JPH04507U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH04507U JPH04507U JP839490U JP839490U JPH04507U JP H04507 U JPH04507 U JP H04507U JP 839490 U JP839490 U JP 839490U JP 839490 U JP839490 U JP 839490U JP H04507 U JPH04507 U JP H04507U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- ceramic green
- green sheet
- fixing plate
- suction holes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 6
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Registering Or Overturning Sheets (AREA)
- Hooks, Suction Cups, And Attachment By Adhesive Means (AREA)
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Description
第１図は、本考案によるセラミツクグリーンシ
ート吸着固定板の構造を示す一部断面を含む斜視
図、第２図は前記シート吸着固定板の吸着固定動
作を説明するための一部拡大断面図、第３図は従
来のシート吸着固定板の吸着固定動作を説明する
ための一部拡大断面図、第４図はセラミツクグリ
ーンシート製造装置を示す概略斜視図、第４図は
従来のシート吸着固定板を示す斜視図である。 ２……セラミツクグリーンシート、７……シー
ト吸着固定板、７１……吸着孔、７２……吸着面
、７３……吸入孔、７４……真空室、２０……メ
ツシユ板。
ート吸着固定板の構造を示す一部断面を含む斜視
図、第２図は前記シート吸着固定板の吸着固定動
作を説明するための一部拡大断面図、第３図は従
来のシート吸着固定板の吸着固定動作を説明する
ための一部拡大断面図、第４図はセラミツクグリ
ーンシート製造装置を示す概略斜視図、第４図は
従来のシート吸着固定板を示す斜視図である。 ２……セラミツクグリーンシート、７……シー
ト吸着固定板、７１……吸着孔、７２……吸着面
、７３……吸入孔、７４……真空室、２０……メ
ツシユ板。
補正 平３．８．１９
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書８頁９行目に「第４図は従来の」とある
のを「第５図は従来の」と補正します。
のを「第５図は従来の」と補正します。
Claims (1)
- 上に複数の吸着孔が開設され、この吸着孔を介
して吸引される空気の気圧により、セラミツクグ
リーンシートを吸着固定する吸着面を備えたセラ
ミツクグリーンシート吸着固定板において、前記
吸着面がメツシユ板で覆われたことを特徴とする
セラミツクグリーンシート吸着固定板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990008394U JPH085782Y2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | セラミックグリーンシート吸着固定板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990008394U JPH085782Y2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | セラミックグリーンシート吸着固定板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04507U true JPH04507U (ja) | 1992-01-06 |
| JPH085782Y2 JPH085782Y2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=31512025
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990008394U Expired - Lifetime JPH085782Y2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | セラミックグリーンシート吸着固定板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085782Y2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013184381A (ja) * | 2012-03-08 | 2013-09-19 | Kyoritsu Elex Co Ltd | セラミックグリーンシート製造システムおよびセラミックグリーンシート製造方法 |
| WO2016021239A1 (ja) * | 2014-08-07 | 2016-02-11 | 日本バイリーン株式会社 | 通気性シート |
| JP2018049961A (ja) * | 2016-09-22 | 2018-03-29 | 日本バイリーン株式会社 | 電子デバイスの製造方法及びこれに用いる通気性シート |
| JP2019518340A (ja) * | 2017-01-17 | 2019-06-27 | トゥエンティファーストティーエイチ センチュリー カンパニー リミテッド２１Ｔｈ Ｃｅｎｔｕｒｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ | Ｍｌｃｃ積層用上部金型 |
| JP2023050875A (ja) * | 2021-09-30 | 2023-04-11 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 成膜装置 |
| JP2024535281A (ja) * | 2022-06-10 | 2024-09-30 | エルジー エナジー ソリューション リミテッド | リフティング装置、及びこれを用いた電極シート搬送装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0194614U (ja) * | 1987-12-15 | 1989-06-22 |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP1990008394U patent/JPH085782Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0194614U (ja) * | 1987-12-15 | 1989-06-22 |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013184381A (ja) * | 2012-03-08 | 2013-09-19 | Kyoritsu Elex Co Ltd | セラミックグリーンシート製造システムおよびセラミックグリーンシート製造方法 |
| WO2016021239A1 (ja) * | 2014-08-07 | 2016-02-11 | 日本バイリーン株式会社 | 通気性シート |
| JPWO2016021239A1 (ja) * | 2014-08-07 | 2017-05-25 | 日本バイリーン株式会社 | 通気性シート |
| TWI657928B (zh) * | 2014-08-07 | 2019-05-01 | Japan Vilene Company, Ltd. | 通氣性片材 |
| US10525664B2 (en) | 2014-08-07 | 2020-01-07 | Japan Vilene Company, Ltd. | Air-permeable sheet |
| JP2018049961A (ja) * | 2016-09-22 | 2018-03-29 | 日本バイリーン株式会社 | 電子デバイスの製造方法及びこれに用いる通気性シート |
| JP2019518340A (ja) * | 2017-01-17 | 2019-06-27 | トゥエンティファーストティーエイチ センチュリー カンパニー リミテッド２１Ｔｈ Ｃｅｎｔｕｒｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ | Ｍｌｃｃ積層用上部金型 |
| JP2023050875A (ja) * | 2021-09-30 | 2023-04-11 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 成膜装置 |
| JP2024535281A (ja) * | 2022-06-10 | 2024-09-30 | エルジー エナジー ソリューション リミテッド | リフティング装置、及びこれを用いた電極シート搬送装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH085782Y2 (ja) | 1996-02-21 |