JPH04502062A - 安定性が向上したコリオリ質量流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 安定性が向上したコリオリ質量流量計 発明の背景 本出願は米国特許出願第３６４０３２号の一部継続出願である。

流動物質の質量流量を測定する技術分野では、振動する導管を通して流体を流す と、流体の流れの方向及び振動が生じる軸に対して実質的に横の方向に導管を捩 るコリオリカが誘導されることが知られている。また、こうしたコリオリカの大 きさは導管を通る流体の質量流量と導管が振動する角速度とに関係することも知 られている。

コリオリ質量流量計を設計し製作する努力と歴史的に関連する重大な技術的課題 の１つは、振動する導管の角速度を正確に測定し制御して、コリオリカによって 生じる測定効果を用いて、導管を通過する流体の質量流量を計算することができ るようにすることであった。導管の角速度を正確に決定又は制御したとしても、 コリオリカによる影響の大きさを正確に測定することは別の重大な課題を提起し た。発生されるコリオリカの大きさは慣性や減衰などの力と比較して極めて小さ いので、上記の課題は部分的であり、したがって、生じたコリオリカによって誘 導される影響はごく小ざい。更に、コリオリカの大きさが小さいために、例えば 、隣接の機械や流体ラインでの圧力サージなどによって誘導される振動のような 外部の力から生じる影響により、質量流量の誤った決定が行われかねない。流れ 管の不連続、管の不安定な取９付げ、機械的に再現可能な曲げ特性を欠く管の使 用のようなエラー源によって、発生されたコリオリカの影響が先金に覆い隠され てしまい、質量流量計の実際的な使用の機会を減少させている。

１９８３年１１月２９日に発行された「流量測定方法及び装置」という名称の米 国再発行特許第３１，４５０号、１９８３年１２月２７日に発行された「質量流 量測定のための方法及び装ａＪという名称の米［１％許第４，４２２，３３８号 及び１９８５年１月１日に発行された「平行経路コリオリ質量流量計」という名 称の米国特許第４，４９１．０２５号には、（、）コリオリ質量流量計の振動す る導管の角速度の大きさを測定又は制御する必要性をなくし、（ｂ）コリオリカ による影響の測定のために必要な感度及び精度を同時に与え、（ｃ）これまでの 実験的な質量流量計で経験された多くの誤りに対する感受性を最小にする機械的 な構造及び技術が、他の利点と共に教示されている。

これらの特許で開示されている機械的な配置は、ベローズ、ゴム接続器その他の 圧力変形可能な部分のような圧力に影響されるジヨイントや部分のない、曲がっ た連続的な導管を組み込んでいる。これらの導管は流入端と排出端とに強固に取 り付けらね、その曲げられた部分は取り付は部から張り出している。例えば、上 記の特許のいづれか１つに従って製作された流量計では、導管は取り付は部にハ ンダ付は又は溶接されるので、導管の固定取り付は点と実質的に連続に位置する 軸の周りに、又は、米国特許第４．４９１．０２５号に開示されているように、 取り付は点よりも前に位置する点で２以上の導管にクランプするように設計され た強固に取り付けられたプレースバ＝（ｂｒａｃｅ　ｂａｒ）装置の位置で、導 管はスプリングのように振動する。

導管をこのように製作するならば、流れの条件の下では、振動する導管に発生す るコリオリカに対抗する力は実質的に線形のバネ力である。コリオリカは、実質 的に線形のバネ力に対抗されて、流体を含む振動する導管を、コリオリカが現れ る導管の部分の間に且つそこから実質的に等間隔に位置する軸の周りに曲げ又は 捩る。曲げの大きさは、発生されたコリオリカ及び発生されたコリオリカに対抗 する様形バネカの大きさの函数である。更に、こうした固定的に取り付けられた 連続的な導管は、コリオリカが作用する軸に関する共鳴周波数とは異なる（好ま しくは、それよりも低い）振動軸（取り付は部又はプレースバーの位置に実質的 に位置する）に関する共鳴周波数を有するように設計される。

