JPH0459569B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 この発明は、流量計に関するものであり、より
特定的に言えば、粘性の変化の大きい液体の流量
を測定することが可能な装置に関するものであ
る。

様々なタイプの公知の流量計またはセンサ、た
とえば流量を測定するために差圧または面積差を
用いるもの、容積測定装置、質量流量計、および
回転流体形装置がある。アメリカ合衆国特許第
2518149号および第3805609号は、回転体形流量計
を示し、流体の渦巻流が渦巻流の経路で物体を回
転させるために用いられ、物体が回転すると流量
が測定される。

回転体流量計、ならびに差圧および面積差形装
置は、一般に、粘性の変化についてさほど正確で
はない。というのはそれらの動作について方向的
な力に依存しているからである。これらの力は、
粘性が変化するにつれて半径方向に変化する。

容積測定装置は、一般に、精密シリンダに依存
しており、かつ通常、連続的な流量を測定しな
い。それらは、製造しかつ維持するのに費用がか
かる。質量流量計は、非常に高価であり、かつ一
般に、粘性が大きく変化するものを扱わない。

発明の概要 この発明の目的は、比較的高度の精度を与えか
つ広範囲の粘性については液体の流量を測定する
ことができる流体流量計を提供することである。

この発明の他の目的は、低圧状態下でも正確で
ある流量計を提供することである。

この発明のさらに他の目的は、製造するのに比
較的費用のかからないようなセンサを提供するこ
とである。

この発明に従つて、流体の容積流量を測定する
流体流量センサが提供され、その流体流量センサ
は、流体インレツトおよび流体アウトレツトを有
するハウジング、対向する端部で流体インレツト
および流体アウトレツトのいずれにも接続される
ハウジング内の測定チヤンバ、チヤンバの対向す
る端部間で可動であるチヤンバ内の部材、好まし
くはボール、ならびにチヤンバを介して流体の流
量を制御する弁アセンブリを備える。弁アセンブ
リは、チヤンバの第１の端部が、チヤンバの第１
の端部の流体が可動部材に第１の方向に作用し、
それをチヤンバの反対側の第２の端部に推し進め
るようにアウトレツトから遮断される第１の部分
と、チヤンバの第２の端部が、流体が反対の方向
に作用し、可動部材をチヤンバの第１の端部に推
し進めるようにアウトレツトから遮断される第２
の部分との間で可動である。弁アセンブリは、可
動部材の動きに応答し、そのため可動部材がチヤ
ンバの第１の端部に移動するとき弁アセンブリは
第１の位置に移動し、かつ可動部材がチヤンバの
第２の端部に移動するとき弁アセンブリは第２の
位置に移動する。

したがつて、可動部材は、流体の流量に比例す
る率で、測定チヤンバの一方の端部から他方の端
部に振動する。それゆえに、流量は、ボール部材
の振動率を計算することによつて測定されること
ができる。これは、測定チヤンバに隣接して装着
される適当な検出装置によつて行なわれることが
できる。たとえば、光に敏感な装置、たとえば光
電池またはフオトダイオードは、チヤンバを横切
つて向けられる光ビームの遮断を検出するように
配置されてもよい。代わりに、たとえば磁気また
は可動磁気抵抗ピツクアツプ、または反射センサ
が用いられることができる。

センサは、広範囲の粘性によつて動作する。と
いうのは可動部材は、流体アウトレツトからいつ
でも遮断されるチヤンバの一方の端部へ流れる流
体の容積によつて、そのチヤンバを横切つて移動
するよう推し進められるからである。それゆえ
に、センサは、粘性によつて変化するいかなる力
にも依存していない。

センサは、広範囲の粘性について動作すること
ができるので、食料調達産業において、飲料、ア
イスクリーム、およびミルクセーキの分配機械で
用いられる、シロツプなどの流体の流量を測定す
るのに役立つ。センサは、予め定められた大きさ
の範囲内の液体、たとえばチヨコレートシロツプ
などに懸濁される固体粒子を通過させるような大
きさになれることができる。食料調達産業におい
ては、正確な量の測定されるべき液体または流体
が、費用有効性のために加えれられるということ
が重要であり、かつしたがつてこの発明のセンサ
は、締切弁と組合わせて用いられ、正確な量の流
体を繰返し供給することができる。

