JPH0459419B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、天井部が昇降できるクリーンルーム
に関する。

（従来の技術） 近時、マイクロエレクトロニクスやバイオテク
ノロジーに係る開発研究所や超精密機械部品や医
薬品の製造工場等においては、超清浄空間を創出
するクリーンルーム（防塵室）が広く利用されて
いる。このクリーンルームには、密閉した所定圧
の部屋内に天井全体から格子床全体に向けて空気
を送つて空調ダクトを介して再び天井に戻して空
気を循環させ、その間に天井のフイルター等で空
気を清浄化する垂直方式のもの、壁からこれに対
向する壁へ空気を流して壁のフイルター等で清浄
度を出す水平方式のもの等種々のものがある。

（発明が解決しようとする問題点） ところで、クリーンルームの性能は、フイルタ
ーの性能や換気回数に依存されるが、その他の重
要な性能決定要因としては「空気の円滑な流れ」
である。これは、空気が障害物に当たつて渦を作
るとそこに塵埃が滞留して、これが結合し合つて
大きくなつて製品等に付着するからである。この
空気の流れを左右するものが天井高である。天井
高がすでに定まつている場合、最も空気を円滑に
流すには、吹き出し口及び吸い込み口をどこのど
の位置に設置したらよいか、また設備のレイアウ
ト等をどのようにしたらよいかという課題は、現
在のところ未解決である。換言すれば、吹き出し
口、吸い込み口や設備のレイアウト等が定まつて
いる場合、最適な天井高はいくらにしたらよいか
という課題は未解決である。もちろん、個々にク
リーンルームを施工して、そこで実験を繰り返す
ことで上記の課題は解決できる。しかし、個々に
天井高に応じたクリーンルームを施工して実験資
材を収集することは、実際上困難である。

本発明の目的は、個々のクリーンルームを施工
することなく、一つのクリーンルームでさまざま
な天井高に応じた吹き出し口の配置等の最適な条
件を複雑な操作によることなく求めることができ
るようにすることにある。

（問題点を解決するための手段） 本発明のクリーンルームは、下部にフイルター
部を設けてある天井部と、この天井部を昇降可能
に吊持している吊持手段と、上記天井部を上下に
案内する案内手段と、天井部の外周全周に取り付
けた気密材とを具備している。上記気密材は内部
が中空であるチユーブ状のもので、この気密材に
エア出し入れ口を設けてある。

（作用） 天井部は、吊持手段で吊持された状態で案内手
段を介して昇降し、昇降時には気密材のエア出し
入れ口からエアを抜いて気密材を収縮させて昇降
動作を円滑にさせ、昇降終了時には気密材にエア
を入れて加圧して元の形状に戻して天井部の外周
部と、例えば側壁との間〓を密閉させて気密保持
を図る。

（実施例） 以下本発明の一実施例を、図面に基づいて説明
する。

第１〜４図において、クリーンルームの天井部
１は天井フレーム２とこの天井フレームの下方に
位置するフイルター部３とからなり、このフイル
ター部は吊りボルト４によつて天井フレームに固
定されている。天井フレーム２は支持金具５を介
してワイヤロープ６，…により昇降可能に吊持さ
れており、このワイヤロープは支持枠８に取り付
けた滑車７，…にそれぞれ掛回され、後端を巻き
取り軸９に軸支してあるローラ１０，１０，１０
に巻き回されている。この巻き取り軸に軸着して
ある伝達車１１はモータ１２の駆動車１３と噛合
している。

したがつて、モータ１２の駆動により、ワイヤ
ロープ６を巻き取りまたは巻き戻し、これによつ
て天井部１の吊り下げ位置を設定する。

天井フレーム２の両側に起立してある側枠２
ａ，２ａは補強枠２ｂ，２ｂで補強され、補強枠
上端部にはガイドローラ１４，１４ａ，１４ａが
固定板２ｃ，２ｃに取り付けられている。各ガイ
ドローラは、PC版からなる側壁１５，１５ａの
うち側枠２ａ，２ａ側（第１図両側）の側壁１５
ａ，１５ａの外側にこの側壁に沿つて配設したＨ
形鋼のガイドレール１６，１６を走行自在であ
る。ガイドローラ１４は、第５図に示すように固
定板２ｃの中央部に位置し、ガイドレール１６の
フランジ１６ａ外面（右側面）を走行自在であ
り、このガイドローラの側方に位置するガイドロ
ーラ１４ａ，１４ａはフランジの縁部を走行自在
である。ガイドローラ１４，１４ａとガイドレー
ル１６とは、天井部１の耐震用振れ止めの機能を
も有している。

