JPH0453558Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0453558Y2 JPH0453558Y2 JP16593787U JP16593787U JPH0453558Y2 JP H0453558 Y2 JPH0453558 Y2 JP H0453558Y2 JP 16593787 U JP16593787 U JP 16593787U JP 16593787 U JP16593787 U JP 16593787U JP H0453558 Y2 JPH0453558 Y2 JP H0453558Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- leak
- vacuum
- pump
- vacuum chamber
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は、IC、水晶振動子、水温計等の気密
性を必要とする物品の漏れを調べる急速漏れ探し
装置に関する。
性を必要とする物品の漏れを調べる急速漏れ探し
装置に関する。
（従来の技術）
従来、急速漏れ探し装置として、例えば第１図
示のように、ヘリウムガスが封入或は圧入された
リークテスト品を収める真空チヤンバーａと、該
真空チヤンバーａ内を真空排気する油回転ポンプ
からなる真空ポンプｂと、該真空ポンプｂにより
真空排気された真空チヤンバーａ内ヘリークテス
ト品から放出されるヘリウムガスを検出するヘリ
ウムリークデイテクターｃとで構成したものが知
られている。
示のように、ヘリウムガスが封入或は圧入された
リークテスト品を収める真空チヤンバーａと、該
真空チヤンバーａ内を真空排気する油回転ポンプ
からなる真空ポンプｂと、該真空ポンプｂにより
真空排気された真空チヤンバーａ内ヘリークテス
ト品から放出されるヘリウムガスを検出するヘリ
ウムリークデイテクターｃとで構成したものが知
られている。
該ヘリウムリークデイテクターｃは該真空チヤ
ンバーａへ粗引きバルブｄを介して接続した油回
転ポンプからなる真空ポンプｅと、同じく該真空
チヤンバーａへスロツトルバルブｆ、液体窒素ト
ラツプｇ及び油拡散ポンプｈを介して接続した油
回転ポンプからなる真空ポンプｉと、該液体窒素
トラツプｇに接続した質量分析管ｊとを設けて構
成される。ｋ，ｋはペニング真空計、ｌ，ｌはベ
ントバルブ、ｍは標準ヘリウムリークバルブ、ｎ
は本引バルブ、Ｏは粗引きバルブを示す。
ンバーａへ粗引きバルブｄを介して接続した油回
転ポンプからなる真空ポンプｅと、同じく該真空
チヤンバーａへスロツトルバルブｆ、液体窒素ト
ラツプｇ及び油拡散ポンプｈを介して接続した油
回転ポンプからなる真空ポンプｉと、該液体窒素
トラツプｇに接続した質量分析管ｊとを設けて構
成される。ｋ，ｋはペニング真空計、ｌ，ｌはベ
ントバルブ、ｍは標準ヘリウムリークバルブ、ｎ
は本引バルブ、Ｏは粗引きバルブを示す。
第１図示の装置は、まずリークテスト品を収め
た真空チヤンバーａ内を粗引きバルブＯを開いて
真空ポンプｂで排気する。その排気圧力をペニン
グ真空計ｋで検出し、真空チヤンバーａ内が十分
排気されると粗引きバルブＯを閉じ、本引きバル
ブｎを開ける。これにより真空チヤンバーａ内の
ガスは、その一部がスロツトバルブｆ及び液体窒
素トラツプｇを介して油拡散ポンプｈによつて排
気され、残りのガスは分析管ｊ内でのヘリウムガ
スの検出に供される。
た真空チヤンバーａ内を粗引きバルブＯを開いて
真空ポンプｂで排気する。その排気圧力をペニン
グ真空計ｋで検出し、真空チヤンバーａ内が十分
排気されると粗引きバルブＯを閉じ、本引きバル
ブｎを開ける。これにより真空チヤンバーａ内の
ガスは、その一部がスロツトバルブｆ及び液体窒
素トラツプｇを介して油拡散ポンプｈによつて排
