JPH0451500Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0451500Y2 JPH0451500Y2 JP1986131496U JP13149686U JPH0451500Y2 JP H0451500 Y2 JPH0451500 Y2 JP H0451500Y2 JP 1986131496 U JP1986131496 U JP 1986131496U JP 13149686 U JP13149686 U JP 13149686U JP H0451500 Y2 JPH0451500 Y2 JP H0451500Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror holder
- mounting ring
- mirror
- clamper
- attached
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
この考案はガスレーザ発振器の共振ミラーの取
り付け角度位置調整を行う光軸調整装置に関す
る。
り付け角度位置調整を行う光軸調整装置に関す
る。
従来技術
ガスレーザ発振器の円筒状枠体内の両端に設け
られる一対の共振ミラーはその姿勢を高精度に支
持する必要がある。そのうち、調整頻度の高いミ
ラーの光軸調整装置はモータにより調整軸を伸縮
させて傾き角度の調整がおこなわれているが、Ｌ
字形状をなすミラーホルダは両端に設けられた調
整軸及び中央に設けられたピポツト軸の近くに設
けられた圧縮ばねでミラーホルダを取り付けリン
グに押圧し取り付け位置を維持している。
られる一対の共振ミラーはその姿勢を高精度に支
持する必要がある。そのうち、調整頻度の高いミ
ラーの光軸調整装置はモータにより調整軸を伸縮
させて傾き角度の調整がおこなわれているが、Ｌ
字形状をなすミラーホルダは両端に設けられた調
整軸及び中央に設けられたピポツト軸の近くに設
けられた圧縮ばねでミラーホルダを取り付けリン
グに押圧し取り付け位置を維持している。
考案が解決しようとする問題点
ミラーホルダを高精度に維持するためにはばね
圧を大きくする必要があるが、ばね圧を大きくす
れば光軸調整装置のモータのトルク不足が生じる
ので、ばね圧には限界がありあまり大きなばね圧
とすることは出来ない。そのため振動、シヨツク
等でミラーホルダの取り付け位置のずれを生じ共
振中のレーザ光線の反射の一様性が乱れ出力レー
ザ光線のモードが不安定となる。
圧を大きくする必要があるが、ばね圧を大きくす
れば光軸調整装置のモータのトルク不足が生じる
ので、ばね圧には限界がありあまり大きなばね圧
とすることは出来ない。そのため振動、シヨツク
等でミラーホルダの取り付け位置のずれを生じ共
振中のレーザ光線の反射の一様性が乱れ出力レー
ザ光線のモードが不安定となる。
問題点を解決するための手段
レーザ発振器の円筒状容器の側面に固着される
取り付けリング２にその中央部を支点として取り
付け傾斜角度調整可能に設けられたミラーＭを備
えるＬ字状のミラーホルダＨのＬ字両端に前記取
り付けリング２にその先を当接させる調整ねじ２
２を直角方向にそれぞれ螺装し前記ミラーホルダ
Ｈ端を取り付けリング２との距離を変更するため
該調整ねじ２２を回転させるモータ２１をミラー
ホルダＨに設け、前記ねじ２２端を前記取り付け
リング２側にばねを介して引きつける支軸１１Ｂ
を取り付けリング２に植設したものにおいて、常
温において内径が前記支軸の外径より僅かに小さ
く締代を有し巻き込み形式で把持し所定温度で内
径を大きくして把持を解く形状記憶合金製のクラ
ンパ２４を前記ミラーホルダＨ側に固設し、該形
状記憶合金のクランパ２４の把持部２４ｂの温度
を所定温度とするヒータ２５を前記支軸１１Ｂに
同心に取り付けてなり、ミラーＭの光軸調整時に
ヒータ２５によつてクランパ２４の把持部２４ｂ
を加熱してアンクランプとなし調整後は放熱冷却
によつてクランプ状態となすものである。
取り付けリング２にその中央部を支点として取り
付け傾斜角度調整可能に設けられたミラーＭを備
えるＬ字状のミラーホルダＨのＬ字両端に前記取
り付けリング２にその先を当接させる調整ねじ２
２を直角方向にそれぞれ螺装し前記ミラーホルダ
