JPH04501449A - マイクロポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 マイクロポンプ 発明の分野 本発明は、ポンプ機構の少なくとも一部が、写真石版技術を使用してシリコンを 機械加工して作られたマイクロポンプに関する。

この種のポンプは本来の薬剤施療に使用されるものであるが、ポンプの小型化に よって患者がそれ自身の身体に付け、或いはポンプを患者の身体に直接埋めこむ ことができる。またこの種のポンプを使用して、注射すべき液体を正確に測定す ることができる。

ｒＳｅｎｓｏｒｓ　ａｎｄ　Ａｃｔｕａｔｏｒｓ　Ｊ　１５号（１９８８年）１ ５３頁〜１６７頁、Ｈ，ｖａｎ　Ｌｉｎｔｅｌ等に発表されたｒＡ　ｐｉｅｚｏ ｅｌｅｃｔｒｉｃ　ｍｉｃｒｏ−ｐｕｍｐ　ｂａｓｅｄ　ｏｎ　ｍｉｃｒｏｍａ ｃｈｉｎｉｎｇ　ｏｆ　５ｉｌｉｃｏｎ　」と云う題名の文献には、二つのガラ ス　ウェハの間に機械加工した一つのウェハからなる三つのウェハの積み重ねを 夫々備えたマイクロポンプの二つの実例が開示されている。

シリコンウェハはガラスウェハの一つと協働してポンプ室を画定する。このガラ スウェハは、この場合は圧電クリスタルである駆動要素によって変形される、ポ ンプ室に整合した部分である。圧電クリスタルは、交流電圧源に接続した時にク リスタルの変形従ってガラスウェハの変形を起し、該ガラスウェハの変形によっ てポンプ室の容積変動を生ずる電極を備える。

ポンプ室は夫々の側において、シリコンウェハから機械加工して形成した逆止弁 に接続し、逆止弁の弁座は他のガラスウェハで形成される。

上記文献に開示された第１例（第１ａ図）にかかるポンプの作動モードの研究か ら、該ポンプにより送り出された流体出力は全作動範囲に亘って主として出口圧 力に関係することが判明している。上記の流体出力と出口圧力間の関係は実質的 に直線、状であり、圧力が上昇するにつれて出方が低下することが知られている 。

換言すると、この型のマイクロポンプは、少なくともポンプの標準作動範囲にお いてマイクロポンプの出口からの出力が圧力と無関係である上述の医学的利用に 使用することができない。　・ その理由で上記文献の著者はこれと同じ文献（第１６図に示す第２例）に、ポン プ室の下流の第２の弁とポンプ出口との間において上述した組立体に調整弁を追 加することを提案した。この調整弁は出口を閉じた時にポンプと出口とを隔離す るものである。

また調整弁は閉止部に向っである程度の機械的予備張力を有するので、出口圧力 は該出口圧力がある値に達した後にのみ弁を開くことができる。そのため出口圧 力に関する出力の独立形態はポンプの有効な作動範囲即ち調整弁が出口圧力によ って開かれていない時に発現される。

上記の第２例は出力／圧力の好都合な線図を提供するが、この方法で製造したポ ンプには未だ欠点があることが知られている。

調整弁のためにポンプの寸法が増大する。これは該調整弁をシリコンウェハ内に 設けねばならず、従って余分なポンプの表面積を必要とするためである。またポ ンプの価格が増大する。

また調整弁のためにポンプの複雑性が増し、従って誤動作または製造ミスの危険 性を増す。

本発明の目的は、上述の文献に述べたポンプの欠点を解消し、しかもポンプの有 効な作動範囲に亘って出口圧力に関する良好な出力特性を提供する、上述した形 式のマイクロポンプを提供することである。

