JPH0455996B2 - - Google Patents
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- JPH0455996B2 JPH0455996B2 JP4920984A JP4920984A JPH0455996B2 JP H0455996 B2 JPH0455996 B2 JP H0455996B2 JP 4920984 A JP4920984 A JP 4920984A JP 4920984 A JP4920984 A JP 4920984A JP H0455996 B2 JPH0455996 B2 JP H0455996B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon
- weight
- component compound
- aluminum
- nitride
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Porous Artificial Stone Or Porous Ceramic Products (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は新規な多孔性セラミツク及びその製造
方法を提供する。群しくはアルミニウム、ケイ素
及びホウ素よりなる群から選ばれた少なくとも一
種の金属の炭化物又は窒化物よりなる焼結体で、
焼結されて結合された該アルミニウム、ケイ素及
びホウ素よりなる群から選ばれた少なくとも一種
の金属の炭化物又は窒化物の結晶粒子の一部に連
続した孔を構成してなることを特徴とする多孔性
セラミツクである。また本発明はアルミニウム、
ケイ素及びホウ素よりなる群から選ばれた少なく
とも一種の金属の炭化物又は窒化物60〜97重量％
とカーボン３〜40重量％とからなる焼結体を、酸
素又は炭酸ガスを含む雰囲気下に600〜900℃の温
度で加熱して含有カーボンを除去することを特徴
とする多孔性セラミツクの製造方法をも提供する
ものである。
方法を提供する。群しくはアルミニウム、ケイ素
及びホウ素よりなる群から選ばれた少なくとも一
種の金属の炭化物又は窒化物よりなる焼結体で、
焼結されて結合された該アルミニウム、ケイ素及
びホウ素よりなる群から選ばれた少なくとも一種
の金属の炭化物又は窒化物の結晶粒子の一部に連
続した孔を構成してなることを特徴とする多孔性
セラミツクである。また本発明はアルミニウム、
ケイ素及びホウ素よりなる群から選ばれた少なく
とも一種の金属の炭化物又は窒化物60〜97重量％
とカーボン３〜40重量％とからなる焼結体を、酸
素又は炭酸ガスを含む雰囲気下に600〜900℃の温
度で加熱して含有カーボンを除去することを特徴
とする多孔性セラミツクの製造方法をも提供する
ものである。
従来、各種産業用及び民生用の機械、機器材或
いは電子機器材料等に種々のセラミツク又はセラ
ミツク複合体が使用されている。しかしながら特
定の用途に要求されるニーズを満足する材料を工
業的に製造することはしばしば困難を伴う。
いは電子機器材料等に種々のセラミツク又はセラ
ミツク複合体が使用されている。しかしながら特
定の用途に要求されるニーズを満足する材料を工
業的に製造することはしばしば困難を伴う。
本発明者等は特定の性状を有する種々のセラミ
ツク体の開発を鋭意行つて来た。特に多孔性セラ
ミツクを工業的に製造する研究を続けた結果、新
規な多孔性セラミツクの開発に成功し、ここに提
案するに至つた。
ツク体の開発を鋭意行つて来た。特に多孔性セラ
ミツクを工業的に製造する研究を続けた結果、新
規な多孔性セラミツクの開発に成功し、ここに提
案するに至つた。
即ち、本発明ルカリ溶液はアルミニウム、ケイ
素及びホウ素よりなる群から選ばれた少なくとも
一種の金属の炭化物又は窒化物よりなる焼結体