気され、残りのガスは分析管ｊ内でのヘリウムガ
スの検出に供される。
リークテスト品の気密性の良否は、分析管ｊに
於けるヘリウムガスの検出量により判定され、そ
の判定は真空中テスト品を置いて行なうので短時
間に行なえる。
於けるヘリウムガスの検出量により判定され、そ
の判定は真空中テスト品を置いて行なうので短時
間に行なえる。
（考案が解決しようとする問題点）
前記した従来の急速漏れ探し装置は、検出する
ヘリウムリーク量が数Torr・ｌ／secから10-8〜
10-11Torr・ｌ／secの広範囲になつてはいるが、
この範囲以上のリーク量があるときは、粗引排気
中にテスト品に封入或は圧入されたヘリウムガス
が抜け出し、リークテストの時点では残留量が少
なくなつている場合があり、この場合には大リー
ク量があるにもかかわらず、微小リークと判定さ
れたり或は殆どリーク無しと判定され、不良品が
良品と誤判定されることがあつた。
ヘリウムリーク量が数Torr・ｌ／secから10-8〜
10-11Torr・ｌ／secの広範囲になつてはいるが、
この範囲以上のリーク量があるときは、粗引排気
中にテスト品に封入或は圧入されたヘリウムガス
が抜け出し、リークテストの時点では残留量が少
なくなつている場合があり、この場合には大リー
ク量があるにもかかわらず、微小リークと判定さ
れたり或は殆どリーク無しと判定され、不良品が
良品と誤判定されることがあつた。
本考案は粗引排気中のヘリウムガスを検出して
上記のような誤判定のない急速漏れ探し装置を提
供することを目的とするものである。
上記のような誤判定のない急速漏れ探し装置を提
供することを目的とするものである。
（問題点を解決するための手段）
本考案では、リークテスト品を収めた真空チヤ
ンバーに、その内部を粗引排気する真空ポンプ
と、該真空ポンプによる粗引排気後にリークテス
ト品から放出されるガスを検出するリークデイテ
クターとを接続するようにしたものに於いて、該
真空チヤンバーにその内部を粗引き排気する油回
転ポンプを更に設け、該油回転ポンプの排気口に
該リークデイテクタへ接続されたスニツフアーガ
ンと差動排気用の真空ポンプとを取付けすること
により前記問題点を解決するようにした。
ンバーに、その内部を粗引排気する真空ポンプ
と、該真空ポンプによる粗引排気後にリークテス
ト品から放出されるガスを検出するリークデイテ
クターとを接続するようにしたものに於いて、該
真空チヤンバーにその内部を粗引き排気する油回
転ポンプを更に設け、該油回転ポンプの排気口に
該リークデイテクタへ接続されたスニツフアーガ
ンと差動排気用の真空ポンプとを取付けすること
により前記問題点を解決するようにした。
（作用）
真空チヤンバー内にリークテスト品を収め、そ
の内部をまず油回転ポンプと差動排気用の真空ポ
ンプとにより粗引き排気し、次いでもう１台の真
空ポンプに切換接続して十分粗引き排気する。そ
してこのあと該真空チヤンバー内をリークデイテ
クターに接続し、リークテスト品からのヘリウム
ガス等のガス漏れを検出する。この場合、リーク
テスト品からのガス漏れが大きいと粗引き排気中
にガスの殆どが排気されてリークテスト時にはガ
ス漏れが検出されなくなるが、大きなガス漏れは
該油回転ポンプの排気口に設けたスニツフアーガ
ンを介して粗引き排気中にリークデイテクターに
於いて検出することが出来るのでリークテスト品
の良、不良の判断の誤認がない。
の内部をまず油回転ポンプと差動排気用の真空ポ
ンプとにより粗引き排気し、次いでもう１台の真
空ポンプに切換接続して十分粗引き排気する。そ
してこのあと該真空チヤンバー内をリークデイテ
クターに接続し、リークテスト品からのヘリウム
ガス等のガス漏れを検出する。この場合、リーク
テスト品からのガス漏れが大きいと粗引き排気中
にガスの殆どが排気されてリークテスト時にはガ
ス漏れが検出されなくなるが、大きなガス漏れは