Ｈ端を取り付けリング２との距離を変更するため
該調整ねじ２２を回転させるモータ２１をミラー
ホルダＨに設け、前記ねじ２２端を前記取り付け
リング２側にばねを介して引きつける支軸１１Ｂ
を取り付けリング２に植設したものにおいて、常
温において内径が前記支軸の外径より僅かに小さ
く締代を有し巻き込み形式で把持し所定温度で内
径を大きくして把持を解く形状記憶合金製のクラ
ンパ２４を前記ミラーホルダＨ側に固設し、該形
状記憶合金のクランパ２４の把持部２４ｂの温度
を所定温度とするヒータ２５を前記支軸１１Ｂに
同心に取り付けてなり、ミラーＭの光軸調整時に
ヒータ２５によつてクランパ２４の把持部２４ｂ
を加熱してアンクランプとなし調整後は放熱冷却
によつてクランプ状態となすものである。
実施例
以下本考案の実施例を図面にもとづき説明す
る。ガスレーザ発振器の円筒状容器には両端にフ
ランジが設けられ、レーザ発振関連部品が収納さ
れている。円筒状容器の左側のフランジの側面に
取り付けリング２が取り付けられている。この取
り付けリング２の外側面にミラーＭを備えたＬ字
状のミラーホルダＨが取り付け部材３，４を介し
て取り付けられている。
る。ガスレーザ発振器の円筒状容器には両端にフ
ランジが設けられ、レーザ発振関連部品が収納さ
れている。円筒状容器の左側のフランジの側面に
取り付けリング２が取り付けられている。この取
り付けリング２の外側面にミラーＭを備えたＬ字
状のミラーホルダＨが取り付け部材３，４を介し
て取り付けられている。
第３図のように取り付け部材３はミラーホルダ
ＨのＬ字中心に螺設され先端球面１０ａを取り付
けリング２の凹部２ａに嵌入したスタツドボルト
１０と、僅かに離れた位置で取り付けリング２側
に螺設されミラーホルダＨに設けられた穴部を遊
に貫通する支軸１１Ａと、この支軸１１Ａの先端
ねじに螺装されミラーホルダＨを座金１２Ａ及び
圧縮ばね１３Ａを介して押圧するばね押さえナツ
ト１４Ａとで構成され、凹部２ａとスタツドボル
ト端１０ａでピポツト軸受として作用させてい
る。圧縮ばね１３Ａ又はミラーホルダＨを常時所
定の力で取り付けリング２側に押圧する。ミラー
ホルダＨは凹部２ａを中心としてＸ軸、又はＹ軸
の回りに回転可能とされている。
ＨのＬ字中心に螺設され先端球面１０ａを取り付
けリング２の凹部２ａに嵌入したスタツドボルト
１０と、僅かに離れた位置で取り付けリング２側
に螺設されミラーホルダＨに設けられた穴部を遊
に貫通する支軸１１Ａと、この支軸１１Ａの先端
ねじに螺装されミラーホルダＨを座金１２Ａ及び
圧縮ばね１３Ａを介して押圧するばね押さえナツ
ト１４Ａとで構成され、凹部２ａとスタツドボル
ト端１０ａでピポツト軸受として作用させてい
る。圧縮ばね１３Ａ又はミラーホルダＨを常時所
定の力で取り付けリング２側に押圧する。ミラー
ホルダＨは凹部２ａを中心としてＸ軸、又はＹ軸
の回りに回転可能とされている。
第１図のように取り付け部材４はミラーホルダ
ＨのＬ字両端に取り付けられ、取り付け部材３と
同様に凹部２ａ、支軸１１Ｂ、座金１２Ｂ、ばね
１３Ｂ、ナツト１４Ｂを有している。支軸１１Ｂ
と平行な穴１８ａ及び同軸にめねじ１８ｂを有す
る角ブロツク状のブラケツト１８がミラーホルダ
Ｈの両端に穿設された穴１７と穴１８ａを同軸と
してめねじ１８ｂを取り付けリング２側としてボ
ルト１９によつてミラーホルダＨに固着され、こ
のブラケツトの穴１８ａに円筒状のモータケース
２０が嵌着されている。モータケース２０は中心
部を大径とする穴が設けられ、先端は遊び穴２０
ｂ中央部にモータ２１の入る大径穴２０ａ後端に
電線用の小穴２０ｃが設けられている。更に外周
の一部に半径方向に貫通し軸心方向に長い長穴２
０ｄが軸心に対し対称に２ケ所設けられている。
ＨのＬ字両端に取り付けられ、取り付け部材３と
同様に凹部２ａ、支軸１１Ｂ、座金１２Ｂ、ばね
１３Ｂ、ナツト１４Ｂを有している。支軸１１Ｂ
と平行な穴１８ａ及び同軸にめねじ１８ｂを有す
る角ブロツク状のブラケツト１８がミラーホルダ
Ｈの両端に穿設された穴１７と穴１８ａを同軸と
してめねじ１８ｂを取り付けリング２側としてボ
ルト１９によつてミラーホルダＨに固着され、こ
のブラケツトの穴１８ａに円筒状のモータケース
２０が嵌着されている。モータケース２０は中心