固定的に取り付けられ曲げられた導管の種々の特定の形状は従来技術に開示され ている。これらの中には、「実質的に収束、発散又は曲げられた脚を備える」（ 再発行特許第３１．４５０号、第５欄、第１０−１１行コン−的にＵ字型の導管 が含まれる。また、この特許には、曲げられた導管と同一の一般原理で動作する 直線の固定的に取り付けられた導管も開示されている。

上記のように、振動するように駆動されている導管を流体が流れるときに、コリ オリカが発生する。したがって、流れの条件の下では、コリオリカが作用するそ れぞれの導管の一部は、コリオリカが作用している導管の他の部分の前に、導管 が移動する方向に動くように曲げられる（即ち、捩れる）。コリオリカによって 曲げられた振動する導管の第１の部分が導管の振動経路での予め選定された点を 通過した時点と、この導管の第２の部分がこの振動経路での対応する予め選定さ れた点を通過する時点との間の時間又は位相関係は、導管を通過する流体の質量 流量の函数である。この時間差測定は、米国再発行特許第３１，４５０号に特に 例示された光学センサ、米国特許第４．４２２．３３８号、第４，４９１．０２ ５号にとくに例示されたｍｓ速度センサ又は米国特許第４，４２２．３３８号に 開示された位置又は加速度センサを含む種々のセンサによって行われる。好まし い時間差測定を行うためのセ／すを備えた平行経路二重導管の実施例は、米国特 許第４．４９１゜０２５号に記載されている。この実施例は、米国再発行特許第 ３１，４５０号に既に記載された同調フォークと同様に動作する。米国再発行特 許第３１，４５０号及び米国特許第４．４２２．３３８号には、質量流量を決定 するために運動センサの信号を結合するための方法及び手段の記載が認められる 。

上記のメータ設計では、選択センサに＋／−０．２パーセント内の精度の質量流 量を生じる測定を行わせることができる許容し得る感受性を与える、導管の流入 部と排出部とに沿って対称な位置にセンサが置かれる。

１００．０００前後のオーダーでは、質量流量計は米国再発行特許第３１，４５ ０号、米国特許第４，４２２，３３８号及び米国特許第４，４９１，０２５号の うちの１つ又はそれ以上の発明を用いて製作され、これらの流量計は広く業界で 使用されている。種々様々の流体の質量流量測定に対するこうしたメータの営業 的な応用にることを示してお９、こ５して、メータの再校正を含むメータ関連の プラント・メンテナンスを減らすことができる。一般に、メータの不安定性は、 外部の発生源からの不要な機械的エネルギの伝達に対するメータの感受性によっ て生じる。

こうした力は流量計のゼロ（即ち、流れ無しでの測定値）安定性にも影響する。

上記の商業的経験は、導管の疲労による故障があっても実際の使用には本質的な 問題がないことを示し℃いるが、疲労故障の可能な発生源を減らすことによる導 管の寿命の潜在的な改善が前進であると認識している。同様に、封止された耐り の圧力での危険な物体応用に対して、メータの適合性を増す。達成可能な圧力定 格が前記ケースの製作を含むコスト５件と平衡が取れたとしても、前記のような ケースの使用により、メータの圧力定格は、２インチ半前後までの外径の導管に 対しては少なくとも３００ｐｓｉ、それよりも大きな導管に対しては少なくとも １５０ｐｓｉとなる。

発明の概要 この発明は、外力に対する感度を減少し、全体の安定性が増加し、Ｏの安定性を 増加し、圧力降下特性を減少し、流体圧力に十分抵抗する改良された質量流量計 を提供する。従来の特許により製造されたコリオリ型質量流量計の多数の設計献 する他の改良点は、センサやドライバーの質量を少な（ともハに減らすことであ る。

