JPH0463007A - 複合型の圧電共振子 - Google Patents
複合型の圧電共振子Info
- Publication number
- JPH0463007A JPH0463007A JP17384390A JP17384390A JPH0463007A JP H0463007 A JPH0463007 A JP H0463007A JP 17384390 A JP17384390 A JP 17384390A JP 17384390 A JP17384390 A JP 17384390A JP H0463007 A JPH0463007 A JP H0463007A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- parts
- piezoelectric
- circuit pattern
- plane
- piece
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- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は、圧電片の板面に複数の振動部および回路素子
を形成した複合型の圧電共振子に間する。
を形成した複合型の圧電共振子に間する。
（発明の技術的背景とその問題点）
近時、種々の電子機器では周波数、時間等の基準、フィ
ルタ等の用途に圧電共振子が大量に使用されている。と
くに圧電体として水晶片を用いた水晶共振子は、水晶の
圧電体としての優れた特性に加えて製造上の技術の進歩
も著しく、安価で高性能なために大量に生産され使用さ
れている。
ルタ等の用途に圧電共振子が大量に使用されている。と
くに圧電体として水晶片を用いた水晶共振子は、水晶の
圧電体としての優れた特性に加えて製造上の技術の進歩
も著しく、安価で高性能なために大量に生産され使用さ
れている。
ところでこのような圧電共振子を実際に電子回路におい
て使用する場合は、一般に圧電共振子に抵抗、コンデン
サ等の回路素子を組み合わせて使用することが行われて
いる。このために圧電共振子に抵抗、コンデンサ等を各
別に組み合わた場合、部品点数も多くなり形状も大型化
し、このような圧電共振子を実装するための印刷配線基
板の設計もめんどうで、たとえは使用の形態によって性
能にばらつきを生じる。
て使用する場合は、一般に圧電共振子に抵抗、コンデン
サ等の回路素子を組み合わせて使用することが行われて
いる。このために圧電共振子に抵抗、コンデンサ等を各
別に組み合わた場合、部品点数も多くなり形状も大型化
し、このような圧電共振子を実装するための印刷配線基
板の設計もめんどうで、たとえは使用の形態によって性
能にばらつきを生じる。
（発明の目的）
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、複数の
圧電共振子と抵抗、コンデンサを組み合わせ、電気的な
性能も優れ付加価値の高い複合型の圧電共振子を提供す
ることを目的とするものである。
圧電共振子と抵抗、コンデンサを組み合わせ、電気的な
性能も優れ付加価値の高い複合型の圧電共振子を提供す
ることを目的とするものである。
（発明の概要）
本発明は、板状の圧電片の板面に複数の振動部を形成す
るとともに、該板面に上記振動部に形成した電極から導
出した回路パターンを設け、該回路パターンに回路素子
を形成したことを特徴とするものである。
るとともに、該板面に上記振動部に形成した電極から導
出した回路パターンを設け、該回路パターンに回路素子
を形成したことを特徴とするものである。
（実施例）
以下本発明の一実施例を、２個の水晶共振子を形成した
例について第１図に示す平面図、第２図に示す側面図を
参照して詳細に説明する。図中１１は圧電片で、たとえ
は水晶の結晶をその結晶軸に対−して所定角度に切断し
て板状に成形した、たとえはＡＴカットの水晶片である
。
例について第１図に示す平面図、第２図に示す側面図を
参照して詳細に説明する。図中１１は圧電片で、たとえ
は水晶の結晶をその結晶軸に対−して所定角度に切断し
て板状に成形した、たとえはＡＴカットの水晶片である
。
そして水晶片１１の所定の部位に第１、第２の振動部１
２．１３を形成している。これらの振動部１２．１コ３
は同様の構造で、それぞれ２カ所の橋絡部１２ａ、１３
ａを切り残して丸板状に切り出し、かつ所定の厚みに成
形して振動部１２．１３を設ける。なお振動部１２．１
３の板面には電極１２ｂ、１３ｂを形成し、これらの振
動部１２．１３の厚みと上記電極１２ｂ、１３ｂの質量
により所定の共掬周波数ここ調整する。なお振動部１２
、Ｉ３は、たとえは水晶片１１の所定部位にマスクを形
成してエツチングを行うことにより大量かつ安価に加Ｉ
することができる。
２．１３を形成している。これらの振動部１２．１コ３
は同様の構造で、それぞれ２カ所の橋絡部１２ａ、１３
ａを切り残して丸板状に切り出し、かつ所定の厚みに成
形して振動部１２．１３を設ける。なお振動部１２．１
３の板面には電極１２ｂ、１３ｂを形成し、これらの振
動部１２．１３の厚みと上記電極１２ｂ、１３ｂの質量
により所定の共掬周波数ここ調整する。なお振動部１２
、Ｉ３は、たとえは水晶片１１の所定部位にマスクを形
成してエツチングを行うことにより大量かつ安価に加Ｉ
することができる。
一方、圧電片１１の板面には所定の形状とこ回路パター
ン１４を形成してここに抵抗、コンデンサ等の回路素子
１５を形成するようにしている。
ン１４を形成してここに抵抗、コンデンサ等の回路素子
１５を形成するようにしている。
ここで抵抗はいわゆる薄膜抵抗であって、たとえは、窒
化タンタル、ニッケルとクロムの合金であるニクロム、
クロームサーメット等の金属を蒸着、スパッタリング等
の手法によって所定の領域に薄膜を形成して抵抗として
用いるようにしている。
化タンタル、ニッケルとクロムの合金であるニクロム、
クロームサーメット等の金属を蒸着、スパッタリング等
