JPH04501288A - 金属のアトマイズ化 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 金属のアトマイズ化 本発明は、例えば溶融金属又は合金の流れなど液体流をガスアトマイズする装置 に関する。

液体金属の流れをアトマイズ化し、噴射して沈積することは、例えば英国特許第 １，２６２，４７１号、第１゜３７９．２６１号、第１，４７２．９３９号から 良く知られている。しかし、沈積面上での金属の広がり沈積を制御することは常 に問題であった。

ガスアトマイズされた金属の沈積層の広がり分布の制御を改善する１つの提案は 、英国特許第１，４５５，８６２号に示され、ここではアトマイズされる粒子の スプレィを、アトマイズするなめ第１次のガスジェットの組と、二組の第二次ジ ェットとを使って振動することが提案され、二次ジェットは、アトマイズされる 金属のスプレィに振動を与えるため速かに断続される。

代りの提案は、欧州特許公報第０１２７３０３Ａ号に示され、ここではスプレィ をアトマイズ及び振動する両機能を達成するなめ別々のガスジェットが断続され る。

しかし、これら両方法は制御が困難であることが見出だされている。第１の提案 では、二次ジェットの使用は沈積する金属を過度に冷却することになり、続いて 到着する粒子が既に沈積した金属と正しく合体しないことを意味する。第２の方 法ではスプレィの型と特性（例えば温度）が、別々のジェットが断続する時に変 化し、これが一様な沈積と固化との条件を確保することを極めて困難にする。従 って溶融金属又は合金のアトマイズされた液体流により制御され正確な運動を与 えるための改善された装置が欧州特許公報第２２５０８０号に提案され、この装 置は軸線上で現実のアトマイズ装置を傾けることを意味し、それによりアトマイ ズされたガス流領域は同じく維持されるが、アトマイズ装置を前後に傾けること により前後に動かされる。しかし、このような装置ではより制御された沈積がで きるが、機械的に前後に傾けることに固有の慣性問題が起り得る。

従って、本発明の目的は改善されたアトマイズ装置とアトマイズする方法とを得 ることである。

本発明により液体流をガスアトマイズする装置が得られ、該装置は、 流れが注がれる開口を形成するアトマイズ装置と、流れの軸線に関して非対称で あり、流れを小滴のスプレィにアトマイズするアトマイズガス流領域を形成する アトマイズする装置と、 流れに関する非対称ガス流領域の位置関係を変える装置とを有し、それによりガ ス流領域の非対称性がスプレィに運動を与え、一方アトマイズするガス流領域の 全体的形状がほぼ一定に維持されるものである。

本発明は又、スプレィを動かす方法を有し、該方法は、溶融金属又は合金などの 液体流をアトマイズ装置を経て進める工程と、流れに関し非対称のアトマイズガ ス流領域を形成するようアトマイズガスを適用することにより流れを小滴にアト マイズする工程と、アトマイズする間に、流れに関するガス流領域の非対称関係 を変える工程とを有し、それによりガス流領域の非対称性がスプレィに運動を与 え、一方アトマイズするガス流領域の全体形状はほぼ一定に維持される。

本発明の改善された方法は、スプレィを動かすためガスジェットを断続すること を必要としない０代りに溶融金属が出るノズルの近くにあるにも拘らず、スプレ ィが、アトマイズジェットそれ自体を、おそらく望むならば、加えて全アトマイ ズ装置を傾けて動かすことにより、動かされる装置が工夫されている。このこと は既存の方法と比べて次の特定の利点を持っている。

（ａ）概して、アトマイズ状態は、ガスジェットが断続されないためにより不変 に保つことができる。

（ｂ）与えられる運動はなるべく流れのまわりでの回転又は傾斜振動がよく、そ れによりスプレィはアトマイズロータの運動を変える。望むならばアトマイザを 傾斜することにより極めて容易に動かすことができる。