る。また、いくつかの変更したＵ形流動管は、真直な中間部分よりむしろ連続的 なケースのいくつかの実施例の内で、図８及び図９の犬施例が望まｌ、　ｕ　− ８図８のケースの詳細部分を示す。図１０乃至図１１Ｌは、後述する別のテスト 結よび限定した程度に支柱バーの最適な配置により達成される。０〜２０００Ｈ ｚの周波数範囲では、本質的に６つの振動モードがあり、この振動の励起は、計 器安定性の損失となることが分かった。これらの振動モードは、（１）同相の第 １曲げモード（励振周波数より低周波数）、（２）励振周波数が流体充填管（他 方、状況分析は空管で行なわれる）の自然周波数であることを除いて、基本励振 周波数に対応する逆相の第１曲げモード、（３）逆相の第１ねじり（または偏向 ）モード、（４）逆相の第２ねじりモード、（５）逆相の第２曲げモード、（６ ）逆相の第３曲げモードである。センサの最適配置は、流動管での６つのモード に対して２つのノードを位置決めし、幾可学に基づ（・て、寸法、材料、センサ を最も接近して配置により、上記の６つのモードのためのノード点を互いに関し て異なって位置してもよいことが分かるであろう。いくつかの流動管形状におい て、異なるモードの２以上のノード点を実際に一致させ、同一個所にセンサを配 置でき、それにより、流動管安定性を増すことができる。

この発明は、経験上、前記モード、特に前記モード（３）と（６）の内の異なる １つに対するノード点である少なくとも２つのメート点にできる限り接近して、 流動管の各側にセンサを配置することで、計器安定性が増すという発見に基づい ている。この発明は更に、モード１、つまり、同相の第１曲げモードの影響は、 モード１の調波をモード２の調波から分ける支持バーを配置することにより最小 にまたは除去できるという発見に基づ〜・ている。

第１図は、動作センサを配置し、装着したＵ形のコリオリ型質量流量計の望まし い実施例を示す。現在の商用の計器と同様、流動管１１２が、マニホールド１３ ０の地点１３１で固着されている。支持バー１２２が流動管１１２に固着され、 それにより、流動管１１２がドライバー１１４により音叉風に励振される時、振 動軸Ｂ′が定まる。流動可能な材料が管４１２を流れると、コリオリカが管に生 じ、偏向１１Ａ’の周囲で管を偏向する。前記ドライバーからの電気コネクタ１ ２５、動作センサ１１８からの電気コネクタ１２６、動作センサ１１６からの電 気法を減少することで高められる。

される。これらのセンサは、流動管の振動路にわたって流動管の全運動を線形に る。比較的初期の商用の実施例との対照によると、対応する組立部品は、この質 量流量計に２２．２ｆ（１つのドライバーコイル、２つのセンサコイル、１つの コイルブラケット、１つの磁石ブラケットおよび３個の磁石）を付加したもので ある。第１図の実施例では、代表的な状況分析が行なわれた。その１つの結果と して、逆相の第２ねじりモートソードおよび逆相の第３曲げモードノードが、以 下の表に示す寸法と特性を持つ第１Ａ図の流動管に配置された。

表　１ 管材料　３１６Ｌステンレス鋼 管長さ　１６インチ 管外径　０．２５インチ 管壁厚さ　０．１０インチ 人口脚長さ　３インチ 出口脚長さ　３インチ 中間部分長さ　５インチ 曲げ半径　１．２５インチ 前記モードノード間の中間にあるこのセンサの位置は、湾曲半径中心点から延び る水平軸から測定して２２．５°に置かれる。

このセンナ位置＆気管の各々の備において、２つのノード点の間のみならず、２ つのノード点にできる限り接近している。当業者であれば容易に分かるように、 他の正確な形状、寸法および材料の流動管で状況分析を行なうことにより、上記 モードの全てに対するノード点を位置決めでき、結果としてのセンナ位置を容易 定精度に影響を及ぼす。現在まで、はぼ２０％だけ流動管の壁厚を増加し、下記 に述べるように、特別設計の流体圧力無感応ケース内に流動管を封入することに より、高流体圧のこれらの効果が最小になることが分かった。