この発明のセンサは、流体の物量が正確に測定
されなければならない多くの他の分野で応用され
ている。一例は、このタイプのセンサが有効であ
る自動車のガソリンの流量の計測および制御であ
る。

センサは、その本体を介して流体が連続的に流
れることを可能にしつつ、流体の流量を測定す
る。

この発明の一実施例では、弁アセンブリは、第
１の位置で、チヤンバの第１の端部がアウトレツ
トから遮断され、かつチヤンバの第２の端部がイ
ンレツトから遮断されるように配置され、かつそ
の第２の位置の場合もまま同じである。したがつ
て、アセンブリの第１の位置では、チヤンバの可
動部材と第２の端部との間チヤンバ内の一定量の
流体は、可動部材がチヤンバの第２の端部に移動
するのにつれてアウトレツトに流れる。弁アセン
ブリがその第２の位置に移動するとき可動部材が
チヤンバのその端部に推し進められるにつれて、
同じ量が第１の端部からアウトレツトに流れる。

代わりに、或る形の遮断弁が、可動部材の振動
率を計算するセンサ装置に接続されていてもよ
く、或る量が供給された後流体を遮断する。

次に述べることは、添付の図面の簡単な説明で
あり、この発明のいくつかの好ましい実施例を示
す。

好ましい実施例の説明 第１図および第２図は、この発明による液体流
量センサの第１実施例を示す。

第１図に示されるように、センサは、基本的
に、流体インレツト２、流体アウトレツト３、お
よびインレツト２とアウトレツト３との間にある
円筒測定チヤンバ４を備える。ハウジングは、測
定されるべき流体と適合する適当な材料で作られ
る。

測定チヤンバ４は、円筒チヤンバであり、かつ
その対向する第１の端部５および第２の端部６
で、それぞれチヤンネルすなわち導管７および８
を介して流体インレツト２に、かつアキユームレ
ータチヤンバ９に接続される。可動部材、たとえ
ば第１図に示されるボール１０または円筒プラグ
は、測定チヤンバ４に位置決めされる。ボール１
０は、測定チヤンバ４より直径がわずかに小さ
く、そのためボールは、比較的少量の流体のみが
ボールの周囲でチヤンバの一方の端部から他方の
端部に漏れることを可能にしつつ、チヤンバで自
由に移動することができる。

第１アウトレツトポート１１および第２アウト
レツトポート１２は、チヤンバ４のそれぞれ第１
の端部５および第２の端部６に位置決めされる。
導管１３および１４は、それぞれ、アウトレツト
ポート１１および１２を弁アセンブリ１５に接続
する。

弁アセンブリ１５は、その対向する端部に対向
する弧状弁座１７および１８を有するカプセル形
チヤンバ１６、ならびに弁座間で可動である弁部
材すなわちボール１９を備える。第１弁座１７
は、導管１３に接続されるインレツトポート２
０、ならびに導管２２およびチヤンバ２３を介し
て流体アウトレツト３に接続されるアウトポート
２１を有する。同様に、第２弁座は、導管１４に
接続されるインレツトポート２４、ならびに導管
２６およびチヤンバ２３を介して流体アウトレツ
ト３に接続されるアウトレツトポート２５を有す
る。アウトレツトポート２１および２５は、イン
レツトポート２０および２４より直径が小さい。

第１図に示される位置では、弁ボール１９は、
第１弁座１７に対して取り付けられて示され、イ
ンレツトポート２０およびアウトレツトポート２
１を密封する。これは、測定チヤンバ４の第１の
端部５を流体アウトレツト３から効果的に遮断す
る。同時に、弁アセンブリのインレツトポート２
４およびアウトレツトポート２５が開いているの
で、チヤンバ４の第２の端部６は、ポート１２、
導管２６およびチヤンバ２３を介してアウトレツ
ト３に接続される。第１図では、ボール１０は、
測定チヤンバ４の２つの端部の中間の位置に示さ
れる。

流体はインレツト２から図示の位置の弁ボール
１９を有するセンサへ流れるとき、導管７を介し
てチヤンバ４の左側へかつ導管８を介してチヤン
バの右側へ流体が流れる。チヤンバ４の左側が流
体アウトレツト３から遮断され、一方流体がチヤ
ンバ４の右側から弁アセンブリ１５を介してアウ
トレツトに流れることができるので、チヤンバの
左側に流れる流体は、それが右側の端部６に達す
るまで、チヤンバでボール１０を押し進める。

