JPH0457281U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0457281U JPH0457281U JP10121990U JP10121990U JPH0457281U JP H0457281 U JPH0457281 U JP H0457281U JP 10121990 U JP10121990 U JP 10121990U JP 10121990 U JP10121990 U JP 10121990U JP H0457281 U JPH0457281 U JP H0457281U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- mounting table
- substrate mounting
- dispenser
- chamber
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 3
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- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案の一実施例の斜視図
及び断面図、第３図ａ及びｂは本実施例における
オリフイススキージの正面図及び下面図、第４図
はこのオリフイススキージの動作状況を示す正面
図である。 １……基板、２……載置台、３……デイスペン
サー、４……オリフイススキージ、５……スリツ
ト、６……感光性樹脂、７……回転機構、８……
薬液部、９……チヤンバー。
及び断面図、第３図ａ及びｂは本実施例における
オリフイススキージの正面図及び下面図、第４図
はこのオリフイススキージの動作状況を示す正面
図である。 １……基板、２……載置台、３……デイスペン
サー、４……オリフイススキージ、５……スリツ
ト、６……感光性樹脂、７……回転機構、８……
薬液部、９……チヤンバー。
Claims (1)
- チヤンバーと、該チヤンバー内に設けられた基
板載置台と、該基板載置台に載置した基板の保持
機構と、前記基盤載置台を回転させる回転機構と
、先端にスリツト状の開口部を有して前記基板の
上にくるオリフイススキージを取り付けたデイス
ペサーと、該デイスペンサーに塗布液を供給する
薬液部とからなることを特徴とする回転塗布装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10121990U JPH0457281U (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10121990U JPH0457281U (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0457281U true JPH0457281U (ja) | 1992-05-15 |
Family
ID=31844489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10121990U Pending JPH0457281U (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0457281U (ja) |
-
1990
- 1990-09-27 JP JP10121990U patent/JPH0457281U/ja active Pending
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