本発明の上記の目的は、第１のウェハに相対向して少なく、とも一つの第２の支 持ウェハを接着してポンプ室を画定するように写真石版技術を用いて機械加工可 能な材料からなる第１のウェハと、第１の弁を介して上記ポンプ室がマイクロポ ンプの一つの入口と選択的に連通可能な逆止弁型の第１の弁と、第２の弁を介し て上記ポンプ室がマイクロポンプの一つの出口と選択的に連通可能な模型の第２ の弁と、上記ポンプ室の容積を周期的に変動させる制御手段とを備えたマイクロ ポンプにおいて、上記出口は、上記第２の弁を介して上記ポンプ室の隔離された 空間に直接連通すると共に通路に関して該第２の弁の同じ側に位置し、該通路を 介して第２の弁は、上記ポンプ室と出口とに夫々行きわたった圧力が上記第２の 弁の開口方向に作用するようにポンプ室に連通し、父上記第２の弁は上記ポンプ 室を介して上記第１の弁に開口状に連通して、ポンプの汲出し行程中に、開口位 置にある第２の弁を介してポンプ室が上記出口に直接連通したことを特徴とする マイクロポンプによって達成される。

これらの特徴によって、上記の第２の弁は、全標準作動範囲に亘ってポンプ内の 圧力に実質的に無関係に出口を調整すると共にポンプの吸引行程中にポンプ室を 閉止する働きをす７る。

本発明の他の特徴と利益は、添付図面を参照して本発明にかかるマイクロポンプ の実施例に関する以下の説明から明らかにあるであろう。

第１図は本発明にかかるマイクロポンプの概略図、第２図は第１図に示すポンプ の中間ウェハの平面図、第３図は本発明の第２実施例によって構成したマイクロ ポンプの中間ウェハを第４図の■−■線につして示した底面図、第４図及び第５ 図は夫々第３図のＩＶ−ＩＶ線及びｖ−Ｖ線について示した断面図、第６図は本 発明の第３実施例によって形成したマイクロポンプの断面図、第７図は第６図に 示すポンプの中間ウェハを第６図の■−■線について示した底面図、第８図は本 発明の第４実施例によって形成したマイクロポンプの中間ウェハの底面図、第９ 図及び第１０図は夫々第８図のＩＸ−ＩＸ線及びＸ−Ｘ線について示した断面図 、第１１図は本発明の第５実施例の部分断面図、第１２図は第１１図に示すマイ クロポンプの部分平面図、第１３図は吸引圧力を０とした場合の本発明によって 形成したマイクロポンプ内で測った圧力を画数とする出力特性を示すグラフであ る。

先ず本発明にかかるマイクロポンプの第１実施例を示す第１図及び第２図につい て説明する。

マイクロポンプを構成する各ウェハの厚さは、説明を明確化するために図では極 端に誇張されている。

第１，２図のマイクロポンプはガラス等で作られた基礎ウェハ１を備え、該基礎 ウェハには夫々ポンプの入口流路及び出口流路を形成する二つの流路２及び３が 穿孔されている。

これらの流路２と３は夫々コネクタ４．５に連通している。

コネクタ４は管６に接続され、この管６は汲み出すべき液体を収容する貯蔵器７ に接続されている。貯蔵器は孔付きキャップと貯蔵器の作動容積を外部から隔離 する可動ピストンによって閉鎖されている。この貯蔵器はマイクロポンプを、正 確な回分の薬剤を人体に注射するために使用する場合に、例えば薬剤を収容する ことができる。上記のように使用する時には、マイクロポンプを患者の身に付は 或いは患者の体内に埋込むことができる。

出口コネクタ５は管１０を介して連結した注射針（不図示）に接続してもよい。

このようなやり方で本発明のマイクロポンプを使用することはペプチドを有する ある種の癌を処置するのに極めて適している。上記の処置では、正確かつ頻繁に 小量回分の薬剤を一定間隔に投与する薬物治療が望まれる。可能性のある別の利 用は糖尿病患者の処置であって、該患者は一日のうちに薬剤の規則正しくかつ小 量の服用をする必要があり、患者の血糖値を測定し、ポンプに自動的に指示して 適当な回分のインシュリンを送り出して注射するような公知の手段によって回分 が決定される。