で、焼結されて結合された該アルミニウム、ケイ
素及びホウ素よりなる群から選ばれた少なくとも
一種の金属の炭化物又は窒化物の結晶粒子の一部
に連続した孔を構成してなることを特徴とする多
孔性セラミツクである。また本発明はアルミニウ
ム、ケイ素及びホウ素よりなる群から選ばれた少
なくとも一種の金属の炭化物又は窒化物60〜97重
量％とカーボン３〜40重量％とからなる焼結体
を、酸素又は炭酸ガスを含む雰囲気下に600〜900
℃の温度で加熱して含有カーボンを除去すること
を特徴とする多孔性セラミツクの製造方法をも提
供するものである。
素及びホウ素よりなる群から選ばれた少なくとも
一種の金属の炭化物又は窒化物よりなる焼結体
で、焼結されて結合された該アルミニウム、ケイ
素及びホウ素よりなる群から選ばれた少なくとも
一種の金属の炭化物又は窒化物の結晶粒子の一部
に連続した孔を構成してなることを特徴とする多
孔性セラミツクである。また本発明はアルミニウ
ム、ケイ素及びホウ素よりなる群から選ばれた少
なくとも一種の金属の炭化物又は窒化物60〜97重
量％とカーボン３〜40重量％とからなる焼結体
を、酸素又は炭酸ガスを含む雰囲気下に600〜900
℃の温度で加熱して含有カーボンを除去すること
を特徴とする多孔性セラミツクの製造方法をも提
供するものである。
本発明の多孔性セラミツクはその成分がアルミ
ニウム、ケイ素及びホウ素よりなる群から選ばれ
た少なくとも一種の金属の炭化物又は窒化物（以
下、単に焼結成分化合物と言う）よりなる焼結体
で、該焼結成分化合物の結晶粒子の一部に連続し
た孔を有している。該孔の形状、大きさ等につい
てはその製造方法によつて影響をうけるので一概
に限定出来ないが一般には0.1〜100μmのものか
ら選択出来る。これらの孔がどのように構成され
ているかは多孔性セラミツクを機械的に破断し、
その破断面の電子顕微鏡写真をとることによつて
確認出来る。例えば添付図面第１図は本発明の実
施例１で得られた多孔性セラミツクを機械的に破
断し、その破断面を電子顕微鏡で撮影したもので
ある。第１図から明らかなように焼結成分化合物
（第１図にあつては窒化アルミニウム）の粒子の
結晶が相互に緊密に充填されていて、その粒子の
粒界面の一部の充填部が欠如し、この欠如部が連
続した孔を形成している。従つて焼結成分化合物
同志は相互にその結晶粒の一部が焼結してつらな
つていので、強度は著しく強く、形状の安定性も
すぐれている。例えば該多孔性セラミツクは20％
の空隙率を有するものにあつて20Kg／mm2以上の強
度を有するものさえある。
ニウム、ケイ素及びホウ素よりなる群から選ばれ
た少なくとも一種の金属の炭化物又は窒化物（以
下、単に焼結成分化合物と言う）よりなる焼結体
で、該焼結成分化合物の結晶粒子の一部に連続し
た孔を有している。該孔の形状、大きさ等につい
てはその製造方法によつて影響をうけるので一概
に限定出来ないが一般には0.1〜100μmのものか
ら選択出来る。これらの孔がどのように構成され
ているかは多孔性セラミツクを機械的に破断し、
その破断面の電子顕微鏡写真をとることによつて
確認出来る。例えば添付図面第１図は本発明の実
施例１で得られた多孔性セラミツクを機械的に破
断し、その破断面を電子顕微鏡で撮影したもので
ある。第１図から明らかなように焼結成分化合物
（第１図にあつては窒化アルミニウム）の粒子の
結晶が相互に緊密に充填されていて、その粒子の
粒界面の一部の充填部が欠如し、この欠如部が連
続した孔を形成している。従つて焼結成分化合物
同志は相互にその結晶粒の一部が焼結してつらな
つていので、強度は著しく強く、形状の安定性も
すぐれている。例えば該多孔性セラミツクは20％
の空隙率を有するものにあつて20Kg／mm2以上の強
度を有するものさえある。
本発明の多孔性セラミツクはその製造方法を特
