JPH0462375B2 - - Google Patents

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JPH0462375B2
JPH0462375B2 JP58151122A JP15112283A JPH0462375B2 JP H0462375 B2 JPH0462375 B2 JP H0462375B2 JP 58151122 A JP58151122 A JP 58151122A JP 15112283 A JP15112283 A JP 15112283A JP H0462375 B2 JPH0462375 B2 JP H0462375B2
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JP
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film
light
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layer
photomasking
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Akio Hashizume
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Kimoto Co Ltd
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Kimoto Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/54Absorbers, e.g. of opaque materials
    • G03F1/56Organic absorbers, e.g. of photo-resists

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はフオトマスキングフイルムに関し、更
に詳しくは、透明なプラスチツクフイルム支持体
と遮光性マスク層との間にジアゾ感光層を設けオ
ペーク作業を不要とするフオトマスキングフイル
ムに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a photomasking film, and more particularly to a photomasking film in which a diazo photosensitive layer is provided between a transparent plastic film support and a light-shielding mask layer, eliminating the need for opaque work. It is.

従来、写真製版用、製図用、或いはプリント配
線基板の製造などにマスキングフイルムが使用さ
れている。このようなマスキングフイルム使用の
目的の一つは必要部分をフイルム支持体上から剥
離することにより様々な画像の原図を作製するこ
とである。そして前記マスキングフイルムとして
は例えばプラスチツクフイルム支持体上に紫外線
を遮断する赤色の剥離性遮光マスク層を設けその
上に感光材料を塗布したものなどが知られてい
る。
Conventionally, masking films have been used for photoengraving, drafting, or manufacturing printed wiring boards. One of the purposes of using such masking films is to produce various image masters by peeling off the desired portions from the film support. As the masking film, for example, one in which a red peelable light-shielding mask layer for blocking ultraviolet rays is provided on a plastic film support and a photosensitive material is coated thereon is known.

前記のマスキングフイルムに紫外線を用いて画
像露光した後感光材料層を現像液によつて現像
し、非露光領域の感光材料層を除去してその下の
マスク層をエツチング液により化学的にエツチン
グ除去することによりマスキング画像を得るもの
である。プラスチツクフイルム上に遮光性の剥離
層を設けたフオトマスキングフイルムは必要画像
部分を剥離してそこに別の網目模様などの画像を
挿入する場合大変便利であるので最近では多く利
用されている。
After imagewise exposing the masking film to ultraviolet light, the photosensitive material layer is developed with a developer, the photosensitive material layer in the non-exposed area is removed, and the underlying mask layer is chemically etched away with an etching solution. By doing this, a masking image is obtained. A photomasking film, which is a plastic film with a light-shielding peeling layer provided thereon, is very convenient for peeling off the desired image area and inserting another image such as a mesh pattern therein, so it has been widely used in recent years.

しかしながら例えば第1図に示す従来のマスキ
ングフイルムを用いて透明ベースフイルム2から
マスク層3b部分を剥離して3b部分のみの透過
光画像を焼付けようとしても第2図に示すように
エツチング部分4まで広がつた画像しか得られな
いものであつた。そのため第3図に示すようにエ
ツチング部分4にオペークインキ5を塗布して4
部分を遮光しておいた後、マスク層3bを剥離し
て第4図に示すように剥離した3b部分に丁度露
光が透過するようにしていた。しかしながらマス
ク層の上に油性のオペークインキを塗布すると、
マスク層の膜が溶けたり、エツチング画像の判読
が困難となつたり、また溶剤の揮発による悪臭の
発生も生じた。更にまた水性のオペークインキを
使用すると乾燥に時間を要したり、オペーク膜の
立ち上がりがよくないなどの欠点があつた。
However, even if an attempt is made to peel off the mask layer 3b from the transparent base film 2 using the conventional masking film shown in FIG. 1 and print a transmitted light image of only the portion 3b, as shown in FIG. All I could get was a wide range of images. Therefore, as shown in Fig. 3, opaque ink 5 is applied to the etched portion 4.
After shielding the mask layer 3b from light, the mask layer 3b was peeled off so that the exposed light was transmitted through the peeled portion 3b as shown in FIG. However, when applying oil-based opaque ink on top of the mask layer,
The film of the mask layer melted, the etched image became difficult to read, and a bad odor was generated due to volatilization of the solvent. Furthermore, when water-based opaque ink is used, there are drawbacks such as it takes a long time to dry and the opaque film does not stand up well.

