JPH0456792B2 - - Google Patents
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- JPH0456792B2 JPH0456792B2 JP60099304A JP9930485A JPH0456792B2 JP H0456792 B2 JPH0456792 B2 JP H0456792B2 JP 60099304 A JP60099304 A JP 60099304A JP 9930485 A JP9930485 A JP 9930485A JP H0456792 B2 JPH0456792 B2 JP H0456792B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- silicon carbide
- density
- carbon
- sintering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Ceramic Products (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は炭化珪素焼結体の製造方法に関し、更
に詳細には炭化珪素粉末に焼結助剤として特定の
炭素含有物質とホウ素化合物を特定量範囲で存在
せしめた後成形し、真空中で加熱後更に不活性雰
囲気中にて焼結することにより、焼結体中に特定
量の炭素とホウ素を含有する高密度炭化珪素焼結
体の製造方法に関するものである。 炭化珪素は物理的および化学的性質に優れてお
り、特に高硬度でかつ、耐蝕性を有し、高温にお
いても室温と変わらない機械的性質を有するため
従来より耐摩耗材料、高温構造材料として有望視
されていた。しかし難焼結性のため高密度に焼結
することが通常の方法では困難であるため、ホツ
トプレス法による焼結、焼結助剤添加による焼結
等が提案されている。 例えば特開昭51−148712号公報には１〜100
m2／ｇの比表面積を有するα型炭化珪素91〜
99.35重量部に25〜75重量％の炭化率を有する炭
化可能な有機溶剤可溶性の有機材料0.67〜20重量
部、0.15〜3.0重量部のホウ素を含有するホウ素
源および一時的結合剤５〜15重量部を混合し焼結
することにより高密度の炭化珪素焼結体が得られ
ることが教示されている。 しかしながら該方法によれば、高密度の炭化珪
素焼結体は得られるものの機械的強度においては
満足し得るものではなく、例えば抗折力で50Kg／
mm2を越えるものは見られない。 そのため本発明者等は、従来一般に炭化珪素の
場合その焼結密度を上げるために必要とされてい
るホウ素量よりも少ない添加量範囲に特定の炭素
含有物質を特定量範囲で添加併用する場合には焼
結密度の低下を招くことなく機械的強度に優れた
焼結体が得られることを見出し、先に特許出願を
行つた。ところがその方法を継続して検討してい
たところ厚みの薄い焼結体においては容易に高密
度品が得られるものの、成形体の厚みが厚い場合
には必ずしも高密度な焼結体が得られないことが
あるとの不都合に直面した。 かかる事情下に鑑み本発明者らは、成形体の厚
みが厚い場合に高密度焼結体が得られない原因を
鋭意検討した結果、成形体の厚みが厚い場合には
焼結助剤として存在せしめた炭素含有物質が焼結
体の内部に残留しやすくなり、その結果高密度化
が妨げられるためであると考察し、炭素含有物質
の焼結助剤としての役割を損なうことなく焼結体
中に存在する過剰残留炭素を除く方法、更には適
正炭素量等を検討した結果、成形体の焼結方法を
特定化することにより成形体の厚みが厚い、例え
ば10mmを越える場合においても高密度でかつ、高
強度の焼結体が得られることを見出し、本発明方
法を完成するに至つた。 すなむち本発明は、炭化珪素粉末に焼結助剤と
してホウ素換算で0.03重量％を越え0.15重量％未
満のホウ素化合物と炭化珪素粉末中に含有される
炭素との総量が４重量％を越え８重量％未満の炭
素となる如くタールピツチを添加混合し、成形し
た成形体を真空中1500℃以上の温度に加熱し、次
いで不活性雰囲気中2300℃以下の温度で焼結さ
せ、ホウ素含有量が0.03重量％を越え0.15重量％
未満で炭素含有量が2.0重量％以下であり、かつ
該焼結体が理論密度の90％以上の密度を有する炭
化珪素焼結体を得ることを特徴とする高密度炭化
