JPH0459626A - Formation of porous glass - Google Patents

Formation of porous glass

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JPH0459626A
JPH0459626A JP17241490A JP17241490A JPH0459626A JP H0459626 A JPH0459626 A JP H0459626A JP 17241490 A JP17241490 A JP 17241490A JP 17241490 A JP17241490 A JP 17241490A JP H0459626 A JPH0459626 A JP H0459626A
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JP
Japan
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glass
porous glass
flow path
porous
flame
Prior art date
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JP17241490A
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Japanese (ja)
Inventor
Kunio Ogura
邦男 小倉
Akira Iino
顕 飯野
Masahide Kuwabara
正英 桑原
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Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Furukawa Electric Co Ltd filed Critical Furukawa Electric Co Ltd
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    • C03B19/1423Reactant deposition burners
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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、通信、光学の分野で利用される多孔質カラス
の形成方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION "Field of Industrial Application" The present invention relates to a method for forming porous glass used in the fields of communications and optics.

「従来の技術」 通信、光学の分野において、ガラス合成により製造され
る石英系製品の代表例として、光ファイバ、イメージガ
イド、ライトガイド、ロッドレンズなどをあげることか
できる。
"Prior Art" In the fields of communications and optics, optical fibers, image guides, light guides, rod lenses, etc. are representative examples of quartz-based products manufactured by glass synthesis.

かかる製品の母材を作製するとき、ガラス原料カス、ト
ープ原料カスなどを高温で化学反応させてスート状のカ
ラス微粒子を生成し、かつ、このカラス微粒子を所要の
形状に堆積させて多孔質ガラスをつくり、その後、多孔
質ガラスを高温の雰囲気中で焼結かつ透明化して、透明
ガラス母材を得るのが一般である。
When producing the base material for such products, glass raw material scraps, tope raw material scraps, etc. are chemically reacted at high temperatures to produce soot-like glass fine particles, and the glass fine particles are deposited in a desired shape to form porous glass. Generally, the porous glass is sintered and made transparent in a high temperature atmosphere to obtain a transparent glass base material.

ちなみに、多重管構造の八−すを介したOVD法により
光フアイバ用の多孔質カラスを形成する例では、コア用
のガラス棒、または、コア用/クラッド用のガラスを有
するガラス棒をターゲットとしてこれを回転させ、かつ
、燃焼状態に保持された前記/ヘーナに原料ガスを供給
してガラス微粒子を生成し、このガラス微粒子をバーナ
火炎と共にターゲットの外周面(堆積面)トに噴射して
堆積させている。
By the way, in an example of forming a porous glass for an optical fiber by the OVD method using a multi-tube structure, a glass rod for the core or a glass rod with glass for the core/cladding is used as the target. This is rotated and raw material gas is supplied to the burner kept in a burning state to generate glass particles, which are injected together with the burner flame onto the outer peripheral surface (deposition surface) of the target and deposited. I'm letting you do it.

「発明が解決しようとする課題」 上述したガラス微粒子の堆積手段を介して、多孔質ガラ
スを形成するとき、多孔質ガラスの大きさ、ガラス微粒
子を含む八−す火炎の大きさがガラス微粒子の堆積効率
、多孔質ガラスの歩留りに大きな影響を与える。
"Problems to be Solved by the Invention" When forming porous glass through the above-mentioned glass particle deposition means, the size of the porous glass and the size of the eight flame containing the glass particles are determined by the size of the glass particles. Deposition efficiency has a significant impact on the yield of porous glass.

