JPH0454860A - リニアブラシレス直流モータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はロボットＸ−Ｙステージ等の位置決めに用いら
れる多極形直流リニアモータに関するものである。

〔従来の技術〕

多極形直流リニアモータの基本的な構造と、その駆動方
法については、例えば、　「リニアモータとその応用」
、電気学会、昭和５９年、９頁〜ｌＯ真に示されている
。このモータは、多極着磁された永久磁石と、複数個の
コイルとから構成されて、長ストロークにわたり一定方
向に推力を発生して移動するものであるが、位置による
推力変動を極力小とするため、磁石との相対位置の変化
に従って駆動電流を変化させるなどの工夫が行われてい
る。

この形式のりニアモータを可動電機子形３相ブラシレス
モータとして構成した具体例を第６図に示す。第６図に
おいて（ａ）は固定子（界磁永久磁石）、可動子（電機
子コイル）、および磁極検出用ホール素子の配置を示す
斜視図、　（ｂ）は相対位置関係をより詳細に示す側面
図である。

第６図において、２は絶縁物からなる可動子基板、３１
，３２．３３はその上に配置された電機子コイル、４１
，４２．４３は磁極検出用ホール素子である。また、５
０．７０は固定子ヨーク、５１〜５８は固定子ヨーク５
０の上に配列された界磁用永久磁石、７１〜７８は固定
子ヨーク７０の上に配列された界磁用永久磁石である。

固定子ヨーク５０および７０は、可動子基板２を挟み込
むように構成されており、２は、図示しないがリニアス
ライダに取り付けられて矢印方向への往復運動が可能に
なっている。

界磁用永久磁石の配置は図のようになっているので、た
とえば磁石５６と７６の間の部分には上向きの磁界Ｈ＋
が、また磁石５７と７７の間の部分には下向きの磁界Ｈ
−が発生しており、他の磁石間も同様にして、上下方向
の交番磁界が発生している。その繰り返しピッチは磁石
の幅に等しくＴである。

っぎに、電機子コイル３１等を励磁するための回路を第
７図によって説明する。第６図に示した本構成例では、
電機子コイルおよびホール素子は３組あり、３相駆動が
出来るようになっているが、本回路はそのうちの１相分
に対応するものである。

図において、３１は電機子コイル、４１はホール素子、
ＯＰ、はオペアンプ、Ｔ、およびＴ、は出力トランジス
タである。他の２相分の回路も同様であって、電源＋Ｖ
ｃｃ、−Ｖｃｃは共用され、指令電圧Ｅも共通に印加さ
れる。

いま、必要とするある推力およびその方向に対応した指
令電圧Ｅが印加されているとする。ホール素子３１が磁
界を受けると磁界に比例した出力電圧が現れ、これがオ
ペアンプＯＰ、で増幅され、さらにトランジスタＴ、、
　Ｔ、により増幅されて、電機子コイル３１には駆動電
流が流れる。この電流の大きさ、方向は、ホール素子４
１の出力電圧の大きさ、極性に比例したものとなるよう
に構成されている。したがって、この電流の大きさ、方
向は、指令電圧Ｅの大きさ、方向と、ホール素子４１の
受ける磁界の大きさ、方向に比例したものとなる。

第６図（ｂ）を用いてさらに詳細を述べる。可動子と固
定子との相対位置が図のようであるとき、電機子コイル
３１は、磁石５１．７１と、磁石５２．７２の双方にま
たがった状態にある。コイル３１の中で、可動子の移動
可能な方向と直交する部分３１Ａは、磁石５１．７１に
よって生ずる下向きの磁界Ｈ−の中におかれており、ま
た電機子コイルの部分３１Ｂは、磁石５２．７２によっ
て生ずる上向きの磁界Ｈ＋の中におかれている。また、
ホール素子４１も電機子コイルの部分３１Ｂと同じく上
向きの磁界Ｈ＋の中におかれている。

この状態のときにホール素子４１の出力によって生ずる
（第５図の回路により増幅されて生ずる）電機子コイル
の電流方向が第６図（ｂ）でＱ、　ｘで示したものとに
なるように、指令電圧Ｅが設定されているとすれば、電
機子コイルの部分３１Ａおよび３１Ｂはともに右方向に
力を受ける。この力により可動子が右に移動するが、Ｔ
／２だけ動くと電機子コイルの部分３１Ａ、３１Ｂおよ
びホール素子４１はいずれも交番磁界の磁界＝０の領域
に来るためホール素子出力はゼロ、従って電機子コイル
に流れる駆動電流もゼロとなり、この点では推力は発生
しない。慣性によって可動子がさらに移動すると、交番
磁界の隣の領域に入るため、電機子コイルの部分３１Ａ
、３１Ｂの受ける磁界は逆転するが、ホール素子４１の
受ける磁界も逆転し、したがって電機子コイルの駆動電
流も逆転するために、電機子コイル３１の受ける力は依
然として右向きであり、可動子は右への移動を継続する
。

