JPH0461986A - 硫酸・過酸化水素エッチング廃液の処理方法 - Google Patents
硫酸・過酸化水素エッチング廃液の処理方法Info
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- JPH0461986A JPH0461986A JP2169159A JP16915990A JPH0461986A JP H0461986 A JPH0461986 A JP H0461986A JP 2169159 A JP2169159 A JP 2169159A JP 16915990 A JP16915990 A JP 16915990A JP H0461986 A JPH0461986 A JP H0461986A
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Landscapes
- Heat Treatment Of Water, Waste Water Or Sewage (AREA)
- Removal Of Specific Substances (AREA)
- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
- Water Treatment By Electricity Or Magnetism (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、硫酸、過酸化水素及び水からなるエツチング
液を用いて、金属銅を溶解した後の銅濃度が高くなった
硫酸・過酸化水素エツチング廃液（以下単にエツチング
廃液と云う）の処理方法に関し、特に電解回収方式を用
いたエツチング廃液中の銅及び硫酸の回収方法に関する
。
液を用いて、金属銅を溶解した後の銅濃度が高くなった
硫酸・過酸化水素エツチング廃液（以下単にエツチング
廃液と云う）の処理方法に関し、特に電解回収方式を用
いたエツチング廃液中の銅及び硫酸の回収方法に関する
。
例えば硫酸１００〜１８０ ｇ ／ １及び過酸化水素
１８〜３０ ｇ ／ Ｊ２から成る硫酸・過酸化水素エ
ツチング液は銅を溶解する工程（以下エツチング工程と
云う）に用いられるが、銅の溶解により銅濃度の高くな
ったエツチング廃液（通常の銅濃度、５０〜６０ ｇ
／ （１）の処理方法としては、従来よりアルカリ凝集
沈澱法、硫酸銅冷却沈澱法及び電解法が主に採用されて
いる。以下図面を用いて説明する。
１８〜３０ ｇ ／ Ｊ２から成る硫酸・過酸化水素エ
ツチング液は銅を溶解する工程（以下エツチング工程と
云う）に用いられるが、銅の溶解により銅濃度の高くな
ったエツチング廃液（通常の銅濃度、５０〜６０ ｇ
／ （１）の処理方法としては、従来よりアルカリ凝集
沈澱法、硫酸銅冷却沈澱法及び電解法が主に採用されて
いる。以下図面を用いて説明する。
アルカリ凝集沈澱法は、まず第３図（ａ）に示すように
、エツチング工程で金属銅２をエツチングし銅濃度の高
くなったエツチング廃液１は、第３図（ｂ）に示すよう
に、反応工程で苛性ソーダ１１の添加により銅成分を水
酸化銅とし、次で第３図（ｃ）に示すように、凝集沈澱
工程でアニオン系高分子の凝集剤１２の添加により水酸
化銅１６として凝集させ、クラリファイヤ１３を用いて
凝集沈澱させる。この後、上澄液１４を第３図（ｄ）に
示すように、中和工程で塩酸１５添加により中和し公共
水域へ放流する。又、沈降分離した水酸化銅１６は第３
図（ｅ）に示す脱水工程で、脱水機１７を用いて脱水し
水酸化銅スラッジ１８として回収するものである。
、エツチング工程で金属銅２をエツチングし銅濃度の高
くなったエツチング廃液１は、第３図（ｂ）に示すよう
に、反応工程で苛性ソーダ１１の添加により銅成分を水
酸化銅とし、次で第３図（ｃ）に示すように、凝集沈澱
工程でアニオン系高分子の凝集剤１２の添加により水酸
化銅１６として凝集させ、クラリファイヤ１３を用いて
凝集沈澱させる。この後、上澄液１４を第３図（ｄ）に
