JPH0454922B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0454922B2 JPH0454922B2 JP59199781A JP19978184A JPH0454922B2 JP H0454922 B2 JPH0454922 B2 JP H0454922B2 JP 59199781 A JP59199781 A JP 59199781A JP 19978184 A JP19978184 A JP 19978184A JP H0454922 B2 JPH0454922 B2 JP H0454922B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- pattern
- manufacturing
- color
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、カラーテレビその他のカラー表示装
置に使われるカラーフイルタの製造方法に関する
ものである。
置に使われるカラーフイルタの製造方法に関する
ものである。
［従来の技術］
従来のカラーフイルタとして、２色以上のもの
たとえば、赤、緑、青の３色の着色膜を交互に隣
接させてパターンを設けるものが知られている。
このカラーフイルタの製造方法として、光硬化型
の樹脂に着色剤を混入した着色膜剤を用い、基板
に塗布し、パターン露光し、現像して所定のパタ
ーンにする工程を、たとえば、赤、緑、青の３色
のカラーフイルタの場合は３回繰り返しておこな
う方法が提案されている（特開昭57−16407号）。
たとえば、赤、緑、青の３色の着色膜を交互に隣
接させてパターンを設けるものが知られている。
このカラーフイルタの製造方法として、光硬化型
の樹脂に着色剤を混入した着色膜剤を用い、基板
に塗布し、パターン露光し、現像して所定のパタ
ーンにする工程を、たとえば、赤、緑、青の３色
のカラーフイルタの場合は３回繰り返しておこな
う方法が提案されている（特開昭57−16407号）。
［発明が解決しようとする課題］
上記の従来方法でカラーフイルタを製造する場
合においては、第９図で、ガラス基板１２上に１
色めの着色膜剤でカラーフイルタパターン１３を
形成した後、その上に２色めの着色膜剤１４を塗
布し、露光させて、非露光部分を現像する（第１
０図）。その際、着色膜剤１４が１色めのカラー
フイルタパターン１３に重なつていた部分の近く
においては、２色めのカラーフイルタパターン１
５に突起部１５ａが生じてしまうことになる。さ
らに、第１１図において１色めのカラーフイルタ
パターン１３、２色めのカラーフイルタパターン
１５を形成した後、３色めの着色膜剤１６を塗布
して、露出マスク１７をかけて露光する際、マス
クの位置合せがずれてしまうと、現像した際に３
色めのカラーフイルタパターン１８に突起部１８
ａ（第１２図）ができてしまうということが生じ
る。
合においては、第９図で、ガラス基板１２上に１
色めの着色膜剤でカラーフイルタパターン１３を
形成した後、その上に２色めの着色膜剤１４を塗
布し、露光させて、非露光部分を現像する（第１
０図）。その際、着色膜剤１４が１色めのカラー
フイルタパターン１３に重なつていた部分の近く
においては、２色めのカラーフイルタパターン１
５に突起部１５ａが生じてしまうことになる。さ
らに、第１１図において１色めのカラーフイルタ
パターン１３、２色めのカラーフイルタパターン
１５を形成した後、３色めの着色膜剤１６を塗布
して、露出マスク１７をかけて露光する際、マス
クの位置合せがずれてしまうと、現像した際に３
色めのカラーフイルタパターン１８に突起部１８
ａ（第１２図）ができてしまうということが生じ
る。
こうした突起部１５ａ，１８ａが生じると、こ
の凹凸により、後工程でカラーフイルタの上に透
明電極を設ける際に断線の原因になり、また抵抗
値がばらつき、さらに液晶の配向を乱すおそれが
あつた。また二つのカラーフイルタパターンの接
触部で熱などによるマイグレーシヨンにより混色
が生じていた。
の凹凸により、後工程でカラーフイルタの上に透
明電極を設ける際に断線の原因になり、また抵抗
値がばらつき、さらに液晶の配向を乱すおそれが
あつた。また二つのカラーフイルタパターンの接
触部で熱などによるマイグレーシヨンにより混色
が生じていた。
［課題を解決するための手段］
本発明におけるカラーフイルタの製造方法は、
光硬化型の樹脂に着色剤を添加した着色膜剤を基
板上に塗布しこれをパターン露光した後現像して
カラーフイルタパターンを形成するパターン形成
工程を複数回行い、上記各パターン形成工程に対
応して上記基板上に複数色のカラーフイルタパタ
ーンを形成するカラーフイルタの製造方法におい
て、上記各パターン形成工程で形成される上記複
数色の各カラーフイルタパターンを互いに所定の
間隔を隔てて形成することを特徴とする。
光硬化型の樹脂に着色剤を添加した着色膜剤を基
板上に塗布しこれをパターン露光した後現像して
カラーフイルタパターンを形成するパターン形成
工程を複数回行い、上記各パターン形成工程に対
応して上記基板上に複数色のカラーフイルタパタ
ーンを形成するカラーフイルタの製造方法におい
て、上記各パターン形成工程で形成される上記複
数色の各カラーフイルタパターンを互いに所定の
間隔を隔てて形成することを特徴とする。
［実施例］
この発明におけるカラーフイルタの製造方法に
ついて製造工程をおつて説明する。
ついて製造工程をおつて説明する。
ゼラチン水溶液に酸性染料それに光感受性硬化
剤として重クロム酸アンモニウムを加えて着色膜
剤を得た。第２図示のように、ガラスなどの基板
１上にこの着色膜剤２を塗布し乾燥させた。つい
で、これにマスク３をかけてパターン露光させる
（第３図）。そして非露光部分を現像液で溶出させ
てカラーフイルタパターン４をつくつた（第４
図）。ついでその上に２色めの着色膜剤５を塗布、
乾燥し、マスク６をかけてパターン露光させ（第
５図）、現像して２色めのカラーフイルタパター
ン７を形成する（第６図）。さらに３色めの着色
膜剤８を塗布し乾燥させてマスク９をかけて露光
させ（第７図）、３色めのカラーフイルタパター
ン１０を形成した（第８図）。各カラーフイルタ
パターン４，７，１０は互いに間隔をおいて接触
しないように形成される。これらパターンを形成
した上に表面を平坦化するため透明保護膜１１を
被覆形成する（第１図）。透明保護膜１１の材料
は透明で、かつカラーフイルタの染料に染まり難
いものであればよく、ポリアミド樹脂、ポリイミ