（Ｃ）運動の割合は、ロータの速度により必要ならば、アトマイザの傾斜により 容易に変えることができる。

（ｄ）沈積の問、どんな瞬間でもスプレィ軸線の軌跡の運動速度を容易に変える ことができる。

（ｅ）アルミニウム合金、鋳鉄、錫、及び亜鉛合金など合金によっては、比較的 小さい拡がり角のスプレィ円錐を作る傾向があり、従って、飛行中の粒子の冷却 が抑制される。沈積面での比較的高い局部的法がり流れを共に考える時、これは 過度の付着温度を生じる０本発明によりガス領域に対応する運動を起させるよう アトマイザを回転又は傾斜振動させることにより、スプレィを拡げることは、こ の場合より一様なより冷たい沈積条件を生ずることができる。その結果沈積割合 を増すことができる。

（「）スプレィの主軸線は広い範囲の予め決められ通路、例えば円形、楕円形通 路に従うよう作ることができる。

このことは、スプレィの通路が直線に沿って前後にだけある従来の傾斜方法に対 比される。従ってスプレィの運動をより以上に制御し、作動時の適応性を増加す る。

（０）沈積割合は、金属が沈積する面積が増すために（即ち製品に関しスプレィ の寸法が増す）増すことができる。このことは、金属がより速やかに冷却しより 高い割合で注入することができるから達成される。

（ｈ）被覆の品質は、微小構造と孔の分布がより一様になるため改善される。

従って、本発明の装置と方法は、今までに達成できなかったアトマイズ装置とス プレィの運動とに高度の制御を与えている。このことにより、スプレィ軸線の軌 跡を作られる被覆の形状に適するよう又は沈積面上のスプレィの沈積条件及び又 はスズ。レイの形状を制御するよう変えることができる。

本発明方法の一態様では、液体流は溶融金属又は合金であり、スプレィはスプレ ィを通して連続して動く基板上に向けられ、スプレィは運動方向に横方向に基板 の幅を横切って被覆の厚さを一様にするよう動かされ、ガス流領域の非対称性に より運動方向の横方向に拡げられ、それにより帯材、被覆帯材、板又は被覆板の 製品が形成される。

図１は最近の従来技術のアトマイザの側方断面図である。

図２ａ、２ｂ、２ｃは図１の装置を使ったチューブ、棒の被覆の形成の斜視図で スプレィの広がり流れの輪郭はチューブに適用されるものを示す図である。

図３ａ、３ｂ、３ｃは図１による従来技術のアトマイザを使った時の帯の形成の 側面図、図３ａの線Ａ−Ａにおける断面図及びスプレィ塩がり流れの輪郭を示す 図である。

図４は本発明によるアトマイズ装置の第１実施例の断面図である。

図５は本発明によるアトマイズ装置の第２実施例の断面図である。

図６は本発明のによるアトマイズ装置の第３実施例の断面図である。

図７ａ、７ｂは本発明により達成のできるスプレィ輪郭の例を示す図である。

図８ａ、８ｂ、８ｃは本発明の装置を使ったチューブ及び棒被覆の形成を図２ａ 、２ｂのものと比較して示す斜視図で、スプレィ塩がり流れの輪郭はチューブに 適用されるものを示す図である。

図９ａ、９ｂ、９ｃは夫々、図３ａと比較した帯の基部の側面図、矢印Ｂの方向 の側面図、スプレィ塩がり流れの輪郭を示す図である。

図１０ａ、１０ｂは夫々図１の傾斜式アトマイズ装置を使った時と、傾斜を組入 れて本発明の回転式装置とを使った時との帯の形成のためのスプレィの広がり流 れの輪郭を示す図である。

最も近い従来技術を示す図面では、アトマイズ装置１０はアトマイザハウジング １１の中、大皿１３のノズル開口１２の下に置かれる。アトマイズ装置１０はア トマイズガスジェット開口１５を持つ充満室１４を有する。アトマイズ装置１０ は中心開口１６を持つほぼ環状形であり、開口を通して大皿１３からの流れ１７ が通るよう置かれる。アトマイズ装置はハウジング１１内に直径方向に相対する 支持体１８．１９により支持され、支持体はアトマイズ装置１０から外方に突出 し、大皿１３の底部から十分遠くに置かれ、アトマイズ装置が傾斜運動を受ける ようにされるような寸法の中心開口１６を持っている。この傾斜運動が達成でき るように、支持体１８．１９はアトマイザハウジング１１内で夫々ベアリング２ ０．２１の中に装架される。一方の支持体１８は又アトマイズガスを充満室１４ に供給するための管２２として働く。