電機子コイル３１のみについて見れば、その右向きの力
は最大値とゼロの間を繰り返し変動する。

変動の周期は、磁石幅Ｔである。しかし可動子には電機
子コイル３２．３３も取り付けられており、これらの磁
石に対する相対位置は位相的にＴ／３ずつずれているた
めに、合計した右向きの推力は変動が平均化される。特
に、もし交番磁界がＨヤ→０→Ｈ−の間で正弦波的に変
化するよう構成したときは、合計した推力には変動は全
く現れない。

指令電圧の極性を逆転すれば推力の方向は左向きとなる
。また推力の大きさは指令電圧に比例して変化する。

以上は、電機子コイルが３個あり、その磁石に対する相
対位置はＴ／３ずつずれて配置された、いわゆる３相駆
動方式を例にとって説明した。電機子コイルをＮ個設け
、その磁石に対する相対位置をＴ／Ｎずつずらせて配置
すると、これはＮ相駆動方式といわれるものになるが、
Ｎが３より大となるに従って推力はより平均化され、と
くに界磁磁石による交番磁界が正弦波的に変化するよう
構成すれば推力変動は全く現れない。

［発明が解決しようとする問題点１ 以上に多相駆動方式リニアブラシレスモータの具体的構
成例を示した。この方式は、界磁永久磁石による交番磁
界の分布を正弦波に近付けられれば、きわめて推力変動
の小さいすぐれた特性を得ることができる。

しかし分布を正弦波に近付けることはマイナスの而もあ
る。界磁永久磁石の形状寸法、配置等を適切にすること
により近付けることが可能であるが、磁気回路の加工コ
ストの増加、磁石の利用効率の低下などが現れて来る。

また、交番磁界の分布が台形波に近いものであっても、
相数を大きくすれば推力変動を小さくすることが可能で
ある。

しかし相数を大きくするためには、電機子コイルの数を
増す必要があり、コストの増加を招くことになる。

〔問題点を解決するための手段〕

発明者らは、磁極検出用ホール素子の代わりに、受発光
素子を用い、これと、界磁永久磁石の磁界に対応したパ
ターンをもつ光学的リニアスケールとを組み合わせるこ
とにより解決をはかった。

このような構成とすることの第１の目的は、１個の電機
子コイルによる推力が、可動子が移動するときその移動
量に対して、周期が界磁永久磁石の着磁ピッチＴに等し
い正弦波状に変化するようにすることである。このよう
な電機子コイルを２個以上多相配置として用いることに
より、推力変動はほぼ完全にゼロとすることができる。

また他の目的は、ホール素子の代わりに受発光素子を用
いることにより、位置情報が磁界の影響を受けずリニア
モータ全体の構成が容易になること、温度変化に対する
安全性が向上することなどであ−る。

実施例の説明に先立ち、本発明の基本的な考え方を以下
に示す。

第８図は、電機子コイル１個のみに着目した可動電機子
形リニアモータの原理的構成図である。

図においてｌはピッチＴで交互に多極着磁された界磁永
久磁石、２は界磁永久磁石１の長手方向（矢印方向）に
移動可能なように構成されている可動子、３は可動子２
の上に配設された開角Ｔの電機子コイルである。

図において、コイル３に働く推力は、 Ｆ　＝　Ｋ　Ｎ　ｉ　Ｂ　　　　　　　　　　（１）で
ある。ここでＫは定数、Ｎはコイル巻数、ｉはコイルを
流れる電流、Ｂはコイルの置かれる部分の磁束密度であ
る。（コイルの開角Ｔと、着磁ピッチＴとは等しくなる
ように構成されているので、コイルの一辺Ｉｎのおかれ
る部分の磁束密度と、他辺■■のおかれる部分の磁束密
度とは方向は反対であるが大きさは等しく、ともにＢで
ある。また、コイルの一辺ＩＩＩを流れる電流と、他辺
ｍｌＶを流れる電流とは、方向は反対であるが大きさは
等しく、ともにｉである。したがって推力は上のように
表される。） ところで、推力Ｆが、電機子３の移動に伴って周期Ｔで
正弦波状に変化するとき、このコイルを多相構成とすれ
ば推力変動をゼロとなしうるということは、一般的に示
すのはやや困難であるが、相数を２，３．・・・のどと
く決めて、このときにつき計算するのは簡単である。こ
こでは念のため２相励磁、３相励磁のときについて例を
示す。