該油回転ポンプの排気口に設けたスニツフアーガ
ンを介して粗引き排気中にリークデイテクターに
於いて検出することが出来るのでリークテスト品
の良、不良の判断の誤認がない。
（実施例）
本考案の実施例を図面第２図に基づき説明する
と、同図に於いて符号１はヘリウムガスを封入し
てモールデイングされたIC等のリークテスト品
を収容する真空チヤンバーを示し、該真空チヤン
バー１は昇降用エアシリンダー２で上下されるカ
バー１ａと固定のベース１ｂとで構成され、該カ
バー１ａの押し付け面にはＯリングを施して気密
にベース１ｂと圧接するようにした。３は該真空
チヤンバー１に粗引きバルブ４を介して接続した
油回転ポンプからなる真空ポンプ、５は該真空チ
ヤンバー１に本引きバルブ６を介して接続したヘ
リウムリークデイテクター、７はピラニ真空計で
ある。該リークデイテクター５の構成は第１図示
のものと同様であり、リークテスト品から漏れる
ガスを検出するための質量分析管を備える。
と、同図に於いて符号１はヘリウムガスを封入し
てモールデイングされたIC等のリークテスト品
を収容する真空チヤンバーを示し、該真空チヤン
バー１は昇降用エアシリンダー２で上下されるカ
バー１ａと固定のベース１ｂとで構成され、該カ
バー１ａの押し付け面にはＯリングを施して気密
にベース１ｂと圧接するようにした。３は該真空
チヤンバー１に粗引きバルブ４を介して接続した
油回転ポンプからなる真空ポンプ、５は該真空チ
ヤンバー１に本引きバルブ６を介して接続したヘ
リウムリークデイテクター、７はピラニ真空計で
ある。該リークデイテクター５の構成は第１図示
のものと同様であり、リークテスト品から漏れる
ガスを検出するための質量分析管を備える。
以上の構成は従来の第１図示の急速漏れ探し装
置と同様であるが、本考案のものでは該真空チヤ
ンバー１に更に粗引きバルブ８を介して油回転ポ
ンプ９を設け、該油回転ポンプ９の排気口にヘリ
ウムリークデイテクター５に接続されたニードル
型等のスニツフアーガン１０と差動排気用の油回
転ポンプ等の真空ポンプ１１とを取付けするよう
にしてリークテスト品から粗引き排気時に漏れる
ガスを検出するようにした。１２はスニツフアー
ガン１０とヘリウムリークデイテクター５とを結
ぶ回路１３に設けたバリアブルリークバルブ、１
４及び１５は該回路１３に設けたピラニ真空計及
びテストバルブである。また１６，１７はベント
バルブである。尚、該ヘリウムリークデイテクタ
ー５は、フイラメントからの熱電子によりHeガ
スをイオン化してこのイオン電流を検出すること
により漏れを調べる検出構成を備え、この検出部
分は10-4〜10-5Torrで動作させないとフイラメ
ントが焼損する。真空チヤンバー１や油回転ポン
プ９の排気側は大気圧乃至10-2Torrの圧力であ
るので、これらに直接リークデイテクター５を接
続することはできない。そのため回路１３に設け
たバリアブルリークバルブ１２の前段を差動排気
用の真空ポンプ１１でこの部分の圧力を下げて該
リークデイテクター５に接続するようにした。該
リークデイテクター５の内部の真空圧を維持する
だけならば、該バリアブルリークバルブ１２を絞
つておけばよいが、これでは該バルブ１２を通過
するガス量が少なくなり、真空チヤンバー１内の
Heガスが該リークデイテクター５に到達するま
でに時間が掛かりすぎて好ましくなく、上記のよ
うに真空ポンプ１１で差動排気すると短時間にガ
スが到達する。ここでいう差動排気とは、真空シ
ステムの各部を異なる圧力に維持するために複数
の排気ラインを使つて真空排気することを言い、
真空ポンプ１１は回路１３の圧力を油回転ポンプ
９で排気される真空チヤンバー１の圧力よりも低
く維持するための差動排気用である。
置と同様であるが、本考案のものでは該真空チヤ
ンバー１に更に粗引きバルブ８を介して油回転ポ
ンプ９を設け、該油回転ポンプ９の排気口にヘリ