示すように、中和工程で塩酸１５添加により中和し公共
水域へ放流する。又、沈降分離した水酸化銅１６は第３
図（ｅ）に示す脱水工程で、脱水機１７を用いて脱水し
水酸化銅スラッジ１８として回収するものである。
硫酸銅冷却析出法は、第４図（ａ）に示すように、エツ
チング工程で金属銅の溶解により銅濃度の高くなったエ
ツチング廃液１を、硫酸銅冷却工程で冷却熱交換器１９
により５°Ｃ以下に冷却することにより、結晶硫酸銅２
０として回収する。更に結晶硫酸銅回収後のエツチング
廃液１は、第４図（ｂ）に示す薬注工程で硫酸９及び過
酸化水素１０を補充して各濃度を調整し、再びエツチン
グ工程で再利用するものである。
チング工程で金属銅の溶解により銅濃度の高くなったエ
ツチング廃液１を、硫酸銅冷却工程で冷却熱交換器１９
により５°Ｃ以下に冷却することにより、結晶硫酸銅２
０として回収する。更に結晶硫酸銅回収後のエツチング
廃液１は、第４図（ｂ）に示す薬注工程で硫酸９及び過
酸化水素１０を補充して各濃度を調整し、再びエツチン
グ工程で再利用するものである。
電解法は第５図に示すように、エツチング工程で金属銅
の溶解により銅濃度の高くなったエツチング廃液１は、
陽極として鉛電極５．陰極としてステンレス電極６を用
いた電解工程で電気分解により、陰極に電解銅７を析出
させ回収する。又、銅が除去された電解処理液８は、硫
酸水溶液として回収するものである。
の溶解により銅濃度の高くなったエツチング廃液１は、
陽極として鉛電極５．陰極としてステンレス電極６を用
いた電解工程で電気分解により、陰極に電解銅７を析出
させ回収する。又、銅が除去された電解処理液８は、硫
酸水溶液として回収するものである。
上述した従来の処理方法のうち、アルカリ凝集沈澱法は
、多くの処理費用（苛性ソーダ、凝集剤等の処理薬品及
び電力等）と、産業廃棄物処理が必要であり、又、処理
液には塩（硫酸ソーダ等）が含有しているため、排出先
である公共水域の環境負荷にもなっていた。
、多くの処理費用（苛性ソーダ、凝集剤等の処理薬品及
び電力等）と、産業廃棄物処理が必要であり、又、処理
液には塩（硫酸ソーダ等）が含有しているため、排出先
である公共水域の環境負荷にもなっていた。
結晶硫酸銅回収後は、結晶回収装置の管理が複雑なこと
、又、硫酸銅が有価物として価値がなく地域に依っては
産業廃棄物となる等の課題を有していた。
、又、硫酸銅が有価物として価値がなく地域に依っては
産業廃棄物となる等の課題を有していた。
電解法は、処理液であるエツチング廃液に含まれる過酸
化水素が電解装置の陽極としての鉛板の溶出に影響を与
える。それにより鉛電極の寿命が短かく又、回収する電
解銅及び硫酸水溶液の純度も劣る。特に硫酸水溶液につ
いては、純度が低いため有価物としての価値がなく、ア
ルカリ凝集沈澱法等の廃水処理が必要であった。
化水素が電解装置の陽極としての鉛板の溶出に影響を与
える。それにより鉛電極の寿命が短かく又、回収する電
解銅及び硫酸水溶液の純度も劣る。特に硫酸水溶液につ
いては、純度が低いため有価物としての価値がなく、ア
ルカリ凝集沈澱法等の廃水処理が必要であった。
本発明は、かかる従来課題を解決したエツチング廃液の
処理方法を提供することにある。
処理方法を提供することにある。
本発明の硫酸・過酸化水素エツチング廃液の処理方法は
、硫酸と過酸化水素を含むエツチング廃液に銅材を浸漬
させたのち加熱して残存する過酸化水素を分解させる工
程と、過酸化水素を分解したこのエツチング廃液を電解
処理して電解銅と硫酸水溶液を回収する工程とを含んで
構成される。
、硫酸と過酸化水素を含むエツチング廃液に銅材を浸漬
させたのち加熱して残存する過酸化水素を分解させる工
程と、過酸化水素を分解したこのエツチング廃液を電解
処理して電解銅と硫酸水溶液を回収する工程とを含んで
構成される。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の第１の実施例を説明するための処理槽
の模式断面図である。
の模式断面図である。