第８図の構成例において、コイル１個の推力が正弦波的
になるということは、その推力Ｆがつぎの形で変化する
ということである。すなわち、２π Ｆ＝に’　　（１−ｃｏｓ　　−Ｘ）　　　（２）ここ
でに′は定数である。Ｘが変化するとＦは最小値ゼロと
、最大値２に′の間を、周期Ｔで正弦波状に変化する。

まず２相励磁の場合につき述べる。２個のコイルを、Ｔ
／２離して並べたときの合成推力をＴ。

とすると、 ２π Ｔ、　＝に’　［（１−ｃｏｓ　−・Ｘ）　十三角関数
の加法定理を用いてこれを計算すると、Ｔ、＝２に″　
　　　　　　　　　（３）となる。

推力Ｔ、はＸの項を含まない定数となり、推力変動は生
じないことがわかる。

３相駆動励磁の場合も同様にして、３個のコ、イルをＴ
／３ずつ離して並べたときの合成推力をＴ、とすれば、 ２π Ｔ３　＝に’　　［（１−ｃｏｓ ・Ｘ）十 ＝３に’　　　　　　　　　　　（４）すなわち、推力
変動は生じない。４相以上の場合も同様にして求められ
る。

ところで、　（１）式で表されるコイル３に働く推力を
（２）式のような形にする手段であるが、つぎのように
すればよい。　（１）、　　（２）から、Ｆ−ＫＮ　ｉ
　Ｂ ＝に’　　（１−ｃｏｓ−Ｘ） 二二で、Ｋ、に’、Ｎは定数であり、Ｂは界磁永久磁石
による磁束分布であって、Ｘの関数であるが、何等かの
手段でｉが（５）式の関係を満足するよう制御してやれ
ばよい。（５）式がどのようなパターン形状を示すか、
この点を明確にするために、つぎのような計算を行った
。

第９図は界磁永久磁石による磁束分布の実測例である。

これを第１Ｏ図（ａ）のようなパターンに無次元化して
モデル化した。

つぎに、　（２）式で示される理想的推力波形を１波長
分だけ無次元化して示したのが、第１０図（ｂ）である
、（５）式に示されるように、第１０図（ｂ）の波形を
表す関数を第１０図（ａ）の波形を表す関数で割ったも
の（Ｘをある値としたときの、相当するＦの値を、Ｂの
値で除して、ｉの値とする）が１、ｉに対して要求され
る波形を示す関数である。第１０図（Ｃ）はこの計算結
果を示す。

同図かられかるように、擬似正弦波ではあるが、途中に
勾配の不連続な点があり、このような信号を磁石とホー
ル素子とで得ることは必ずしも容易ではない。

発明者らは、位置に対するこのような信号を得る手段と
して、受発光素子と、リニアスケールとの組合せを用い
ることに想到したのである。

〔実施例〕

以下実施例によって説明する。

（実施例１） 第１図は本発明の一実施例の構成部品を示す斜視図、第
２図は本実施例のものの組立状態における各部品の関係
を示す側面図である。

第１図において、１は固定子台、２は可動子基板、３１
および３２は可動子基板の上に下向きに配設された電機
子コイル、４はリニアスケール、５０は軟磁性材料で作
られた固定子ヨーク、５１〜５８は固定子ヨークの上に
配設された界磁永久磁石、６１は電機子コイル３１に流
す駆動電流を決定するための受発光素子ケース、６２は
コイル３２に流す駆動電流を決定するための受発光素子
ケースである。

第１図は固定子と可動子を構成する部品が分かり易いよ
うに固定子と可動子を離して示しであるが、実際は固定
子の界磁永久磁石と、可動子側の電機子コイルとは近接
して対向し、また、可動子は界磁永久磁石の長手方向（
矢印方向）に沿って移動できるように、図示していない
軸受機構により支承されている。また組立状態において
リニアスケール４は受発光素子ケース６１および６２の
間に挟まれるように配置される。