ウムリークデイテクター５に接続されたニードル
型等のスニツフアーガン１０と差動排気用の油回
転ポンプ等の真空ポンプ１１とを取付けするよう
にしてリークテスト品から粗引き排気時に漏れる
ガスを検出するようにした。１２はスニツフアー
ガン１０とヘリウムリークデイテクター５とを結
ぶ回路１３に設けたバリアブルリークバルブ、１
４及び１５は該回路１３に設けたピラニ真空計及
びテストバルブである。また１６，１７はベント
バルブである。尚、該ヘリウムリークデイテクタ
ー５は、フイラメントからの熱電子によりHeガ
スをイオン化してこのイオン電流を検出すること
により漏れを調べる検出構成を備え、この検出部
分は10-4〜10-5Torrで動作させないとフイラメ
ントが焼損する。真空チヤンバー１や油回転ポン
プ９の排気側は大気圧乃至10-2Torrの圧力であ
るので、これらに直接リークデイテクター５を接
続することはできない。そのため回路１３に設け
たバリアブルリークバルブ１２の前段を差動排気
用の真空ポンプ１１でこの部分の圧力を下げて該
リークデイテクター５に接続するようにした。該
リークデイテクター５の内部の真空圧を維持する
だけならば、該バリアブルリークバルブ１２を絞
つておけばよいが、これでは該バルブ１２を通過
するガス量が少なくなり、真空チヤンバー１内の
Heガスが該リークデイテクター５に到達するま
でに時間が掛かりすぎて好ましくなく、上記のよ
うに真空ポンプ１１で差動排気すると短時間にガ
スが到達する。ここでいう差動排気とは、真空シ
ステムの各部を異なる圧力に維持するために複数
の排気ラインを使つて真空排気することを言い、
真空ポンプ１１は回路１３の圧力を油回転ポンプ
９で排気される真空チヤンバー１の圧力よりも低
く維持するための差動排気用である。
その作動を説明すると、リークテスト品を真空
チヤンバー１内に収め、油回転ポンプ９及び真空
ポンプ１１を作動させ粗引きバルブ８を開く。該
リークテスト品から大きなヘリウムガスのガス漏
れが発生している場合、油回転ポンプ９の排気口
からヘリウムが噴出し、その一部が更に差動排気
用の真空ポンプ１１の作用でスニツフアーガン１
０からバリアブルリークバルブ１２、テストバル
ブ１５を介してヘリウムリークデイテクター５へ
と流れ、そこでヘリウムガスの漏れが検出され
る。この間ピラニー真空計１４でスニツフアーガ
ン１０の吸込圧力を監視し、スニツフアーガン１
０に常に一定流量が吸込まれていることを確認す
る。
チヤンバー１内に収め、油回転ポンプ９及び真空
ポンプ１１を作動させ粗引きバルブ８を開く。該
リークテスト品から大きなヘリウムガスのガス漏
れが発生している場合、油回転ポンプ９の排気口
からヘリウムが噴出し、その一部が更に差動排気
用の真空ポンプ１１の作用でスニツフアーガン１
０からバリアブルリークバルブ１２、テストバル
ブ１５を介してヘリウムリークデイテクター５へ
と流れ、そこでヘリウムガスの漏れが検出され
る。この間ピラニー真空計１４でスニツフアーガ
ン１０の吸込圧力を監視し、スニツフアーガン１
０に常に一定流量が吸込まれていることを確認す
る。
以上の工程でテスト品から大きなガス漏れが発
見されない場合は粗引きバルブ８を閉じ、粗引き
バルブ４を開き、真空ポンプ３によつて排気し、
ピラニ真空計７の圧力が予定圧力に達すると、該
粗引きバルブ４を閉じて本引きバルブ６を開け、
ヘリウムリークデイテクター５で従来のものと同
様にテスト品からの微小リークを検出する。
見されない場合は粗引きバルブ８を閉じ、粗引き
バルブ４を開き、真空ポンプ３によつて排気し、
ピラニ真空計７の圧力が予定圧力に達すると、該
粗引きバルブ４を閉じて本引きバルブ６を開け、
ヘリウムリークデイテクター５で従来のものと同
様にテスト品からの微小リークを検出する。
テストが終了すると本引きバルブ６を閉じ、ベ
ントバルブ１６を開けて真空チヤンバー１内に大
