JPH0452355U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0452355U JPH0452355U JP9532590U JP9532590U JPH0452355U JP H0452355 U JPH0452355 U JP H0452355U JP 9532590 U JP9532590 U JP 9532590U JP 9532590 U JP9532590 U JP 9532590U JP H0452355 U JPH0452355 U JP H0452355U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- plasma generation
- lead plate
- oven
- plasma
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は、この考案のイオン源の一実施例を示
す概略部分断面図である。第２図は、従来例の概
略部分断面図である。 １……スリツト、２……プラズマ生成容器、３
……フイラメント、５……リード板、８……フラ
ンジ、１３……コイルばね、１５……オーブン。
す概略部分断面図である。第２図は、従来例の概
略部分断面図である。 １……スリツト、２……プラズマ生成容器、３
……フイラメント、５……リード板、８……フラ
ンジ、１３……コイルばね、１５……オーブン。
Claims (1)
- フランジに取り付けたオーブンと、このオーブ
ンからイオンガスを導入し、プラズマを生成する
プラズマ生成容器の内部にスリツトの長手方向に
沿つて配設したフイラメントと、前記プラズマ生
成容器の外側で前記フイラメントを接続固定した
リード板とからなるイオン源において、前記リー
ド板と前記プラズマ生成容器との間に前記フイラ
メントの膨張収縮に追随するコイルばねを配置し
たことを特徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9532590U JPH0452355U (ja) | 1990-09-10 | 1990-09-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9532590U JPH0452355U (ja) | 1990-09-10 | 1990-09-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0452355U true JPH0452355U (ja) | 1992-05-01 |
Family
ID=31833970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9532590U Pending JPH0452355U (ja) | 1990-09-10 | 1990-09-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0452355U (ja) |
-
1990
- 1990-09-10 JP JP9532590U patent/JPH0452355U/ja active Pending