アトマイズ装置１０の運動は、回転カムと、カム輪郭（図示せず）に向けて保持 されたカム従動体とからなる機械装置により行われる。カム従動体はこれに回動 結合され、板３０上の回動結合体２９まで延びる結合腕２７を持っている。板３ ０は自由に動くことができ、回動結合体２９から偏った所で支持体１９に固定さ れる。

従って、回転カムの運動はカム従動体結合腕２７と板３０とを経てアトマイズ装 置１０の運動に転換されることが理解される。カム輪郭は予め決められた運動の 角度と、アトマイズ装置の運動速度を制御するカムの回転速度とを画定するよう 設計される。アトマイズ装置の前後傾斜運動は、この装置１０がこれと共にアト マイズガスジェット開口１５を担持しているから、スプレィ３１に対応する走査 運動を与える。この装置のさらに詳細は上記欧州特許公開第２２５０８０号から 得ることができる。

図１の装置を使って形成された製品の例のために図２ａ、２ｂ、２Ｃを参照する ことができる。これら図面でスプレィ３１は沈積面を、チューブ３３（図２ａ） の形成では矢印３２の軸線方向に、又は棒被覆３４ではその端部のまわりで走査 するよう示され、棒はチューブと同様に矢印３５の方向に回転し、且つ図２ｂに 示すよう矢印３６の方向に軸線方向に動かされる。

スプレィがこれら図面に示すよう棒端を横切り、又は回転チューブに沿って走査 される時、面上のスプレィ軸線３７の軌跡は前後方向の直線通路に従う、従って スプレィの走査振動数が十分に高く生じた回転当りの層が実際に一様であること を確実にすることが絶対必要である。

例えば、チューブの形成に関して図２ｃに示すように、スプレィ軸線の軌跡のま わりに形成されるスプレィ輪郭３８は、各回転毎に一様な沈積を与えるよう重な り合わねばならない。しかし、例えばチューブの形成では、沈積体の必要直径が 増大する時、走査振動数と回転速度との比は増大し、これが傾斜アトマイザの固 有の慣性のために機械的設計の問題に連なる。

図３ａでは、矢印６２の方向に動く基板６１上に形成される帯又は板６０が示さ れている。しかし、最大のスプレィ密度を達成して一方、結果として熱すぎる沈 積の欠点のないスプレィの最大スプレィ塩がり流れ輪郭に適応するため（スプレ ィ輪郭６４に関して線６３で示す）矢印６７で示すよう運動方向に横方向にアト マイズスプレィ６６が走査する場合でも断面を通して十分に一様な沈積状態を持 つ帯を作るため、２つ又はそれ以上のアトマイズスプレィ６６の２つ又はそれ以 上の列を使うことが必要である。

図１の傾斜アトマイザでは、アトマイズ装置で生ずるスプレィ円錐は常に維持さ れ、アトマイザの傾斜はスプレィ円錐の前後運動を達成し、ガスジェットはアト マイズのためだけに使われる。

本発明では、アトマイズ装置は傾斜することができるが、スプレィの運動はこの ような運動をせずに達成される。例えば図４では、溶融金属又は合金の液体流れ ４１はアトマイザ本体４３にバイブ４２を経て供給されるガスでアトマ・イズさ れる。ガスはロータ４５内の液体流れ４１のまわりに置かれたオリフィス４４を 経て流出し、ロータは液体流れ４１の軸線のまわりで動くことができ、且つ流れ のまわりで前後に傾斜振動を受けるよう又は流れのまわりで完全に回転するよう 置かれる。図面から分かるように、オリフィス４４の寸法は、非対称アトマイズ ガス領域を発生するため液体流れのまわりの周辺位置によって異なる。