たとえば、前記へ−すへの原料ガス供給量、八−す火炎
の流速を一定にした条件下において、相対的に多孔質ガ
ラスの外径が小、バーナ火炎が大であるとき、多孔質ガ
ラスの外周面(堆積面)に衝突付着せずに廃棄されるガ
ラス微粒子が多くなり、逆に、多孔質ガラスの外径が大
、バーナ火炎が小であるとき、カラス微粒子の殆どが多
孔質ガラスの外周面に衝突付着する。
For example, under conditions where the raw material gas supply amount to the heather and the flow rate of the heather flame are kept constant, when the outer diameter of the porous glass is relatively small and the burner flame is large, the porous glass More glass particles are discarded without colliding and adhering to the outer peripheral surface (deposition surface) of the glass. Conversely, when the outer diameter of the porous glass is large and the burner flame is small, most of the glass particles are Collision and adhesion to the outer circumferential surface of the

かかる観点からすると、多孔質ガラスの外径が八−す火
炎よりも大きいとき、ガラス微粒子の堆積効率が高まる
といえる。
From this point of view, it can be said that when the outer diameter of the porous glass is larger than the eight flame, the deposition efficiency of glass particles increases.

しかし、小さなバーナ火炎は、大きい多孔質ガラスを局
部的に集中加熱し割れを誘引するので、多孔質ガラスの
歩留りを低下させる。
However, the small burner flame locally heats the large porous glass and induces cracking, thereby reducing the yield of the porous glass.

これらの事情を考慮した場合、多孔質ガラス、バーナ火
炎は、相互に適切な大きさを保持して終始一定している
のがよいみえるが、既述の手段でガラス微粒子を堆積成
長させて多孔質ガラスを形成するとき、ガラス微粒子が
堆積されるにしだがい、多孔質ガラスか大きくなるので
1一定の時点で両者のバランスか崩れてしまう。
Taking these circumstances into consideration, it seems best for the porous glass and the burner flame to maintain appropriate sizes and remain constant from beginning to end. When forming porous glass, as fine glass particles are deposited, the porous glass becomes larger, so that at a certain point the balance between the two is lost.

それゆえ、ガラス微粒子の堆積効率、多孔質ガラスの歩
留り、これらのいずれかを犠牲にしなければならない。
Therefore, either the deposition efficiency of glass particles or the yield of porous glass must be sacrificed.

その他、バーナへの原料ガス供給量を増加し、バーナ火
炎を高速化することにより、単位時間あたりのガラス微
粒子堆積量を多くすることができるが、こうした場合は
、生成不十分のうちにガラス微粒子が堆積面へ到達する
ので、良質の多孔質ガラスが得られない。
In addition, by increasing the amount of raw material gas supplied to the burner and speeding up the burner flame, it is possible to increase the amount of glass particles deposited per unit time. reaches the deposition surface, making it impossible to obtain good quality porous glass.

本発明はこのような技術的課題に鑑み、ガラス微粒子の
堆積効率、堆積速度に潰れ、しかも、良質の多孔質ガラ
スを歩留りよく得ることのできる多孔質ガラスの形成方
法を提供しようとするものである。
In view of these technical problems, the present invention aims to provide a method for forming porous glass that is capable of reducing the deposition efficiency and speed of glass fine particles, and that can yield high-quality porous glass at a high yield. be.

「課題を解決するための手段】 本発明は所期の目的を達成するため、火炎の流動性を利
用して、その火炎中に含まれるガラス微粒子を、回転し
ている堆積面上に噴射ならびに堆積させて多孔質ガラス
を形成する方法において前記ガラス微粒子の堆積による
多孔質カラスの成長に応じ、前記火炎を大きくすること
を特徴とする。
"Means for Solving the Problems" In order to achieve the intended purpose, the present invention makes use of the fluidity of flame to inject glass particles contained in the flame onto a rotating deposition surface. The method of forming porous glass by deposition is characterized in that the flame is increased in size in accordance with the growth of porous glass due to the deposition of the glass particles.

【作用」 本発明方法において、多孔質ガラスを形成するとき、火
炎中に含まれるガラス微粒子を所定の堆積面上に噴射な
らびに堆積させる。
[Operation] In the method of the present invention, when forming porous glass, glass particles contained in a flame are injected and deposited on a predetermined deposition surface.