第２図は、第１図のものの側断面図を示す。すなわち、
組立状態で、可動子が固定子の一番端の位置（第１図に
おいて左端）にあり、電機子コイル３１と界磁永久磁石
５１とが対向しているとき、この位置における断面図を
示す。電機子コイル３１と界磁永久磁石５１とは狭い空
隙をおいて対向しており（他の電機子コイル、界磁永久
磁石についても同様である）、またリニアスケール４は
、はさみ状に分岐した受発光素子ケースの間に挟まれる
ように位置する。図においてＥ、、　Ｅ、はそれぞれ発
光素子であり、Ｒ，、Ｒ，はそれぞれ受光素子である。

本実施例では、Ｅ、、　Ｅ、とじてＬＥＤをまたＲ、、
　　Ｒ，としてホトダイオードを使用している。Ｅ、か
ら放射された光はＲ１によって検出され、またＲ２から
放射された光はＲ１によって検出される。リニアスケー
ルはガラス製であるが４１Ａ、４１Ｂに示した部分には
後述するような遮光パターンが形成されており、ホトダ
イオードＲ３゜Ｒ２に入射する光量を変化させるように
なっている。

第３図は、本実施例におけるリニアスケール４の遮光パ
ターンを示す図である。図において１点鎖線４１Ａ、４
１Ｂで示したものは、２チヤンネルの遮光パターン部で
あって、斜線部は光を遮断する部分、白抜き部は光を透
過される部分である。

４１Ａは、界磁永久磁石５１〜５８の表面（電機子コイ
ルに対向する面）がＮ極となっている部分に対応し、ま
た４２Ａは、表面がＳ極となる部分に対応する。各チャ
ンネルとも、光を透過させる部分の長さはＴであって、
透過光量は第１０図（ｃ）に示した、正弦波状の推力を
得るに必要な電機子コイル電流の波形に一致して変化す
るようになっている。

第４図は、上記リニアスケールと受発光素子を用いて所
定のパターンをもった電機子コイル駆動電流を発生する
、駆動回路を示す図である。図においてＥ、、　Ｅ、は
受発光素子ケース６１の中に配置されたＬＥＤ、Ｒ，、
Ｒ，は受発光素子ケース６１の中に配置されたホトダイ
オード、ＯＰ、〜ＯＰ、はオペアンプ、ＩＣ，は外部か
らの指令電圧により、回路切換を行う２極双投（ＤＰＤ
Ｔ）の電子スイッチ、Ｔ、’、　Ｔ、は電流増幅用トラ
ンジスタ、３１は電機子コイルである。Ｅ、、　　Ｅ、
から出射された光はそれぞれ点線で示した経路を通りＲ
Ｉ　ＩＲ８に入射する。このとき、出射光は、サーボ制
御回路からの指令電圧Ｅの大きさに比例した強度をもっ
ているが、リニアスケール４の遮光部４１Ａあるいは４
１Ｂによって、予め設定されたパターンに従って遮断さ
れる６透過して来た光がＲ。

あるいはＲ８に入射すると、Ｒ，あるいはＲ３には入射
光量に比例した電流が流れ、これがＯＰ、あるいはＯＦ
、によってリニアに増幅され、電子スイッチＩＣ３によ
って指令電圧Ｅ′に対応した極性を選択された後に、さ
らにＯＰ、によってリニアに増幅されてトランジスタＴ
、、　Ｔ、のベースに入力される。このときの入力信号
は、リニアスケール４のパターンに対応した変化をして
おり、指令電圧Ｅの大きさに比例し、かつ指令電圧Ｅ′
の極性に対応した極性をもった、両極性の信号電圧であ
る。したがって、Ｔ、、　Ｔ、により増幅され、電機子
コイル３１に流れる電流も、これに対応したものとなる
。よって、リニアスケール４のパターンを第１Ｏ図（ｃ
）に示したような、正弦波状の推力を得るのに必要なパ
ターン形状としておけば、ＬＥＤ　　Ｅ、およびＥｌに
印加する電圧は、必要な推力値を規定する、サーボ制御
回路からの指令電圧Ｅであり、また電子スイッチＩＣ，
に印加する指令電圧Ｅ′は、推力の方向を規定するので
、所要の推力値および推力方向をもち、かつ推力変動の
きわめて小さくなるような電機子コイル駆動電流が得ら
れる。

第４図は、電機子コイル３１に関して示したが、電機子
コイル３２に関しても全く同様であって、受発光素子ケ
ース６２の中に配置されたＬＥＤ。

ホトダイオード（ともに図示しないが）とリニアスケー
ル４によって得られた電気信号は、同様にして電機子コ
イル３２の駆動電流となるように増幅される。

ところで、本実施例において受光素子の受光面は、リニ
アスケールの移動方向、すなわち第３図における一点鎖
線の長さの方向に対して、できるだけ幅の狭いスリット
状であることが望ましい。