写真石版食刻技術を使用して作ることができるシリコン製或いは其の他の材料製 のウェハ１１をガラスウェハ１に接着する。このシリコンウェハの上ガラス製の 閉止ウェハ１２を接着する１、閉止ウェハの厚さは制御要素１３によって変形可 能な寸法で、本発明の場合、この制御要素は交流電圧発電機に接続した電極１３ ａ　、　１３ｂを備えた圧電ディスクである。この圧電ディスクはＰｈｌｌｉｐ 社製の記号ＰＸｔ！−５２で表されたものでもよく、適宜の接着剤を用いて閉止 ウェハ１２に接着する。

−例をあげると中間のシリコンウェハ１１は、食刻に適しかつ適宜の強度を付与 するように＜　１００＞結晶方向を有する。

つＴハエ１と１２は注意深く磨くことが好ましい。

ウェハ１１と１２とによって例えば円形のポンプ室１５（第２図も参照のこと） を画定する。このポンプ室は制御要Ｊ１３によって可撓性の閉止ウェハ１２の領 域の直下に位置する。

シリコンウェハ１１から機械加工して形成した逆止弁型の第１の弁１６は入口流 路２とポンプ室１５との間に介在する。この弁はポンプ室の下方に位置し、略円 形に形成されかつ実施例では正方形の開口１６ｂが中央に穿孔された膜１６ａを 備える。

第１の弁１Ｇは入口流路２側に略三角形断面を有する環状リブ１６ｃを備える。

この環状リブ１６ｃは開口１６ｂを囲みかつこれも写真石版を用いて得られた薄 い酸化層で蔽われている。この酸化層は、リブ１６ｃの頂部がガラスウェハ１に 当接した時に膜１６ａにある程度の偏倚即ち予備張力を付与し、従って上記の環 状のリブが第１の弁１６の弁座の役割をするような特別な厚さを有している。

マイクロポンプの出口流路３は弁１８を介してポンプ室１５に連通ずる。弁１８ の構造は弁１６の酸化層に対応した酸化層１７の厚さ以外は弁１６の構造と同一 である。この酸化層によって付与される偏倚は弁１６の偏倚と異なっている。又 第１図に示すようにこの弁は弁１６の開口１６ｂと類似の中央開口を有しない。

ポンプ室１５は、共にシリコンウェハ１１に機械加工して形成した開口１９と通 路２０とを介して弁１８に連通ずる。

従って弁１８は、酸化層１７で部分的に蔽われた膜１８ａと酸化層１７で蔽われ た環状リブ１８ｃとを備え、出口圧力が行きわたった空間１８ｄを流路３の上方 に画定される。膜１８ａの酸化層の中に剪断力が発生すると該剪断力によって膜 の突出を誘起する（酸化層は膜の中高側である）。この突出によって、環状リブ １８ｃを蔽った酸化層によって誘起された予備張力に対して弁の閉止部に向って 追加の予備張力が発生する。弁１８が開かれると、上記の空間はポンプ室１５を 介して直接に入口弁１６に連通して、汲出し行程中にポンプの流体汲み出しの流 体抵抗が最小となる。又弁１８が閉じられると、ポンプ室に行きわたった圧力が 作用する大きな領域に比較して膜１８ａの極く小さな領域に対して出口圧力を作 用させる。この結果出口出力の調節が出口圧力（第１３図参照）と実質的に無関 係となる。

