JPH045878A - ガスレーザ発振器 - Google Patents
ガスレーザ発振器Info
- Publication number
- JPH045878A JPH045878A JP2107226A JP10722690A JPH045878A JP H045878 A JPH045878 A JP H045878A JP 2107226 A JP2107226 A JP 2107226A JP 10722690 A JP10722690 A JP 10722690A JP H045878 A JPH045878 A JP H045878A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- discharge
- tube group
- discharge tube
- laser
- Prior art date
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- Pending
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、切断、溶接、熱処理などを行うためにレーザ
光を発生させる信頼性に優れた長寿命のガスレーザ発振
器に関する。
光を発生させる信頼性に優れた長寿命のガスレーザ発振
器に関する。
従来の技術
従来のこの種のレーザ発振器の構成について第３ｔ＼−
ン ４図を参照して説明する。１または複数の放電管１から
なる放電管群には、各放電管群ごとに陽極２．２ａと陰
極３，３ａからなる会組の放電電極を 近傍と中央部の陽１ｉ２．２ａ間はほぼＥ字形の循環管
体８により接続されてガス循環路が形成され、この循環
管体８にはガスを循環させる送風機９や、ガスを冷却す
る熱交換器１０が複数個配設されている。壕だ、放電管
１の外周には放電開始補助管１１が具備されており、陽
極２，２ａまたは陰極３．３ａと電気的に接続されてい
る。さらに、光共振器７の出力ミラー６および終端ミラ
ー６の近傍にはガス供給装置１２から導入用チューブ１
３が接続されておシ、レーザ媒質ガスを光共振器Ｔ内に
供給している。
ン ４図を参照して説明する。１または複数の放電管１から
なる放電管群には、各放電管群ごとに陽極２．２ａと陰
極３，３ａからなる会組の放電電極を 近傍と中央部の陽１ｉ２．２ａ間はほぼＥ字形の循環管
体８により接続されてガス循環路が形成され、この循環
管体８にはガスを循環させる送風機９や、ガスを冷却す
る熱交換器１０が複数個配設されている。壕だ、放電管
１の外周には放電開始補助管１１が具備されており、陽
極２，２ａまたは陰極３．３ａと電気的に接続されてい
る。さらに、光共振器７の出力ミラー６および終端ミラ
ー６の近傍にはガス供給装置１２から導入用チューブ１
３が接続されておシ、レーザ媒質ガスを光共振器Ｔ内に
供給している。
このように構成されているガスレーザ発振器は、ガス流
方向と放電方向とレーザ光の発振軸が同軸であるため光
軸方向から見たときに、その放電およびその放電によっ
て形成されるゲイン分布が同心で対称性がよい。したが
って、出力されるレーザ光を用いて加工を行う場合、加
工性能が良いとされている。
方向と放電方向とレーザ光の発振軸が同軸であるため光
軸方向から見たときに、その放電およびその放電によっ
て形成されるゲイン分布が同心で対称性がよい。したが
って、出力されるレーザ光を用いて加工を行う場合、加
工性能が良いとされている。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記従来の構成では光共振器７の出力ミ
ラー５および終端ミラー６の近傍に塩化ビニル等からな
る、レーザ媒質ガスの導入用チューブ１３が接続され、
ガス供給装置１２からレーザ媒質ガスを光共振器７内に
供給しているため、導入用チューブ１３の内壁に付着し
たほこシが同時に光共振器Ｔ内に持込まれ、共振器内の
ほこシの密度が増加するにつれて出力ミラー５および終
端ミラー６の寿命は急激に低下し、ついにはこれらのミ
ラーを破損するという課題があった。さらに塩化ビニル
等からなる導入用チューブの内壁に付着したほこυは塩
化ビニルとの結合力が強くフ５ベー。
ラー５および終端ミラー６の近傍に塩化ビニル等からな
る、レーザ媒質ガスの導入用チューブ１３が接続され、
ガス供給装置１２からレーザ媒質ガスを光共振器７内に
供給しているため、導入用チューブ１３の内壁に付着し
たほこシが同時に光共振器Ｔ内に持込まれ、共振器内の
ほこシの密度が増加するにつれて出力ミラー５および終
端ミラー６の寿命は急激に低下し、ついにはこれらのミ
ラーを破損するという課題があった。さらに塩化ビニル
等からなる導入用チューブの内壁に付着したほこυは塩
化ビニルとの結合力が強くフ５ベー。
ロン等のふっ素糸溶剤によっても除去することは極めて
困難であった。
困難であった。
本発明は上記課題を解決するものであシ、長寿命のミラ
ーを備えた信頼性の高いガスレーザ発振器を提供するこ
とを目的とする。
ーを備えた信頼性の高いガスレーザ発振器を提供するこ
とを目的とする。
課題を解決するだめの手段
本発明は上記目的を達成するために、ガス供給装置と光
共振器の間にレーザ媒質ガス導入用チューブとしてふっ
素樹脂等の無極性樹脂からなる不活性チューブを用いた
ものである。
共振器の間にレーザ媒質ガス導入用チューブとしてふっ
素樹脂等の無極性樹脂からなる不活性チューブを用いた
ものである。
作 用
したがって本発明によれば、ガス供給装置と光共振器の
間に化学的に不活性なふっ素樹脂等の無極性樹脂からな
る、レーザ媒質ガス導入用の不活性チューブを設けてい