すなわち、第３図に示した受光面の幅Ｗはできるだけ小
さいことが望ましい。これは、リニアスケールの遮光パ
ターン４１Ａあるいは４１Ｂのパターンを、できるだけ
正確に光量変化として再現するために必要である。本実
施例においては、界磁永久磁石の着磁ピッチＴは１５ｍ
ｍ、ホトダイオードの受光幅Ｗは１ｍｍとしたが、計算
機シミュレーションによれば、この場合、遮光パターン
波形と、ホトダイオードの化カバターン波形との差は１
．５％しかなく、かつ波形パターンの勾配が急峻化する
こともないため、まったく問題ないことが分かっている
。

本実施例では、ホトダイオードとして受光幅１ｍｍのも
のを用いたが、受光幅の広いホトダイオードでも、スリ
ットと併用すれば所要の精度の得られることは言うまで
もない。

また本実施例では、２組の受発光素子を用いて、両極性
の出力信号を得ているが、１組の受発光素子でも、所要
のパターン波形をもつ両極性の出力信号を得ることは可
能である。しかし、受発光素子の温度特性、ドリフト等
による問題点を除くためには本実施例の構成の方が有利
である。

（実施例２） 第５図は、本発明の他の実施例を示す図である。

機械的構造は第１の実施例のものと全く同様で、第１図
〜第３図のとおりであるが、ＬＥＤの発光量の安定化と
、受光側回路の簡略化をはかったものである。図におい
て、Ｅ、、　Ｅ、は受発光素子ケース６１の中に配置さ
れたＬＥＤ、　Ｒ，、Ｒ，は受発光素子ケース６１の中
に配置されたホトダイオード、○Ｐ、〜ＯＰ、はオペア
ンプ、ＩＣ，は外部からの指令電圧により回路切替を行
う２極双投（ＤＰＤＴ）の電子スイッチ、Ｔ、、　Ｔ、
は電流増幅用トランジスタ、３１は電機子コイルである
。

Ｅ、、　Ｅ、から出射された光は、リニアスケール４の
遮光部により予め設定されたパターンにより遮光されて
、それぞれ点線で示した経路を通り、Ｒ，、Ｒ□に入射
する。出射光はサーボ制御回路からの指令電圧Ｅに比例
した強度をもっていることは第４図の場合と同様である
。ただ、本実施例においてはＬＥＤの発光光量の安定化
をはかるために、さらにＬＥＤのＥ、と、ホトダイオー
ドＲ１とが追加されており、Ｅ、とＲ３とはとくに図示
しないが適当な距離をおいて対向していて、Ｅ、から出
射した光はＲ１に入射して電流出力となるように構成さ
れている。

この回路の動作はつぎのようである。指令電圧Ｅに従っ
てオペアンプＯＰ、に出力電圧が表れ、Ｅ、、Ｅ、、Ｅ
、に電流が流れて、各ＬＥＤは発光する。本来この発光
光量は、Ｅに比例し、もしＥが一定であれば、これに対
応した一定値となるべきものであるが、温度の影響によ
って若干の変動を生じる。温度の高いときは、同じＥの
値に対して光量は増加する。いまもし光量が望ましい一
定値より増加すると、Ｅ、から入射しＲ３に入射する光
量も増加するので、Ｒ３の電流が増加する。これにより
ＯＰｏのマイナス端子の電圧は低下するから、出力端子
の電圧も低下し、従ってＥＩＩＥ！ＩＥ、に流れる電流
が減少して、ＬＥＤの光量を減少させるように動作する
。このように、第５図の回路では、出射回路部に、呂射
光を安定化させるための負帰遺部が加えられている。

第５図の入射側の回路は、Ｒ，およびＲ３に入射した光
量のアンバランス分がオペアンプＯＰ、の出力となるよ
う構成されている。すなわち、Ｒ８への入射光量の方が
多いときはマイナス・の、またＲ１への入射光量の方が
多いときはプラスの、両極性の信号が出力となる。この
信号はオペアンプＯＰ、およびトランジスタＴ、および
Ｔ８により増幅されて、電機子コイル３１を駆動する電
流出力となるが、電子スイッチＩＣ，が中間に置かれて
おり、このスイッチの動作によって、ＯＰ、およびＴ、
、　ＴＩによる増幅回路は反転形あるいは非反転形の何
れかに切替えることができる。したがって指令電圧Ｅ′
に従って、電機子コイル３１に流れる電流の極性を選択
することができる。

