JPH0455140U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0455140U JPH0455140U JP1990096119U JP9611990U JPH0455140U JP H0455140 U JPH0455140 U JP H0455140U JP 1990096119 U JP1990096119 U JP 1990096119U JP 9611990 U JP9611990 U JP 9611990U JP H0455140 U JPH0455140 U JP H0455140U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- strip
- loop
- shaped body
- shaped
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は、本考案に係る装置の実施例１を示す
概略図で、ａは平面図、ｂはＸ−Ｘ断面図、第２
図は、本考案に係る帯状体の断面図である。 １……帯状体、１ａ……断面凹状溝、２……帯
状体支持体、２ａ……ガイド穴、３……帯状体操
作体、４……ウエーハ。
概略図で、ａは平面図、ｂはＸ−Ｘ断面図、第２
図は、本考案に係る帯状体の断面図である。 １……帯状体、１ａ……断面凹状溝、２……帯
状体支持体、２ａ……ガイド穴、３……帯状体操
作体、４……ウエーハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ウエーハの枚葉処理装置に使用するウエーハ保
持装置において、 ウエーハを抱持するようにループ状に形成され
、かつループ内側面にウエーハエツジを挾持する
断面凹状溝が刻設された帯状体と、帯状体の両末
端が連結された帯状体操作体と、帯状体を案内す
る２個のガイド穴を具えて、ループ状帯状体と帯
状体操作体との間に配設された帯状体支持体と、
からなることを特徴とするウエーハ保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990096119U JPH0455140U (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990096119U JPH0455140U (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0455140U true JPH0455140U (ja) | 1992-05-12 |
Family
ID=31835393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990096119U Pending JPH0455140U (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0455140U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020025997A (ja) * | 2018-08-09 | 2020-02-20 | 日清工業株式会社 | 両頭平面研削盤 |
| JP2023049756A (ja) * | 2021-09-29 | 2023-04-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板保持機構及びこれを用いた基板処理装置、並びに基板交換方法 |
-
1990
- 1990-09-14 JP JP1990096119U patent/JPH0455140U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020025997A (ja) * | 2018-08-09 | 2020-02-20 | 日清工業株式会社 | 両頭平面研削盤 |
| JP2023049756A (ja) * | 2021-09-29 | 2023-04-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板保持機構及びこれを用いた基板処理装置、並びに基板交換方法 |