部を大径とする穴が設けられ、先端は遊び穴２０
ｂ中央部にモータ２１の入る大径穴２０ａ後端に
電線用の小穴２０ｃが設けられている。更に外周
の一部に半径方向に貫通し軸心方向に長い長穴２
０ｄが軸心に対し対称に２ケ所設けられている。
モータケース２０の大径穴２０ａに内装される
モータ２１は減速機を備え、その出力軸に調整ね
じ２２が刻設され調整ねじ２２の先端に球面２２
ａが形成されている。更にモータ２１の枠の出力
軸側に鍔２１ａが設けられ、鍔２１ａは軸心に対
して対称に側方に突起する２つの角形の山２１ｂ
が削設され、この角形の山２１ｂはモータケース
２０の長穴２０ｄと係合されている。モータ２１
の調整ねじ２２とブラケツト１８のめねじ１８ｂ
が螺合され、モータ２１の回転により調整ねじ２
２が回転して軸方向が移動しモータ自体がモータ
ケースの大径穴２０ａ内を軸方向にのみ移動さ
れ、調整ねじ２２の先端の球面２２ａは取り付け
リング２の凹部２ａにばね１３Ｂによつて圧接さ
れている。
モータ２１は減速機を備え、その出力軸に調整ね
じ２２が刻設され調整ねじ２２の先端に球面２２
ａが形成されている。更にモータ２１の枠の出力
軸側に鍔２１ａが設けられ、鍔２１ａは軸心に対
して対称に側方に突起する２つの角形の山２１ｂ
が削設され、この角形の山２１ｂはモータケース
２０の長穴２０ｄと係合されている。モータ２１
の調整ねじ２２とブラケツト１８のめねじ１８ｂ
が螺合され、モータ２１の回転により調整ねじ２
２が回転して軸方向が移動しモータ自体がモータ
ケースの大径穴２０ａ内を軸方向にのみ移動さ
れ、調整ねじ２２の先端の球面２２ａは取り付け
リング２の凹部２ａにばね１３Ｂによつて圧接さ
れている。
ブラケツト１８の支軸１１Ｂ側の側面に形状記
憶合金を材料とするクランパ２４が設けられてい
る。第８図のようにクランパ２４はＬ字状の取り
付け座２４ａを有し、先端は円筒状に巻き込まれ
た把持部２４ｂを有し把持部２４ｂは支軸１１Ｂ
に挿通している。把持部２４ｂの内径は常温で支
軸１１Ｂの外径よりも僅かに小さくなるようにさ
れていて締代付とされ、加温時に径が大きくなる
ようになされている。更に支軸１１Ｂの元部に円
筒ヒータ２５が嵌装され図示しない電源と接続さ
れている。
憶合金を材料とするクランパ２４が設けられてい
る。第８図のようにクランパ２４はＬ字状の取り
付け座２４ａを有し、先端は円筒状に巻き込まれ
た把持部２４ｂを有し把持部２４ｂは支軸１１Ｂ
に挿通している。把持部２４ｂの内径は常温で支
軸１１Ｂの外径よりも僅かに小さくなるようにさ
れていて締代付とされ、加温時に径が大きくなる
ようになされている。更に支軸１１Ｂの元部に円
筒ヒータ２５が嵌装され図示しない電源と接続さ
れている。
作 用
今、円筒状容器内に設けられた電極空間でのグ
ロー放電が行われて、一対の共振ミラーの反射に
よつて共振されるレーザ光線の一部が出力ミラー
を通過して出力レーザ光線として取り出されレー
ザ加工機に導かれてレーザ加工が行われる。出力
レーザ光線の出力が低下し共振ミラーの光軸調整
が必要となつてミラーＭの取り付け角度調整が行
われる。まずミラーＭを備えるミラーホルダＨの
両端の取り付け部材４の円筒ヒータ２５に通電さ
れ支軸１１Ｂが加熱される。ブラケツト１８に固
着され支軸１１Ｂの外周を把持していたクランパ
２４の把持部２４ｂが変態点以上に加熱されて変
形され、第４図ロのように内径が大きくなつてク
ランプが解除される。続いて両端のモータ２１に
同時又は別々に通電され回転されると調整ねじ２
２が回転され、調整ねじ２２の回転によつてブラ
ケツト１８のめねじ１８ｂより突出されるねじ部
の長さが変化する。このため圧縮ばね１３Ｂの押
圧力で隙間なくミラーホルダＨの両端部が同時又
は別々に移動される。一方ミラーホルダＨの中央
部に設けられた取り付け部材３はスタツドボルト
１０の先端球面１０ａが圧縮ばね１３Ａによつて
取り付けリング２の凹部２ａに圧接されるピポツ
ト軸受けとされているので、ミラーホルダＨは両
端の取り付け部材４の動きでばね１３Ａ，１３Ｂ
の押圧力に打ち勝つてピポツト軸受を支点として
Ｙ軸方向及びＸ軸方向に旋回されてミラーＭの傾
斜角度の調整が行われる。光軸調整が終るとモー
タ２１が停止されるとともに円筒ヒータ２５の通
電が止められ支軸１１Ｂが放熱冷却により常温に
