JPH0460278A

JPH0460278A - 左右分割式スライド扉シール機構

Info

Publication number: JPH0460278A
Application number: JP16652290A
Authority: JP
Inventors: Toshiyuki Koiwa; 小岩　俊行
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1990-06-25
Filing date: 1990-06-25
Publication date: 1992-02-26

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、真空装置等の圧力容器に関するものである。

（従来の技術）従来、第１図に示す上下開閉式ベルジャ型真空装置や、
第３図に示す１枚扉開閉式の真空装置があった。

（発明が解決しようとする課題）上下開閉式ベルジャ型の真空装置には、次の欠点があっ
た。

（イ）上方にベルジャが移動する為に高さ方向に大きな
スペースが必要となる。

（ロ）重量物であるベルジャ全体を上方に移動させる為
に油圧シリンダを含む油圧システム等が必要となる。

（ハ）ベルジャ内部のメンテナンス等の作業時に、作業
員の頭上にベルジャが位置する為安全性に不安がある。

また、１枚扉開閉式の場合には次の欠点があった。

（イ）チャンバ前面開口部を大きくした場合には、扉も
大きくなり扉の開放スペースがチャンバの周囲に広く必
要となる。

（ロ）第３図の如く作業スペースを広くした場合で円筒
形状のチャンバでは、底面の内部機器実装スペースが狭
くなってしまう。

本発明は、これらの欠点を除く為になされたものである
。

さらに、以上のチャンバを代表例での図面をもとに簡単
に構造説明する。

第１．２図は、上下開閉式のベルジャ型チャンバを示し
、チャンバ（１）はこれを上下させるシリンダ（２）を
側面に有し、シリンダ（２）のロッド（３）と結合され
ている。またチャンバ（１）と底板（４）をシールする
為にシールリング（５）が底板（４）の円周面に装着さ
れている。

第３．４図は、円筒型の前面扉式のチャンバを示し、チ
ャンバ（６）は扉（７）とシールリング（８）で密閉さ
れ、扉の開放状態は第４図に示す様に前面及び側面のス
ペースが必要となる。

（課題を解決する為の手段）円筒型チャンバ（９）の外周面を円周上にスライド出来
る左右扉ｆ１０１．　ｆｉｌｌ　　を装着し、円筒型チ
ャンバ（９）の外周面と左右扉＋ｌＯ＋、　ｆｌｌｌ　
　との密閉は、シールリングｆ１３１．　＋１４１　　
とセンターシール（１２）の介在により形成される。

（作　用）左右扉ｆ＋０１．　ｔｉｌｌ　のスライド開放状態では
、チャンバ（９）の前面に広い開口部（１５）が出来、
チャンバ内部のメンテナンス等の作業がし易い、また左
右扉（１０）、（ｉｌｌ　の開閉に伴うスペースが不要
となる。

（実施例）円筒型チャンバ（９）の開口部（１５）には、左右扉１
１０）、　ｆｌｌｌ　が設けられ、その扉の内面には円
筒型チャンバ（９）の外周面とシールする為のシールリ
ングｆ１３１　、　（１４１が図に示す如く装着されて
いる。

その左右扉（＋０１．　ｆｌｌｌ　の形状は、第８図に
示す如く円筒型チャンバ（９）の外周面に沿った形状の
曲面と円筒型チャンバ（９）の前方に直線的に伸びた平
面をシールリング［＋３１．　＋１４１　の変形を許容
出来る曲線でつなぐ形状を有する。

さらに左右扉＋１０１．　ｆｌｌｌ　　を閉じた状態で
はチャンバ（９）の開口部（１５）の上下に装着された
三角状のセンターシール（１２）で完全密閉となる機能
を有する。第７図にて左扉（１１）とセンターシール（
１２）の密着状態を示す、また、センターシール（］２
）の材質にはテフロン等の樹脂及びゴム等の人体に害を
与え難いものを使用する。

（発明の効果）チャンバの扉を開閉する時の必要スペースが最小限で済
み、設置スペースがチャンバの大きさのみで良い、また
チャンバ内のメンテナンス等の作業スペースが大きくと
れ、作業効率が良い。

第４図は、第３図の開扉状態図第５図は、本発明の開扉状態図第６図は、第５図の開扉状！Ｂ図第７図は、本発明の閉扉状態でのシール状態図第８図は
、本発明の扉の裏面状態図 ■）はチャンバ　　　　（２）はシリンダ３）はロッド
　　　　　（４）は底板５）はシールリング　　（６）はチャンバ７）は扉　　
　　　　　（８）はシールリング９）は円筒型チャンバ
　（１０）は右扉Ｉ１１は左扉　　　　　　（１２）は
センターシール＋３１．　＋１４１　はシールリング　
（１５）は開口部

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来のベルジャ型の閉扉の状態図第２図は、
第１図の開扉状態図第３図は、従来の扉型の閉扉状態図

Claims

【特許請求の範囲】１、円筒型チャンバ（９）の前面に開口部（１５）が設
けられ、開口部（１５）の密閉用として機能される右扉
（１０）と左扉（１１）が装着されている。この右扉（１０）と左扉（１１）は、円筒型チャンバ（
９）の外周に沿って後方へスライド可能となっている。また、左右扉（１０）、（１１）は閉じられた状態で、
円筒型チャンバ（９）の外面とシールする目的で内面外
周に沿ってシールリング（１３）、（１４）が装着され
ている。さらに左右扉の密着状態で上下面に発生する三
角状の開口部をシールする為にセンターシール（１２）
が円周型チャンバ（９）の前面に装着されている。以上のシール機構を有する左右分割式スライド扉シール
機構。