上記の効果は酸化層１７で得られた予備張力によって生ずる。

−例を示すと、ウェハ１　、１１．１２の厚さは１５ｍｍＸ２０ｍｍ程度めウェ ハの表面領域に対して夫々的１ｍｍ、　０．３ｍｍ、０．２ｍｍである。

又、ウェハは接着剤等の従来の種々の接着技術或いは陽極接着として公知の技術 を用いて互いに固着してもよい。

第３〜５図は第１，２図のマイクロポンプと略同じ構造の本発明のマイクロポン プの第２実施例を示す。従って同一の要素には先に付けたものと同一の符号が付 けられている。しかし相異点は、入口弁１６の環状リブ１６ｃを囲んだ環状室１ ６ｅ（第４図）は入口流路２に接続すると共に、シリコンウェハ１１内において 弁１８上方に画定されかつ閉止ウェハ１２によって閉止された補償室２１に接続 していることである。この実施例では閉止ウェハ１２はポンプの全表面を蔽って いる。この接続はシリコンウェハに機械加工して形成した連通流路２２を介在さ せることによって得られる。該連通流路２２はシリコンウェハ１１内に直角に配 置した三つの枝流路２２ａ　、　２２ｂ　、　２２ｃからなる。連通流路２２の 枝流路２２ｃは他の二つの枝流路２２ａ。

２２ｂと同じレベルに設けられておらず、枝流路２２ｂと２２ｃとはシリコンウ ェハ１１に設けた連通関口２３を介して互いに連通している。また枝流路２２ｃ （第５図）は連通開口２４を介して入口流路２に連通している。連通開口２４は 枝流路２２ｃを、入口流路２の直上においてシリコンウェハ１１に設けた小凹所 ２５に接続する。

連通流路２２はポンプの入口流路２と、出口弁１８の膜１８ａの上方に設けられ た補償室２１とを連通して、ポンプの入口に超過圧力が存在する時にこの連通流 路２２を閉止状に保つものである。この構造は超過圧力に対する防禦に役立つ。

第６図及び第７図について本発明のマイクロポンプの第３の実施例を説明する。

この実施例の場合、ポンプ室１５が入口弁及び出口弁に対して非対称に配置され ていること以外は上述の構造原理と同じである。

このマイクロポンプも三つのウェハ即ち例えばガラス製の支持ウェハ２６と、シ リコン或いは其の他の適宜材料製のウェハ２７と、圧電テ゛イスク２９或いは其 の他の適宜の制御要素の助けを得てポンプ室１５の上方の領域に配設された例え ば可撓性ガラス製の閉止ウェハ２８とからなる。

ポンプ室１５はウェハ２７とウェハ２８とによって画定される。

これらの二つのウェハはまたウェハ２８に設けた入口開口３０ａが穿孔された入 口室３０（第６図にのみ示されている）を画定する。

入口室３０はウェハ２７の上部に配置された流路３１（第７図にのみ示されてい る）に連通し、該流路３１はウェハ２６側においてウェハ２７に設けられた第２ の流路３２に連通ずる。第２の流路３２は、上述した弁１６と同一構造の大口弁 ３４の環状室３３内に開口している。この人１コ弁３４は中央開口３５を介して ポンプ室１５に連通する。

ポンプ室１５はまた共にウェハ２７に設けられた開口３７と流路３８とに連通ず る。さらに出口開口３６ａ（第６図）を閉止するように構成された出口弁３６は 、該出口弁の閉止リブの反対側においてその膜側に突起３９を備えること以外は 上述の実施例の出口弁と同じ方法で形成されている。膜の中心部に設けられたこ の突起３９はストッパの作用によって該突起の移動の大きさを制限するように構 成されている。上記の突起３９は、出口圧力が所定の許容値を越すとウェハ２８ に圧力を加える。この実施例では入口開口３０ａは、出口弁３６の上方に配置さ れ従って上述の実施例の室２１の同様の補償室の働らきをする室３゜に向けて開 口している。この構成も超過圧力に対する防禦に役立つ。

次に本発明の第４の実施例を示す第８〜１０図について説明する。

この場合もマイクロポンプは三つのウェハ４０．４１．４２を備える。ウェハ４ ０は例えばガラスで作られかつ出口流路４３を有する。ウェハ４１は、シリコン 或いは其の他の適宜材料で作られ、写真石版技術処理を用いてポンプ室４４と、 流路４７及び４８を介してポンプ室４４に夫々連通する入口弁４５及び出口弁４ ６が画定されている。