本発明者は前記の欠点を改良するため、種々研
究を重ねた結果、マスク層とプラスチツクフイル
ム支持体の間にジアゾ感光性遮光マスク層を設け
ることによつて、オペークインキを使用しないで
もオペークインキを施したのと同様の効果が得ら
れるフオトマスキングフイルムが得られることを
知見して本発明を完成したものである。
In order to improve the above-mentioned drawbacks, the inventors of the present invention have conducted various studies and found that by providing a diazo-sensitive light-shielding mask layer between the mask layer and the plastic film support, the opaque ink can be used without using the opaque ink. The present invention was completed based on the finding that a photomasking film having the same effect as that obtained by applying the above method can be obtained.

すなわち、本発明は、プラスチツクフイルム支
持体上にジアゾ感光層、剥離性遮光マスク層、フ
オトレジスト感光材層を漸次設けて成るフオトマ
スキングフイルムである。
That is, the present invention is a photomasking film in which a diazo photosensitive layer, a peelable light-shielding mask layer, and a photoresist photosensitive material layer are sequentially provided on a plastic film support.

以下、本発明を更に詳しく説明する。 The present invention will be explained in more detail below.

本発明で使用されるプラスチツクフイルム支持
体として例えばポリエチレンテレフタレート、ポ
リブチレンテレフタレート、ポリオキシベンゾエ
ートなどのポリエステルフイルムあるいはポリカ
ーボネートフイルム等が挙げられる。
Examples of the plastic film support used in the present invention include polyester films such as polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, and polyoxybenzoate, and polycarbonate films.

そして前記プラスチツクフイルム支持体上に設
けるジアゾ感光層は公知のジアゾ感光色素、及び
カプラーを助剤とともに水又は有機溶剤を溶媒と
するバインダー中に分散又は溶解せしめたジアゾ
感光液をプラスチツクフイルム上に塗布すること
によつて得られる。
The diazo photosensitive layer provided on the plastic film support is formed by coating a diazo photosensitive liquid on the plastic film, in which a known diazo photosensitive dye and a coupler are dispersed or dissolved in a binder using water or an organic solvent as a solvent along with an auxiliary agent. obtained by doing.

例えばP−N・N−ジエチルアミノベンゼンジ
アゾニウムクロライド、P−N・N−ジメチルア
ミノベンゼンジアゾニウムクロライド、P−モル
ホリノベンゼンジアゾニウムクロライド等のジア
ゾニウム化合物の塩化亜鉛複塩、又はホウフツ化
塩、にm−オキシエチルフエノール、レゾルシ
ン、フロログルシン、R酸、2−オキシナフタレ
ンカルボニツクオキシエチルアニリン等のカプラ
ーを配合、更に助剤としてクエン酸、酒石酸、乳
酸、硫酸アルミニウムを配合、このものをメチル
セルロース、ヒドロキシエチルセルロース、セル
ロースアセテートブチレート、マレイン酸−ビニ
ルピロリドン共重合樹脂、酢酸ビニル−アクリル
樹脂共重合体等から採択された1種又は2種以上
の成分から成るバインダー中に溶解又は分散せし
めたものである。
For example, zinc chloride double salts or borofluoride salts of diazonium compounds such as P-N.N-diethylaminobenzenediazonium chloride, P-N.N-dimethylaminobenzenediazonium chloride, P-morpholinobenzenediazonium chloride, and m-oxyethyl Contains couplers such as phenol, resorcinol, phloroglucin, R acid, 2-oxynaphthalene carbonic acid, and oxyethylaniline, and further contains citric acid, tartaric acid, lactic acid, and aluminum sulfate as auxiliary agents. It is dissolved or dispersed in a binder comprising one or more components selected from butyrate, maleic acid-vinylpyrrolidone copolymer resin, vinyl acetate-acrylic resin copolymer, etc.