このような構成によって、第５図の回路は、第４図の場
合と同様に、必要な推力値および推力方向を与え、かつ
推力変動の小さくなるような電機子駆動電流を得ること
ができる。

〔発明の効果〕

以上に述べたように本発明によれば、電機子コイルに流
す駆動電流を、推力変動を小さくするようなパターンに
制御することができ、推力リップルの小さい制御性の良
好な、直流リニアブラシレスモータを得ることができる
。相数を大きくしないでも、推力リップルを小さくする
ことができ、相数の少ない場合にとくに効果的である。

また、電機子コイル１個あたりの推力変動を、理想的な
正弦波パターンとなるように、電機子コイルの電流を設
定することが自由にできるので、有鉄心形のリニアブラ
シレスモータに対しても効果が大きい。さらに、実際の
製品について推力変動を実測した後で、これを希望する
程度まで小さくするように、リニアスケール４のパター
ンを変更することによって修正が可能であり、実用上大
きな効果を得ることができる。

また、本発明によれば受発素子６１あるいは６２を、そ
れぞれ対応するコイル３１あるいは３２に対して走行方
向に関して適当な位置たとえばコイル３１あるいは３２
の中心Ｍ（可動子基板２の移動方向と直交する中心ｆｉ
り上に設けてもよく、この場合リニアスケール４の上の
遮光パターンをこれに見合った位置に配置してやれば、
電機子コイルの電流切替には全く問題を生じない。この
ようにすることによって推力を増加しつる場合もあり、
一つの附帯的効果である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の構成部品を示す斜視図、第２
図は本実施例のものの組立状態における各部品の関係を
示す側面図、第３図は本実施例におけるリニアスケール
４の遮光パターンを示す図、第４図は駆動回路の一つの
構成例を示す図、第５図は駆動回路の他の構成例を示す
図、第６図は従来の可動電機子形３相ブラシレスモータ
の構成例を示す図、第７図は第６図の構成例のものに対
する駆動回路を示す図、第８図は電機子コイル１個のみ
に着目した可動電機子形リニアモータの原理的構成図、
第９図は界磁永久磁石による磁束分布の実測例、第１０
図（ａ）は実際の磁界分布のパターン、第１０図（ｂ）
はコイル１個に着目したときの望ましい推力波形パター
ン、第１０図（Ｃ）は第１Ｏ図（ａ）のごとき磁界分布
のパターンのもとで、第１０図（ｂ）のごとき理想的な
推カバターンを発生させるために必要な、電機子コイル
１個に着目して求めた、駆動電流パターンを、それぞれ
無次元化して、着磁ピッチ１波長分について示した図で
ある。 １：固定子台；２：可動子基板、３，３１，３２．３３
：電機子コイル；４１，４２，４３：ホール素子；５０
：固定子ヨーク；５１〜５８：界磁永久磁石；６１，６
２：受発光素子ケース；７０：固定子ヨーク；７１〜７
８：界磁永久磁石；Ｅ、、　Ｅ、　：　ＬＥＤ　、　Ｒ
，、Ｒ，：ホトダイオード；ＯＰ、〜ＯＰ、：オベアン
ブ；ＩＣ，：電子スイッチ；　Ｔ＋　＋　Ｔｚ　’電流
増幅用トランジスタ。 第 ■ 第４Ｉｉ 第 図 （ａ） ζｎ 第 図 第９ 図 第６図 （ｂ） 第 図 φＶｃｃ 第１０図 （ａ） （ｂ） （Ｃ）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）Ｎ，Ｓ極交互に着磁されており、その着磁ピッチ
   がＴであるような界磁永久磁石と、これと対向する開角
   がＴであるようなＮ（Ｎは１以上の整数）系統の電機子
   コイルからなり、この何れか一方が固定子であり、他方
   が可動子であって、可動子と固定子との相対的位置に従
   って電機子コイルに適切に電流を流すことによって可動
   子に推力を発生させ、移動させる構成のリニアブラシレ
   ス直流モータにおいて、可動子の位置検出用センサとし
   て発光素子および受光素子を用い、リニアスケール上の
   パターンを検出するようにしたことを特徴とするリニア
   ブラシレス直流モータ。
2. （２）発光素子の光量を、制御用指令電圧により変化さ
   せ、推力制御を行わせるようにしたことを特徴とする、
   請求項１記載のリニアブラシレス直流モータ。