ボール１０が弁チヤンバ１６の圧力P₁とポー
ト２０および２１を介してボール１９に作用する
圧力P₂との差によつてチヤンバ４を移動してい
る間、弁ボール１９は座１７に対して保持され
る。ボート２５の下流の低い方の圧力は、アウト
レツトポート３への流れによる圧力損失より少な
く、導管２６を介してチヤバ２３に反映される。
それゆえに、ポート２１での圧力はチヤンバ２３
の低い方の圧力に等しくなり、かつ圧力の差は、
弁ボール１９を座１７に対して保持するのに充分
である。

ボール１０が測定チヤンバ４の右側の端部６に
達するとき、それはチヤンバのその端部を弁アセ
ンブリ１５に接続するアウトレツトポート１２を
閉じる。それゆえに、導管１４を介する弁チヤン
バ１６への流体の流れが遮断され、かつ導管１３
の圧力は急速に増加し、弁ボール１９を座１７か
ら第２弁座１８に対する位置へ押し進める。この
点で、測定チヤンバ４の第１の端部５は、開かれ
たポート２０および２１を介してアウトレツト３
に接続される。ポート２４および２５は閉じら
れ、そのため導管１４を介して流体は流れない。
導管８から流体が入つてくると、ボール１０はチ
ヤンバで第１端部５に押し進めるられる。

したがつて、ボール１０および弁ボール１９
は、それぞれのチヤンバ４および１６で、流体の
流量に比例する率で一方側から他方側へ方向転換
する。それゆえに、流体の流量は、ボール１０の
振動を検出するために、適当な装置によつて測定
されることができる。検出装置は、たとえば、チ
ヤンバ４に隣接してハウジング１の側面に配置さ
れる磁力計、または第２図に図解されるように、
チヤンバ４を横切つて向けられる光ビーム２８を
ボール１０が通過することによつて生じるビーム
２８の遮断を検出するように配置される光電池ま
たはフオトダイオード装置２７を備えてもよい。
用いられてもよい他のセンサ装置は、たとえば、
可変磁気抵抗ピツクアツプ装置および反射センサ
装置を含む。

ハウジング１ならびにボール１０および１９
は、センサを介して通過されるべき流体と適合す
るいかなる適当な材料から作られてもよい。ボー
ル１０およびチヤンバ４の壁の材料はまた、ボー
ルの振動率を測定するために用いられるべき検出
装置と適合しなければならない。たとえば、ハウ
ジングは、金属、プラスチツク、またはエポキシ
から作られてもよく、かつボール１０および１９
は、金属、プラスチツク、またはテフロン（材料
の登録商標）から作られてもよい。

上で説明したセンサは、ボール１０および測定
チヤンバ４を適当な大きさにして、広範囲の粘性
について流体の流量を測定するために用いられる
ことができる。ボール１０は、アウトレツトから
遮断されるチヤンバーの一方側へ流れる流体によ
つてチヤンバを移動させられ、かつボールが移動
する速度は、粘性に敏感な方向的な力に依存しな
いので、流体の粘性に関係なく比較的正確であ
る。

ボール１０は、チヤンバ４で自由に移動するよ
うな大きさである。それは、円筒パイルまたは導
管での流体の流れプロフイールのため、チヤンバ
４の壁にまず滅多に接触しない。流体は、導管の
中央で最も速く移動し、一方壁の近くの流体の粒
子は減速され、摩擦力のため壁の近くでほとんど
静止する。したがつて、チヤンバ４の壁に実際に
静止した流体の境界層があり、かつ中央では流体
の流れがボール１０に作用し、ボール１０をチヤ
ンバの壁に近づけないようにする。境界層は、衝
緩効果を与え、かつまたボール１０を通り過ぎて
チヤンバ４の反対側の端部に流体がほとんど漏れ
ないことを保証する。

上で説明した境界層の効果のため、ボール１０
および弁ボール１９の磨耗が最小になる。

第３図はこの発明による流体流量センサの第２
実施例を示す。

第３図に示されるセンサは、基本的に、流体イ
ンレツト３１、流体アウトレツト３、測定チヤン
バ３３、流体インレツト３１と測定チヤンバ３３
との間にある第１のバルビング（valving）チヤ
バ３４、および測定チヤンバ３３と流体アウトレ
ツト３２との間にある第２のバルビチヤンバ３５
を有するハウジング３０を備える。ハウジング
は、測定されるべき流体と適合する適当な材料か
ら作られる。