次ぎに前記ジアゾ感光層上に設ける剥離性遮光
マスク層はポリ塩化ビニル、塩化ビニル酢酸ビニ
ル共重合体、ポリスチレン、塩化ビニリデン、ア
クリロニトリル−ブタジエン共重合体、等の高分
子物質を有機溶剤に溶解し、着色剤を添加混合し
た後、前記ジアゾ感光層上に塗布乾燥することに
よつて得られる。着色剤としては染料及び顔料を
使用することができるが有機溶剤に可溶性の遮光
性染料を用いるのが好ましく、例えばC.Iソルベ
ントオレンジ6、C.Iソルベントオレンジ40、C.I
ソルベントレツド83、C.Iソルベントレツド122等
が使用される。そして前記剥離性遮光マスク層の
上に設けるフオトレジスト感光材層は紫外線照射
によつて水あるいは有機溶剤に不溶解性となる感
光性物質を用いることによつて形成される。
Next, a peelable light-shielding mask layer provided on the diazo photosensitive layer is prepared by dissolving a polymeric material such as polyvinyl chloride, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, polystyrene, vinylidene chloride, acrylonitrile-butadiene copolymer, etc. in an organic solvent. , can be obtained by adding and mixing a colorant, and then coating and drying on the diazo photosensitive layer. Dyes and pigments can be used as coloring agents, but it is preferable to use light-shielding dyes that are soluble in organic solvents, such as CI Solvent Orange 6, CI Solvent Orange 40, CI
Solvent Red 83, CI Solvent Red 122, etc. are used. The photoresist photosensitive material layer provided on the peelable light-shielding mask layer is formed using a photosensitive material that becomes insoluble in water or organic solvents when irradiated with ultraviolet rays.

例えば、P−ジアゾジフエニルアミンのパラホ
ルムアルデヒド縮重合物、1.2−ナフトキノンア
ジド誘導体とノボラツク樹脂、ジアジドベンザル
シクロヘキサンと環化ゴムの混合物、ポリケイ皮
酸ビニル、アクリレート−ポリビニルアルコール
等の感光性物質が使用される。
For example, photosensitive materials such as paraformaldehyde condensation products of P-diazodiphenylamine, 1,2-naphthoquinone azide derivatives and novolac resins, mixtures of diazidobenzalcyclohexane and cyclized rubber, polyvinyl cinnamate, and acrylate-polyvinyl alcohol. is used.

本発明のフオトマスキングフイルムは遮光層の
光の反射を防止する目的でつや消し加工を適宜施
すことができる。例えばプラスチツクフイルム支
持体の裏面をサンドマツト加工するとか、微粉末
シリカのようなマツト剤を塗布することによつて
なされる。
The photomasking film of the present invention can be suitably subjected to a matte finish for the purpose of preventing light reflection from the light shielding layer. For example, this can be done by sand matting the back side of the plastic film support or by applying a matting agent such as finely powdered silica.

本発明のフオトマスキングフイルムの剥離性遮
光マスクをエツチングし、その部分をアンモニア
原像するだけでジアゾ発色層のオペークができ
る。また、ジアゾ発色層は黒色または茶色のため
剥離性遮光マスク層との色の差がつくためピーリ
ングする所が見つけやすい。尚、通常のジアゾ感
光剤は黄褐色系の物が多く、紫外線による露光に
より分解し反応性を失うと共に透明化する。この
ため、剥離性遮光マスク層を剥離後、前面露光を
行うことが好ましい。
An opaque diazo coloring layer can be created by simply etching the peelable light-shielding mask of the photomasking film of the present invention and subjecting the etched portion to an ammonia original image. Furthermore, since the diazo coloring layer is black or brown, there is a difference in color from the peelable light-shielding mask layer, so it is easy to find the area to be peeled. It should be noted that most of the usual diazo photosensitizers are yellow-brown in color, and when exposed to ultraviolet light, they decompose, lose their reactivity, and become transparent. For this reason, it is preferable to perform front exposure after peeling off the peelable light-shielding mask layer.

更にまた、エツチング溝にオペークインキが入
らない為、膜の立ち上がりがよくなり、剥離性の
遮光マスク層は現像後すぐピーリングできる。オ
ペークインキが遮光マスク層に残らないため毛ぬ
きの部分が見える。プラスチツクフイルム支持体
の裏面をサンドマツト加工し、PS板の間に透明
プラスチツクフイルムを挟み、刷版すると毛ぬき
線が見えなくなる。前記したごとく本発明のフオ
トマスキングフイルムは従来のフオトマスキング
フイルムと比較し数々のすぐれた特徴を有するも
のである。
Furthermore, since opaque ink does not enter the etching grooves, the film stands up better, and the peelable light-shielding mask layer can be peeled off immediately after development. Since the opaque ink does not remain on the light-shielding mask layer, the hair removal area is visible. The back side of the plastic film support is sandmatted, a transparent plastic film is sandwiched between the PS plates, and when the printing plate is used, the blemish lines are no longer visible. As described above, the photomasking film of the present invention has many superior features compared to conventional photomasking films.