に限定するものではないが、その代表的なものを
例示すると次ぎの通りである。先ず、前記焼結成
分化合物となる粉末（以下、第一成分化合物と言
う）とカーボン又はカーボンになる得る化合物
（以下、第二成分化合物と言う）とを混合する。
該第一成分化合物は既に公知の化合物である。本
発明の多孔性セラミツクを得る原料としてはこれ
らの公知の化合物をそのまヽ使用して、焼結すれ
ばよい。一般には焼結性をより好ましくするため
に該第一成分化合物の粒子径は出来るだけ小さ
く、しかも粒度分布が揃つたものが好適である。
これらの粒子径及び粒度分布は該第一成分化合物
の種類、焼結条件等によつて異なり一概に限定出
来ないが一般には例えば平均粒子径が5μm以下好
ましくは2μm以下で、粒度分布は平均粒子径をＤ
とするとき0.4D〜1.6Dの範囲の粒子が50重量％
以上を占めるようなもので、その純度が95％以上
好ましくは98％以上のものが特に好適に使用され
る。特に第一成分化合物のなかで窒化アルミニウ
ムを用いるときは次ぎのような本発明者等が開発
した新規な窒化アルミニウム粉末を用いると好適
である。
に限定するものではないが、その代表的なものを
例示すると次ぎの通りである。先ず、前記焼結成
分化合物となる粉末（以下、第一成分化合物と言
う）とカーボン又はカーボンになる得る化合物
（以下、第二成分化合物と言う）とを混合する。
該第一成分化合物は既に公知の化合物である。本
発明の多孔性セラミツクを得る原料としてはこれ
らの公知の化合物をそのまヽ使用して、焼結すれ
ばよい。一般には焼結性をより好ましくするため
に該第一成分化合物の粒子径は出来るだけ小さ
く、しかも粒度分布が揃つたものが好適である。
これらの粒子径及び粒度分布は該第一成分化合物
の種類、焼結条件等によつて異なり一概に限定出
来ないが一般には例えば平均粒子径が5μm以下好
ましくは2μm以下で、粒度分布は平均粒子径をＤ
とするとき0.4D〜1.6Dの範囲の粒子が50重量％
以上を占めるようなもので、その純度が95％以上
好ましくは98％以上のものが特に好適に使用され
る。特に第一成分化合物のなかで窒化アルミニウ
ムを用いるときは次ぎのような本発明者等が開発
した新規な窒化アルミニウム粉末を用いると好適
である。
例えば、平均粒子径2μm以下、3μm以下の粒子
のものを70容量％以上の割合で含有するもので且
つ酸素含有量3.0重量％以下好ましくは1.5重量％
以下及び窒化アルミニウムの純度が95％以上の窒
化アルミニウム粉末である。
のものを70容量％以上の割合で含有するもので且
つ酸素含有量3.0重量％以下好ましくは1.5重量％
以下及び窒化アルミニウムの純度が95％以上の窒
化アルミニウム粉末である。
上記窒化アルミニウム粉末は次のような製造方
法によつて得られる。
法によつて得られる。
即ち、
(1) 平均粒子径が2μm以下で純度が99.0％以上好
ましくは99.9％以上の酸化アルミニウム微粒子
と灰分含量0.2重量％以下好ましくは0.1重量％
以下で平均粒子径が1μm以下のカーボン微粉末
とを液体分散媒体中で緊密に混合し、そのさい
該酸化アルミニウム微粉末対該カーボン微粉末
の重量比は１：0.36〜１：１であり； (2) 得られた緊密混合物を、適宜乾燥し、窒化又
はアンモニアの雰囲気下で1400〜1700℃の温度
で焼成し； (3) 次いで得られた微粉末を酸素を含む雰囲気下
で600〜900℃の温度で加熱して未反応のカーボ
ンを加熱除去し、窒化アルミニウム含量が少な
くとも95重量％であり、結合酸素の含量が最大
3.0重量％好ましくは1.5重量％であり、且つ不
純物としての金属化合物の含量が金属として最
大0.3重量％である平均粒子径が2μm以下の窒
化アルミニウム粉末を生成せしめることによつ
て製造することができる。
ましくは99.9％以上の酸化アルミニウム微粒子
と灰分含量0.2重量％以下好ましくは0.1重量％