例えば、外径が０．２３０インチの管の第１図の流量計の実施例で壁厚を増加す る場合、高圧力で生じる不安定さを最小にするため、壁厚は約０．１Ｏインチか ら約０．０１２インチまで増加される。第２図は、この発明による任意の支柱バ ー１２２を示す。各々の支柱バー１２２は金属片（例えば、３１６Ｌまたは３０ ４Ｌステンレス鋼）または他の適当な材料の打抜きにより成形さべ流動管の外径 のある孔（孔１２４）からより大きい孔１２０へのリップル呈移行部１２１のあ る２つのスリーブを提供する。これらの支柱バーは、付属品１２３の個所、流動 管が振動する主要個所での応力集中を減少するため流動管にハンダ付けさ蜆溶接 される。しかしながら、この発明の範囲内で最初に開示したのと同様の従来の支 柱バーを利用できる。

第３図はプロセスライン付属品の分解図であり、第１図と同様の最適のコリオリ 型流量計を示す。典型的な従来技術のフランジ付きマニホールドの代わりに、フ ランジ孔２３Ｂを通過し、ナラ）２３５ｉＣより所定場所に保持されるねじ付き コネクタ２３４により、製造または他の商用プロセスライン中にあるフランジ間 で端部２３２をボルト締めできる新規な薄平形のフランジのない構造体２３０が 提供される。

第４図は圧力効果を最小にするケースの１つの形を示す。この形は流動管全体お よびセンサ付輌品を囲むため使用できる。このケースは、流動管３１２、ドライ バー、動作センサおよび関連するｔ＃付属品（図示せず）を囲むための十分な直 径の［３５０から成る。管は流動管の形に曲げられ、それから、縦に本質的に等 しい２つの半休に切断される。流動管３１２が、関連するドライバー、動作セン サおよびｔ機と共に一方の半体内に取付けられる。他方の半体がこの組合わせ体 の上に適合され、２不の縦方向継ぎ目が溶接され、連結部がマニホールドに溶接 される。このようにして、危険な流体包含を富む応用に適し、少なくとも３００ ｐｓｉのオーダおよび１インチ当り５００ポンド以上の重要な圧力に耐えること ができる耐圧ケースが提供される。いくつかの実施例では、ドライバーや動作セ ンサからプリント回路基板に延びる可撓性連結体を備え、ケースの内側にプリン ト回路基板を取付けてもよい。それから、接合箱をケースに取付け、ケースの頂 部に耐圧取付具を通って延長できる電線によりプリント回路基板に連結できる。

この接合箱は、次に、質量流量読出し値および任意に流体密度読出し値を与える センサからの信号を電気的に処置する手段に連結される。

製造の容易な望ましい変更ケースを第８図、その部分を第９図で示す。ケースの この形はケースを形成するため共に浴接される（第８図では２〜４片で描いであ る）第９図で示すように半環状断面部の打抜き鋼片から作られる。第１図の実施 例に特に適用されるのと同様に次の仕方で組立てられる第８図の１−１０が付け られた１０個の部品で形成される。

ケースの半分を構成する５個の部品（第８図で１．２，３，４．５で示す）は、 流動管の外周の半分を覆い、流動管の入ロー出ロマニホールドから成る支持体に 溶接される。図示していないプリント回路基板が、流動管上のセンサのピックオ フコイル部分の個所にできるだけ近い位置でケースに取付けられ、ピックオフコ イル端子は、上記に関係する型式の可撓体を含む電線または個々の半ループ形電 線により、これらのプリント回路基板に連結される。それから、電線がケースに 沿ってケースの中央直線部分←即ち、第１図の直線状流動管部分１１２を囲む部 分３）まで走り、そこで流量計エレクトロニクスへの電線供給通路が配置される 。