ロータ４５はベアリング４６．４７によりその位置に保持され、ガスの洩れは図 示の適当なシール４８．４９によりロータ４５とアトマイザ本体４３との間で防 がれる。オリフィス４４からでるガスジェットは、スプレィ５０を形成するよう 液体流れ４１をアトマイズする。ロータ４５は例えばスパーギアーなと被駆動作 動装置により流れ４１のまわりで動くことができる。ロータの回転時又は前後の 傾斜振動時に、アトマイズガス領域の全体の非対称性は同じに維持されるが、そ の流れに関する位置が変わるから、ガス流領域の異なる非対称位置ガスプレイ５ ０に回転又は振動を与える。

図５ではロータ１４５を有する同様な装置が示され図４のこれら同様な符号は対 応する部品を示すため１００代の符号として使われている。しかし図５では、ア トマイズ装置の周辺のまわりのオリフィス１４４の寸法が、変わる代りに符号１ ５２で示す出現するガスジェットの攻撃角は非対称スプレィ模様を作るため周辺 のまわりで変化する。

望むならば、図４と図５とを組合わせること、即ちオリフィス寸法と攻撃角とを 変えることは可能である。

図６の実施例では、非対称アトマイズガス領域は２つのロータにより作られ、ロ ータは互いに及びアトマイザ本体に関し回転することができる０図６でアトマイ ザ本体を通して進む液体金属の流れ２４１は、バイブ２４２を経てアトマイザ本 体２４３に供給されるアトマイズガスによりアトマイズされる。ガスは充満室２ ５３内に受けられアトマイズオリフィス２４４を経てアトマイザ本体２４３を出 る。オリフィス２４４は２つの同心ロータ２５４，２５５内で２つの円形列に置 かれこれをアトマイズするため流れ２４１のまわりに分布される。各ロータ２５ ４，２５５内のオリフィスの寸法は、非対称アトマイズガス領域を発生するため 液体流のまわりの周辺位置によって異なる。しかし、２つのロータ２５４，２５ ５を使うことにより、結果としてのスプレィ形状の制御により融通性がある。

内側ロータ２５４はベアリング２４６．２４７によりその位置に保持され、外側 ロータ２５５はベアリング２５６．２５７により保持される。ガスの洩れは適当 なシール２４８，２４９，２５８によりロータ２５４，２５５とアトマイザ本体 ２４３との間で防がれる。オリフィス２４４から出るアトマイズガスジェットは 液体流れをスプレィ２５０を形成するようにアトマイズする。夫々のロータ２５ ４，２５５内のガスジェットの列は流れに関する１つのアトマイズ点又は、流れ がスプレィに破砕されるアトマイズ領域２５９で焦点が合わされる。

ロータ２５４，２５５は夫々ベベルギア−２６０，２６１により動くことかで゛ きる。２つのロータ２５４，２５５を同期することにより、非対称ガス流領域は ほぼ一定に保つことができ、回転又は前後の傾斜振動は運動をスプレィに与え、 一方これはガス流領域により決められる同じ断面形に保持する。しかし、一方の ロータと他方に関し動かすことによりガス流領域の形状はさらに変えることがで き、これが融通性を増加する。

望むならば、流れのまわりで回転及び又は前後に傾斜振動するためロータを持つ アトマイザは図１の傾斜配置に使うことができ、それによりアトマイザ装置は同 時に傾斜、回転し又は傾斜振動をする。

使用時に、図７ａ、７ｂを参照して、夫々のオリフィス４４．１４４．２４４か らでるアトマイズガスジェット３００の模様が、結果として円錐形ジェットであ るように置かれて、その軸線３０１が夫々のロータの回転軸線に関して小さい角 度で傾いていれば、スプレィ輪郭３０３は、ガス領域がアトマイズ装置に関して 非対称であっても円錐形ジェット軸線３０１のまわりで対称であり、特に液体流 れ３０２の主軸線はこの場合ロータ軸線と同一である。もしロータが流れのまわ りで前後に傾斜振動するならば、有効スプレィ輪郭は図７ａの底部に平面図３０ ４で示されるように修正される。