以下で平均粒子径が1μm以下のカーボン微粉末
とを液体分散媒体中で緊密に混合し、そのさい
該酸化アルミニウム微粉末対該カーボン微粉末
の重量比は１：0.36〜１：１であり； (2) 得られた緊密混合物を、適宜乾燥し、窒化又
はアンモニアの雰囲気下で1400〜1700℃の温度
で焼成し； (3) 次いで得られた微粉末を酸素を含む雰囲気下
で600〜900℃の温度で加熱して未反応のカーボ
ンを加熱除去し、窒化アルミニウム含量が少な
くとも95重量％であり、結合酸素の含量が最大
3.0重量％好ましくは1.5重量％であり、且つ不
純物としての金属化合物の含量が金属として最
大0.3重量％である平均粒子径が2μm以下の窒
化アルミニウム粉末を生成せしめることによつ
て製造することができる。
本発明の多孔性セラミツクの第二成分化合物は
カーボン又は焼結体を製造する過程でカーボンと
なりうる化合物である。従つて、第二成分化合物
の原料として必らずしもカーボンを使用する必要
はない。例えば焼結後にカーボンとなりうる化合
物例えばポリエチレングリコール、デンプン、等
を原料として使用することも出来る。しかしなが
ら、一般にはカーボンブラツク、黒鉛化カーボン
等を原料として使用するのが好ましい。上記第一
成分化合物と第二成分化合物との混合割合は後述
するように多孔性セラミツクの空隙率、孔径等に
影響を与えるので必要に応じて適宜実施すればよ
い。一般には前記第一成分化合物60〜97重量％と
第二成分化合物即ちカーボン３〜40重量％となる
ように選べば良好である。
カーボン又は焼結体を製造する過程でカーボンと
なりうる化合物である。従つて、第二成分化合物
の原料として必らずしもカーボンを使用する必要
はない。例えば焼結後にカーボンとなりうる化合
物例えばポリエチレングリコール、デンプン、等
を原料として使用することも出来る。しかしなが
ら、一般にはカーボンブラツク、黒鉛化カーボン
等を原料として使用するのが好ましい。上記第一
成分化合物と第二成分化合物との混合割合は後述
するように多孔性セラミツクの空隙率、孔径等に
影響を与えるので必要に応じて適宜実施すればよ
い。一般には前記第一成分化合物60〜97重量％と
第二成分化合物即ちカーボン３〜40重量％となる
ように選べば良好である。
次いで前記第一成分化合物と第二成分化合物と
を混合した混合物を焼結すると第一成分化合物と
第二成分化合物との複合セラミツクを得ることが
出来るが、該混合に際して、該第一成分化合物の
焼結助剤を例えば0.1〜５重量％となるように用
いることはしばしば好適な実施態様となる。該焼
結助剤は第一成分化合物の種類によつてそれぞれ
多少異なるので、該第一成分化合物の種類に応じ
て公知の焼結助剤から選び決定すればよい。一般
に好適に使用される焼結助剤は周期律表第ａ
族、同第ａ族等の金属酸化物該金属炭酸塩、該
金属硝酸塩等である。
を混合した混合物を焼結すると第一成分化合物と
第二成分化合物との複合セラミツクを得ることが
出来るが、該混合に際して、該第一成分化合物の
焼結助剤を例えば0.1〜５重量％となるように用
いることはしばしば好適な実施態様となる。該焼
結助剤は第一成分化合物の種類によつてそれぞれ
多少異なるので、該第一成分化合物の種類に応じ
て公知の焼結助剤から選び決定すればよい。一般
に好適に使用される焼結助剤は周期律表第ａ
族、同第ａ族等の金属酸化物該金属炭酸塩、該
金属硝酸塩等である。
前記第一成分化合物と第二成分化合物との原料
混合比が得られる多孔性セラミツクの空隙率を決
定するので得られる多孔性セラツクスに要求され
る空隙率に応じて、予め混合比特に上記第二成分
化合物の混合比を決定しておくのがよい。また同
様に多孔性セラミツクの孔径は原則として前記第
二成分化合物の粒子径によつて影響されるので、
得られる多孔性セラミツクに要求される孔径に応
じて該第二成分化合物の粒子径のものを選ぶとよ