また、天井部１が所定の位置より下方に降下す
ることを防止するために、各ガイドレール１６，
１６にガイドローラ１４ａの走行を阻止するスト
ツパ１７，１７（第１図）を設け、さらに天井フ
レーム２を支持枠８に取り付けた安全チエーン１
８，１８で保持してある。なお、安全チエーンの
長さは、天井部１の昇降を妨げないものに設定し
てある。

また、第１〜３図に示すように、天井部１の外
周部全周にゴム製気密材１９を取り付け、この気
密材で天井部と側壁１５，１５ａとの間〓を密閉
している。気密材１９は、第６，７図に示すよう
に内部が中空であるチユーブ状のもので、天井部
１の四隅に対応するコーナー部分にエア出し入れ
口となるエア出し入れパイプ１９ａ，…が立ち上
がつている（第３図）。各エア出し入れパイプ１
９ａの上端部開口部はキヤツプ２０で封止され、
気密材１９内を安定した圧力に保持している。気
密材１９の取り付け基部１９ｂは、フイルター部
３の外枠３ａの外周上面に取り付けてある取り付
け枠２１の溝内に圧着されている。

天井部１を昇降する場合には、天井部と側壁１
５，１５ａとの間は所定の間〓を開けておくこと
が必要となるので、キヤツプ２０を抜き取つて、
真空ポンプ２２（第３図）に接続してあるホース
２３の先端を開口部に差し込み、真空ポンプ２２
で気密材１９内のエアを抜き取つて気密材を第６
図鎖線に示すように偏平状に収縮させて、気密材
と側壁との間に間〓を開ける。

第１，２図において、天井部１のフイルター部
３から流出する空気は、格子床２４を通り、床下
からダクトを経て空調機へ送られる。

次に、作用について説明する。

天井高が予め定まつている場合には、モータ１
２を駆動させて天井部１の吊り下げ位置を第１図
実線の位置から下方に所定位置まで降ろす。天井
部１を移動させる際、気密材１９内のエアを真空
ポンプ２２で吸い取り、気密材を偏平状に収縮さ
せて天井部の下降が円滑に行えるようにする。移
動終了後は、再び真空ポンプ２２で気密材１９内
にエアを送つて、気密材内を所定圧に設定して気
密を保持させる。天井部１をセツトした後、気流
分布、塵埃分布及び温度、湿度分布を測定する。
同様にして、天井部１の位置を変えて上記の測定
をする。この場合、吹き出し口、吸い込み口の配
置位置及び設備機器のレイアウトは変更しない。
こうすれば、天井高の違いによる上記各種の測定
資料を収集でき、最適な天井高を決めることがで
きる。また逆に、天井部１の位置はそのままにし
て吹き出し口、吸い込み口等の配置を種々変更さ
せて、最適な配置を選択できる。

（発明の効果） 以上説明したように本発明によれば、天井部が
昇降できるので、一つのクリーンルーム内で天井
高の違いによる種々の気流分布等の測定ができ
て、一定の吹き出し口等の条件に対して最適な天
井高を求めることができ、逆に一定の天井高に対
して最適な吹き出し口等の配置条件を求めること
ができ、そのためクリーンルームを例えば実験用
として利用した場合、測定資料に基づいた需要者
に対して最も望ましいクリーンルームの設計を提
供でき、そして設備機器等のレイアウトの変更に
伴つて天井高を変える必要が生じた場合でも、即
時に対応できる。天井部の外周全周に気密材を取
り付け、しかもこの気密材は内部が中空であるチ
ユーブ状であつて、エア出し入れ口を設けてある
ので、気密材としての機能を維持でき、その上天
井部の昇降の際には気密材のエアを抜き取つて収
縮して、天井部の昇降動作を妨げないようにする
ことができ、天井部の移動が簡単に行え、一つの
クリーンルームでさまざまな天井高に応じた吹き
出し口の配置等の最適な条件を複雑な操作による
ことなく求めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は縦断面図、第２図は側断面図、第３図
は天井部の一部切欠拡大平面図、第４図は第１図
−線断面図、第５図はガイドローラとガイド
レールとの位置関係を示す拡大平面図、第６図は
第３図−線拡大断面図、第７図は気密材のコ
ーナー部分の拡大断面図である。 １…天井部、２…天井フレーム、３…フイルタ
ー部、６…ワイヤロープ、７…滑車、１０…ロー
ラ、１２…モータ、１４，１４ａ…ガイドロー
ラ、１６…ガイドレール、１９…気密材、１９ａ
…エア出し入れパイプ、２２…真空ポンプ、２４
…床。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 下部にフイルター部を設けてある天井部と、
   この天井部を昇降可能に吊持している吊持手段
   と、上記天井部を上下に案内する案内手段と、上
   記天井部の外周全周に取り付けた気密材とを具備
   しており、 上記気密材は内部が中空であるチユーブ状のも
   ので、この気密材にエア出し入れ口を設けてある ことを特徴とするクリーンルーム。