアツプケースを移動するので、ねじ棒と送り
ナツトとの間にガタ等があつてもピツクアツプ
の送りには影響されない。
クアツプケースを移動するので、ねじ棒と送り
ナツトとの間にガタ等があつてもピツクアツプ
の送りには影響されない。
また、ねじ軸と平行に配置したスライド軸を
基準軸とするので、従来の基準面にブロツクを
押し付けて移動させ、これによつてピツクアツ
プ部分を駆動する方式に比べて軽量、小型化す
ることが可能である。
基準軸とするので、従来の基準面にブロツクを
押し付けて移動させ、これによつてピツクアツ
プ部分を駆動する方式に比べて軽量、小型化す
ることが可能である。
本願発明は送りナツトにスライド軸を後方に
向けて取付け、このスライド軸に第1の板ばね
を介してピツクアツプを支持したので、ねじ軸
とスライド軸を直列に配置する場合に比べ、測
定器の長さを短くすることが出来る。
向けて取付け、このスライド軸に第1の板ばね
を介してピツクアツプを支持したので、ねじ軸
とスライド軸を直列に配置する場合に比べ、測
定器の長さを短くすることが出来る。
本願発明は、ピツクアツプ側のコネクタピン
兼取付ロツドをケーシング側のコネクタ兼取付
部に装着するようにしたので、ピツクアツプの
脱着が簡単になると共に装置がコンパクトにな
る。
兼取付ロツドをケーシング側のコネクタ兼取付
部に装着するようにしたので、ピツクアツプの
脱着が簡単になると共に装置がコンパクトにな
る。
本願発明は、インダクタンス型検出器を用い
たので、従来の作動変圧器型検出器を用いたピ
ツクアツプと比べ、ピツクアツプがコンパクト
になる。
たので、従来の作動変圧器型検出器を用いたピ
ツクアツプと比べ、ピツクアツプがコンパクト
になる。
図は本発明実施例を示すもので、第1図は表面
粗さ測定機の主要構成部の分解斜視図、第2図は
内部構造を示す測定機の断面図、第3図は第2図
の右側面図、第4図a,bは平坦面形ワークの測
定例図、第5図は円柱体形ワークの測定例図であ
る。 1:ケーシング、2:前面板、3:後面板、2
a,3a:底辺、2b,3b:V形切欠き、4:
触針、5:スキツド、6:ピツクアツプ、6a:
信号ロツド、7:ノーズピース、8:信号ケーブ
ル、9:コネクタ、10:モータ、11:減速
機、12:カツプリング、13:送りねじ軸、1
4:送りナツト、15:スライド軸、17:板バ
ネ、18:ピツクアツプ連結ロツド、61:イン
ダクタンス型変位検出器、62:フエライト板、
63:触針レバー、64:板バネ、W:ワーク。
粗さ測定機の主要構成部の分解斜視図、第2図は
内部構造を示す測定機の断面図、第3図は第2図
の右側面図、第4図a,bは平坦面形ワークの測
定例図、第5図は円柱体形ワークの測定例図であ
る。 1:ケーシング、2:前面板、3:後面板、2
a,3a:底辺、2b,3b:V形切欠き、4:
触針、5:スキツド、6:ピツクアツプ、6a:
信号ロツド、7:ノーズピース、8:信号ケーブ
ル、9:コネクタ、10:モータ、11:減速
機、12:カツプリング、13:送りねじ軸、1
4:送りナツト、15:スライド軸、17:板バ
ネ、18:ピツクアツプ連結ロツド、61:イン
ダクタンス型変位検出器、62:フエライト板、
63:触針レバー、64:板バネ、W:ワーク。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 角筒状に形成され、前後端が前面板と後面板
とで閉成されたケーシングと、 ケーシング内に設けられたモータによつてケー
シング内で回転駆動されるねじ軸と、 ねじ軸に螺合しねじ軸が回転されることにより
移動する送りナツトと、 ねじ軸と平行にケーシングに摺動自在に支持さ
れ、送りナツトに後方に向けて固着されたスライ
ド軸と、 ワーク測定面に向けた付勢力を有する第1の板
ばねを介してスライド軸の後端と連結されたコネ
クタ兼取付部と、 ケーシング内に配置されるピツクアツプケース
と、 一端がピツクアツプケースに固着され他端がケ
ーシングの前面板の開口から前方に突出するスキ
ツドと、 ピツクアツプケースに揺動可能に支持されると
共に第2の板ばねを介してワーク測定面に向けて
付勢され、スキツド内を挿通された触針レバー
と、 ピツクアツプケース内に設けられ、触針レバー
の変位を検出するインダクタンス型検出器と、 インダクタンス型検出器と電気的に接続され、
ピツクアツプケースから突設されると共にコネク
タ兼取付部に着脱可能に連結されるコネクタピン
兼取付ロツドと、 触針レバーの先端に固着されスキツドの先端の
開口から露出してワークの測定面に接触する触針
と、 一端がケーシング内のコネクタ兼取付部と接続
され、他端がケーシングの後端面を通つてケーシ
ング外の表示器に接続される外部端子接続用信号
ケーブルと、から成り、 前記前面板及び後面板の底部はケーシング底面
より突出せしめ、その底辺両側に平坦部を形成す
ると共にその底辺中央部にV形切欠きを形成し、
該底部をワークへの載置当接部としたことを特徴
とする載置型表面粗さ測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25917586A JPS6296809A (ja) | 1986-10-30 | 1986-10-30 | 載置型表面粗さ測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25917586A JPS6296809A (ja) | 1986-10-30 | 1986-10-30 | 載置型表面粗さ測定機 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17483685A Division JPS62194401A (ja) | 1985-08-08 | 1985-08-08 | 載置型表面粗さ測定機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6296809A JPS6296809A (ja) | 1987-05-06 |
| JPH0449883B2 true JPH0449883B2 (ja) | 1992-08-12 |
Family
ID=17330401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25917586A Granted JPS6296809A (ja) | 1986-10-30 | 1986-10-30 | 載置型表面粗さ測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6296809A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0640006B2 (ja) * | 1989-09-29 | 1994-05-25 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定機の測定方法 |
| JP2855500B2 (ja) * | 1993-01-18 | 1999-02-10 | 株式会社ミツトヨ | 表面粗さ測定装置 |
| JP6861359B2 (ja) * | 2019-09-02 | 2021-04-21 | 株式会社東京精密 | 測定装置 |
-
1986
- 1986-10-30 JP JP25917586A patent/JPS6296809A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6296809A (ja) | 1987-05-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |