JPH0453058U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0453058U JPH0453058U JP9354990U JP9354990U JPH0453058U JP H0453058 U JPH0453058 U JP H0453058U JP 9354990 U JP9354990 U JP 9354990U JP 9354990 U JP9354990 U JP 9354990U JP H0453058 U JPH0453058 U JP H0453058U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- chamber
- differential
- connecting portion
- pumping device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案に係る差動排気装置の一実施例
の概略構成を示す構成図、第２図、第３図は乾燥
気体の流量に伴う酸素イオン電流値と真空槽内の
到達真空度の変化を示す図、第４図は差動排気装
置の他の実施例の概略構成を示す構成図である。 １１，１２，２１，２２……差動排気室、１１
ａ，１２ａ，２１ａ，２２ａ，２４ａ……真空計
、１１ｂ……出入り口、１３，２０……真空槽、
１３ｂ……質量分析器、１４，１５，２３，２４
……連結部、１４ｂ，２４ｂ……乾燥ガス供給器
、１４ｃ，２４ｃ……流量計、２５……長尺基体
、２６……送り出し装置、２７……巻取装置。
の概略構成を示す構成図、第２図、第３図は乾燥
気体の流量に伴う酸素イオン電流値と真空槽内の
到達真空度の変化を示す図、第４図は差動排気装
置の他の実施例の概略構成を示す構成図である。 １１，１２，２１，２２……差動排気室、１１
ａ，１２ａ，２１ａ，２２ａ，２４ａ……真空計
、１１ｂ……出入り口、１３，２０……真空槽、
１３ｂ……質量分析器、１４，１５，２３，２４
……連結部、１４ｂ，２４ｂ……乾燥ガス供給器
、１４ｃ，２４ｃ……流量計、２５……長尺基体
、２６……送り出し装置、２７……巻取装置。
Claims (1)
- 差動排気室と真空槽とを連結部で連結して該差
動排気室内と真空槽内を連通させ、該真空槽内へ
の大気の漏入を抑えると共に、前記差動排気室、
連結部及び真空槽を移動貫通する長尺基体に前記
真空槽内で成膜及び表面処理を行うようにした差
動排気装置において、前記差動排気室と真空槽と
に設けた前記長尺基体の導入口、導出口及び連結
部のうち、少なくともいずれかに乾燥気体を注入
する気体注入手段を具えたことを特徴とする差動
排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9354990U JPH0453058U (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9354990U JPH0453058U (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0453058U true JPH0453058U (ja) | 1992-05-06 |
Family
ID=31830855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9354990U Pending JPH0453058U (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0453058U (ja) |
-
1990
- 1990-09-07 JP JP9354990U patent/JPH0453058U/ja active Pending