図７ｂでは、ロータは有効スプレィ輪郭３０５を形成するよう回転する。明らか に作られる実際のスプレィ輪郭は、ガスジェットの模様と傾斜振動又は回転であ る夫々のロータに加えられる速度輪郭との関数である。

図８ａ、８ｂ、８ｃでは、本発明の利点がチューブ４００と棒４０１との被覆を 形成することで示されている。

両方の場合夫々被覆を形成するため矢印４０２，４０３で示す回転運動と軸線運 動とがあり、その上矢印４０６で示すスプレィの走査運動がある。図２ａ、２ｂ 、２ｃに示されるようなアトマイザを傾斜することによってだけ与えられるスプ レィ運動とは対照的にアトマイザロータの追加の回転又は傾斜振動により夫々図 ８ａ、８ｂに線４０４゜４０５で示されるスプレィ軸線の軌跡は拡げられ、（又 は図８ｃにチューブの形成に関して示されるように有効なより広いスプレィ輪郭 ４０７を持つように）、このことによりスプレィの走査速度を減らすことができ 、−万一様な被覆を与えるようそれでもなお必要な重なりを達成することができ る。走査速度が減少する時、より多くの金属を、完成被覆の所望の特性上に損失 効果を持つことなく沈積することができる。

図９ａ、９ｂでは帯又は板４１０の製作が図解して示されている。図３ａ、３ｂ の傾斜と異なり、アトマイザロータに回転又は傾斜振動を加えることは、図９Ｃ のスプレィ輪郭４１１で示される一様性の拡がりを生じ、従って、必要で製作割 合を多分増加する２つの極めて簡単化された工場に対して、必要な傾斜式アトマ イザ（４１２）は−例だけとなる。もちろん図３ａ、９ａには二列のアト゛マイ ザが示されているが、幅のせまい帯又は板が必要ならば、本発明では今までは前 後に置かれた２つのアトマイザに対して１つのアトマイザだけで十分である。

帯の形成で対比するスプレィ輪郭は図１０ａ、１０ｂに詳しく示され、ここでは 回転と傾斜との組合わせが説明されている。特に、アトマイザを傾斜し回転を加 えることによるスプレィの走査は、帯の製作においては、厚さの正しい一様性を 得るため、スプレィを傾斜することにより横に拡げ、回転により又長手方向に拡 げることにより、利点を持っている。従って、図１０ａはアトマイザ−を前後に 傾けることによってだけ達成するスプレィ輪郭４２０を示しているのに、図１０ ｂはより大きい拡がりを得るため回転又は傾斜振動を加えられたスプレィ輪郭４ ２１を示している。この結果、帯の厚さの全体にわたってより一様な沈積条件を 生じ、これが帯被覆の下面、上面の孔の量を減少する（スプレィの縁の沈積割合 が低いことから生じる）。

本発明では、沈積面がスプレィの下で移動する時沈積割合の変化が少なく従って 孔は減少する。

本発明の回転方法は、チューブ、ビレット、クラツド材の製作、特にビレット、 大直径のチューブ製作に著しい利点を持っている。この理由は、スプレィが大き い領域をカバー、即ちより大きい足跡を持ち、従って、従来の傾斜だけの方法と 比べてチューブ又はビレット面を容易に完全に被うからである。本発明は回転可 能のアトマイズ装置の中心を通る流れの軸線について、特に説明したけれども、 アトマイザ−の回転軸線又はジェットの軸線は金属の流れの軸線と異なってもよ い、この配置では、孔は一様にでき、一方ガス流領域、従ってスプレィの形状は 液体流れに非対称である。その上、ジェットは円形に置く必要はなく、例えばジ ェットは楕円形に置いて１つ、２つ又はそれ以上のロータがあってもよい、２つ のロータの場合、これらは同方向又は反対に回転してもよい（又は同方向又は反 対方向に傾斜振動する）。