の手法によって所定の領域に薄膜を形成して抵抗として
用いるようにしている。
またコンデンサは圧電片１１の表裏板面に相対面して所
定の面積の電極膜を設けること（こよって形成している
。なおこの場合、−例板面に形成した第１の電極膜の上
に絶縁膜を設けてこの上に第２の電極膜を形成し、この
第１、第２の電極膜間てコンデンサを構成するようにし
てもよい。
定の面積の電極膜を設けること（こよって形成している
。なおこの場合、−例板面に形成した第１の電極膜の上
に絶縁膜を設けてこの上に第２の電極膜を形成し、この
第１、第２の電極膜間てコンデンサを構成するようにし
てもよい。
なお振動部１２．１３の電極１２ｂ、１３ｂと圧電片１
１の板面の回路パターン１４とは適宜なマスクを用いて
蒸着等を行うことにより同一工程で同時に形成すること
ができ製造工程を合理化することができる。
１の板面の回路パターン１４とは適宜なマスクを用いて
蒸着等を行うことにより同一工程で同時に形成すること
ができ製造工程を合理化することができる。
このようにすれは、回路基板である圧電片１１に複数の
振動部１２．１３を形成し、ざらに抵抗、コンデンサ等
の回路素子１５もこの圧電片１１の板面に形成するよう
にしているのでそれぞれ乙こ個別部品を用いて構成する
ものに比して形状を著しく小型化でき、信頼性を著しく
高めることができ、所期の性能を確実に得ることができ
る。
振動部１２．１３を形成し、ざらに抵抗、コンデンサ等
の回路素子１５もこの圧電片１１の板面に形成するよう
にしているのでそれぞれ乙こ個別部品を用いて構成する
ものに比して形状を著しく小型化でき、信頼性を著しく
高めることができ、所期の性能を確実に得ることができ
る。
したがって、形状の小型化が可能で高信頼性を得られ電
気的な特性も良好な複合型の圧電共振子を提供すること
ができる。
気的な特性も良好な複合型の圧電共振子を提供すること
ができる。
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
たとえば上記実施例では圧電片の板面に２個の共振子を
設けるようにしたが３個以上の共振子を設けるようにし
てもよい。
たとえば上記実施例では圧電片の板面に２個の共振子を
設けるようにしたが３個以上の共振子を設けるようにし
てもよい。
また上記実施例では、振動部は橋絡部を残して丸板状に
切り出すようにしたが振動部の外周を薄板状にたとえば
エツチングして溝を形成するようにしてもよい。このよ
うにすれば耐振、耐衝撃性を高めることができる。
切り出すようにしたが振動部の外周を薄板状にたとえば
エツチングして溝を形成するようにしてもよい。このよ
うにすれば耐振、耐衝撃性を高めることができる。
（発明の効果）
以上詳述したように、本発明によれは小型化が可能で高
信頼性を得られ電気的な特性も良好な複合型の圧電共振
子を提供することかできる。
信頼性を得られ電気的な特性も良好な複合型の圧電共振
子を提供することかできる。
第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図は本発
明のト記実施例の側断面図である。 Ｉ ｌ 会 ・ ・ ・ ・ ・ ・ １２、１３ ・ ・ ・ ・ １２ａ、 １３ａ ・ ・ １２ｂ、 １３ｂ ・ ・ １４ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ｌ ５ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 圧電片 振動部 橋絡部 電極 回路パターン 回路部品
明のト記実施例の側断面図である。 Ｉ ｌ 会 ・ ・ ・ ・ ・ ・ １２、１３ ・ ・ ・ ・ １２ａ、 １３ａ ・ ・ １２ｂ、 １３ｂ ・ ・ １４ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ｌ ５ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ 圧電片 振動部 橋絡部 電極 回路パターン 回路部品
Claims (1)
- 板状の圧電片の板面に複数の振動部を形成するとともに
、該板面に上記振動部に形成した電極から導出した回路
パターンを設け、該回路パターンに回路素子を形成した
ことを特徴とする複合型の圧電共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17384390A JPH0463007A (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | 複合型の圧電共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17384390A JPH0463007A (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | 複合型の圧電共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0463007A true JPH0463007A (ja) | 1992-02-28 |
Family
ID=15968192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17384390A Pending JPH0463007A (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | 複合型の圧電共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0463007A (ja) |
-
1990
- 1990-06-29 JP JP17384390A patent/JPH0463007A/ja active Pending
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