次に本発明を実施例により具体的に説明する。 Next, the present invention will be specifically explained using examples.

実施例1 ポリエチレンテレフタレートフイルムの片面に
下記の処方のジアゾ感光液を塗布し、乾燥してジ
アゾ感光層を設けた。
Example 1 A diazo photosensitive solution having the following formulation was coated on one side of a polyethylene terephthalate film and dried to provide a diazo photosensitive layer.

4−(トリルメルカプト)−2・5−ジメトキシ
ベンゼンジアゾニウムBF4 10重量部 フロログルシン 25重量部 硫酸アルミニウム 15重量部 クエン酸 10重量部 チオ尿素 20重量部 セルロースアセテートブチレート 25重量部 メチルセロソルブ 700重量部 次いで、前記ジアゾ感光層の上に下記の処方の
剥離性遮光マスク剤を乾燥後の膜厚が30μとなる
よう塗布し、乾燥して剥離性遮光マスク層を設け
た。
4-(Tolylmercapto)-2,5-dimethoxybenzenediazonium BF 4 10 parts by weight Phloroglucin 25 parts by weight Aluminum sulfate 15 parts by weight Citric acid 10 parts by weight Thiourea 20 parts by weight Cellulose acetate butyrate 25 parts by weight Methyl cellosolve 700 parts by weight Next, a releasable light-shielding masking agent having the following formulation was applied onto the diazo photosensitive layer so that the film thickness after drying was 30 μm, and dried to provide a releasable light-shielding masking layer.

塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体 5重量部 塩化ビニリデン樹脂 10重量部 アクリロニトリル−ブタジエン共重合体
5重量部 メチルエチルケトン 30重量部 シクロヘキサノン 20重量部 トリオール 20重量部 油溶性染料 0.4重量部 (C.Iソルベントレツド122) 更に前記剥離性遮光マスク層の上に下記組成の
フオトレジスト感光液を塗布して乾燥し、フオト
レジスト感光層を設ける。
Vinyl chloride-vinyl acetate copolymer 5 parts by weight Vinylidene chloride resin 10 parts by weight Acrylonitrile-butadiene copolymer
5 parts by weight Methyl ethyl ketone 30 parts by weight Cyclohexanone 20 parts by weight Triol 20 parts by weight Oil-soluble dye 0.4 parts by weight (CI Solvent Red 122) Furthermore, a photoresist photosensitive solution having the following composition was applied on the peelable light-shielding mask layer and dried. Then, a photoresist photosensitive layer is provided.

平均重合度500のPVAの33.6%水溶液 255部 2−ヒドロキシアクリル酸エチル 213部 硝酸ウラニル 3部 以上のようにして赤色のフオトマスキングフイ
ルムを得た。かくのごとくして得た本発明のフオ
トマスキングフイルムを使用するとオペークイン
クを使用しないでも第4図に示すようなマスキン
グフイルムが容易に得られる。
A 33.6% aqueous solution of PVA with an average degree of polymerization of 500 255 parts Ethyl 2-hydroxyacrylate 213 parts Uranyl nitrate 3 parts A red photomasking film was obtained in the above manner. When the photomasking film of the present invention thus obtained is used, a masking film as shown in FIG. 4 can be easily obtained without using opaque ink.

すなわち第5図に示すように原稿をのせて紫外
線露光し、水で洗い出し現像を行うと未露光部分
13が溶出除去される。次いで、この未露光部分
をエツチング処理すると剥離性遮光マスク層がエ
ツチングされたフオトマスキングフイルムが得ら
れる。次いで、このマスキングフイルムをアンモ
ニア現像すると、第7図に示すようにエツチング
した画線部分のジアゾ感光層が黒色となつたマス
キングフイルムが得られる。
That is, as shown in FIG. 5, when a document is placed and exposed to ultraviolet light, washed out with water and developed, the unexposed portion 13 is eluted and removed. Next, this unexposed portion is etched to obtain a photomasking film in which the releasable light-shielding mask layer has been etched. Next, this masking film is developed with ammonia to obtain a masking film in which the diazo photosensitive layer in the etched image area is black, as shown in FIG.