気を導入し、シリンダー２でカバー１ａを上昇さ
せ、リークテスト品を取り出す。尚、Arガス或
はH2ガスがリークテスト品に封入されていると
きはArガス或はH2ガスのリークデイテクターが
用いられる。
ントバルブ１６を開けて真空チヤンバー１内に大
気を導入し、シリンダー２でカバー１ａを上昇さ
せ、リークテスト品を取り出す。尚、Arガス或
はH2ガスがリークテスト品に封入されていると
きはArガス或はH2ガスのリークデイテクターが
用いられる。
（考案の効果）
以上のように、本考案によるときは、急速漏れ
探し装置の真空チヤンバーに従来の粗引き排気用
の真空ポンプの他に油回転ポンプを設け、該油回
転ポンプの排気口にリークデイテクターに接続し
たスニツフアーガンと差動排気用の真空ポンプと
を設けるようにしたので、リークテスト品に大き
なガス漏れがある場合を確実に検出し不良品を良
品と誤認する従来の不都合を解消出来る等の効果
がある。
探し装置の真空チヤンバーに従来の粗引き排気用
の真空ポンプの他に油回転ポンプを設け、該油回
転ポンプの排気口にリークデイテクターに接続し
たスニツフアーガンと差動排気用の真空ポンプと
を設けるようにしたので、リークテスト品に大き
なガス漏れがある場合を確実に検出し不良品を良
品と誤認する従来の不都合を解消出来る等の効果
がある。
第１図は従来例の説明図、第２図は本考案の実
施例の説明図である。 １……真空チヤンバー、４……真空ポンプ、５
……ヘリウムリークデイテクター、９……油回転
ポンプ、１０……スニツフアーガン、１１……真
空ポンプ。
施例の説明図である。 １……真空チヤンバー、４……真空ポンプ、５
……ヘリウムリークデイテクター、９……油回転
ポンプ、１０……スニツフアーガン、１１……真
空ポンプ。
Claims (1)
- リークテスト品を収めた真空チヤンバーに、そ
の内部を粗引排気する真空ポンプと、該真空ポン
プによる粗引排気後にリークテスト品から放出さ
れるガスを検出するリークデイテクターとを接続
するようにしたものに於いて、該真空チヤンバー
にその内部を粗引き排気する油回転ポンプを更に
設け、該油回転ポンプの排気口に該リークデイテ
クタへ接続されたスニツフアーガンと差動排気用
の真空ポンプとを取付けしたことを特徴とする急
速漏れ探し装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16593787U JPH0453558Y2 (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16593787U JPH0453558Y2 (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0170143U JPH0170143U (ja) | 1989-05-10 |
| JPH0453558Y2 true JPH0453558Y2 (ja) | 1992-12-16 |
Family
ID=31452873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16593787U Expired JPH0453558Y2 (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0453558Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-10-29 JP JP16593787U patent/JPH0453558Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0170143U (ja) | 1989-05-10 |
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