第８図、第９図では示していないこの供給通路は、電線が直結される柱で構成し てもよく、または、電線が直結さ１１．次に、供給通路柱に連結さ汰それから、 ケースの中間部分でケースの部分３に位置する図示しない接合箱に連結される第 ３プリント回路基板でｌｌ底してもよい。配意が構成した後、ケースの残りの５ 個の部品（ケースの平面図である第８図で図示せず）が互いに適所が支持体およ び予め組立てて浴接した部分と目動溶接により浴接される。これら後者の５個の 部品がケースの半休を構成する。部品間の浴接は第８図で実線に示す通りである 。

加えて、溶接はケースの内外周の図示しない継ぎ目紛に沿って行なわれるが、流 量計管および支持体により形成される包囲体の内側と外側の両方で、ケースの上 下半分を連結する。

第４因、第８図のケース実施例は、例示的なものだけである。コリオリ型質量流 量計の曲線管または直線管の任意の寸法や形状にして、類似のケースを容易に変 形でき、正確な形状により、第８図、第９図の実施例を別の数の打抜き鋼半周辺 部品で有利に製作できることは、当業者であれば容易に分かる。また、直ちに明 らかなように、この発明の本質的原理を逸脱することなく当業者により他の配線 が発明され得るであろう。

外部振動力および関連する付属品による流動管の励起のプロセスラインノイズの 影響をテストするため、振動テーブルテストを実施した。このような外力はプラ ント操作中に周期的に表われる。第５Ａ図乃至第５Ｆ図は、現在の商用のＭｉｅ ｒｏ　Ｍｏｔｉｏｎ、　Ｉｎｃ、　Ｍｏｄｅｌ　Ｄ２５のコリオリ型質量流量計 の振動テーブルテスト実験結果を示す。第６Ａ図乃至第６Ｆ図は、現在の商用の Ｍｉｃｒｏ　Ｍｏｔｉｏｎ、　Ｉｎｃ、　Ｍｏｄｅｌ　Ｄ４０の流量計の同様の テスト結果を示す。Ｍｏｄｅｌ　Ｄ２５は流動管内径が０．１７２インチであり 、ＭｏｄｅｌＤ４０は流動管内径が０．２３０インチである。第７Ａ図乃至第７ Ｌ図は、第１図に示すのと同様のコリオリ型質量流量計の同様のテストの実験テ スト結果を示す。第５Ａ図乃至第７エ図の各々において、Ｘ軸は、流量計フラン ジを通る軸←即ち、振動軸Ｂ’−Ｂ’と平行）であり、Ｙ軸は流動管の面と平行 （即ち、変形軸Ａ′−Ａ′と平行）である。Ｚ軸は流動管の面に対して垂直であ る。関連するパラメータが表２で集約されている。

表　２ 外に付加された。接合箱は、従来、流量計エレクトロニクスを収容し、第１０Ａ であり、それからランダム周波数での振動入力である（第５ｃ図、第５Ｆ図、第 ６Ｃ図、第７Ｃ図、第７Ｆ図、第７エ図）。周波数ランプは１０分間にわたって 生じ、ランダム振動はほぼ５分間にわたって生じる。第５Ａ図、第５Ｂ図、第５ Ｄ図、第５Ｅ図、第６Ａ図、第６Ｂ図の各々は、上記のＤ２５とＤ４ｏの６つの 動作モードの調波励起での種々の周波数の外部振動の影響を表示する。

