JPH046432B2

JPH046432B2 -

Info

Publication number: JPH046432B2
Application number: JP13370086A
Authority: JP
Inventors: Masao Toriwaki; Kaneie Kawakami; Tomoaki Ishino
Original assignee: Hakuto Co Ltd; Toyo Netsu Kogyo Kaisha Ltd
Current assignee: Hakuto Co Ltd; Toyo Netsu Kogyo Kaisha Ltd
Priority date: 1986-06-11
Filing date: 1986-06-11
Publication date: 1992-02-05
Also published as: JPS62294478A

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野この発明はプレート（樹脂板、ガラス板、プリ
ント基板等）の製造ラインに設置するプレート清
掃装置に関する。

従来の技術製造される各種のプレート上の塵埃を清掃する
ための装置は種々考えられているが、第７図ない
し第９図に従来装置の一例を示せば、第７図は側
方からみた説明図、第８図は第７図のＹ−Ｙ方向
矢視図、第９図は第８図の上半分のプレートの清
掃と送り部分の拡大図であつて、４１はケーシン
グ筐体、４２はプレート１０が入つて来たことを
検知するビームスイツチ、４３は筐体移動用キヤ
スター、４４はレベルアジヤスター、４５は操作
盤、配電盤等を示す。Ｒはプレートの移動方向を
示している。プレート１０がケーシング４１に入
つてくると、ビームスイツチ４２がそれを検知
し、可変速モータ４６が作動し、清掃ローラ１１
及び除電及び送りローラ１５を矢印ｕで示す方向
に駆動する。１６はローラ１５の軸を示す。１２
は清掃ローラ１１の軸、１３は軸まわりのスポン
ジ状ゴム質部分、１４は外周の不織布部分を示
す。この清掃ローラ１１は送りローラ１５の約
1.5倍の円周接線速度で回転し、プレートの速度
と相対速度をもち、プレート表面をこすり、プレ
ート表面の塵埃を剥離させる。

そしてプレート１０の進行方向のこの清掃ロー
ラ１１より前方に高速ノズル吹き出しノズル１が
約45°後方に傾いて設けられ、約80m／secの高速
気流がプレート表面に吹き付けられ、プレート上
の塵埃を吹きとばし、後方に逃げる。この高速気
流はターボブロワー３０からダクト３１を経て矢
印a₁で示す如く上方のプレナムチヤンバー５に入
り、プレフイルター４、HEPAフイルター３を
介してプレナムダクト２に入り、ノズル１から吹
き出される。３０′はターボブロワー３０の駆動
モータを示す。

次に汚染空気の侵入を防ぐために、シロツコフ
アン３２からの微風速吹出用空気はダクト３３を
経て矢印a₂で示す如く上方のプレナムチヤンバー
５′に入り、プレフイルター４′、HEPAフイル
ター３′を介して給気ダクト２１及び２３に入り、
夫々有孔板２２，２４から約0.5m／secの微風速
の清浄空気が吹き出される。３２′はシロツコフ
アンの駆動モータ、又６はプレナムチヤンバー
５，５′間の仕切りである。

これらの高速及び微風速で吹き出された空気の
一部は吸引ダクト２５又は２８に吸われる。矢印
ｆで示す如く吸引ダクト２５に吸込口２６から吸
引された空気は左右のダクトホース３４，３５に
よつて、又吸引ダクト２８に吸引口２９から吸引
された空気はダクトホース３６，３７によつて
夫々集合チヤンバ３８に導かれ、シロツコフアン
３２に戻る。又空気の残部は矢印Ｆで示す如く有
孔板２７から下方のケーシング４１内にゆき、タ
ーボブロワー３０にゆく。ケーシング４１には外
気と連通する有孔板部分４７を設け、冷却も兼ね
て外気を取り入れている。尚プレートは一定間隔
で送られてくるので、ノズルの下に丁度プレート
がない時は、高速空気はそのまゝ下部の吸引ダク
ト２８に吸いこまれる。

この従来の装置の問題点は、高速吹き出しノズ
ル１から吹き出された高速気流が全てターボブロ
ワ３０やシロツコフアン３２回収されず、一部は
矢印ｃで示す如くプレート１０の上で渦を巻き、
又一部は矢印Ｄで示す如く装置外に排出される。
矢印Ｃで示される渦流の問題点は、高速吹き出し
ノズル１より吹き出された高速気流により吹きと
ばされたプレート１０上の塵埃が矢印ｃの渦によ
りプレート１０及び送りローラ１５′に再付着し、
それが送りローラ１５′とプレート１０の間で圧
接され、圧接された塵埃は、高速吹き出しノズル
１より吹き出された高速気流では取れないことで
あり、ノズル後方の送りローラ１５″にも再付着
し、清掃ローラ１４及び高速気流吹出しノズル１
によつて清掃されたプレートが再び汚染すること
である。次に矢印Ｄ及びD′に示す気流の問題点
は、プレート１０より吹きとばされた塵埃を含ん
だ高速気流が間隙をくぐり抜け装置外に排出され
ることである。このことは、この装置をクリーン
ルーム内で使用する際には大きな問題となり、又
気流を嫌う装置がある場合も大きな問題となり、
さらに、気流によりプレート等が静電気を帯び、
別の塵埃を再付着させるという不具合があること
である。