るため導入用チューブの内壁にほこりが付着しにくく、
まだ洗浄により簡単に除去することができ、光共振器内
に持ち込まれるほこりが減少し、ミラーの寿命が著しく
長くなるという効果を有するものである。
間に化学的に不活性なふっ素樹脂等の無極性樹脂からな
る、レーザ媒質ガス導入用の不活性チューブを設けてい
るため導入用チューブの内壁にほこりが付着しにくく、
まだ洗浄により簡単に除去することができ、光共振器内
に持ち込まれるほこりが減少し、ミラーの寿命が著しく
長くなるという効果を有するものである。
実施例
６ベーノ
以下、本発明の実施例について第１図とともに第３図と
同一部分については同一番号を付して詳しい説明を省略
し、相違する点について説明する。
同一部分については同一番号を付して詳しい説明を省略
し、相違する点について説明する。
第１図は本発明の一実施例のガスレーザ発振器の構成を
示したものであり、光共振器の出力ミラー５および終端
ミラー６の近傍とガス供給装置１２の間をポリテトラフ
ルオロエチレン（米国デュポン社商品名：テフロン）か
らなるレーザ媒質ガス導入用の不活性チューブ【以下不
活性チューブという）１４で接続している。
示したものであり、光共振器の出力ミラー５および終端
ミラー６の近傍とガス供給装置１２の間をポリテトラフ
ルオロエチレン（米国デュポン社商品名：テフロン）か
らなるレーザ媒質ガス導入用の不活性チューブ【以下不
活性チューブという）１４で接続している。
不活性チューブ１４は光共振器７とガス供給装置１２と
に接続する前クロロフルオロカーボン（略称フロン）等
の有機溶剤でその内部を十分に洗浄したのち取付けられ
る。第２図に従来の導入用チューブとの比較において本
実施例における不活性チューブの洗浄前後の光共振器Ｔ
内に持ち込まれるほこりの量と不活性チューブの長さと
の関係を示した。図より明らかなように不活性チューブ
は洗浄前においても洗浄後の従来チューブよシもほこり
の量が少なく、特に洗浄後において光共７ ベー／ 振器７の内部に持ち込まれるほこシの量が激減している
のがわかる。このように光共振器７とガス供給装置１２
を不活性チューブで接続し、レーザ媒質ガスを導入すれ
ば光共振器γ内へのほこりの導入を防止でき、出力ミラ
ー６および終端ミラー６の寿命で飛躍的に向上させるこ
とができる。
に接続する前クロロフルオロカーボン（略称フロン）等
の有機溶剤でその内部を十分に洗浄したのち取付けられ
る。第２図に従来の導入用チューブとの比較において本
実施例における不活性チューブの洗浄前後の光共振器Ｔ
内に持ち込まれるほこりの量と不活性チューブの長さと
の関係を示した。図より明らかなように不活性チューブ
は洗浄前においても洗浄後の従来チューブよシもほこり
の量が少なく、特に洗浄後において光共７ ベー／ 振器７の内部に持ち込まれるほこシの量が激減している
のがわかる。このように光共振器７とガス供給装置１２
を不活性チューブで接続し、レーザ媒質ガスを導入すれ
ば光共振器γ内へのほこりの導入を防止でき、出力ミラ
ー６および終端ミラー６の寿命で飛躍的に向上させるこ
とができる。
また第３図に示すように、従来の導入用チュブ１３の内
壁面をポリテトラフルオロエチレン材１５で被覆したチ
ューブを使用しても同様の効果が得られる。
壁面をポリテトラフルオロエチレン材１５で被覆したチ
ューブを使用しても同様の効果が得られる。
なお、不活性チューブ１４またはポリテトラフルオロエ
チレン被覆１５の代わシにパーフルオロアルコキシまた
はポリぶつ化ビニルまたはポリぶつ化ビニリデンを材料
とするものを用いても本実施例と同じ効果を得ることが
できる。
チレン被覆１５の代わシにパーフルオロアルコキシまた
はポリぶつ化ビニルまたはポリぶつ化ビニリデンを材料
とするものを用いても本実施例と同じ効果を得ることが
できる。
発明の効果
本発明は上記実施例より明らかなように、レーザ媒質ガ
スの導入用チューブとしてふっ素樹脂等の化学的に不活
性な無極性樹脂からなる不活性チューブを用いることに
より、または導入用チューブの少なくとも内壁面をふっ
素樹脂等の化学的に不活性な無極性樹脂材で被覆加工す
ることにより、光共振器内へのほこシの侵入を防止し、
したがって極めて長い寿命のミラーを備えだ信頼性に優
れ、かつ保守サイクルが長く利用効率の高いガスレーザ
発振器を得ることができるものである。
スの導入用チューブとしてふっ素樹脂等の化学的に不活
性な無極性樹脂からなる不活性チューブを用いることに
より、または導入用チューブの少なくとも内壁面をふっ
素樹脂等の化学的に不活性な無極性樹脂材で被覆加工す
ることにより、光共振器内へのほこシの侵入を防止し、
したがって極めて長い寿命のミラーを備えだ信頼性に優
れ、かつ保守サイクルが長く利用効率の高いガスレーザ
発振器を得ることができるものである。
第１図は本発明の実施例のガスレーザ発振器の要部構成
図、第２図はガスレーザ発振器に使用されるチューブの
長さと光共振器内に持込まれるほこりの量との関係図、
第３図（ａ）は本発明の他の実施例における不活性チュ
ーブの部分正面図、第３図（ｂ）は同不活性チューブの
断面図、第４図は従来のガスレーザ発振器の要部構成図
である。 １・・・・・・放電管、２，２ａ・・・・・・陽極、３
，３ａ・・・・・・陰極、５・・・・・・出力ミラー、
６・・・・・・終端ミラー７・・・・・・光共振器、８
・・・・・・循環管体、９・・・・・・送風機、１２・
・・・・・ガス供給装置、１４・・・・・・不活性チュ
ーブ。
図、第２図はガスレーザ発振器に使用されるチューブの
長さと光共振器内に持込まれるほこりの量との関係図、
第３図（ａ）は本発明の他の実施例における不活性チュ
