JPH0458217A

JPH0458217A - 液晶表示素子の製造方法

Info

Publication number: JPH0458217A
Application number: JP17101790A
Authority: JP
Inventors: Shigeru Masuda; 茂増田
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1990-06-27
Filing date: 1990-06-27
Publication date: 1992-02-25
Anticipated expiration: 2013-11-11
Also published as: JP2822621B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔概要〕液晶表示素子の製造方法に関し、上下ガラス基板の位置合わせや基板の整形切断の精度と
作業性を改善すると共に、歩留り向上と価格の低減を行
うことを目的とし、２枚のガラス基板にストライプ状の透明電極とその上に
配向膜を形成し、前記２枚のガラス基板を配向膜が対面
し、かつ、前記それぞれの透明電極がマトリクス交点を
形成するように直交配置させ、両基板間にスペーサを挟
み接着剤からなるシール層で封着して、前記ガラス基板
を前記シール層の外側で整形切断したのち、前記２枚の
ガラス基板間に形成されたギャップ状空間に液晶を注入
封止してなる液晶表示素子の製造方法において、前記ガ
ラス基板に透明電極を形成する際に、前記シール層の外
側の基板面に少なくとも２つの位置認識マークを同時形
成し、次いで、前記配向膜を形成する際に、前記位置認
識マークを覆って平坦化保護膜を同時形成しておくよう
に液晶表示素子の製造方法を構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は液晶表示素子、とくに、液晶注入前の表示用パ
ネル（空セル）の製造方法に関する。

近年、表示装置の発展は目覚ましく、とくに、平面デイ
スプレィは薄型・軽量などの点から急速に普及してきた
。中でも、液晶表示装置は駆動電圧が低く、低価格であ
ることからパソコンやワープロなどＯＡ機器分野への導
入が活発である。

液晶表示素子の大型化、高精細化にともなってその製造
技術はますます高度化してきており、より一層の高精度
、かつ、作業効率のよい製造方法の開発が求められてい
る。

〔従来の技術〕

液晶表示装置、とくに、グラフィック表示の液晶表示装
置はＳＴＮ　（Ｓｕｐｅｒ　Ｔｗｉｓｔｅｄ　Ｎｅ５ａ
ｔｉｃ）型液晶を用いることにより、大型化と大容量化
が可能になってきているが、これを製造するためには先
ず液晶を注入する前の液晶表示パネル（空セルと称する
）を高精度、かつ、能率よく製作することが必要である
。

第４図は液晶表示素子のパネル構成を示す図で、液晶を
注入する前の空セルの状態であり、同図（イ）は上面図
、同図（ロ）は一部拡大図、同図（ハ）は断面図である
。

図中、ｌａ、ｌｂは透明なガラス基板で、その上に。

たとえば、公知のＩＴＯ（ＩｎＪ３ＳｎＯ２）からなる
ストライプ状の透明電極２ａおよび２ｂが形成されてい
る。表示領域内の透明電極２ａ、２ｂの上には、それぞ
れ配向ｌ１３ａ、３ｂが形成されている。配向膜は。

たとえば、ポリイミド樹脂膜をコートしたあとナイロン
などの布地でラビングして配向処理を行ったものである
。

このように形成された２枚のガラス基板１ａ、　ｌｂを
図示したごとく配向膜３ａ　、　３ｂが対面し、かつ、
前記それぞれの透明電ｉ１ａ、ｌｂがマトリクス交点を
形成するように直交配置させ、両番板間にスペーサ４．
たとえば、ポリエステル樹脂製の小球を挟み接着剤から
なるシール層５で封着する。シール層５の一部には、の
ちに液晶を注入する液晶注入口５０が設けられている。

６０は位置認識マークで、たとえば、図示したごとき２
重四角形をなしており１．たとえば、上側のガラス基板
１ａには外側の四角形６０ａが、下側のガラス基板１ｂ
には内側の四角形６０ｂが設けられている。これらの位
置認識マーク６０はそれぞれの基板に透明電極２ａ、２
ｂを形成する際に、たとえば、図示したごとく基板の対
角線のコーナに、少なくとも、２個を同時形成しである
。

位置認識マーク６０は２枚のガラス基板１ａ＋　Ｉｂを
上記の配置で貼り合わせるときに、たとえば、上側の基
板の位置ｖｌ識マーク６０ａの大きな四角形の中に、下
側の基板の位置認識マーク６０ｂの小さな四角形を顕微
鏡下で手動で位置合わせするか、あるいは、ＴＶモニタ
を用いた画像認識位置合わせ装置で自動的に位置合わせ
して、機械的にクランプするか、あるいは、紫外線硬化
樹脂などを用いて仮接着したあと、シール層５を加熱接
着硬化して空セルを形成する。位置認識マーク６０は反
射率がガラス基板と異なっていることを利用して認識可
能である。