こうして形成される多孔質ガラスは、自明の通り、ガラ
ス微粒子が堆積されるにしたがって成長し、その外径が
大きくなる。
As is obvious, the porous glass thus formed grows as glass fine particles are deposited, and its outer diameter increases.

本発明方法は、かかる多孔質ガラスの形成時、多孔質ガ
ラスの成長に応じて、前記火炎を大きくするので、外径
が変化する多孔質ガラスに対し、火炎の大きさを常に適
切な状態に保持することができる。
In the method of the present invention, when forming such porous glass, the flame is enlarged according to the growth of the porous glass, so that the flame size is always kept in an appropriate state for porous glass whose outer diameter changes. can be retained.

その結果、ガラス微粒子の堆積効率が高まり。As a result, the deposition efficiency of glass particles increases.

割れの原因となる多孔質ガラスの局部集中加熱もなく、
多孔質ガラスを形成する際の品質、歩留り、生産性など
を十分に高めることができる。
There is no localized heating of the porous glass, which can cause cracks.
It is possible to sufficiently improve quality, yield, productivity, etc. when forming porous glass.

「実 施 例J 本発明に係る多孔質ガラスの形成方法につき、図示の実
施例を参照して説明する。
Example J A method for forming porous glass according to the present invention will be described with reference to the illustrated example.

第1図において、10は石英系のガラス棒、11はガラ
ス棒10の堆積面(外周面)、12はガラス棒10の堆
積面11上に形成された石英系の多孔質ガラスをそれぞ
れ示し、20はガラス棒10の長さ方向に移動自在な多
重管構造のバーナ、30はバーナ20に対応して配置さ
れた排気ダクトをそれぞれ示す。
In FIG. 1, 10 indicates a quartz-based glass rod, 11 indicates a deposition surface (outer peripheral surface) of the glass rod 10, and 12 indicates a quartz-based porous glass formed on the deposition surface 11 of the glass rod 10. Reference numeral 20 indicates a burner having a multi-tube structure that is movable in the length direction of the glass rod 10, and reference numeral 30 indicates an exhaust duct arranged corresponding to the burner 20.

石英系のガラス棒10は、たとえば、光ファイバ、イメ
ージガイド、ライトガイド、口・ソドレンズなどの棒状
素材となるものであり、これはコア用ガラスのみか、あ
るいは、相対的に高屈折率のコア用ガラスと相対的に低
屈折率のクラッド用ガラスとで構成されている。
The quartz-based glass rod 10 is used as a rod-shaped material for, for example, optical fibers, image guides, light guides, and lenses. cladding glass with a relatively low refractive index.

かかるガラス$10は、第1図において、ガラス旋盤の
チャック(図示せず)を介して回転自在に両端支持され
ている。
In FIG. 1, such glass $10 is rotatably supported at both ends via chucks (not shown) of a glass lathe.

上記ガラスs10の堆積面11上に形成された石英系の
多孔質ガラス12は、たとえば、既述のクラッド用ガラ
スとして用いられる。
The silica-based porous glass 12 formed on the deposition surface 11 of the glass s10 is used, for example, as the above-mentioned cladding glass.

多重管構造のバーナ20は、第2図に示す通り、段階的
に外径の異なる多数(10本)の石英パイプが互いに同
心状となるように組み合わされて構成されたものであり
、その軸心から外周にわたり、第一流路21.第二流路
22、第三流路23、第四流路24、第五流路25、第
六流路28、第七流路27、第八流路28、第九流路2
9が形成されている。
As shown in Fig. 2, the multi-tube structure burner 20 is constructed by concentrically combining a large number (10) of quartz pipes with different outer diameters, and the axis From the center to the outer periphery, the first flow path 21. Second flow path 22, third flow path 23, fourth flow path 24, fifth flow path 25, sixth flow path 28, seventh flow path 27, eighth flow path 28, ninth flow path 2
9 is formed.