次いで第8図に示すように中央の剥離性遮光マ
スク層20を剥離し、全面露光行うと、第9図に
示すごとくエツチング部分が黒色の遮光マスク層
となつたフオトマスキングフイルムが得られる。
Next, as shown in FIG. 8, the central releasable light-shielding mask layer 20 is peeled off and the entire surface is exposed to light, thereby obtaining a photomasking film in which the etched portion is a black light-shielding mask layer, as shown in FIG.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、従来のマスキングフイルムの断面
図。第2図は、第1図におけるマスク層3b部分
を剥離した状態を示す断面図。第3図は、第1図
のマスキングフイルムにオペークインキを塗布し
た状態を示す断面図。第4図は、第3図における
マスク層3b部分を剥離した状態を示す断面図。
第5図は、透過原稿を本発明のフオトマスキング
フイルム上に置いて紫外線照射した状態を示す断
面図。第6図は、第5図における未露光部分を水
で除去し、更にエツチングを施した状態を示す断
面図。第7図は、ジアゾ感光層を現像発色せしめ
た状態を示す断面図。第8図は、第7図における
中央のマスク層20の剥離状態を示す断面図。第
9図は、第4図のごとくエツチング溝部分に遮光
性のジアゾ感光層を設けた状態を示す断面図であ
る。 1……従来のフオトマスク、2……プラスチツ
クフイルム、3a,3b……遮光層、4……エツ
チング溝、5……オペークインキ、10……原
稿、11……画線部、12……非画線部、13…
…未露光部、14……露光部(フオトレジスト感
光層)、15……剥離性遮光マスク層、16……
ジアゾ感光層、17……ポリエステルフイルム、
18……エツチング溝、19……ジアゾ発色層、
20……中央の剥離性マスク層。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a conventional masking film. FIG. 2 is a cross-sectional view showing a state where the mask layer 3b portion in FIG. 1 has been peeled off. FIG. 3 is a sectional view showing the masking film of FIG. 1 coated with opaque ink. FIG. 4 is a sectional view showing a state where the mask layer 3b portion in FIG. 3 has been peeled off.
FIG. 5 is a sectional view showing a transparent original placed on the photomasking film of the present invention and irradiated with ultraviolet rays. FIG. 6 is a sectional view showing a state in which the unexposed portion in FIG. 5 has been removed with water and further etched. FIG. 7 is a cross-sectional view showing a state in which the diazo photosensitive layer is developed and colored. FIG. 8 is a cross-sectional view showing the peeled state of the center mask layer 20 in FIG. 7. FIG. 9 is a sectional view showing a state in which a light-shielding diazo photosensitive layer is provided in the etching groove portion as shown in FIG. 1... Conventional photomask, 2... Plastic film, 3a, 3b... Light shielding layer, 4... Etching groove, 5... Opaque ink, 10... Original, 11... Image area, 12... Non-image Line part, 13...
...Unexposed area, 14... Exposed area (photoresist photosensitive layer), 15... Peelable light-shielding mask layer, 16...
Diazo photosensitive layer, 17...polyester film,
18...Etching groove, 19...Diazo coloring layer,
20...Central removable mask layer.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 プラスチツクフイルム支持体上にジアゾ感光
層、剥離性遮光マスク層、フオトレジスト感光材
層を漸次設けて成るフオトマスキングフイルム。 2 プラスチツクフイルムとしてポリエステルフ
イルムを使用した特許請求の範囲第1項記載のフ
オトマスキングフイルム。 3 剥離性遮光マスク層が赤色又はオレンジ色の
染顔料を含有する高分子物質で形成される特許請
求の範囲第1項記載のフオトマスキングフイル
ム。
[Scope of Claims] 1. A photomasking film comprising a diazo photosensitive layer, a peelable light-shielding mask layer, and a photoresist photosensitive material layer sequentially provided on a plastic film support. 2. The photomasking film according to claim 1, which uses a polyester film as the plastic film. 3. The photomasking film according to claim 1, wherein the releasable light-shielding mask layer is formed of a polymeric material containing a red or orange dye or pigment.
JP58151122A 1983-08-19 1983-08-19 Photomasking film Granted JPS6043660A (en)

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