珪素焼結体の製造方法を提供するにある。 以下、本発明方法を更に詳細に説明する。 本発明方法で使用する炭化珪素粉末としては平
均粒径1μ以下の主としてアルフア或いは非等軸
晶系の結晶形態を有する炭化珪素からなる炭化珪
素粉末が好適であるが、更にはベータ型炭化珪素
粉末単独或いはこれらの混合物を使用することも
できる。これら炭化珪素粉末中には0.2〜２重量
％の付加的炭素が包含されているのが一般的であ
り、本発明方法に適用される炭化珪素粉末も例外
ではない。 本発明方法においては、炭化珪素粉末に対しホ
ウ素換算で0.03重量％を越え0.15重量％未満のホ
ウ素化合物と炭化珪素粉末中に含有される付加的
炭素をも含めて総量で４重量％を越え８重量％未
満の炭素となる如きタールピツチを存在せしめる
が、炭化珪素粉末に対するホウ素化合物の添加量
がホウ素に換算して0.03重量％以下の場合には焼
結密度が低下し好ましくなく、他方0.15重量％以
上の場合には高密度焼結体を得ることはできるも
のの、焼結体の機械的強度が低下するので好まし
くない。 また炭化珪素粉末に対するタールピツチの添加
量が炭化珪素粉末中に含有される付加的炭素をも
加えて炭素としての総量が４重量％以下の場合に
は焼結前に炭化珪素が粒成長を起こし、高密度焼
結体を得ることができず、他方８重量％を越える
場合には焼結体の機械的強度が低下するので好ま
しくない。 本発明方法の実施において使用し得るホウ素化
合物としては特に制限されないが、一般には対象
とする焼結体の焼結温度まで安定に存在し、かつ
ホウ素含有量の高い化合物が望ましく、具体的に
はホウ素、炭化ホウ素等が挙げられる。 度が低下するので好ましくない。 またタールピツチとしては特に制限されないが
40〜60重量％の炭化率を有する有機溶剤可溶性の
コールタールピツチ或いはオイルタールピツチの
使用が適当である。 本発明において上記組成配合となる如く構成し
た炭化珪素粉末とホウ素化合物とタールピツチは
ベンゼン、キノリン、アントラセン等の有機溶媒
或いは水を用いて均一に混合した後、スリツプキ
ヤステイング成形するか、或いはスプレードライ
法により造粒し、プレス成形法により加圧成形す
るか、或いは有機バインダーを混合し、押出成形
や射出成形等により成形体を得ればよい。 このようにして得た成形体は必要に応じて機械
加工や脱バインダー処理を行つた後、真空中で
1500℃以上の温度に昇温し、更にアルゴン、ヘリ
ウム、窒素等の不活性雰囲気中で2300℃以下の温
度で焼結を行う。真空から不活性雰囲気に切換え
る温度及び時間は成形体中に含有される炭素量や
使用する真空度等により一義的ではないが、焼結
後の焼結体中の炭素含有量が２重量％以下となる
条件が選択される。この様な条件としては通常真
空度10-1torr以上、好ましくは10-3〜10-6torrで
温度1500〜2000℃、１〜10時間加熱した後更に不
活性雰囲気中で焼結する方法が挙げられる。一般
的には炭素含有量が同一の場合には真空度が高
く、加熱温度が高いほど真空下における加熱時間
は短時間となるが、これら条件は簡単な予備実験
により容易に設定し得る。 本発明方法において真空中での加熱温度が1500
℃未満の場合には焼結体中の炭素残量が２重量％
を越え、高密度化品が得られず好ましくなく、他
方2000℃を越える場合には炭化珪素の蒸発が生起
するので好ましくない。また不活性雰囲気下での
処理温度は2300℃以下、好ましくは2050〜2300℃
であり、焼結温度が2300℃を越える場合には炭化
珪素の蒸発や結晶粒の粗大化が起こり、焼結体の
機械的強度が低下し好ましくない。 本発明方法は厚みの厚い成形体の焼結に特に適
しているが、厚みの薄い成形体にも適用し得る。 本発明方法を適用することにより何故厚みの厚
い成形体を強度の低下を見ることなく高密度化で
きるのか理由は詳らかではないが、成形体の厚み
が厚い場合、成形体中で蒸発した炭素が成形体の
外へ拡散し難く、成形体中で平衡蒸気圧に達する
ため炭素のさらなる蒸発が抑制される。そのため
1900℃以上の温度の焼結および粒子成長を抑制
し、高密度品とならないが、真空下で1500℃以上
の温度に加熱する場合には成形体中で蒸発した炭
素が成形体の外へ拡散し、次工程での不活性雰囲
気での焼結時に炭素が炭化珪素の焼結を抑制しな
い量まで、すなわち２重量％以下までに減少せし
めることが可能となり、その結果として焼結時の
炭素による炭化珪素の焼結抑制がなく、かつ不活