かかるバーナ20の基端部には、これにガラス原料ガス
(SiGIa) 、水素ガス(H2)、酸素ガス(02
)を供給するための配管系が接続されており、これらの
配管系が図示しない所定のガス供給源に接続されている
At the base end of the burner 20, frit gas (SiGIa), hydrogen gas (H2), and oxygen gas (02
), and these piping systems are connected to a predetermined gas supply source (not shown).

ちなみに、これらの配管系が接続されたバーナ20の場
合、第一、第四、第七の各流路21.24.27にガラ
ス原料ガスが供給され、第二、第五、第への各流路22
.25.28に水素ガスが供給され、さらに、第三、第
六、第九の各流路23.26.29に酸素カスが供給さ
れるようになっている。
Incidentally, in the case of the burner 20 to which these piping systems are connected, frit gas is supplied to each of the first, fourth, and seventh channels 21, 24, and 27, and each of the second, fifth, and Channel 22
.. Hydrogen gas is supplied to channels 25, 28, and oxygen scum is further supplied to each of the third, sixth, and ninth channels 23, 26, and 29.

排気ダクト30は、図示しない吸気式の排気ガス処理手
段に接続されている。
The exhaust duct 30 is connected to an intake type exhaust gas processing means (not shown).

第1図の実施例において、ガラス棒10を所定速度で回
転させた後、カラス原料ガス、水素ガス、酸素ガスの供
給を受けて燃焼状態にあるバーナ20をガラス棒10の
長さ方向沿いに往復動させると、バーナ20を介して生
成されたスート状のガラス微粒子は、バーナ先端から火
炎と共にガラス棒10の堆積面ll上に吹きつけられ、
かつ、堆積面11上に付着堆積して多孔質ガラス12と
なり、多孔質ガラス12は、ガラス微粒子が堆積される
にしたがい成長して外径が大きくなる。
In the embodiment shown in FIG. 1, after the glass rod 10 is rotated at a predetermined speed, the burner 20, which is in a combustion state while being supplied with raw material gas, hydrogen gas, and oxygen gas, is moved along the length of the glass rod 10. When the glass rod 10 is reciprocated, the soot-like glass particles generated through the burner 20 are blown from the tip of the burner onto the deposition surface ll of the glass rod 10 along with the flame.
In addition, the particles are deposited on the deposition surface 11 to become porous glass 12, and as the glass particles are deposited, the porous glass 12 grows and becomes larger in outer diameter.

上記において、ガラス棒10の堆積面ll上にガラス微
粒子が堆積され、多孔質ガラス12が形成された後は、
多孔質ガラス12の外周面が新たな堆積面となる。
In the above, after the glass particles are deposited on the deposition surface ll of the glass rod 10 and the porous glass 12 is formed,
The outer peripheral surface of the porous glass 12 becomes a new deposition surface.

このようにして、多孔質ガラス12を形成するとき、初
期段階、中期段階、終期段階のごとく、成長する多孔質
ガラス外径に応じて、ガラス微粒子を含むバーナ火炎を
大きくする。
In this manner, when forming the porous glass 12, the burner flame containing the glass particles is increased in size according to the outer diameter of the growing porous glass at the initial stage, middle stage, and final stage.

すなわち、初期段階では、第一流路21ニガラス原ネ゛
1カス、第二流路22・水素ガス、第三流路23:酸素
ガスのみを用い、中期段階では、第四流路24:カラス
原料ガス、第五流路25:水素ガス、第六流路26:酸
素ガスを併用し、さらに、終期段階では、第七流路27
:カラス原料ガス、第八流路28:水素ガス、第九流路
29:#素カスをも併用する。
That is, in the initial stage, only the first flow path 21: glass raw material, the second flow path 22: hydrogen gas, and the third flow path 23: oxygen gas are used, and in the middle stage, the fourth flow path 24: glass raw material is used. gas, fifth flow path 25: hydrogen gas, sixth flow path 26: oxygen gas, and in the final stage, seventh flow path 27
: Glass raw material gas, Eighth flow path 28: Hydrogen gas, Ninth flow path 29: # Raw scum is also used together.