ド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、透明なフ
オトレジストなどを用いることができ、塗布、硬
化させる。
剤として重クロム酸アンモニウムを加えて着色膜
剤を得た。第２図示のように、ガラスなどの基板
１上にこの着色膜剤２を塗布し乾燥させた。つい
で、これにマスク３をかけてパターン露光させる
（第３図）。そして非露光部分を現像液で溶出させ
てカラーフイルタパターン４をつくつた（第４
図）。ついでその上に２色めの着色膜剤５を塗布、
乾燥し、マスク６をかけてパターン露光させ（第
５図）、現像して２色めのカラーフイルタパター
ン７を形成する（第６図）。さらに３色めの着色
膜剤８を塗布し乾燥させてマスク９をかけて露光
させ（第７図）、３色めのカラーフイルタパター
ン１０を形成した（第８図）。各カラーフイルタ
パターン４，７，１０は互いに間隔をおいて接触
しないように形成される。これらパターンを形成
した上に表面を平坦化するため透明保護膜１１を
被覆形成する（第１図）。透明保護膜１１の材料
は透明で、かつカラーフイルタの染料に染まり難
いものであればよく、ポリアミド樹脂、ポリイミ
ド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、透明なフ
オトレジストなどを用いることができ、塗布、硬
化させる。
以上の説明で明らかなように、カラーフイルタ
パターン４，７，１１を互いに非接触とするため
に、マスク３，６，９の露光させる穴をやや小さ
くしている。その程度は、マスクの位置合せ精度
や、着色膜剤の粘度などを考慮して決める。たと
えば、下地のカラーフイルタパターン４の上に２
色めの着色膜剤５を塗布したとき、第５図示のよ
うに、着色膜剤５の粘度にしたがつて傾斜部分５
ａが生じる。この部分が硬化して残つてしまうと
まえに述べたように突起が生じる。したがつてこ
の傾斜部５ａは露光しないようにマスク設計をす
る必要がある。
パターン４，７，１１を互いに非接触とするため
に、マスク３，６，９の露光させる穴をやや小さ
くしている。その程度は、マスクの位置合せ精度
や、着色膜剤の粘度などを考慮して決める。たと
えば、下地のカラーフイルタパターン４の上に２
色めの着色膜剤５を塗布したとき、第５図示のよ
うに、着色膜剤５の粘度にしたがつて傾斜部分５
ａが生じる。この部分が硬化して残つてしまうと
まえに述べたように突起が生じる。したがつてこ
の傾斜部５ａは露光しないようにマスク設計をす
る必要がある。
［発明の効果］
本発明では、異なる色のカラフイルタパターン
を互いに非接触に製造できるので、マイグレーシ
ヨン等による色のにじみを防止できる。
を互いに非接触に製造できるので、マイグレーシ
ヨン等による色のにじみを防止できる。
第１図は本発明の実施例の断面図、第２図〜第
８図は本発明の実施例の製造工程断面図、第９図
〜第１２図は従来の製造工程を示す断面図であ
る。 １……基板、２，５，８……着色膜剤、４，
７，１０……カラーフイルタパターン。
８図は本発明の実施例の製造工程断面図、第９図
〜第１２図は従来の製造工程を示す断面図であ
る。 １……基板、２，５，８……着色膜剤、４，
７，１０……カラーフイルタパターン。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 光硬化型の樹脂に着色剤を添加した着色膜剤
を基板上に塗布しこれをパターン露光した後現像
してカラーフイルタパターンを形成するパターン
形成工程を複数回行い、上記各パターン形成工程
に対応して上記基板上に複数色のカラーフイルタ
パターンを形成するカラーフイルタの製造方法に
おいて、 上記各パターン形成工程で形成される上記複数
色の各カラーフイルタパターンを互いに所定の間
隔を隔てて形成することを特徴とするカラーフイ
ルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59199781A JPS6177006A (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | カラ−フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59199781A JPS6177006A (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | カラ−フイルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6177006A JPS6177006A (ja) | 1986-04-19 |
| JPH0454922B2 true JPH0454922B2 (ja) | 1992-09-01 |
Family
ID=16413499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59199781A Granted JPS6177006A (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | カラ−フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6177006A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2787679B2 (ja) * | 1987-02-04 | 1998-08-20 | キヤノン株式会社 | カラーフイルター |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5417627A (en) * | 1977-07-11 | 1979-02-09 | Dainippon Printing Co Ltd | Method of producing color stripe filter |
| JPS5774707A (en) * | 1980-10-29 | 1982-05-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Production of stripe filter |
-
1984
- 1984-09-25 JP JP59199781A patent/JPS6177006A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6177006A (ja) | 1986-04-19 |
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