この実施例において、汲出し効果を得るために圧電ディスク４９等の制御要素は ポンプ室４４に整合した領域においてシリコンウェハ４１上に直接置かれている 。ウェハ４１が撓んでポンプ室の容積を変化させる。又ウェハ４１とクリスタル ４９との間に酸化シリコンの薄層４９ａを設けてこのウェハに関して圧電ディス クの対応電極を絶縁することが好ましい。

ウェハ４２はウェハ４１を部分的にだけ蔽い、かつ出口弁４６の上方に設けた環 状の補償室５１内に向けて開口する入口開口５゜を備える。弁４６は該弁の膜の 振幅を制限可能な突起５２を備え、該突起５２は弁に対する出口圧力が過剰にな るとウェハ４２に当接する。

また人口弁４５と出口弁の向きは逆で、大口弁の弁座はウェハ４２でなり、出口 弁４６の弁座は他の実施例のようにウェハ４０でなっている。この構造はマイク ロポンプに特別な影響を及ぼさない。

本発明のまた別の実施例を示す第１１図において、出口弁５３の上方のポンプ室 ５４は、プラスチック等で作られかつシリコンウェハ５６に接着した連結部５５ で閉止されている。実際上マイクロポンプの入口に連通したポンプ室５４は外部 環境から完全に遮断されている。この構造の利点は特別な閉止ウェハを用いる必 要がないことである。

第８〜１０図（流路５７）のマイクロポンプの場合及び第１１図（ポンプ室５４ ）の場合と同様に、超過圧力を防禦するように出口弁はポンプ入口に接続されて いる。

さて本発明のマイクロポンプの作動モードを、出口流路内の圧力を画数とした出 力を示す第１３図のダイヤグラムについてしらべる。

上述した実施例の作動はすべて同一である。説明を簡単にするために第１，２図 の実施例のみについて説明する。

圧電ディスク１３に電圧がかかっていない時には、入口弁１６と出口弁１８とは 閉止位置にある。電圧がかかると圧電ディスク１３が撓んでウェハ１２を内側に 向けて湾曲させる。従ってポンプ室１５内の圧力が上昇し、酸化シリコンの層１ ７により得られる弁１８の予備張力によって生ずる力と出口流路１３内の圧力に よる力との間の差よりも、ポンプ室】５内の圧力が高くなることによって膜に力 が働らいて出口弁１８を開口する。ポンプ室に収容した流体はウェハ１２の可撓 領域の変動によって出口流路３に向けて駆動される。この工程中にポンプ室１５ 内に存在する圧力によって大口弁１６は閉じられたままである。流体は目立った 抵抗を受けないで流れて、ポンプ室１５は出口流路３に直接に連通ずる。

これに対して電圧が消滅すると、圧電ディスク１３は当初の形状をとり或いは別 の方向に撓んでポンプ室１５内の圧力が低下する。弁１８の予備張力によって生 ずる力と出口流路３内の圧力による力との間の差よりも、ポンプ室１５内の圧力 によって誘起された力が低くなると出口弁１８を閉じる。ポンプ室の圧力に起因 する力と弁１６の予備張力による力との合計が入口流路２内の圧力による力より も低くなると大口弁１６が開らく。