性雰囲気が高温での炭化珪素の分解を抑制しつつ
焼結反応を遂行するので機械的強度の低下のない
高密度炭化珪素焼結体が得られるものと推測され
る。 以上詳述した本発明方法によれば、炭化珪素粉
末に特定の炭素含有物質とホウ素化合物を特定量
範囲で焼結助剤として添加存在せしめて成形体を
形成し、次いで真空中で特定温度以上に加熱し、
引続き不活性雰囲気中で加熱し、焼結せしめると
いう二段階加熱方式を採用することによりホウ素
含有量が0.03重量％を越え0.15重量％未満で炭素
含有量が2.0重量％以下でありかつ、理論密度の
90％以上の密度を有する機械的強度にも優れた高
密度炭化珪素焼結体を得ることを可能ならしめた
もので、タービン翼、ポンプ部品、抄紙機械部品
等の工業材料の製造方法としてその工業的価値は
頗る大なるものである。 以下実施例により本発明を更に詳細に説明す
る。 実施例 １ コールタールピツチ（炭素収率50％）12ｇをキ
ノリン18ｇに溶解した後、ベンゼン400ｇを加え
十分混合を行つた。この溶液に炭素1.5重量％を
含有する炭化珪素含有量97％、BET比表面積15
m2／ｇのα型炭化珪素200ｇ、1200メツシユパス
の炭化ホウ素0.3ｇを加え、プラスチツクボール
ミルを用い３時間分散混合した。窒素ガスを流し
ながら60℃で乾燥し、解砕した後180メツシユの
篩を通し、得られた混合粉末を冷間プレス後ゴム
型に装入し、1.5トン／cm2の成形圧で静水圧プレ
ス成形を行い、80φ×15mmの成形体を作製した。 この成形体を10-3〜10-4torrの真空下で常温よ
り200℃／hrの昇温速度で1700℃まで昇温し、30
分間保持しつつアルゴンガスを導入した。
760torrに達した後アルゴンガス雰囲気下2100℃
の温度条件で１時間焼結した。得られた焼結体の
焼結密度は3.11ｇ／cm3、３点曲げ試験（試料寸法
４×３×50mm、スパン30mm）による曲げ強度は60
Kg／cm2であり、焼結体中の残存炭素量は0.8重量
％であつた。 実施例 ２ オイルタールピツチ（炭素収率50％）24ｇをキ
ノリン36ｇに溶解した後、ベンゼン400ｇを加え
十分混合を行つた。この溶液に炭素0.6重量％を
含有する炭化珪素含有量97.5％、BET比表面積
10m2／ｇのα型炭化珪素200ｇ、1200メツシユパ
スの炭化ホウ素0.3ｇを加え、プラスチツクボー
ルミルを用い３時間分散混合した。窒素ガスを流
しながら60℃で乾燥し、解砕した後180メツシユ
の篩を通し、得られた混合粉末を冷間プレス後ゴ
ム型に装入し、1.5トン／cm2の成形圧で静水圧プ
レス成形を行い、80φ×15mmの成形体を作製し
た。 この成形体を10-3〜10-4torrの真空下で常温よ
り200℃／hrの昇温速度で1900℃まで昇温し、30
分間保持しつつアルゴンガスを導入した。
760torrに達した後アルゴンガス雰囲気下2100℃
の温度条件で１時間焼結した。得られた焼結体の
焼結密度は3.08ｇ／cm3、３点曲げ強度は58Kg／mm2
であり、焼結体中の残存炭素量は1.2重量％であ
つた。 比較例 １ 実施例１と同じ条件で作成した成形体をアルゴ
ンガスを流しながら600℃の温度で３時間の焼成
を行つた後アルゴンガス雰囲気下2100℃の温度条
件で１時間焼結した。得られた焼結体の焼結密度
は2.80ｇ／cm3、曲げ強度は27Kg／mm2であり、焼結
体中の残存炭素量は2.5重量％であつた。 実施例３，４および比較例２〜５ 第１表に記載の条件で成形体を形成し、焼結
し、得られた焼結体の物性を測定した。その結果
を第１表に示す。 【表】
に詳細には炭化珪素粉末に焼結助剤として特定の
炭素含有物質とホウ素化合物を特定量範囲で存在
せしめた後成形し、真空中で加熱後更に不活性雰
囲気中にて焼結することにより、焼結体中に特定
量の炭素とホウ素を含有する高密度炭化珪素焼結
体の製造方法に関するものである。 炭化珪素は物理的および化学的性質に優れてお
り、特に高硬度でかつ、耐蝕性を有し、高温にお
いても室温と変わらない機械的性質を有するため
従来より耐摩耗材料、高温構造材料として有望視
されていた。しかし難焼結性のため高密度に焼結
することが通常の方法では困難であるため、ホツ
トプレス法による焼結、焼結助剤添加による焼結
等が提案されている。 例えば特開昭51−148712号公報には１〜100
m2／ｇの比表面積を有するα型炭化珪素91〜
99.35重量部に25〜75重量％の炭化率を有する炭