上記装置はガスアトマイズされる金属粉末の製作に使うことができ、それにより スプレィの運動はアトマイズされる粒子に改善された冷却を与えることができる 。

ＦＩＧ、２ｂ　ＦＩＧ、２ｃ ＦＩＧ、９ａ 国際調査報告 １ｅｔ−〇′Ｉｅａｎｔ　Ｊｌ−−ｌ−ｎ　Ｈ１′ＰＣ丁／ＱＢ　８９１０１２ ４８国際調査報告 ＰＣＴ／ＧＢ　８９１０Ｘ２４１’１

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. （１）液体の流れが注がれる開口を形成するアトマイズ装置と、 前記液体流れの軸線に関して非対称形で、前記流れを小滴のスプレイにアトマイ ズするアトマイズガス流れ領域を形成するアトマイズする装置と、 前記流れに関し前記非対称ガス流領域の位置関係を変える装置とを有し、前記ア トマイズガス流領域の非対称性が前記液体流れの軸線に関して前記スプレイに運 動を与え、一方前記アトマイズガス流領域の全形状はほぼ一定に維持されるガス アトマイズ装置。
2. （２）請求項１の前記アトマイズする装置はロータ内に複数個のアトマイズジェ ットを有し、前記ロータは前記アトマイズ装置に関し動くことができるガスアト マイズ装置。
3. （３）請求項２の前記非対称ガス流領域は、前記ロータ内のそのまわりで寸法の 変わるオリフィスからでるアトマイズジェットにより作られるガスアトマイズ装 置。
4. （４）請求項２の前記非対称ガス流領域は、前記ロータのまわりの前記アトマイ ズジェットの攻撃の角度を変えることにより作られるガスアトマイズ装置。
5. （５）請求項２の前記非対称ガス流領域は、前記ロータの軸線が前記流れの軸線 から隔てられることにより作られるガスアトマイズ装置。
6. （６）請求項２の前記非対称ガス流領域は、前記ローク内でその軸線に関し非対 称に置かれるアトマイズガスジェットにより作られるガスアトマイズ装置。
7. （７）請求項１の前記アトマイズする装置はロータ内に環状開口を有し、前記開 口の幅又は前記ロータ内のその位置は、非対称ガス流領域を得るよう前記ロータ のまわりで変わるガスアトマイズ装置。
8. （８）請求項２の前記アトマイズする装置は２つのロータを有し、その各々は前 記液体流れの軸線に関し非対称ガス流領域を形成するためアトマイズジェットを 有し、前記ロータの各々は互いに且つ前記アトマイズ装置に関し可動であって、 組合わせた時に前記液体流れに関する前記ガス流領域の非対称性が変わるガスア トマイズ装置。
9. （９）請求項１から８までの何れか１項のガスアトマイズ装置において、さらに 前記アトマイズ装置を傾斜して、アトマイズ時に前記スプレイが前記アトマイズ 装置の傾斜により前後に動くことのできる装置を有するガスアトマイズ装置。
10. （１０）流れをガスアトマイズして、前記アトマイズされた流れの沈積物から形 成される被覆の沈積状態を制御する装置において、 前記流れが通る中心開口を持つアトマイズ装置と、前記アトマイズ装置の中に形 成された充満室と、前記アトマイズ装置を支持するため前記アトマイズ装置に結 合され、前記充満室をアトマイズガス源に連絡する入口通路を有する装置と、 前記アトマイズ装置に関し動かすよう前記アトマイズ装置内に装架されたロータ と、 開口を通して進む前記流れにアトマイズガスを導くため前記ロータ内に形成され た複数個のアトマイズガスジェット開口とを有し、前記アトマイズガスジェット 開口は互いに関し予め決められた関係に置かれて、予め決められた形状の非対称 アトマイズガス流領域を形成し、さらに、 前記ロータを前記アトマイズ装置に関し動かす装置を有し、前記非対称アトマイ ズガス流領域は前記スプレイに、前記アトマイズガス流領域の形状がほぼ一定に 維持されるように運動を与えて、形成された被覆の形状及び沈積状態が制御され るガスアトマイズ装置。
11. （１１）請求項１０のガスアトマイズ装置はさらに、前記ロータに傾斜振動又は 完全回転を与えるよう作動する制御装置を有するガスアトマイズ装置。