い。また上記混合は特に限定されないが一般に
は、水、炭化水素類、アルコール類、石油エーテ
ル等の公知の液体分散体中で湿式混合することに
よつて混合するのが好適である。
混合比が得られる多孔性セラミツクの空隙率を決
定するので得られる多孔性セラツクスに要求され
る空隙率に応じて、予め混合比特に上記第二成分
化合物の混合比を決定しておくのがよい。また同
様に多孔性セラミツクの孔径は原則として前記第
二成分化合物の粒子径によつて影響されるので、
得られる多孔性セラミツクに要求される孔径に応
じて該第二成分化合物の粒子径のものを選ぶとよ
い。また上記混合は特に限定されないが一般に
は、水、炭化水素類、アルコール類、石油エーテ
ル等の公知の液体分散体中で湿式混合することに
よつて混合するのが好適である。
上記混合された混合物は必要に応じて乾燥した
後、焼結に供される。該焼結するための温度は前
記第一成分化合物の種類によつて異なり一概に限
定出来ないが一般には1600〜2200℃の温度から選
べば好適である。
後、焼結に供される。該焼結するための温度は前
記第一成分化合物の種類によつて異なり一概に限
定出来ないが一般には1600〜2200℃の温度から選
べば好適である。
前記方法で得られた焼結体は前記第一成分化合
物とカーボンとからなる複合セラミツクである。
この複合セラミツクは次いで酸素又炭酸ガスを含
む雰囲気下に600〜900℃の温度で加熱する。この
加熱処理によつて複合セラミツク中のカーボンが
酸素と反応し、複合セラミツクから除去され、本
発明の多孔性セラミツクとなる。
物とカーボンとからなる複合セラミツクである。
この複合セラミツクは次いで酸素又炭酸ガスを含
む雰囲気下に600〜900℃の温度で加熱する。この
加熱処理によつて複合セラミツク中のカーボンが
酸素と反応し、複合セラミツクから除去され、本
発明の多孔性セラミツクとなる。
本発明の多孔性セラミツクは前記したような
種々の性状を有するが、強度が大きい多孔性セラ
ミツクの出現により、工業的に電子機器、電気部
品、放熱板等種々の用途に広く使用される。
種々の性状を有するが、強度が大きい多孔性セラ
ミツクの出現により、工業的に電子機器、電気部
品、放熱板等種々の用途に広く使用される。
本発明を更に具体的に説明するため以下実施例
を挙げて説明するが本発明はこれらの実施例に限
定されるものではない。
を挙げて説明するが本発明はこれらの実施例に限
定されるものではない。
実施例 １
純度99.99％（不純物分析値を表１に示す）で
平均粒子径0.52μmで3μm以下の粒子の割合が
95vol％のアルミナ100重量部と、灰分0.08wt％で
平均粒子径が0.45μmのカーボンブラツク50重量
部とを、ナイロン製ポツトとナイロンコーテイン
グしたボールを用いエタノールを分散媒体として
均一にボールミル混合した。得られた混合物を乾
燥後、高純度黒鉛製平皿に入れ電気炉内に窒素ガ
スを３／minで連続的に供給しながら1600℃の
温度で６時間加熱した。得られた反応混合物を空
気中で750℃の温度で４時間加熱し、末反応のカ
ーボンを酸化除去した。得られた白色の粉末はｘ
線回折分析（Xray diffraction analysis）の結
果、単相（single phase）のAlNであり、Al2O3
の回折ピークは無かつた。また該粉末の平均粒子
径は粒度分布測定器（堀場製作所 CAPA−500）
を用いて測定したところ1.31μmであり、3μm以
下が90重量％を占めた。走査型電子顕微鏡による
観察ではこの粉末は平均0.7μm程度の均一な粒子
であつた。また比表面積の測定値は4.0m2／ｇで
あつた。この粉末の分析値を表２に示す。
平均粒子径0.52μmで3μm以下の粒子の割合が
95vol％のアルミナ100重量部と、灰分0.08wt％で
平均粒子径が0.45μmのカーボンブラツク50重量