第７Ａｌｉ９乃至第７Ｆ図は、第１図実施例のこの発明の流量計の外部振動によ るＸ軸、ｚ軸（第５Ａ図乃至第５Ｆ図と同一軸）の周囲の励起に対する感応度を 示し、それぞれ同一スケールである。第７Ｇ図乃至第７１図はＹ軸の周囲でのも のである。（ランダム振動は、第１に第７Ｄ図乃至第７Ｆ図で行なわれた。）最 適の流量計は６つの動作モー　ドの調波励起での外部振動の影響を劇的に減少す ることを示することに注目ずべきである。このよ５にして、この最適な流量計は 、外力の影響から流量計を有効に隔離することを示す。加えて、０安定性での外 部振動の影響をテストするため、各種テストが実施された。このようなテストは 、流れがない場合の時間差（Δｔ）測定の安定性の結果を提供するものであり、 〜・わゆろジッタテストである。エレクトロニクスの任意の平均化またはフィル タリングの前にアツゾ／ダウンカウ／りのパルス幅を直接測定するため周波数カ ウンタを使用した。テストなｘ、ｙ、ｚ方向での加速域にわたってランダム周波 数入力を使用して去動テーブルで実施した。加速が増加するにつれて、外部振動 の影響は、Ｄ２５と０４０の両方の流量計では平均値から平均値の１倍以上のパ ルス幅発散を生じた。各軸に対するこのよづな発散は、この最適な流量計では著 しく減少した。このよ５にして、振動テストの場合と同様に、この最適な流量計 は、流量計を外力の効果から有効に隔離することがこのジッタテストで分かった 。

第１０Ａ図−第１０Ｇ図は、従来の支柱バーと、上記の４，５で示したモードの ノード点の間だが、これらのモード点にできる限り近い所でこの発明の教示に従 って配置されたセ／すを備え、ここで説明したように比較可能に寸法の定まった 現在の商用流量計より２０％厚い流動管とを有する第１図と同様に構成された流 量計の実施例で得られる別のデータのプロットである。この流量計の実施例の流 動管はテストの際、第８図、第９図に示す型のケースにより半分横われ（即ち、 管の周辺の半分）、接合箱（図示せず）が、′ｉ［ＩＩ！！がケースを通り送ら れるケース乃至第１０Ｄ図に適用したのと同様の半ケース付属品を備えた同−流 量計組立体図一第１０Ｄ図で集められるデータから、質量流動産や密度値の読出 しパネルを有する他の箱（「リモート流量伝送器」または［ＲＦ　’ｒＪと称さ れる）Ｋ：連結されていた。

第１０Ａ図、第１０Ｂ図の各々は、１分当９０〜４５ボンドの質量流動産での水 を使用した、流動度に対する精度の較正プロットを表わす。第１０Ａ図は、１分 当り約３〜４ポンドの質量流動産でとった第１測定点で１２２点」較正曲線を表 わすことで、第１０Ａ図は第１０Ｂ図と異なる。第１０Ｂ図は、特に１分当り５ ボンド以下の質量流動産（１分当り約０．５で始まる）で多（のデータが収集さ れる「４５点」較正曲婦をカバーする。第１０Ｂ図はまた、１分間当９０〜約４ ５ポンドの質量流動産に対して測定した流線圧力降下データを示す。第１０Ａ図 、第１０Ｂ図は、この発明の流量計実施例が、出願人の譲受人であるＭｉｃｒｏ 　Ｍ。

ｔｉｏｎ、　Ｉｎｃ、の現在の商用流量計を特徴付ける±０，２％の公称精度値 内で十分機能することを示す。第１０Ｂ図はまた、この流量計実施例の非常に満 足のいく流線圧力降下性能を示す。

第１０Ｃ図、第１０Ｄ図は、はぼＯ〜２０００ｐｓｉの値の水の流体圧力に対し て測定した質量流動産と密度ア太ログドリフト値のプロットである。各々の例で 、Ｍｉｃｒｏ　Ｍｏｔｉｏｎ、　Ｉｎｃ、により販売されるＤシリーズの商用質 量流量計の平均の歴史的標準偏差測定値のプロットで比較を表わしている。第１ ０Ｃ図では、流動度アナログドリフトおよび流動度標準偏差データ点を秒単位で 示す。第１０Ｄ図では密度アナログドリフトおよび密度標準偏差を１の３当りの ２単位で示す。