アキユムレータチヤンバ３６は、液体インレツ
ト３１と第１バルビングチヤンバ３４との間に位
置決めされる。ポート３７および３８は、アキユ
ームレータチヤンバ３６をバルビングチヤンバ３
４の反対側の端部に接続する。フリーホイーリン
グのバルビングチヤンバのボールまたは他の可動
部材３９は、第１のバルビングチヤンバ３４に位
置決めされる。

バルビングチヤンバ３４の対向する端部のポー
ト４０および４１は、バルビングチヤンバ３４
を、それぞれ通路４２および４３を介して、測定
チヤンバ３３の対向の端部のそれぞれインレツト
ポート４４および４５に接続する。測定チヤンバ
３３は、一般に円筒形であり、かつ対向する端部
に弧状弁座４６，４７を有し、インレツトポート
４４，４５およびアウトレツトポート４８，４９
がそれぞれ位置決めされる。第２のフリーホイー
ルリングのボール５０は、測定チヤンバ３３に位
置決めされ、かつ弁座４６と４７との間で可動で
ある。

アウトレツトポート４８，４９は、それぞれ通
路５１，５２を介して、第２バルビングチヤンバ
３５の対向する端部のインレツトポート５３，５
４にそれぞれ接続される。フリーホイーリングの
バルビングボール５５は、第２のバルビングチヤ
ンバ３５の対向する端部間で可動である。バルビ
ングチヤンバの対向する端部のアウトレツトポー
ト５６，５７は、それぞれ通路５８，５９を介し
て、アウトレツトポート３２に接続されるアウト
レツトチヤンバ６０に接続される。

ハウジング３０ならびにボール３９，５０およ
び５５は、計測されるべき流体と適合する適当な
材料が作られる。たとえば、ハウジングは、金
属、プラスチツク、またはエポキシから作られて
もよく、かつボールは、金属、プラスチツク、ま
たはテフロン（材料の登録商標）から作られても
よい。

ボール３９，５０および５５はすべて、それら
のそれぞれのチヤンバよりわずかに直径が小さ
く、そのためそれらは、比較的少量の流体のみが
チヤンバの一方の端部から他方の端部までそれら
の周囲で漏れることを可能にしつつ、自由に動く
ことができる。ボールは、以下で説明するよう
に、それらのそれぞれのチヤンバのインレツトお
よびアウトレツトポートを密封するような大きさ
にされる。

バルビングボール３９および５５が第３図に示
される位置にあるとき、第１バルビングチヤンバ
３４のアウトレツトポート４０はボール３９によ
つて密封され、かつ第２バルビングチヤンバ３５
のインフレツトポート５４はバルビングホール５
５によつて密封される。流体はインレツトポート
３１に入り、かつアキユムレータチヤンバ３６を
介して、通路３７および３８へ流れる。アウトレ
ツトポート４０が密封されるので、流体は、アウ
トレツトポート４１および通路４３を介し、イン
レツトポート４５を介して測定チヤンバ３３の右
側へ流れる。

測定チヤンバ３３の右側の端部へ流れる流体
は、インレツトポート５４を密封するバルビング
ボール５５によつてアウトレツト３２から密封さ
れる。それゆえに、液体は、測定チヤンバ３３で
矢印の方向にボール５０を押し進める。それゆえ
に、流体は、測定チヤンバ３３の右側の端部から
押し出され、かつポート４８へ出て、通路５１、
インレツトポート５３、第２バルビングチヤンバ
３５、アウトレツトポート５６および通路５８を
介して流体アウトレツト３２へ通過する。

ボール５０は、チヤンバ３３の左側の端部に達
するとき、ポート４４および４８を密封する。そ
のとき、圧力はチヤンバ３３および通路５２で増
加し、第２バルビングチヤンバ３５のバルビング
ボール５５を、ポート５４および５７から、かつ
チヤンバ３３の反対側の端部に押し進め、そのチ
ヤンバ３３で、圧力はポート５３および５６を密
封する。

通路５２、かつしたがつて通路４３がアウトレ
ツト３２に開かれるので、これらの通路の圧力は
減少する。ボール５０がポート４４および４８を
密封するとき、導管４２の圧力は増加し、かつそ
れゆえに、通路３７を介して第１バルビングボー
ル３９に作用する、インレツト３１からの流体の
流れは、このボールを、それが反対側のアウトレ
ツトポート４１を密封するまで第１バルビングチ
ヤンバで押し進める。