次にウェハ１２の可撓性領域の変位に起因して、入口流路２を介してポンプ室１ ５内に流体が吸引される。

出口弁１８の膜と弁座の直径間の大きな比率を選ぶと、出口流路３内の圧力は出 口弁を開くのに要求されるポンプ室内の圧力に若干の影響を及ぼす。従ってこの 比率を注意深く選びか゛つ圧電ディスクの制御頻度を注意深く選ぶと、出口圧力 の出口出力に対する影響を極めて小さくすることができる。このようにして例え ば第１３図に示すような出口出力／圧力の曲線を得ることができる。第１３図に おいて曲線Ａは、路上述した寸法を有する第３〜５図にかかるマイクロポンプの ゛圧電ディスクに２１（ｚの電圧をかけることによって得られたもので、出口出 力は３０Ｉｌｌ／ｍ１ｎ（最も望ましい選択）において実質的に一定に保たれる 。圧電ディスクの電圧を５七に制御すると、出口出力は約（３４ｉｌ！／ｍｉｎ となる。従って第１３図のグラフから判るように、出口弁の膜の予備張力を所定 の値に選択すると出力は図示の一定の値になる。出口圧力は０ＣＩＩＨ２０から ７０印１（２０に変化する。また出口圧力と入口圧力との差が負の値の場合にも 出力が一定に保たれることが図示されている（グラフの部分Ｃ及び部分Ｄ）。こ の状態は例えばポンプ入口に超過圧力がある場合に発生する。

上述した実施例に拘らず、本発明のマイクロポンプは小型で、簡単であり、流体 の流れ抵抗が小さく、また極めて精度の高い近似法によって出口圧力の両数とし ての一定出力を決定することが可能である。

第１．２図の実施例以外のすべての実施例において、マイクロポンプは超過圧力 に対して防禦するように構成されている。これはマイクロポンプの入口は出口弁 の上方に位置したポンプ室に連通しているためである。従ってもしそのような超 過圧力が発生すると、該超過圧力は閉止ウェハの方向に出口弁に作用して、ポン プ室から出口流路を孤立させる。マイクロポンプの上記の特性は、可撓性貯蔵器 を身に付けた患者が該マイクロポンプを身に付けている時に問題である。もし患 者が貯蔵器を（例えば障害物に打当てることによって）抑圧すると、ポンプ吸引 側における超過圧力によってポンプの出口側に出力を生じない。

さらに補償室とポンプ入口とが連通しているので、ポンプの標準作動範囲におい ては、入口圧力の変動は出口出力に僅小の影響を及ぼすだけである。

上記の連通はまたポンプ外方の接続部材で行なうことができる。例えば第１，２ 図のマイクロポンプに、入口と出口とを接続する管を設けることができる。

最後に第１図は、例えば歪計１１Ａ状の作動制御要素をシリフンウェハに接着で きることを示している。歪計で測定された抵抗の変動によって、マイクロポンプ が正常に作動しているか或いは歪計を接着した膜が破損したことが判る。上述し た全ての実施態様に一つ以上の上記の制御要素を設は得ることは云うまでもない 。