両方の場合、測定した標準偏差データ内で、この発明により作られた流量計が十 分機能することを、そのデータが示している。

第１０Ｅ図、第１０Ｆ図、第１０Ｇ図は、第５Ａ図乃至第７１Ｓで描（・たデー タと同様にして得られた振動テーブルテストデータのプロットであるが、秒当り のアナログ出力（部ち、質量流動産）に対する振動チルプル周波数（Ｈｚで）の プロットとして表わしであるが、他方、第５Ａ図乃至第７エ図は動作センサの読 み自体に対するＨｚでの振動テーブル周仮数をプロットしたストリップチャート の再現である。加えて、第１０Ｅ図、第１０Ｆ図、第１０Ｇ図では、第１０Ａ図 でデータが収集された。比較のため、ケース付属品のない２つの異なるＤ２５流 動管ユニットの同様のプロットを第１１Ａ図乃至第１１Ｌ図で示す。各々の例で 、ｘ、ｙ、ｚ軸は上記で定義したのと同じであり、振動テーブル垂直スケール周 波数スイープは、１５〜２０００Ｈｚであり、アナログデータが得られるリモー ト伝送器は、１秒当り５２のスパンと較正ファクタ１とを有するものであった。

関４００Ｈｚの低周波数で消費され、短縮（または速度上昇）時間間隔は高周波 数で消費される。両方の例で全スイープ時間は同じである。明らかなように、ロ グスイープは明らかに、外部励起が現在の商用のＭｏｄｅｌ　Ｄ流量計の調波乱 れを高める周波数を指摘している。第１０Ｅ図、第１０Ｆ図、第１０Ｇ図は、こ の発明の流量計を示し、Ｄ２５流動管に比べこのような影響を著しく受けていな い。

２重流動管質量流量計の望ましい実施例を示したが、ここで説明した発明は、板 ばねのような部分にも、単一流動管は非常に小さい質量であり比較的大きい質量 のペースに装着できる状況の下で、流動管と共に旋回フォークを形成するダミー 管にも連結して単一の流動管のあるコリオリ型質量流量計において実施できる。

前記詳細な説明は、例示目的のため、流動管の寸法と形状に焦点を当てた力ξこ こで説明したこの発明の実行における数多くの変更は、当業者にとって明らかで あり、これらの変更は、次の保ａｌｆｔｆｔ求の範囲で定められたこの発明の範 囲を逸脱することがない限り可能である。

浄！！Ｆ（内容に変更なし） 記録（ｌｂｍ／ｗｉｎ） 記録（ｌｂｍ／ｍ１ｎ） 記録（ｌｂｍ／ｍ１ｎ） 周波数 記録　（ｌｂｍ／ｍｉｎ） 記録（ｌｂ＋＋＋／ｍ１ｎ） 周波数 周波数 記録（ｌｂｍ／ｍ１ｎ） 記録　（ｌｂｍ／ｍ１ｎ） 周波数 記録（ｌｂｍ／ｍ１ｎ） ｌＲ１（ｌｂｍ／ｆｆｌｉｎ） 記録（ｌｂｍ／！ｌｌ１ｎ） 周波数 了太Ｕグ″＝力　しようｔＬ　、ｕｓｅｃ精度　１％ １度　１％ 圧力１氏下、ｐｓｌ ：Ｌ量アｊｌ：Ｉ７’ドリフｈ　（ｕｓｅｃ）５ｔ、ｔ　ＳＴＤ　ＤＥＶ　（ｕ ｓｅｃ）渫ｊｌ　ＳＴＤ　ＤＥＶ　（ｇ／ｃｃ）アナログカフ７　ピｌつ舌ム　 、ｕｓｅｃアナログ士力じよう相、、ｕｓｅｃ アアログ士力しより舌ム　、　ｕｓｅｃ７１０７士力しよう肛　、　ｕｓｅｃ ７１０γ士力しようｔＬ主力ｓｅｃ アナログパ土力しより舌１．．ｕｓｅｃアＴ０７“主力しよシ舌ム、　ｕｓｅｃ ７ナロ７゛土１より％Ｌ　、　ｕｓｅｃ了すロア゛±２１１；よつ舌ム　、　ｕ ｓｅｃ了↑ロア゛　土力　しよう舌ム　、ｕｓｅｃＹ丁ログ”主力Ｕよう舌り、 ｕｓｅｃ 了すロア土力しｚ′７舌Ｌ　、　ｕｓｅｃ７７０７“主力しようれ　、ｕｓｅｃ 手続補正書坊力 平成　４年　１月７６日