戻されるとクランパ２４の把持部２４ｂは変態点
以下となつてクランパ把持部２４ｂは元の締代付
内径となり第４図イの状態となつて支軸１１Ｂを
把持しミラーホルダＨのクランプが行われる。ミ
ラーホルダＨは圧縮ばね１３Ａ，１３Ｂの押圧力
に加えクランパ２４によつて高精度に取り付け位
置が維持される。このようにして光軸調整が行わ
れてレーザ出力が回復しレーザ光線は立体的な反
射の一様性が確保される。
ロー放電が行われて、一対の共振ミラーの反射に
よつて共振されるレーザ光線の一部が出力ミラー
を通過して出力レーザ光線として取り出されレー
ザ加工機に導かれてレーザ加工が行われる。出力
レーザ光線の出力が低下し共振ミラーの光軸調整
が必要となつてミラーＭの取り付け角度調整が行
われる。まずミラーＭを備えるミラーホルダＨの
両端の取り付け部材４の円筒ヒータ２５に通電さ
れ支軸１１Ｂが加熱される。ブラケツト１８に固
着され支軸１１Ｂの外周を把持していたクランパ
２４の把持部２４ｂが変態点以上に加熱されて変
形され、第４図ロのように内径が大きくなつてク
ランプが解除される。続いて両端のモータ２１に
同時又は別々に通電され回転されると調整ねじ２
２が回転され、調整ねじ２２の回転によつてブラ
ケツト１８のめねじ１８ｂより突出されるねじ部
の長さが変化する。このため圧縮ばね１３Ｂの押
圧力で隙間なくミラーホルダＨの両端部が同時又
は別々に移動される。一方ミラーホルダＨの中央
部に設けられた取り付け部材３はスタツドボルト
１０の先端球面１０ａが圧縮ばね１３Ａによつて
取り付けリング２の凹部２ａに圧接されるピポツ
ト軸受けとされているので、ミラーホルダＨは両
端の取り付け部材４の動きでばね１３Ａ，１３Ｂ
の押圧力に打ち勝つてピポツト軸受を支点として
Ｙ軸方向及びＸ軸方向に旋回されてミラーＭの傾
斜角度の調整が行われる。光軸調整が終るとモー
タ２１が停止されるとともに円筒ヒータ２５の通
電が止められ支軸１１Ｂが放熱冷却により常温に
戻されるとクランパ２４の把持部２４ｂは変態点
以下となつてクランパ把持部２４ｂは元の締代付
内径となり第４図イの状態となつて支軸１１Ｂを
把持しミラーホルダＨのクランプが行われる。ミ
ラーホルダＨは圧縮ばね１３Ａ，１３Ｂの押圧力
に加えクランパ２４によつて高精度に取り付け位
置が維持される。このようにして光軸調整が行わ
れてレーザ出力が回復しレーザ光線は立体的な反
射の一様性が確保される。
効 果
以上詳述したように本考案はミラーホルダにブ
ラケツトを介して固定される形状記憶合金製のク
ランパが取り付けリングに固着される支軸を常温
において内径が支軸の外径より僅かに小さく締代
を有し巻き込み形式で把持するようにし、支軸を
ヒータで加温するように設け、光軸調整時にはヒ
ータでクランパの把持部が変態点以上に加熱され
て支軸をクランプしていた内径が大きくなりアン
クランプとされ、調整後には放熱冷却により変態
点以下となつて元のクランプ状態に確実に戻るよ
うになしたので、ミラーホルダを支軸軸心に対し
て変位させる力が作用せずミラーホルダのクラン
プ・アンクランプが度々行われてもミラー軸心を
偏位させる恐れがない。また付加機構が簡単で故
障がなく振動や外部シヨツクによつて光軸調整後
の狂いがなくなり、共振中のレーザ光線は反射の
一様性が保障され、出力レーザ光線の出力やモー
ドが安定する効果を有する。
ラケツトを介して固定される形状記憶合金製のク
ランパが取り付けリングに固着される支軸を常温
において内径が支軸の外径より僅かに小さく締代
を有し巻き込み形式で把持するようにし、支軸を
ヒータで加温するように設け、光軸調整時にはヒ
ータでクランパの把持部が変態点以上に加熱され
て支軸をクランプしていた内径が大きくなりアン
クランプとされ、調整後には放熱冷却により変態
点以下となつて元のクランプ状態に確実に戻るよ
うになしたので、ミラーホルダを支軸軸心に対し
て変位させる力が作用せずミラーホルダのクラン
プ・アンクランプが度々行われてもミラー軸心を
偏位させる恐れがない。また付加機構が簡単で故
障がなく振動や外部シヨツクによつて光軸調整後
の狂いがなくなり、共振中のレーザ光線は反射の
一様性が保障され、出力レーザ光線の出力やモー
ドが安定する効果を有する。
第１図は本考案の縦断面図、第２図はミラーホ