Ｐｓｏｒｔｉｅ　−Ｐｅｒｒｔｎｉｅ 閑咋膿査報失 一窮ｍｍ−輸−１ＰＣＴ／ＣＨ９０１００１４５国際調査報告

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. １．第１のウエハに相対向して少なくとも一つの第２の支持ウエハ（１；２６； ４０）を接着してポンプ室（１５；４４）を画定するように写真石版技術を用い て機械加工可能な材料からなる第１のウエハ（１１；２７；４１；５６）と、第 １の弁を介して土記ポンプ室（１５；４４）がマイクロポンプの一つの入口（２ ；３０；５０）と選択的に連通可能な逆止弁型の第１の弁（１６；３３；４５） と、第２の弁を介して上記ポンプ室がマイクロポンプの一つの出口（３；３６ａ ；４３）と選択的に連通可能な膜型の第２の弁（１８；３６；４６）と、上記ポ ンプ室（１５；４４）の容積を周期的に変動させる制御手段（１３；１４；２９ ；４９）とを備えたマイクロポンプにおいて、上記出口（３；３６ａ；４３）は 、上記第２の弁（１８；３６；４６）を介して上記ポンプ室（１５；４４）の隔 離された空間（１８ｄ）に直接連通すると共に通路（１９，２０）に関して該第 ２の弁の同じ側に位置し、該通路を介して第２の弁は、上記ポンプ室と出口とに 夫々行きわたった圧力が上記第２の弁の開口方向に作用するようにポンプ室に連 通し、又上記第２の弁（１８；３６；４６）は上記ポンプ室（１５；４４）を介 して上記第１の弁（１６；３３；４５）に開口状に連通して、ポンプの汲出し行 程中に、開口位置にある第２の弁を介してポンプ室が上記出口（３；３６ａ；４ ３）に直接連通したことを特徴とするマイクロポンプ。
2. ２．上記第１のウエハ（１１；２７；４１）のその表面の少なくとも一部分を蔽 い、かつ第１のウエハと第３のウエハとによって、マイクロポンプの能動性凹所 を形成するように構成された少なくとも一つのポンプ室（１５；２１；５１；５ ４）を画定した第３のウエハ（１２；２８；４２；５５）を備えた請求の範囲１ に記載のマイクロポンプ。
3. ３．上記のポンプ室の容積を周期的に変動させる制御手段が、上記ポンプ室（１ ５）に整合する領域において上記第３のウエハ（１２；２８）に固着された圧電 ディスク（１３；２９）を備えた請求の範囲２に記載のマイクロポンプ。
4. ４．上記のポンプ室の容積を周期的に変動させる制御手段が圧電ディスク（４９ ）を備え、上記ポンプ室（４４）が上記第１のウエハ（４１）と第２のウエハ（ ４０）とによって画定され、又上記圧電ディスクが、上記ポンプ室（４４）に整 合した第１のウエハの蔽われない領域において上記第１のウエハに取付けられた 請求の範囲２に記載のマイクロポンプ。
5. ５．上記第３のウエハ（５５）が、ポンプを外部の回路に接続可能な少なくとも 一つの接続部を形成するように構成された請求の範囲２から４までのいずれか一 つに記載のマイクロポンプ。
6. ６．上記第１のウエハ（１１）に歪計（１１Ａ）等の検知要素を取付けて、マイ クロポンプの正しい作動を検知した請求の範囲１から５までのいずれか一つに記 載のマイクロポンプ。
7. ７．上記第１の弁（１６；３３；４５）或いは上記第２の弁（１８；３６；４６ ）が、上記第１のウエハの平面に設けた膜（１６ａ）を備え、該膜の中央に環状 リブ（１６ｃ）を備え、かつ該環状リブの頂部は他のウエハ（１；１２；２６； ２８；４０；４１）に当接して上記弁（１６；１８；３３；３６；４５；４６） に対する弁座の役割をするものであり、また少なくとも上記の環状リブ（１６ｃ ）は、上記弁が常時閉止されるように膜に所定の予備張力を誘起する酸化層（１ ７）で蔽われた請求の範囲１から６までのいずれか一つに記載のマイクロポンプ 。
8. ８．第２の弁の膜（１８ａ）が、該膜に勇断力を発生する材料の層によって少な くとも部分的に蔽われ、以って追加の予備張力を誘起した請求の範囲７に記載の マイクロポンプ。
9. ９．上記膜（１６ａ）は上記環状リブ（１６ｃ）の反対側において、ポンプの他 のウエハ（２８）に向って延び、かつ膜が超過圧力を受けた時の該膜の移動を制 限するように構成された突起（３９）を備えた請求の範囲７又は８に記載のマイ クロポンプ
10. １０．夫々の膜（１６ａ）に設けられた環状リブ（１６ｃ）が、上記弁（４５及 び４６）の夫々反対側の面に配設された請求の範囲７から９までのいずれか一つ に記載のマイクロポンプ。
11. １１．ポンプ入口（２；３０；５０）は、上記入口に行きわたる圧力によって第 ２の弁が閉じられるように第２の弁（１８；３６；４６；）の上方に配設された 補償室（２１；３０；５１；５４）に連通した請求の範囲１から１０までのいず れか一つに記載のマイクロポンプ。