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. １．質量流量がコリオリ力の少なくとも１つの測定される影響に基づいている流 動性物質のための質量流量計において、支持部と、 感圧性継ぎ手及び部分がなく、流入端と排出端とで前記支持部に固定的に取り付 けられた少なくとも１つの曲げられた連続的な導管と、前記導管を振動させる駆 動手段と、 前記導管に取り付けられ、前記流動性物質が振動条件下で流れているときの前記 導管の運動を監視し、前記運動に関係する信号を発生する一対のセンサを含むセ ンサ手段と、 前記信号を検出してそれを質量流量値へ変換する質量流量処理手段とを具備し、 第１の同相曲げモード、第１の逆相曲げモード、第１の逆相捩れモード、第２の 逆相捩れモード、第２の逆相曲げモード及び第３の逆相曲げモードのうちの１つ 以上の励起による安定性の欠如を最小にするように最適化されたモード解析によ り決定された位置に前記センサか配置されることを特徴とする質量流量計。
2. ２．前記曲げられた連続的な導管が、前記支持部において互いに向かつて収束す る本質的に直線的な流入端と本質的に直線的な排出端とを有し、これらの脚は少 なくとも１つの連続的な曲げられた部分によつて前記支持部に対向して接続され ている請求項１記載の質量流量計。
3. ３．前記流入端と前記排出端とが本質的に直線的な部分によつて前記支持部に対 向して接続され、該本質的に直線的な部分が前記本質的に直線的な脚部のそれぞ れを会わせるようにいづれかの端で曲がつている請求項２記載の質量流量計。
4. ４．前記対のセンサのそれぞれが、それぞれの導管の流入端と排出端で前記第２ の逆相捩れモードのノードと前記第２の逆相曲げモードのノードとの間にそれぞ れ配置されている請求項２又は３記載の質量流量計。
5. ５．前記支持部から離された前記流入端と前記排出端とに沿う点でブレースバー によつて一体に固定された少なくとも２つの導管を備え、前記点が前記第１の同 相曲げモードと前記第１の逆相曲げモードとの周波数と高調波との間に最適な分 離を与える点であるようにモード解析によつて決定され、前記第１の同相曲げモ ードの安定性への影響を最小にした請求項１記載の質量流量計。
6. ６．前記曲げられた連続的な導管が、前記支持部において互いに向かつて収束す る本質的に直線的な流入端と本質的に直線的な排出端とを有し、これらの脚は少 なくとも１つの連続的な曲げられた部分によつて前記支持部に対向して接続され ている請求項５記載の質量流量計。
7. ７．前記ブレースバーが図２に示すようなニップル型の取り付けスリーブからな る請求項５記載の質量流量計。
8. ８．少なくとも２つの導管を備え、前記支持部がフランジのない流入・排出プレ ナムを有し、該プレナムが２つの分離された流れ室を備え、その一方は流入側で の流れ分離のために、他方は排出側での流れ分離のために設けられている請求項 ２又は３記載の質量流量計。
9. ９．前記導管と本質的に同一の幾何学的形状であつて、前記導管、前記センサ手 段及び前記駆動手段のすべてを包み、前記支持部に溶接された耐圧ケースを更に 備える請求項１記載の質量流量計。
10. １０．前記導管と本質的に同一の幾何学的形状であつて、前記導管、前記センサ 手段及び前記駆動手段のすべてを包み、前記支持部に溶接された耐圧ケースを更 に備える請求項２又は３記載の質量流量計。