化可能な有機溶剤可溶性の有機材料0.67〜20重量
部、0.15〜3.0重量部のホウ素を含有するホウ素
源および一時的結合剤５〜15重量部を混合し焼結
することにより高密度の炭化珪素焼結体が得られ
ることが教示されている。 しかしながら該方法によれば、高密度の炭化珪
素焼結体は得られるものの機械的強度においては
満足し得るものではなく、例えば抗折力で50Kg／
mm2を越えるものは見られない。 そのため本発明者等は、従来一般に炭化珪素の
場合その焼結密度を上げるために必要とされてい
るホウ素量よりも少ない添加量範囲に特定の炭素
含有物質を特定量範囲で添加併用する場合には焼
結密度の低下を招くことなく機械的強度に優れた
焼結体が得られることを見出し、先に特許出願を
行つた。ところがその方法を継続して検討してい
たところ厚みの薄い焼結体においては容易に高密
度品が得られるものの、成形体の厚みが厚い場合
には必ずしも高密度な焼結体が得られないことが
あるとの不都合に直面した。 かかる事情下に鑑み本発明者らは、成形体の厚
みが厚い場合に高密度焼結体が得られない原因を
鋭意検討した結果、成形体の厚みが厚い場合には
焼結助剤として存在せしめた炭素含有物質が焼結
体の内部に残留しやすくなり、その結果高密度化
が妨げられるためであると考察し、炭素含有物質
の焼結助剤としての役割を損なうことなく焼結体
中に存在する過剰残留炭素を除く方法、更には適
正炭素量等を検討した結果、成形体の焼結方法を
特定化することにより成形体の厚みが厚い、例え
ば10mmを越える場合においても高密度でかつ、高
強度の焼結体が得られることを見出し、本発明方
法を完成するに至つた。 すなむち本発明は、炭化珪素粉末に焼結助剤と
してホウ素換算で0.03重量％を越え0.15重量％未
満のホウ素化合物と炭化珪素粉末中に含有される
炭素との総量が４重量％を越え８重量％未満の炭
素となる如くタールピツチを添加混合し、成形し
た成形体を真空中1500℃以上の温度に加熱し、次
いで不活性雰囲気中2300℃以下の温度で焼結さ
せ、ホウ素含有量が0.03重量％を越え0.15重量％
未満で炭素含有量が2.0重量％以下であり、かつ
該焼結体が理論密度の90％以上の密度を有する炭
化珪素焼結体を得ることを特徴とする高密度炭化
珪素焼結体の製造方法を提供するにある。 以下、本発明方法を更に詳細に説明する。 本発明方法で使用する炭化珪素粉末としては平
均粒径1μ以下の主としてアルフア或いは非等軸
晶系の結晶形態を有する炭化珪素からなる炭化珪
素粉末が好適であるが、更にはベータ型炭化珪素
粉末単独或いはこれらの混合物を使用することも
できる。これら炭化珪素粉末中には0.2〜２重量
％の付加的炭素が包含されているのが一般的であ
り、本発明方法に適用される炭化珪素粉末も例外
ではない。 本発明方法においては、炭化珪素粉末に対しホ
ウ素換算で0.03重量％を越え0.15重量％未満のホ
ウ素化合物と炭化珪素粉末中に含有される付加的
炭素をも含めて総量で４重量％を越え８重量％未
満の炭素となる如きタールピツチを存在せしめる
が、炭化珪素粉末に対するホウ素化合物の添加量
がホウ素に換算して0.03重量％以下の場合には焼
結密度が低下し好ましくなく、他方0.15重量％以
上の場合には高密度焼結体を得ることはできるも
のの、焼結体の機械的強度が低下するので好まし
くない。 また炭化珪素粉末に対するタールピツチの添加
量が炭化珪素粉末中に含有される付加的炭素をも
加えて炭素としての総量が４重量％以下の場合に
は焼結前に炭化珪素が粒成長を起こし、高密度焼
結体を得ることができず、他方８重量％を越える
場合には焼結体の機械的強度が低下するので好ま
しくない。 本発明方法の実施において使用し得るホウ素化
合物としては特に制限されないが、一般には対象
とする焼結体の焼結温度まで安定に存在し、かつ
ホウ素含有量の高い化合物が望ましく、具体的に
はホウ素、炭化ホウ素等が挙げられる。 度が低下するので好ましくない。 またタールピツチとしては特に制限されないが
40〜60重量％の炭化率を有する有機溶剤可溶性の
コールタールピツチ或いはオイルタールピツチの
使用が適当である。 本発明において上記組成配合となる如く構成し
た炭化珪素粉末とホウ素化合物とタールピツチは
ベンゼン、キノリン、アントラセン等の有機溶媒
或いは水を用いて均一に混合した後、スリツプキ
ヤステイング成形するか、或いはスプレードライ