こうして、バーナ20の使用流路数を適時増していくこ
とにより、多孔質ガラス12の外径とバーナ20の火炎
(大きさ)とが常に適切な関係に保持されるようになり
、良質の多孔質ガラスを原料の無駄なく有利に形成する
ことができる。
In this way, by increasing the number of channels used in the burner 20 in a timely manner, the outer diameter of the porous glass 12 and the flame (size) of the burner 20 can be maintained in an appropriate relationship at all times. High quality glass can be advantageously formed without wasting raw materials.

なお、多孔質ガラスの外径に対するバーナ火炎の大きさ
(堆積面に達する部分での火炎断面の直径)は、多孔質
ガラス外径の0.3〜3.0倍を適正範囲とすることが
でき、八−す火炎がこの範囲外にあるときは、既述の問
題が生じる。
The size of the burner flame relative to the outer diameter of the porous glass (the diameter of the cross section of the flame at the part that reaches the deposition surface) should be within the appropriate range of 0.3 to 3.0 times the outer diameter of the porous glass. However, when the eight flames are outside this range, the problems described above arise.

したがって、多孔質カラスを形成するとき、この範囲を
基準にして、バーナ20の使用流路数を上記のごとく増
やせばよい。
Therefore, when forming a porous glass, the number of channels used in the burner 20 may be increased as described above based on this range.

つぎに、本発明方法の具体例とその比較例について説明
する。
Next, specific examples of the method of the present invention and comparative examples thereof will be explained.

[具体例] 第1図、第2図を参照して述べた技術手段により多孔質
ガラス12を形成するとき、ガラス棒10として、外径
8I1mφ、長さ500m腸の石英系光フアイバ母材(
コア用ガラス:クラッド用ガラスの外径比=1:4)を
用い、八−す20の各流路へ供給する各ガスは、法衣の
通りとした。
[Specific Example] When forming the porous glass 12 by the technical means described with reference to FIGS. 1 and 2, the glass rod 10 is made of a silica-based optical fiber base material (
The outer diameter ratio of core glass to cladding glass was 1:4), and each gas was supplied to each flow path of the eighth 20 as shown in the vestibule.

表 (表中、5iC1aは重量表示されているが、バーナ2
0の各量路には高温ガスの状態で導入される。さらにS
iC:14 には、稀釈用としてアルゴンカスArがl
Oマo1%だけ添加されている。) 上記のようにして具体例を実施するとき、ガラス棒IO
の堆積面11に外径20rxtmφの多孔質ガラス12
が形成されるまでは、第一流路21〜第三流路23のみ
を用い、ついで、多孔質ガラス12が外径5軸mφに成
長するまでは、第一流路21〜第六流路26を用い、そ
れ以降は、第一流路21〜第九流路29の全てを用いて
、多孔質ガラス12の外径を120I1mφに仕上げた
Table (In the table, 5iC1a is indicated by weight, but burner 2
The high temperature gas is introduced into each of the 0 passages. Furthermore, S
iC:14 contains l of argon gas Ar for dilution.
Only 1% of Oma is added. ) When implementing the specific example as described above, the glass rod IO
Porous glass 12 with an outer diameter of 20rxtmφ is placed on the deposition surface 11 of
Only the first flow path 21 to third flow path 23 are used until the porous glass 12 is formed, and then the first flow path 21 to the sixth flow path 26 are used until the porous glass 12 grows to an outer diameter of 5 mφ. After that, all of the first flow path 21 to the ninth flow path 29 were used to finish the outer diameter of the porous glass 12 to 120I1 mφ.