ーブの部分正面図、第３図（ｂ）は同不活性チューブの
断面図、第４図は従来のガスレーザ発振器の要部構成図
である。 １・・・・・・放電管、２，２ａ・・・・・・陽極、３
，３ａ・・・・・・陰極、５・・・・・・出力ミラー、
６・・・・・・終端ミラー７・・・・・・光共振器、８
・・・・・・循環管体、９・・・・・・送風機、１２・
・・・・・ガス供給装置、１４・・・・・・不活性チュ
ーブ。
Claims (3)
- （１）陽極と陰極とからなる少なくとも一対の放電電極
を有する１または複数の放電管からなる放電管群と、こ
の放電管群の両端に配備されるレーザ共振用のミラーと
、前記放電極の近傍で前記放電管群に接続されこの放電
管群とともにガス循環路を構成する循環管体と、前記ガ
ス循環路にレーザ媒質としてのガスを供給するガス供給
装置と、このガスを循環させる送風機とからなり、前記
ガス供給装置と光共振器の間のガス導入経路にふつ素樹
脂等の化学的に不活性な無極性樹脂からなるレーザ媒質
ガス導入用の不活性チューブを設けたガスレーザ発振器
。 - （２）陽極と陰極とからなる少なくとも一対の放電電極
を有する１または複数の放電管からなる放電管群と、こ
の放電管群の両端に配備されるレーザ共振用のミラーと
、前記放電電極の近傍で前記放電管群に接続されこの放
電管群とともにガス循環路を構成する循環管体と、前記
ガス循環路にレーザ媒質としてのガスを供給するガス供
給装置と、このガスを循環させる送風機とからなり、前
記ガス供給装置と光共振器の間のガス導入経路にふっ素
樹脂等の化学的に不活性な無極性樹脂により少なくとも
内壁面を被覆加工したレーザ媒質ガス導入用の不活性チ
ューブを設けたガスレーザ発振器。 - （３）ふっ素樹脂等の化学的に不活性な無極性樹脂がポ
リテトラフルオロエチレン、パーフルオロアルコキシ、
ポリふっ化ビニルまたはポリふっ化ビニリデンである請
求項１または２記載のガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2107226A JPH045878A (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | ガスレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2107226A JPH045878A (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | ガスレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH045878A true JPH045878A (ja) | 1992-01-09 |
Family
ID=14453689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2107226A Pending JPH045878A (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | ガスレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH045878A (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5077922A (ja) * | 1973-11-12 | 1975-06-25 | ||
| JPS58111384A (ja) * | 1981-12-24 | 1983-07-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ管 |
| JPS62212472A (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-18 | Kansai Paint Co Ltd | 軟質系塗料 |
| JPS63285987A (ja) * | 1987-05-18 | 1988-11-22 | Fanuc Ltd | レ−ザ発振装置及びレ−ザ発振装置のレ−ザガスの封入方法 |
| JPH0269548A (ja) * | 1988-09-02 | 1990-03-08 | Sekisui Chem Co Ltd | ポリフッ化ビニリデン組成物 |
-
1990
- 1990-04-23 JP JP2107226A patent/JPH045878A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5077922A (ja) * | 1973-11-12 | 1975-06-25 | ||
| JPS58111384A (ja) * | 1981-12-24 | 1983-07-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ管 |
| JPS62212472A (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-18 | Kansai Paint Co Ltd | 軟質系塗料 |
| JPS63285987A (ja) * | 1987-05-18 | 1988-11-22 | Fanuc Ltd | レ−ザ発振装置及びレ−ザ発振装置のレ−ザガスの封入方法 |
| JPH0269548A (ja) * | 1988-09-02 | 1990-03-08 | Sekisui Chem Co Ltd | ポリフッ化ビニリデン組成物 |
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