法により造粒し、プレス成形法により加圧成形す
るか、或いは有機バインダーを混合し、押出成形
や射出成形等により成形体を得ればよい。 このようにして得た成形体は必要に応じて機械
加工や脱バインダー処理を行つた後、真空中で
1500℃以上の温度に昇温し、更にアルゴン、ヘリ
ウム、窒素等の不活性雰囲気中で2300℃以下の温
度で焼結を行う。真空から不活性雰囲気に切換え
る温度及び時間は成形体中に含有される炭素量や
使用する真空度等により一義的ではないが、焼結
後の焼結体中の炭素含有量が２重量％以下となる
条件が選択される。この様な条件としては通常真
空度10-1torr以上、好ましくは10-3〜10-6torrで
温度1500〜2000℃、１〜10時間加熱した後更に不
活性雰囲気中で焼結する方法が挙げられる。一般
的には炭素含有量が同一の場合には真空度が高
く、加熱温度が高いほど真空下における加熱時間
は短時間となるが、これら条件は簡単な予備実験
により容易に設定し得る。 本発明方法において真空中での加熱温度が1500
℃未満の場合には焼結体中の炭素残量が２重量％
を越え、高密度化品が得られず好ましくなく、他
方2000℃を越える場合には炭化珪素の蒸発が生起
するので好ましくない。また不活性雰囲気下での
処理温度は2300℃以下、好ましくは2050〜2300℃
であり、焼結温度が2300℃を越える場合には炭化
珪素の蒸発や結晶粒の粗大化が起こり、焼結体の
機械的強度が低下し好ましくない。 本発明方法は厚みの厚い成形体の焼結に特に適
しているが、厚みの薄い成形体にも適用し得る。 本発明方法を適用することにより何故厚みの厚
い成形体を強度の低下を見ることなく高密度化で
きるのか理由は詳らかではないが、成形体の厚み
が厚い場合、成形体中で蒸発した炭素が成形体の
外へ拡散し難く、成形体中で平衡蒸気圧に達する
ため炭素のさらなる蒸発が抑制される。そのため
1900℃以上の温度の焼結および粒子成長を抑制
し、高密度品とならないが、真空下で1500℃以上
の温度に加熱する場合には成形体中で蒸発した炭
素が成形体の外へ拡散し、次工程での不活性雰囲
気での焼結時に炭素が炭化珪素の焼結を抑制しな
い量まで、すなわち２重量％以下までに減少せし
めることが可能となり、その結果として焼結時の
炭素による炭化珪素の焼結抑制がなく、かつ不活
性雰囲気が高温での炭化珪素の分解を抑制しつつ
焼結反応を遂行するので機械的強度の低下のない
高密度炭化珪素焼結体が得られるものと推測され
る。 以上詳述した本発明方法によれば、炭化珪素粉
末に特定の炭素含有物質とホウ素化合物を特定量
範囲で焼結助剤として添加存在せしめて成形体を
形成し、次いで真空中で特定温度以上に加熱し、
引続き不活性雰囲気中で加熱し、焼結せしめると
いう二段階加熱方式を採用することによりホウ素
含有量が0.03重量％を越え0.15重量％未満で炭素
含有量が2.0重量％以下でありかつ、理論密度の
90％以上の密度を有する機械的強度にも優れた高
密度炭化珪素焼結体を得ることを可能ならしめた
もので、タービン翼、ポンプ部品、抄紙機械部品
等の工業材料の製造方法としてその工業的価値は
頗る大なるものである。 以下実施例により本発明を更に詳細に説明す
る。 実施例 １ コールタールピツチ（炭素収率50％）12ｇをキ
ノリン18ｇに溶解した後、ベンゼン400ｇを加え
十分混合を行つた。この溶液に炭素1.5重量％を
含有する炭化珪素含有量97％、BET比表面積15
m2／ｇのα型炭化珪素200ｇ、1200メツシユパス
の炭化ホウ素0.3ｇを加え、プラスチツクボール
ミルを用い３時間分散混合した。窒素ガスを流し
ながら60℃で乾燥し、解砕した後180メツシユの
篩を通し、得られた混合粉末を冷間プレス後ゴム
型に装入し、1.5トン／cm2の成形圧で静水圧プレ
ス成形を行い、80φ×15mmの成形体を作製した。 この成形体を10-3〜10-4torrの真空下で常温よ
り200℃／hrの昇温速度で1700℃まで昇温し、30
分間保持しつつアルゴンガスを導入した。
760torrに達した後アルゴンガス雰囲気下2100℃
の温度条件で１時間焼結した。得られた焼結体の
焼結密度は3.11ｇ／cm3、３点曲げ試験（試料寸法
４×３×50mm、スパン30mm）による曲げ強度は60
Kg／cm2であり、焼結体中の残存炭素量は0.8重量
％であつた。 実施例 ２ オイルタールピツチ（炭素収率50％）24ｇをキ