部とを、ナイロン製ポツトとナイロンコーテイン
グしたボールを用いエタノールを分散媒体として
均一にボールミル混合した。得られた混合物を乾
燥後、高純度黒鉛製平皿に入れ電気炉内に窒素ガ
スを３／minで連続的に供給しながら1600℃の
温度で６時間加熱した。得られた反応混合物を空
気中で750℃の温度で４時間加熱し、末反応のカ
ーボンを酸化除去した。得られた白色の粉末はｘ
線回折分析（Xray diffraction analysis）の結
果、単相（single phase）のAlNであり、Al2O3
の回折ピークは無かつた。また該粉末の平均粒子
径は粒度分布測定器（堀場製作所 CAPA−500）
を用いて測定したところ1.31μmであり、3μm以
下が90重量％を占めた。走査型電子顕微鏡による
観察ではこの粉末は平均0.7μm程度の均一な粒子
であつた。また比表面積の測定値は4.0m2／ｇで
あつた。この粉末の分析値を表２に示す。
表 １
Al2O3粉末分析値
Al2O3含有量 99.99％
元 素 含有量（PPM）
Mg ＜５
Cr ＜10
Si 30
Zn ＜５
Fe 22
Cu ＜５
Ca ＜20
Ni 15
Ti ＜５
表 ２ AlN粉末分析値
AlN含有量 97・８％
元 素 含有量
Mg ＜５（PPM）
Cr 21（〃）
Si 125（〃）
Zn ９（〃）
Fe 20（〃）
Cu ＜５（〃）
Mn ５（〃）
Ni 27（〃）
Ti ＜５（〃）
Co ＜５（〃）
Al 64.8（wt％）
Ｎ 33.4（〃）
Ｏ 1.1（〃）
Ｃ 0.11（〃）
上記窒化アルミニウム粉末80重量部と、平均粒
径0.4μmのカーボンブラツク20重量部とを、ナイ
ロン製ポツトとナイロン・コーテイングしたボー
ルを用い、エタノールを分散媒体として均一にボ
ールミル混合した。得られたスラリー、乾燥器内
で60℃、24時間乾燥を行つた。
径0.4μmのカーボンブラツク20重量部とを、ナイ
ロン製ポツトとナイロン・コーテイングしたボー
ルを用い、エタノールを分散媒体として均一にボ
ールミル混合した。得られたスラリー、乾燥器内
で60℃、24時間乾燥を行つた。
上記混合粉末12gを、窒化硼素粉末を内面に塗
布した内径40mmの黒鉛型中で、200Kg／cm2の加圧
下、１気圧の窒素中に於いて2000℃３時間加圧焼
結した。得られた焼結体は、黒色の光沢を有する
ものであつた。
布した内径40mmの黒鉛型中で、200Kg／cm2の加圧
下、１気圧の窒素中に於いて2000℃３時間加圧焼
結した。得られた焼結体は、黒色の光沢を有する
ものであつた。
また、この焼結体の密度は29.1g／cm3であつた。
次に、上記複合焼結体を電気炉に入れ、空気中
にて800℃12時間焼成してカーボンを酸化除去し
た。酸化処理後の焼結体は灰白色になつていた。
この焼結体は、Ｘ線回折により、窒化アルミニウ
ムの回折線のみ検出され、また気孔率を測定した
ところ28％であつたことから、窒化アルミニウム
多孔体であることが判つた。
にて800℃12時間焼成してカーボンを酸化除去し
た。酸化処理後の焼結体は灰白色になつていた。
この焼結体は、Ｘ線回折により、窒化アルミニウ
ムの回折線のみ検出され、また気孔率を測定した
ところ28％であつたことから、窒化アルミニウム
多孔体であることが判つた。
上記多孔体から、約３mm角、長さ約40mmの試験
片を切り出し、1500番のサンドペーパーで磨いた
後、曲げ強度を測定した。測定条件は、クロス・
ヘツド・スピード１mm／分、スパン20mmの３点曲
げとした。測定値より計算された曲げ強度の平均
値は、６Kg／mmであつた。
片を切り出し、1500番のサンドペーパーで磨いた
後、曲げ強度を測定した。測定条件は、クロス・
ヘツド・スピード１mm／分、スパン20mmの３点曲
げとした。測定値より計算された曲げ強度の平均
値は、６Kg／mmであつた。
一方、本実施例で得られた窒化アルミニウム多