逆の工程が生じ、流体はインレツトボート４４
を介してチヤンバ３３の左側の端部に入り、ボー
ル５０を、それがチヤンバの右側の端部のポート
４５および４９を密封するまでチヤンバで押し進
める。次に、バルビングボール３９および５５
が、上のように位置を変え、かつ工程は流体が流
れる限り連続的に繰返される。

測定チヤンバ３３のボール５０は、流体の流量
に比例する率でチヤンバの端部から端部に方向転
換する。それゆえに、流体の流量は、第１の実施
例では、ボール５０の振動を検出するいかなる装
置によつても測定されることができる。検出装置
は、たとえば、磁力計または光電池の装置、また
は可変磁気抵抗ピツクアツプ装置を備えてもよ
い。

第２実施例では、流体センサは、第１の実施例
よりわずかに複雑であるが、実質的にすべての流
体が測定チヤンバを介して（弁の切換時間中を除
いて）通過されるので、真の容積過給測定が可能
である。これは、ピストン形流量測定装置で利用
可能ではない連続的な遮断されていない流れを与
える。センサは、非常に広範囲の液体および粘性
について高精度で流量を測定するために用いられ
ることができる。

両実施例のセンサは、流量を連続的に測定する
ために流体の流路に位置決めされることができ
る。それは、食料調達産業においては飲料、アイ
スクリームおよびミルクセーキを分配する機械で
用いられる、シロツプを含む広範囲の粘性にわた
る流体について用いられることができる。このセ
ンサは、適度な大きさの液体（たとえばチヨコレ
ートシロツプ）に懸濁される固体粒子を通過させ
る。センサまたは、エネルギ保存のため、自動車
でのガソリンの流量の検出および制御のために用
いられてもよい。センサは、非常に様々な流体に
ついて用いるような大きさにされことができ、測
定されるべき流体の流量は、比較的費用がかから
ず、かつかなりの程度の精度を与える。

移動しているボールは、パイプ内の液体の流れ
プロフイールのためそれぞれのチヤンバの壁にま
ず滅多に接触しない。したがつて、センサは非常
に低い磨耗率を有し、その率は、ボールがたとえ
ばテフロン（材料の登録商標）から作られるとき
さらに小さくなる。

センサは、容積流量を測定するので、そのアウ
トレツトで遮断弁に接続される検出装置で用いら
れることができ、正確な量の流体を繰返し与え
る。これは、たとえば食料調達の分野で有効であ
り、自動の飲料およびアイスクリームのデイスペ
ンサは費用有効性のため正確に制御されなければ
ならない。