第１図（ａ）に示すように、エツチング対象の金属銅２
は、エツチング工程でエツチング液（ＷＬ酸１００〜１
８０ ｇ ／ ＩＩ 、過酸化水素１８〜３０ｇ／（）
にて溶解される。銅濃度の高くなったエツチング廃液１
（通常の銅濃度、５０〜６０ｇ／ｌ）は、まず第１図（
ｂ）に示すように、前処理工程で触媒として銅材３を浸
漬し、加熱ヒータ４を用い４０〜６０℃で１〜２時間加
熱して電解に悪影響を与える過酸化水素を分解する。反
応は下記（１）及び（２）の反応式がらなり、分解後の
過酸化水素濃度は５ ｇ ／ ＩＩ以下とすることが出
来る。
は、エツチング工程でエツチング液（ＷＬ酸１００〜１
８０ ｇ ／ ＩＩ 、過酸化水素１８〜３０ｇ／（）
にて溶解される。銅濃度の高くなったエツチング廃液１
（通常の銅濃度、５０〜６０ｇ／ｌ）は、まず第１図（
ｂ）に示すように、前処理工程で触媒として銅材３を浸
漬し、加熱ヒータ４を用い４０〜６０℃で１〜２時間加
熱して電解に悪影響を与える過酸化水素を分解する。反
応は下記（１）及び（２）の反応式がらなり、分解後の
過酸化水素濃度は５ ｇ ／ ＩＩ以下とすることが出
来る。
Ｈ２ＳＯ４＋Ｈ２Ｏ２＋Ｃｕ −” ＣｕＳＯ４＋
２Ｈ２０（１，）２Ｈ２０□ → ２Ｈ２０＋ ０２
（２）次に第１図（Ｃ）に示す電解工程
で、陽極として鉛電８ｉ！５を、陰極としてステンレス
電極６を用いた電気分解く電流密度；１〜２Ａ／ｄｍ２
、電解所要時間；２０〜３０Ｈ）により陰極に高純度の
電解銅７を析出させ回収する。又、銅が除去された電解
処理液８は、硫酸水溶液として回収する。
２Ｈ２０（１，）２Ｈ２０□ → ２Ｈ２０＋ ０２
（２）次に第１図（Ｃ）に示す電解工程
で、陽極として鉛電８ｉ！５を、陰極としてステンレス
電極６を用いた電気分解く電流密度；１〜２Ａ／ｄｍ２
、電解所要時間；２０〜３０Ｈ）により陰極に高純度の
電解銅７を析出させ回収する。又、銅が除去された電解
処理液８は、硫酸水溶液として回収する。
第２図は本発明の第２の実施例を説明するための処理槽
の模式断面図である。
の模式断面図である。
まず第１の実施例と同様に、エツチングにより銅濃度の
高くなったエツチング廃液１中に銅材を浸漬して加熱す
ることにより過酸化水素を分解する。次で第２図（ａ＞
に示すように、鉛電［ｉ５及びステンレス電極６を用い
る電気分解により電解銅７を回収する。
高くなったエツチング廃液１中に銅材を浸漬して加熱す
ることにより過酸化水素を分解する。次で第２図（ａ＞
に示すように、鉛電［ｉ５及びステンレス電極６を用い
る電気分解により電解銅７を回収する。
この電解工程で回収した電解処理液８は第２図（ｂ）に
示す薬注工程で、微量の硫酸９及び過酸化水素１０（１
８〜３０ｇ／ρ）を補充して各濃度を調整し、新液と同
等のエツチング液としてエツチング工程で再利用する。
示す薬注工程で、微量の硫酸９及び過酸化水素１０（１
８〜３０ｇ／ρ）を補充して各濃度を調整し、新液と同
等のエツチング液としてエツチング工程で再利用する。
以上説明した様に本発明は、エツチング廃液の過酸化水
素を分解した後に電解処理を行うことにより、電解処理
効率を飛躍的に高めることが出来、従来の方式であるア
ルカリ凝集沈澱法、硫酸銅冷却析出法、電解法に比べ、
処理費用が低減され、産業廃棄物としての処理が不要と
なり、公共水域の環境汚染の防止に役立ち、回収する銅
と硫酸の純度を向上させることができ、更に回収する硫
酸のリサイクルが可能であるという効果がある。
素を分解した後に電解処理を行うことにより、電解処理
効率を飛躍的に高めることが出来、従来の方式であるア
ルカリ凝集沈澱法、硫酸銅冷却析出法、電解法に比べ、
処理費用が低減され、産業廃棄物としての処理が不要と
なり、公共水域の環境汚染の防止に役立ち、回収する銅
と硫酸の純度を向上させることができ、更に回収する硫
酸のリサイクルが可能であるという効果がある。
第１図及び第２図は本発明の第１及び第２の実施例を説
明するための処理槽の模式断面図、第３図〜第５図は従
来の処理方法を説明するための処理槽の模式断面図であ