又もう一つの問題点は、プレートの面に付着し
ている塵埃に対してはこの従来の装置は有効であ
るが、プレートの端面に付着している塵埃を取る
ことは出来ない点にある。

清掃能力を高めるために静電気を除去する目的
でコロナ放電極をプレートが通過する付近に設け
る場合があるが、コロナ放電電極は集塵電極と同
様な作用をするため、電極に塵埃が付着するので
定期的に電極の清掃が必要となる。

製造上の理由からプレートの温度を上げたまま
製造ラインを通過させたい場合があるが、プレー
ト清掃装置内で高速吹き出しノズルからの高速空
気によりプレートが冷却されてしまい、後工程に
影響を与える。さらにプレートの厚さが一種類で
ない場合、清掃ローラ部分では厚みの違いを清掃
ローラの弾性により吸収するが、従来の装置で
は、プレートの厚みの変化により、清掃ローラと
プレートの圧着力が変化するため、清掃能力が変
化する。又プレートに付着している塵埃の性質、
及びプレートの材質によつては圧接力を調整して
清掃する必要がある。

問題点を解決するための手段この発明では、従来の欠点を解消するために、
高速吹き出しノズルを清掃ローラの近くに設け、
高速吹き出しノズルと清掃ローラの間の送りロー
ラをなくし、送りローラの圧接によるプレートへ
の塵埃の再付着を防止した。又、清掃ローラの両
側に高速吹き出しノズルを設け、装置外に塵埃を
含んだ気流が排出されるのを防止した。

実施例第１図はこの発明の一実施例を側方からみた説
明図、第２図は第１図のＹ−Ｙ方向矢視図、第３
図は第１図のＺ−Ｚ方向矢視図、第４図は第１図
の上半分プレートの清掃と送り部分の拡大図であ
る。

図において４８はケーシング筐体、４２はプレ
ート１０が入つて来たことを検知するビームスイ
ツチ、４３は筐体移動用キヤスター、４４はレベ
ルアジヤスター、４５は操作盤、配電盤等を示
す。Ｒはプレートの移動方向を示している。プレ
ート１０がケーシング４８に入つてくると、ビー
ムスイツチ４２が検知し、清掃ローラ４９を駆動
する可変速モータ６１と、除電及び送りローラ１
５を駆動する可変速モータ６２が作動し、それぞ
れのローラを矢印ｕで示す方向に駆動する。まず
プレート１０の端面が除電ブラシ５２によつてこ
すられ、端面に付着した塵埃が清掃される。

プレート１０の進行方向の清掃ローラ４９の手
前に高速吹き出しノズル５０が清掃ローラ側に約
45°傾いて設けられ、約80m／secの高速気流Ｇが
プレート表面に吹き付けられ、プレート上の塵埃
を吹きとばす。それと同時に気流Ｇの風量の約20
％の風量の空気ｇを誘引する。

次にプレート１０は清掃ローラ４９へ送られて
くるが、この清掃ローラ４９は送りローラ１５よ
り速い円周接線速度で回転し、プレート１０の速
度と相対速度をもち、プレート表面をこすりプレ
ート表面の塵埃を剥離させる。又プレートの種類
によりそれぞれのローラの回転速度を任意に設定
し、効率の良い清掃を可能にしている。又プレー
トの厚さが異なると、プレートと清掃ローラの圧
着力が変わり、清掃ローラの清掃能力が変化する
ので、清掃ローラの間隔調整機構７６によりプレ
ートと清掃ローラの圧着力が調整できる。即ち図
示の例では、（第１図参照）手輪７６′によつてウ
オーム軸７６″を廻すと、ネジ棒７６が回転し、
駆動軸７８が上下に動き、ローラ４９を上下に移
動させる。

プレートは清掃ローラ４９を通過後、清掃ロー
ラ側に約45°傾いて設けられた高速吹き出しノズ
ル５１から吹き出された約80m／secの高速気流
Ｈによりプレート１０の表面上の塵埃は吹きとば
される。同時にＨの吹出風量の約20％の風量の空
気ｈを吸引する。

これらの高速吹き出しノズル５０及び５１より
吹き出される高速気流Ｇ及びＨは、ブロワ６０か
らダクトホース６３を経てプレナムチヤンバ６４
に入り、プレフイルタ６５、HEPAフイルタ６
６、分流チヤンバ６７、を通り分流チヤンバから
ダクトホース６８及び６９に分れ、給気チヤンバ
５５及び５３に入り、高速吹き出しノズル５０及
び５１より吹き出される。