ノリン36ｇに溶解した後、ベンゼン400ｇを加え
十分混合を行つた。この溶液に炭素0.6重量％を
含有する炭化珪素含有量97.5％、BET比表面積
10m2／ｇのα型炭化珪素200ｇ、1200メツシユパ
スの炭化ホウ素0.3ｇを加え、プラスチツクボー
ルミルを用い３時間分散混合した。窒素ガスを流
しながら60℃で乾燥し、解砕した後180メツシユ
の篩を通し、得られた混合粉末を冷間プレス後ゴ
ム型に装入し、1.5トン／cm2の成形圧で静水圧プ
レス成形を行い、80φ×15mmの成形体を作製し
た。 この成形体を10-3〜10-4torrの真空下で常温よ
り200℃／hrの昇温速度で1900℃まで昇温し、30
分間保持しつつアルゴンガスを導入した。
760torrに達した後アルゴンガス雰囲気下2100℃
の温度条件で１時間焼結した。得られた焼結体の
焼結密度は3.08ｇ／cm3、３点曲げ強度は58Kg／mm2
であり、焼結体中の残存炭素量は1.2重量％であ
つた。 比較例 １ 実施例１と同じ条件で作成した成形体をアルゴ
ンガスを流しながら600℃の温度で３時間の焼成
を行つた後アルゴンガス雰囲気下2100℃の温度条
件で１時間焼結した。得られた焼結体の焼結密度
は2.80ｇ／cm3、曲げ強度は27Kg／mm2であり、焼結
体中の残存炭素量は2.5重量％であつた。 実施例３，４および比較例２〜５ 第１表に記載の条件で成形体を形成し、焼結
し、得られた焼結体の物性を測定した。その結果
を第１表に示す。 【表】
Claims (1)
- １ 炭化珪素粉末に焼結助剤としてホウ素換算で
0.03重量％を越え0.15重量％未満のホウ素化合物
と炭化珪素粉末中に含有される炭素との総量が４
重量％を越え８重量％未満の炭素となる如くター
ルピツチを添加混合し、成形した成形体を真空中
1500℃以上の温度に加熱し、次いで不活性雰囲気
中2300℃以下の温度で焼結させ、ホウ素含有量が
0.03重量％を越え0.15重量％未満で炭素含有量が
2.0重量％以下であり、かつ該焼結体が理論密度
の90％以上の密度を有する炭化珪素焼結体を得る
ことを特徴とする高密度炭化珪素焼結体の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60099304A JPS61256976A (ja) | 1985-05-10 | 1985-05-10 | 高密度炭化珪素焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60099304A JPS61256976A (ja) | 1985-05-10 | 1985-05-10 | 高密度炭化珪素焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61256976A JPS61256976A (ja) | 1986-11-14 |
| JPH0456792B2 true JPH0456792B2 (ja) | 1992-09-09 |
Family
ID=14243887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60099304A Granted JPS61256976A (ja) | 1985-05-10 | 1985-05-10 | 高密度炭化珪素焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61256976A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6414174A (en) * | 1987-07-06 | 1989-01-18 | Ngk Insulators Ltd | Silicon carbide sintered body and its production |
-
1985
- 1985-05-10 JP JP60099304A patent/JPS61256976A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61256976A (ja) | 1986-11-14 |
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Legal Events
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