この発明を好ましい実施例に関連して特定的に
示しかつ説明してきたが、前掲の特許請求の範囲
に規定されるこの発明の範囲から逸脱することな
く、この開示された発明に修正を行なうことがで
きることが理解されよう。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の第１実施例による流体流
量センサを介する垂直断面図である。第２図の、
第１図は測定チヤンバの第１図の線２−２に沿つ
た断面図であり、測定チヤンバに関連する検出装
置の概略図を示す。第３図は、この発明の第２実
施例による流体流センサを介する垂直断面図であ
る。 図において１および３０はハウジング、２およ
び３１は流体インレツト、３および３２は流体ア
ウトレツト、４および３３は測定チヤンバ、７，
８，１３，１４，２２，２６および４２は導管、
９および３６はアキユムレータチヤンバ、１０お
よび５０はボール、１１，１２，２１，２５，３
２，４０，４１，４８，４９および５６はアウト
レツトポート、１５は弁アセンブリ、１６は弁チ
ヤンバ、１７，１８，４６および４７は弁座、１
９，３９および５５は弁ボール、２０，２４，４
４，４５，５３および５４はインレツトポート、
２７は光電池またはフオトダイオード装置、３４
および３５はバルビングチヤンバ、３７，３８，
４３，５１および５２は通路、６０はアウトレツ
トチヤンバである。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 流体インレツトおよび流体アウトレツト間の
   流体の容積流量を測定する流体流量センサであつ
   て、 前記流体インレツトおよび前記流体アウトレツ
   トのいずれにも流体連通する対向する第１および
   第２の端部を有する測定チヤンバ、 前記チヤンバの前記対向する端部間で可動であ
   る前記測定チヤンバ内の本体、および 前記チヤンバの前記第１の端部の流体が前記本
   体を前記チヤンバの第２の端部の方へ第１の方向
   に押し進めるように、前記チヤンバの前記第１の
   端部が前記アウトレツトから遮断される第１の位
   置と、前記チヤンバの第２の端部の流体が前記本
   体を前記チヤンバの第１の端部の方へ第２の方向
   に押し進めるように、前記チヤンバの前記第２の
   端部が前記アウトレツトから遮断される第２の位
   置との間で、可動な弁部材を有するアウトレツト
   弁手段とをさらに備え、 その両側で、前記本体が測定チヤンバの前記第
   １または第２の端部に達するとき前記測定チヤン
   バの端部からの流体の流れが前記本体によつて遮
   断されることから生ずる圧力の変化によつて単独
   で前記第１および第２の位置との間で移動される
   ように、かつ、前記測定チヤンバを前記本体が移
   動中、前記アウトレツト弁手段の両側で、前記測
   定チヤンバの前記第１または第２のそれぞれの端
   部から前記アウトレツトへ流体が選択的に流れる
   ことによつて生じる圧力の差によつて単独で、前
   記第１および第２の位置のそれぞれ一方に維持さ
   れるように、前記アウトレツト弁部材が配置さ
   れ、それによつて流体の容積流量速度は本体の第
   １の位置および第２の位置との間の振動速度から
   引出され得る、流体流量センサ。 ２ 前記アウトレツト弁手段は前記測定チヤンバ
   の前記第１および第２の端部と前記流体アウトレ
   ツト間に接続される弁チヤンバを含み、アウトレ
   ツト弁部材は前記第１の位置において、測定チヤ
   ンバの第２の端部が前記弁チヤンバの部分を介し
   て前記アウトレツトに連通しかつ、前記第２の位
   置において、測定チヤンバの第１の端部が前記弁
   チヤンバの部分を介して前記アウトレツトに連通
   するように、前記弁チヤンバ内において可動であ
   る、特許請求の範囲第１項に記載の流体流量セン
   サ。 ３ 前記弁チヤンバは第１インレツトポートおよ
   び第１アウトレツトポートを有し、前記第１イン
   レツトポートは前記測定チヤンバの前記第１の端
   部に接続されかつ前記第１アウトレツトポートは
   前記流体アウトレツトに接続され、かつ第２イン
   レツトポートおよび第２アウトレツトポートをさ
   らに備え、前記第２インレツトポートは前記測定
   チヤンバの前記第２の端部に接続され、かつ前記
   第２アウトレツトポートは前記流体アウトレツト
   に接続され、アウトレツト弁部材は前記第１の位
   置で前記第１インレツトポートおよびアウトレツ
   トポートを密封し、かつ前記第２の位置で前記第
   ２インレツトおよびアウトレツトポートを密封
   し、流体インレツトから流体アウトレツトまでの
   流体流路において、前記本体が前記測定チヤンバ
   で前記第１の方向に移動している間、前記第１ア
   ウトレツトポートでの圧力は、前記第２インレツ
   トポートでの圧力より小さく、前記第１インレツ
   トポートでの圧力によつてその上にかけられる力
   より大きな力を前記アウトレツト弁部材にかけ、
   それによつて前記第１の位置に前記アウトレツト