[比較例1〜3コ 比較例1の場合は、具体例と同様のガラス棒10を用い
、最初から最後まで、第一流路21〜第三流路23のみ
を用いて多孔質ガラス12を形成した。
[Comparative Examples 1 to 3] In the case of Comparative Example 1, the same glass rod 10 as in the specific example was used, and the porous glass 12 was formed using only the first flow path 21 to the third flow path 23 from beginning to end. did.

比較例2の場合も、具体例と同様のガラス棒lOを用い
、最初から最後まで、第一流路21〜第六波路2Bを用
いて多孔質ガラス12を形成した。
In the case of Comparative Example 2, the same glass rod IO as in the specific example was used, and the porous glass 12 was formed using the first channel 21 to the sixth wave channel 2B from beginning to end.

比較例3の場合は、具体例と同様のガラス棒10を用い
、最初から最後まで、第一流路21〜第九流路29を用
いて多孔質ガラス12を形成した。
In the case of Comparative Example 3, the same glass rod 10 as in the specific example was used, and the porous glass 12 was formed using the first flow path 21 to the ninth flow path 29 from beginning to end.

なお、比較例3の場合、多孔質カラス12の外径が5h
+mφを越えた時点で、第四流路24に24g/win
のSiC:Ia を導入した。
In addition, in the case of Comparative Example 3, the outer diameter of the porous glass 12 is 5h.
At the time when +mφ is exceeded, 24g/win is applied to the fourth flow path 24.
of SiC:Ia was introduced.

[評 価] 上記各個における多孔質カラス外径とガラス微粒子堆積
速度との関係を第3図に示し、多孔質ガラス外径とガラ
ス微粒子堆積効率との関係を第4図に示した。
[Evaluation] Figure 3 shows the relationship between the outer diameter of the porous glass and the glass particle deposition rate for each of the above, and Figure 4 shows the relationship between the outer diameter of the porous glass and the glass particle deposition efficiency.

これらの図から明らかなように、具体例の場合は、堆積
速度、堆積効率(4oz以上)が共に良好であり、多孔
質ガラスの割れも発生していない。
As is clear from these figures, in the case of the specific example, both the deposition rate and the deposition efficiency (4 oz or more) were good, and no cracking of the porous glass occurred.

それに対し、比較例1の場合は、堆積速度について、具
体例よりも部分的によい箇所がみられるものの、多孔質
ガラスの外径が小さいときの堆積効率が著しく低くなっ
ている。
On the other hand, in the case of Comparative Example 1, although the deposition rate is partially better than that of the specific example, the deposition efficiency is significantly low when the outer diameter of the porous glass is small.

比較例2の場合、6oz以上のように、具体例と同程度
の堆積効率を保持しているが、堆積速度が遅く、しかも
、多孔質カラスの外径が75mmφを越えたとき、多孔
質ガラスに割れが発生した。
In the case of Comparative Example 2, the deposition efficiency is maintained at the same level as the specific example, such as 6 oz or more, but the deposition rate is slow, and moreover, when the outer diameter of the porous glass exceeds 75 mmφ, the porous glass A crack occurred.

さらに、比較例3の場合、多孔質ガラスを形成する際の
初期、終期において、堆積効率が低下している。
Furthermore, in the case of Comparative Example 3, the deposition efficiency was decreased at the initial stage and at the final stage of forming the porous glass.

これは、初期においてガラス微粒子の堆積面が小さく、
縛期においてガラス原料ガスの流速が速く、これらが原
因でガラス微粒子の付着が良好に行なわれなかったと考
えられる。
This is because the surface on which the glass particles are deposited is small in the initial stage.
The flow rate of the frit gas was high during the binding period, and it is thought that this was the reason why the fine glass particles did not adhere well.

上記具体例、比較例1.3においてガラス棒の外周に形
成した多孔質ガラスを、それぞれヘリウム(He)を含
む高温の雰囲気中で焼結透明化し、透明ガラス母材とし
たところ、この母材におけるコア用ガラス:クラッド用
ガラスの外径比は1:13であった。
The porous glass formed on the outer periphery of the glass rod in the above specific example and comparative example 1.3 was sintered and made transparent in a high-temperature atmosphere containing helium (He) to obtain a transparent glass base material. The outer diameter ratio of core glass to cladding glass was 1:13.

