JPH0463635U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0463635U JPH0463635U JP10732590U JP10732590U JPH0463635U JP H0463635 U JPH0463635 U JP H0463635U JP 10732590 U JP10732590 U JP 10732590U JP 10732590 U JP10732590 U JP 10732590U JP H0463635 U JPH0463635 U JP H0463635U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating disk
- ball
- pressure gauge
- pressure
- damper
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Centrifugal Separators (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例による遠心脱水機の
概略を示す図、第２図は従来の遠心脱水機の一例
における概略を示す図である。 １……ボール、２……回転円盤、３……ダンパ
ー、４……排管、５……圧力計、６……モータ。
概略を示す図、第２図は従来の遠心脱水機の一例
における概略を示す図である。 １……ボール、２……回転円盤、３……ダンパ
ー、４……排管、５……圧力計、６……モータ。
Claims (1)
- 半導体ウエーハを保持する複数のホルダを装填
する回転円盤と、この回転円盤の外部を包合する
ボールと、このボールに接続される排管と、この
排管内に装着されるダンパーとを有する遠心脱水
機において、前記ボールの外周部に取付けられる
とともに前記回転円盤の回転に伴う風圧を検知す
る圧力計と、この圧力計の圧力値により前記ダン
パーの開閉角度を調整するモータとを備えること
を特徴とする遠心脱水機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10732590U JPH0463635U (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10732590U JPH0463635U (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0463635U true JPH0463635U (ja) | 1992-05-29 |
Family
ID=31853783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10732590U Pending JPH0463635U (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0463635U (ja) |
-
1990
- 1990-10-12 JP JP10732590U patent/JPH0463635U/ja active Pending
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