   弁部材を維持し、かつ前記本体が前記測定チヤン
   バにおいて前記第２の方向に移動している間、前
   記第２アウトレツトポートでの圧力は前記第１イ
   ンレツトでの圧力より小さく、前記第２インレツ
   トポートでの圧力によつてその上にかけられる力
   より大きな力を前記アウトレツト弁部材にかけ、
   それによつて前記第２の位置に前記アウトレツト
   弁部材を維持する、特許請求の範囲第２項記載の
   流体流量センサ。 ４ 前記測定チヤンバは円筒形の断面を有しかつ
   前記本体は前記断面よりわずかに小さい直径を有
   するボールである、特許請求の範囲第２項または
   第３項に記載のセンサ。 ５ 前記アウトレツト弁チヤンバは長楕円であり
   かつ円筒形の断面を有し、かつ 前記アウトレツト弁部材は前記断面よりわずか
   に小さい直径を有するボールである、特許請求の
   範囲第１、２または３項に記載の流体流量セン
   サ。 ６ インレツト弁部材およびアウトレツト弁部材
   がその第１の位置にあるとき、流体が前記測定チ
   ヤンバの前記第１の端部にかつ前記測定チヤンバ
   の前記第２の端部から前記アウトレツトに流れ、
   かつインレツト弁部材およびアウトレツト弁部材
   がその第２の位置にあるとき、流体が前記測定チ
   ヤンバの対向する方向に流れ前記本体を前記チヤ
   ンバの前記第１の端部に押し進めかつ流体が前記
   第１の端部から前記アウトレツトに流れるよう
   に、測定チヤンバの第２および第１の端部のそれ
   ぞれが前記流体インレツトから遮断される第１の
   位置と第２の位置との間で可動である弁部材を有
   するインレツト弁手段を含む、特許請求の範囲第
   １項ないし第５項のいずれかに記載の流体流量セ
   ンサ。 ７ 前記インレツト弁手段は、 前記流体インレツトと前記測定チヤンバの前記
   第１および第２の端部との間に接続される第２の
   弁チヤンバを含み、インレツト弁部材は前記第２
   の弁部材内で、前記可動な本体が前記測定チヤン
   バの一方の端部から他方の端部に移動するときそ
   の上に及ぼす流体圧力の変化の結果として単独
   で、前記第１の位置と第２の位置との間で可動で
   ある、特許請求の範囲第６項に記載のセンサ。 ８ アウトレツト弁手段は４ポートの弁チヤンバ
   を含み、前記アウトレツト弁部材は前記第１の位
   置にあるとき前記４個のポートの第１の対を塞
   ぎ、かつ前記第２の位置にあるとき前記４個のポ
   ートの第２の対を塞ぎ、 前記測定チヤンバのそれぞれの端部は前記第１
   および第２の対のポートのそれぞれ一方を介し
   て、前記流体アウトレツト、および前記アウトレ
   ツト弁部材のそれぞれの側の前記弁チヤンバの関
   連する部分に連通し、 前記流体アウトレツトでの圧力は前記インレツ
   トでの圧力より低く、そのため前記対のポートの
   塞がれていない方を介して流れる流体によつて前
   記アウトレツト弁部材、および前記弁チヤンバの
   関連する部分にかけられる正味の圧力が、前記ア
   ウトレツト弁部材によつて塞がれている対ポート
   を介して前記アウトレツト弁部材にかけられる正
   味の圧力より大きい、特許請求の範囲第１項に記
   載のセンサ。 ９ 前記流体インレツトは制御弁が介在すること
   なく前記測定チヤンバの両端部に直接連通し、そ
   のため前記ボール部材が前記測定チヤンバ内を移
   動しているとき、流体は、前記可動部材がそこに
   向かつて移動している測定チヤンバの端部から、
   また直接前記インレツトからアウトレツトに流れ
   る、特許請求の範囲第１項ないし第５項のまたは
   第８項のいずれかに記載のセンサ。 １０ 流体インレツトはインレツト弁手段を介し
   て、前記測定チヤンバの端部の一方または他方に
   交互に連通し、かつ前記インレツト弁手段は前記
   測定チヤンバで前記可動部材が移動することから
   生じるそれにかかる圧力差に応答して単独で作動
   される、特許請求の範囲第１項または第８項に記
   載のセンサ。 １１ 前記測定チヤンバ、アウトレツト弁手段お
   よびインレツト弁手段は存在するとき共通のハウ
   ジングに含まれる、特許請求の範囲第１項ないし
   第１０項のいずれかに記載のセンサ。 １２ インレツトおよびアウトレツト間の流体の
   流量が測定チヤンバでの部材の振動速度を調べる
   ことによつて測定され、かつ前記測定チヤンバの
   交互の端部からセンサアウトレツトへの流体流量
   の選択はアウトレツト流路で切換弁によつて制御
   され、 前記アウトレツト切換弁は前記部材が前記測定
   チヤンバを移動しかつその端部に達するとき、流
   体流量に応答して生じるそれにかかる圧力差に応
   答して単独で作動され、かつ 前記センサのインレツトは前記測定チヤンバの
   両端部と直接連通し、そのため前記センサのアウ
   トレツトに送り出される流体が、一部は前記測定
   チヤンバから生じかつ一部は前記インレツトから
   直接生じる、流体流量センサ。