なお、両基板の貼り合わせののち、必要によりガラス基
板１の整形切断を行う場合には、たとえば、自動切断装
置で位置認識マーク６０を読み取り、位置認識マーク６
０とシール層５との位置関係から各切断ライン、たとえ
ば、上部基板は一点鎖線Ｘ。

−Ｌ、Ｘｚ−Ｘｔ　、および、下部基板は点線Ｙ、−Ｙ
、、Ｙ、−Ｙ２を決定し、その各ラインに沿って自動的
にガラス基板１ａおよび１ｂをスクライブ切断して表示
用の空パネルを作製し、液晶注入口５０から、たとえば
、ＳＴＮ液晶を注入したあと液晶注入口５０を密閉封止
して表示用液晶表示素子を製造している。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、上記従来の位置認識マーク６（６ａ、６ｂ）は
。

たとえば、ＩＴＯからなる透明電極２（２ａ、２ｂ）と
同時形成されているので、通常１００〜２００ｎｍの厚
みを持っており、配向膜３　（３ａ　、　３ｂ）の配向
処理の際にその段差のためにラビング布その他のゴミが
付着する場合がある。

第３図は従来の位置認識マークにゴミが付着した例を示
す図で、同図（ａ）は上面図、同図（ｂ）は断面図であ
る。こ−には図示してないシール層５の内側の表示領域
の透明電極上には、たとえば、ポリイミド樹脂膜からな
る配向膜３（３ａ、３ｂ）が施されている。図中、８ｏ
は上部ガラス基板１ａの位置認識マーク６ａに付着した
。たとえば、ラビング布の繊維クズであり、９０は下部
ガラス基板ｉｂの位置認識マーク６ｂに付着した。たと
えば、同じくラビング布の繊維クズである。

なお、前記の図面で説明したものと同等の部分について
は同一符号を付し、かつ、同等部分についての説明は省
略する。

このように、位置認識マーク６にゴミ８０あるいは９０
が付着すると、位置認識装置の画像認識が不正確になっ
たり不可能になったりして、基板の貼り合わせ精度や基
板の整形切断精度が低下して、製品の品質・歩留りの劣
化をきたすなどの問題が生じ、その解決が求められてい
た。

〔課題を解決するための手段〕

上記の課題は、２枚のガラス基板１にストライプ状の透
明電極２とその上に配向膜３を形成し、前記２枚のガラ
ス基板１を配向膜３が対面し、かつ、前記それぞれの透
明電極１がマトリクス交点を形成するように直交配置さ
せ、両番板間にスペーサ４を挟み接着剤からなるシール
層５で封着して、前記ガラス基板１を前記シール層４の
外側で整形切断したのち、前記２枚のガラス基板１間に
形成されたギャップ状空間に液晶を注入封止してなる液
晶表示素子の製造方法において、前記ガラス基板１に透
明電極２を形成する際に、前記シール層４の外側の基板
面に少なくとも２つの位置認識マーク６を同時形成し、
次いで、前記配向膜３を形成する際に、前記位置認識マ
ーク６を覆って平坦化保護膜７を同時形成しておく液晶
表示素子の製造方法により解決することができる。

〔作用〕

本発明方法によれば配向膜３を形成する際に、それぞれ
のガラス基板１の、たとえば、シール層４の外側の基板
のコーナに設けられた少なくとも２つの位置認識マーク
６を覆って平坦化保護膜７が同時形成されているので、
位置認識マーク６には何ら段差が生じておらずラビング
による配向処理を行ってもラビング布のクズなどのゴミ
８０や９０が付着することがなく、精度よく容易に位置
合わせを行うことができるのである。

〔実施例〕

第１図は本発明の実施例方法を示す図で、同図（イ）は
ガラス基板１ａ（たとえば、上部基板）、同図（ロ）は
ガラス基板１ｂ（たとえば、下部基板）。

同図（ハ）は上下基板を位置合わせして貼り合わせた状
態を示している。なお、（ａ）はそれぞれの上面図、（
ｂ）はそれぞれの断面図である。

図中、６ａ、　　６ｂは位置認識マークで、たとえば、
ＩＴＯ（ＩｎＪｓ　　ＳｎＯ，）からなり、ガラス基板
１ａ、　ｌｂ上のシール層５の外側の適当な位置、たと
えば、基板対角線上のコーナに少なくとも２個を、こ−
には図示してないストライプ状の透明電極と同時形成し
たもので、厚さは、たとえば、１００〜２００ｎｍ、外
形寸法は０．２　ｍｍ（６ａ　）　〜０．１　ｍｍ（６
ｂ）程度である。

７ａ、７ｂは平坦化保護膜で、ニーには図示してない配
向膜、たとえば、ポリイミド樹脂膜と同時形成されてお
り、たとえば、大きさ５ｍｍφの円形をなし、その中央
部分において各位置認識マーク６ａ、６ｂを厚さ１１０
０ｎ程度の膜で覆うように、たとえば、転写印刷により
配向膜と同時形成したものである。