さらに、これら各母材を周知の加熱延伸手段により紡糸
して、それぞれ外径125gmφの光ファイバを得た。
Further, each of these base materials was spun using a well-known heating drawing means to obtain optical fibers each having an outer diameter of 125 gmφ.

これら光ファイバは、いずれも、波長1.55pmにお
ける伝送ロスが0 、19dB/に腸と良好であった。
All of these optical fibers had good transmission losses of 0 and 19 dB/ at a wavelength of 1.55 pm.

「発明の効果」 以上説明した通り、本発明に係る多孔質ガラスの形成方
法は、火炎中に含まれるガラス微粒子を所定の堆積首玉
に堆積させて多孔質ガラスを形成するとき、当該多孔質
カラスの成長に応じて前記火炎を大きくするから、カラ
ス微粒子の堆積効率が高く、かつ、ガラス微粒子の堆積
速度も速くなり、しかも、割れをきたすことのない良質
の多孔質ガラスを歩留りよく得ることができる。
"Effects of the Invention" As explained above, the method for forming porous glass according to the present invention, when forming porous glass by depositing glass fine particles contained in a flame on a predetermined deposition head, Since the flame is enlarged according to the growth of crow, the deposition efficiency of crow fine particles is high, the deposition rate of glass fine particles is also fast, and moreover, high quality porous glass without cracking can be obtained with a high yield. I can do it.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明方法の一実施例を略示した斜視図、第2
図は本発明方法に用いられるバーナの先端面を略示した
平面図、第3図は多孔質ガラス外径とガラス微粒子堆積
速度との関係を示した説明図、第4図は多孔質ガラス外
径とガラス微粒子堆積効率との関係を示した説明図であ
る。 10・・・・・・・・・・ガラス棒 11・・・・・・・・・・ガラス棒の堆積面12・・・
・・・・・・・多孔質ガラス20・・・・・・・・・・
バーナ 21〜29・・・・・・バーナの各流路30・・・・・
・・・・・排気ダクト 代理人 弁理士 斎 藤 義 雄 第 因 第 図 第 因 第 図 (e、on雪中) 多孔Pttrラスの丼牛ト (清新り
FIG. 1 is a perspective view schematically showing an embodiment of the method of the present invention, and FIG.
The figure is a plan view schematically showing the tip surface of the burner used in the method of the present invention, Figure 3 is an explanatory diagram showing the relationship between the outer diameter of the porous glass and the glass particle deposition rate, and Figure 4 is the outer diameter of the porous glass. FIG. 3 is an explanatory diagram showing the relationship between the diameter and the glass particle deposition efficiency. 10...Glass rod 11...Deposition surface of glass rod 12...
・・・・・・Porous glass 20・・・・・・・・・
Burners 21 to 29...Each flow path 30 of the burner...
... Exhaust duct agent Patent attorney Yoshio Saifuji Figure (e, on in the snow) Porous Pttr lath rice bowl (fresh)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 火炎の流動性を利用して、その火炎中に含まれるガラス
微粒子を、回転している堆積面上に噴射ならびに堆積さ
せて多孔質ガラスを形成する方法において、前記ガラス
微粒子の堆積による多孔質ガラスの成長に応じ、前記火
炎を大きくすることを特徴とする多孔質ガラスの形成方
法。
In a method of forming porous glass by injecting and depositing glass particles contained in the flame onto a rotating deposition surface by utilizing the fluidity of the flame, the porous glass is formed by depositing the glass particles. A method for forming porous glass, the method comprising increasing the size of the flame according to the growth of the porous glass.
JP17241490A 1990-06-29 1990-06-29 Formation of porous glass Pending JPH0459626A (en)

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