ルダＨの正面図、第３図はミラーホルダの取り付
け部材を示す説明図、第４図イ，ロは第１図のＡ
−Ａ線断面図で示すクランパの動作説明図であ
る。 ２……取り付けリング、１１Ａ，１１Ｂ……支
軸、１３Ａ，１３Ｂ……圧縮ばね、１８……ブラ
ケツト、２１……モータ、２２……調整ねじ、２
４……クランパ（形状記憶合金）、２５……円筒
ヒータ、Ｈ……ミラーホルダ、Ｍ……ミラー。
ルダＨの正面図、第３図はミラーホルダの取り付
け部材を示す説明図、第４図イ，ロは第１図のＡ
−Ａ線断面図で示すクランパの動作説明図であ
る。 ２……取り付けリング、１１Ａ，１１Ｂ……支
軸、１３Ａ，１３Ｂ……圧縮ばね、１８……ブラ
ケツト、２１……モータ、２２……調整ねじ、２
４……クランパ（形状記憶合金）、２５……円筒
ヒータ、Ｈ……ミラーホルダ、Ｍ……ミラー。
Claims (1)
- レーザ発振器の円筒状容器の側面に固着される
取り付けリングにその中央部を支点として取り付
け傾斜角度調整可能に設けられたミラーを備える
Ｌ字状のミラーホルダのＬ字両端に前記取り付け
リングにその先を当接させる調整ねじを直角方向
にそれぞれ螺装し、前記ミラーホルダ端を取り付
けリングとの距離を変更するため該調整ねじを回
転させるモータをミラーホルダに設け、前記ねじ
端を前記取り付けリング側にばねを介して引きつ
ける支軸を取り付けリングに植設したものにおい
て、常温において内径が前記支軸の外径より僅か
に小さく締代を有し巻き込み形式で把持し所定温
度で内径を大きくして把持を解く形状記憶合金製
のクランパを前記ミラーホルダ側に固設し、該形
状記憶合金のクランパの把持部の温度を所定温度
とするヒータを前記支軸に同心に取り付けてな
り、ミラーの光軸調整時にヒータによつてクラン
パの把持部を加熱してアンクランプとなし調整後
は放熱冷却によつてクランプ状態となすことを特
徴とするレーザ発振器の光軸調整部のクランプ機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986131496U JPH0451500Y2 (ja) | 1986-08-28 | 1986-08-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986131496U JPH0451500Y2 (ja) | 1986-08-28 | 1986-08-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6338353U JPS6338353U (ja) | 1988-03-11 |
| JPH0451500Y2 true JPH0451500Y2 (ja) | 1992-12-03 |
Family
ID=31029996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986131496U Expired JPH0451500Y2 (ja) | 1986-08-28 | 1986-08-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0451500Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0747889Y2 (ja) * | 1988-12-27 | 1995-11-01 | オ−クマ株式会社 | レーザ発振器のミラー固定装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5626153A (en) * | 1979-08-10 | 1981-03-13 | Nippon Kayaku Co Ltd | Japaness and western-style cake with improved quality |
-
1986
- 1986-08-28 JP JP1986131496U patent/JPH0451500Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6338353U (ja) | 1988-03-11 |
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