同図（イ）、（ロ）の断面図でわかるように、位置認識
マーク６ａ、６ｂの段差は平坦化保護膜７ａ、７ｂによ
りなだらかに覆われているので、ラビングによる配向処
理を行っても位置認識マーク自体にゴミなどが付着する
ことは全く生じない。したがって、位置認識マークを透
過光あるいは反射光で観察しながらＴＶモニタを用いた
画像認識位置合わせ装置によって自動的に位置合わせす
ることが、高精度、かつ、短時間内で容易に可能となり
、基板の貼り合わせ精度や基板の整形切断精度が従来例
に比較して大巾に向上すると共に作業能率も大巾に改善
された。

第２図は本発明の他の実施例方法を示す図で、同図（イ
）、（ロ）に２つの変形例を示した。

同図（イ）では平坦化保護膜７”ａ、７’ｂガ円形でな
く角形をなし、また、同図（ロ）では位置認識マーク６
’ａ、６’ｂが四角形の代わりに円形のものを用いてい
る。以上何れも本発明方法の趣旨を満たし前記の実施例
と同様の効果をもたらすことは明らかである。

なお、前記の諸国面で説明したものと同等の部分につい
ては同一符号を付し、かつ、同等部分についての説明は
省略する。

また、位置認識マーク６は上記の形状に限定されるもの
ではなく、十字形や星型や三角形など使い易いものを適
宜使用してよいことは言うまでもない。

さらに、位置認識マーク６の位置は基板のコーナとは限
らず、表示画面外、すなわち、シール層５の外側の適当
な場所に施せばよく、位置認識マーク６の数も、少なく
とも、２個あれば側基板の位置合わせや各切断ラインの
位置決定が可能であるが、必要によって３個以上にして
もよいことは勿論である。

以上述べた実施例方法は例を示したもので、本発明の趣
旨に添うものである限り、使用する素材や構成など適宜
好ましいもの、あるいは、その組み合わせを用いてよい
ことは言うまでもない。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明方法によれば、配向膜３を形
成する際に、それぞれのガラス基板１の。

たとえば、シール層５の外側の基板のコーナに設けられ
た少なくとも２つの位置認識マーク６を覆って平坦化保
護膜７が同時形成されているので、位置認識マーク６に
は何ら段差が生じておらず、ラビングによる配向処理を
行ってもラビング布の繊維クズなどのゴミ８０や９０が
付着することがない。

したがって、高精度、かつ、短時間内で位置合わせが容
易に可能となり、基板の貼り合わせ精度や基板の整形切
断精度が従来例に比較して大巾に向上すると共に作業能
率も大巾に改善され、液晶表示素子の品質９歩留りの向
上と低価格化に寄与するところが極めて大きい。

２（２ａ、２ｂ）は透明電極、３（３ａ、３ｂ）は配向膜、４はスペーサ、５はシール層、６（６ａ、６ｂ）、６’（６’ａ、６’ｂ）は位置認識
マーク、７（７ａ、７ｂ）、７’（７°ａ　＋　７　’
　ｂ　）は平坦化保護膜、８０．９０はゴミである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例方法を示す図、第２図は本発明
の他の実施例方法を示す図、第３図は従来の位置認識マ
ークにゴミが付着した例を示す図、第４図は液晶表示素子のパネル構成を示す図である。図において、１（ｌａ、ｌｂ）はガラス基板、＜ａ）（す（ハ９本発明／１実方包脅・ｊ方法を示す国軍団（イ）　　　　　　　　　　　　　（口ｐ本発明の化圀
匈方但伊１方法Σ示４図＄　２　図（ａ）（Ｉ））り白米のイ立ｆＬ認習へ７−りにコ゛ミカ（付属しΔ脅
・１１示４図％　３　図

Claims

【特許請求の範囲】

２枚のガラス基板（１）にストライプ状の透明電極（２
）とその上に配向膜（３）を形成し、前記２枚のガラス
基板（１）を配向膜（３）が対面し、かつ、前記それぞ
れの透明電極（１）がマトリクス交点を形成するように
直交配置させ、両基板間にスペーサ（４）を挟み接着剤
からなるシール層（５）で封着して、前記ガラス基板（
１）を前記シール層（４）の外側で整形切断したのち、
前記２枚のガラス基板（１）間に形成されたギャップ状
空間に液晶を注入封止してなる液晶表示素子の製造方法
において、前記ガラス基板（１）に透明電極（２）を形
成する際に、前記シール層（４）の外側の基板面に少な
くとも２つの位置認識マーク（６）を同時形成し、次い
で、前記配向膜（３）を形成する際に、前記位置認識マ
ーク（６）を覆って平坦化保護膜（７）を同時形成して
おくことを特徴とした液晶表示素子の製造方法。