JPH0451354U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0451354U JPH0451354U JP9221690U JP9221690U JPH0451354U JP H0451354 U JPH0451354 U JP H0451354U JP 9221690 U JP9221690 U JP 9221690U JP 9221690 U JP9221690 U JP 9221690U JP H0451354 U JPH0451354 U JP H0451354U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- utility
- model
- attachment
- crystal wafer
- polished
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 3
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す斜視図、第２
図は上記実施例の作業中の様子を示す側面図、第
３図は水晶ウエハーを示す斜視図、第４図は従来
のベバル加工の治具を示す側面図、第５図は従来
のベバル加工を示す斜視図、第６図は従来のベバ
ル加工によつて得られた水晶ウエハーの斜視図で
ある。 １１……枠体、１２……溝、１３……貼り付け
ブロツク、１４……棒磁石、１５……水晶ウエハ
ー、１５……研磨板。
図は上記実施例の作業中の様子を示す側面図、第
３図は水晶ウエハーを示す斜視図、第４図は従来
のベバル加工の治具を示す側面図、第５図は従来
のベバル加工を示す斜視図、第６図は従来のベバ
ル加工によつて得られた水晶ウエハーの斜視図で
ある。 １１……枠体、１２……溝、１３……貼り付け
ブロツク、１４……棒磁石、１５……水晶ウエハ
ー、１５……研磨板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 枠体に傾動可能に並設した複数の貼り付けブロ
ツクと、 この貼り付けブロツクの前面に保持され研磨板
に摺接して研磨される水晶ウエハーと、 を具備したことを特徴とする水晶片の研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9221690U JPH0451354U (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9221690U JPH0451354U (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0451354U true JPH0451354U (ja) | 1992-04-30 |
Family
ID=31828503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9221690U Pending JPH0451354U (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0451354U (ja) |
-
1990
- 1990-08-31 JP JP9221690U patent/JPH0451354U/ja active Pending