る。 １・・・エツチング廃液、２・・・金属銅、３・・・銅
材、４・・・加熱ヒータ、５・・・鉛電極、６・・・ス
テンレス電極、７・・・電解銅、８・・・電解処理液、
９・・・硫酸、１０・・・過酸化水素、１１・・・苛性
ソーダ、１２・・・凝集剤、１３・・・クラリファイヤ
、１４・・・上澄液、１５・・・塩酸、１６・・・水酸
化銅、１７・・・脱水機、１８・・・水酸化銅スラッジ
、１つ・・・冷却熱交換器、２０・・・結晶硫酸銅。
明するための処理槽の模式断面図、第３図〜第５図は従
来の処理方法を説明するための処理槽の模式断面図であ
る。 １・・・エツチング廃液、２・・・金属銅、３・・・銅
材、４・・・加熱ヒータ、５・・・鉛電極、６・・・ス
テンレス電極、７・・・電解銅、８・・・電解処理液、
９・・・硫酸、１０・・・過酸化水素、１１・・・苛性
ソーダ、１２・・・凝集剤、１３・・・クラリファイヤ
、１４・・・上澄液、１５・・・塩酸、１６・・・水酸
化銅、１７・・・脱水機、１８・・・水酸化銅スラッジ
、１つ・・・冷却熱交換器、２０・・・結晶硫酸銅。
Claims (1)
- 硫酸と過酸化水素を含むエッチング廃液に銅材を浸漬さ
せたのち加熱して残存する過酸化水素を分解させる工程
と、過酸化水素を分解したこのエッチング廃液を電解処
理して電解銅と硫酸水溶液を回収する工程とを含むこと
を特徴とする硫酸・過酸化水素エッチング廃液の処理方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2169159A JPH0461986A (ja) | 1990-06-27 | 1990-06-27 | 硫酸・過酸化水素エッチング廃液の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2169159A JPH0461986A (ja) | 1990-06-27 | 1990-06-27 | 硫酸・過酸化水素エッチング廃液の処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0461986A true JPH0461986A (ja) | 1992-02-27 |
Family
ID=15881374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2169159A Pending JPH0461986A (ja) | 1990-06-27 | 1990-06-27 | 硫酸・過酸化水素エッチング廃液の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0461986A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2009004807A (ja) * | 2008-09-12 | 2009-01-08 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法及び半導体製造装置 |
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| CN104150569A (zh) * | 2014-08-20 | 2014-11-19 | 成都飞创科技有限公司 | 一种处理净化后的脱硫废水的方法及装置 |
| CN112708885A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-04-27 | 华润环保发展有限公司 | 一种蚀铜废硝酸资源化回用方法及系统 |
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-
1990
- 1990-06-27 JP JP2169159A patent/JPH0461986A/ja active Pending
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