孔体の加工性を調べたところ、超硬ドリルによる
穿孔、超硬バイトによる高速切削のいずれも容易
に行なえ、快削性であることが判つた。
孔体の加工性を調べたところ、超硬ドリルによる
穿孔、超硬バイトによる高速切削のいずれも容易
に行なえ、快削性であることが判つた。
尚、図１は、本実施例で得られた窒化アルミニ
ウム多孔体の機械的破断面の走査電子顕微鏡写真
（倍率3000倍）である。
ウム多孔体の機械的破断面の走査電子顕微鏡写真
（倍率3000倍）である。
図１は実施例１で使用した窒化アルミニウム多
孔体の機械的破断面の走査型電子顕微鏡写真であ
る。
孔体の機械的破断面の走査型電子顕微鏡写真であ
る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ アルミニウム、ケイ素及びホウ素よりなる群
から選ばれた少なくとも一種の金属の炭化物又は
窒化物よりなる焼結体で、焼結されて結合された
該アルミニウム、ケイ素及びホウ素よりなる群か
ら選ばれた少なくとも一種の金属の炭化物又は窒
化物の結晶粒子の一部に連続した孔を構成してな
ることを特徴とする多孔性セラミツク。 ２ アルミニウム、ケイ素及びホウ素よりなる群
から選ばれた少なくとも一種の金属の炭化物又は
窒化物60〜97重量％とカーボン３〜40重量％とか
らなる焼結体を、酸素又は炭酸ガスを含む雰囲気
下に600〜900℃の温度で加熱して含有カーボンを
除去することを特徴とする多孔性セラミツクの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4920984A JPS60195069A (ja) | 1984-03-16 | 1984-03-16 | 多孔性セラミツク及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4920984A JPS60195069A (ja) | 1984-03-16 | 1984-03-16 | 多孔性セラミツク及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60195069A JPS60195069A (ja) | 1985-10-03 |
| JPH0455996B2 true JPH0455996B2 (ja) | 1992-09-07 |
Family
ID=12824584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4920984A Granted JPS60195069A (ja) | 1984-03-16 | 1984-03-16 | 多孔性セラミツク及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60195069A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6310992U (ja) * | 1986-07-07 | 1988-01-25 | ||
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| CN110903092A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-03-24 | 苏州纳迪微电子有限公司 | 高纯度多孔AlN陶瓷及其制备方法 |
-
1984
- 1984-03-16 JP JP4920984A patent/JPS60195069A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60195069A (ja) | 1985-10-03 |
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