12. （１２）請求項１１の前記制御装置は前記ロータを前記アトマイズ装置に関して 動かすよう作動する前記ロータと結合するスパーギアーを有するガスアトマイズ 装置。
13. （１３）液体の流れが注がれる開口を形成するアトマイズ装置と、 前記液体の流れの軸線に関して非対称形であり、前記流れを小滴のスプレイにア トマイズするアトマイズガス流領域を形成するアトマイズする装置とを有し、前 記アトマイズする装置は少くとも第１及び第２のロータを有し、前記ロータは互 いに且つ前記アトマイズ装置に関して可動であり、さらに、 前記流れに関して前記ガス流領域の位置関係及び（又は）非対称性を変える装置 を有し、前記アトマイズガス流領域は、前記液体流れの軸線に関し、前記ロータ が同期する時は、前記アトマイズガス流領域の全体形状をほぼ一定に維持するよ うに、又は前記アトマイズガス流領域の形状が前記ロータ間の相対運動時に変わ るよう前記スプレイに運動を与えるガスアトマイズ装置。
14. （１４）スプレイを動かす方法において、溶融金属又は合金など液体の流れをア トマイズ装置を経て進める工程と、前記流れの軸線に関して非対称形で前記流れ を小滴のスプレイにアトマイズするアトマイズガス流領域を形成するアトマイズ ガスを適用することにより、前記流れをアトマイズする工程と、アトマイズ時に 、前記スプレイに運動を与え、一方前記アトマイズガス流領域をほぼ一定に維持 するよう前記流れに関する前記アトマイズガス流領域の位置関係を変える工程と からなるスプレイ運動方法。
15. （１５）請求項１４のスプレイ運動方法において、さらに前記非対称ガス流領域 に前後運動を与えるよう軸線のまわりで前記アトマイズ装置を傾ける工程を有す るスプレイ運動方法。
16. （１６）請求項１４の前記液体流れは溶融金属又は合金であり、前記スプレイは 前記スプレイを通して連続的に動く基板に向けられ、前記スプレイは前記アトマ イズ装置を前後に傾けることにより前記運動方向に横方向に動いて前記基板を横 切って沈積の厚さを一様にし、前記スプレイは前記非対称ガス流領域の位置関係 を変えることにより運動方向に横方向に拡げられて前記基板の運動方向の沈積の 一様性を達成して、帯、被覆帯、板、又は被覆板の製品が形成されるスプレイ運 動方法。
17. （１７）請求項１４，１５又は１６のスプレイ運動方法において、金属又はセラ ミック粒子が、集められる基板上に形成される被覆の中に組入れられるよう前記 スプレイに適用されるスプレイ運動方法。
18. （１８）請求項１４，１５，１６，１７の何れか１項のスプレイ運動方法におい て、前記スプレイの運動は、スプレイで被覆された鋳塊、棒、チューブ、リング 、ロール、円錐体、鍛造及び押出し素材、チキソトロピー（ｔｈｉｘｏｔｒｏｐ ｉｃ）変形用型材、積層又は被覆製品及び金属マトリックス（Ｍａ−ｔｒｉｘ） 複合体を作るよう制御されるスプレイ運動方法。
19. （１９）スプレイを動かす方法において、溶融金属又は合金などの液体の流れを アトマイズ装置を経て進める工程と、前記流れの軸線に関し非対称形で前記流れ を小滴のスプレイにアトマイズするアトマイズガス流領域を形成するため少くと も２つの相対回転可能のロータから出るアトマイズガスを適用することにより前 記流れをアトマイズする工程と、アトマイズ時に前記スプレイに運動を与えるよ う前記流れに関する前記ガス流領域の位置関係及び（又は）非対称性を変える工 程とからなり、前記ロータを同期する時は、前記アトマイズガス流領域の全体形 状をほぼ一定に維持し、又はアトマイズ時の前記ロータ間の有効相対運動が前記 ガス流領域の非対称性を変えるスプレイ運動方法。
20. （２０）請求項１４の前記液体の流れは溶融金属又は合金であり、前記スプレイ は飛行中に冷却及び固化することができ、金属粉末が形成されるスプレイ運動方 法。