給気チヤンバ５５及び５３に入つた空気の一部
は小孔７０より５０及び５１からの吹出風速とほ
ぼ同様の高速で膨張室５７に入り、膨張、拡散し
て約0.5m／secの微風速となり、膨張室７０より
クリーンチヤンバ７１に行くが、その際に若干の
空気がプレート出口５８よりケーシング外へ排出
される。機外がクリーンルーム等では若干内方に
吸引されてもよい。クリーンチヤンバ７１に入つ
た空気は高速気流Ｈにより清掃ローラ４９側へ誘
引される気流ｈとなる。又高速気流Ｇによつてプ
レート入口側の空気が誘引気流ｇとなる。高速気
流Ｇ及びＨと誘引気流ｇ及びｈは、吸引チヤンバ
５４及び５６よりダクトホース７２及び７３を経
て集合チヤンバ７４に入り、ターボブロワ６０に
戻る。

第５図は気流の系統図であるが、分流チヤンバ
６７の排気孔７５から出た排気EX₁及びプレート
出口５８から出た排気EX₂とバランスしてプレー
ト入口側より外気Ｉが入つてくる。この排気EX₁
がない場合は、誘引気流ｇ及びｈがノズル５０及
び５１の高速吹出気流により発生するが、入つて
来た分が逃げるところがないので、入つて来た所
で出入りし、一部逆流する。このためEX₁をとる
ことは重要である。この外気Ｉの流れがｇに加速
されることにより、ノズル５０の直前の所で中速
域のダクトとなり、これによつて従来プレート上
の塵埃を吹きとばした高速気流が機外へ洩れてい
たのを防止することができた。又塵埃は逆流する
ことなくノズル５０からの吹出速度の勢いも手伝
つて負圧の吸引チヤンバ５７へ吸込まれる。プレ
ート出口側は、クリーンチヤンバ７１内より誘引
気流ｈがノズル５１方向へ流れているので同様に
機外及びクリーンチヤンバ側への洩れを防止出来
る。

又複数個の小孔吹出、膨張拡散チヤンバ利用の
ため、及び誘引気流を利用するため、従来は微風
速空気用の別のシロツコフアンが必要であつた
が、これが不要となり１台のターボブロワですむ
ことになつた。

清掃ローラ４９と高速吹き出しノズル５１が接
近しており、その間に送りローラがなくなつたこ
とと、清浄な誘引気流ｈにより、清掃ローラを通
過した後のプレートへの塵埃の再付着が防止され
た。

プレートの材質によつては静電気を帯びるが、
静電気により塵埃がプレートに付着するのを防止
するためにクリーンチヤンバ71内にコロナ放電電
極５９を設けることがある。コロナ放電電極は、
電気集塵機の集塵電極と同様な作用をするため
に、電極に塵埃が付着するので、これを防止する
ためにHEPAフイルタを通過した清浄空気で満
たされたクリーンチヤンバ７１内にコロナ放電電
極を設けている。又クリーンチヤンバ７１より誘
引される清浄気流ｈが放電電極を通過する際イオ
ン風となり、清掃ローラ４９及びプレート上の塵
埃に到達し除電することにより清掃度を高めた。

製造上の理由からプレートをある温度まで上げ
たまゝ製造ライン上を通過させなければならない
ことがあるが、プレート清掃装置は高速気流をプ
レートに吹き付けるために、プレートの温度が下
がつてしまうという不具合がある。これを防止す
るために分流チヤンバ６７内にヒータ７７を設け
て予め吹き出す空気の温度を上げている。

さらに清掃ローラ４９を駆動軸７８と着脱自在
にしておけば新しいローラと交換したり、別な清
掃手段と取り替えたりすることができる。

又、送りローラ１５を誘電性のゴムローラにす
ればそれがアースとなつてプレートの静電気をア
ースすることができる。

第６図は清掃手段としてローラの代りに導電性
ブラシ８０を取り付けたもので、それ以外は全く
同様であり、同じ符号は同じ部分を表している。

効果この発明のプレート清掃装置はこのような構成
であるから、装置の外に塵埃空気を出さず、装置
内で飛散した塵埃によるプレートの再汚染が防止
でき、ブロワ１個ですむので、送風機とフイルタ
が１系統でよいこととなり、コストダウン、装置
の小型化等が図れる。さらにプレートの端面を清
掃でき、コロナ放電電極の清掃が不要となり、プ
レートの温度が下がらず、プレートの厚みが変わ
つても清掃ローラの清掃能力を一定に保つことが
できるなど多大の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明のプレート清掃装置の一実施
例の側断面図、第２図は第１図のＹ−Ｙ方向矢視
図、第３図は第１図のＺ−Ｚ方向矢視図、第４図
は第２図の上部部分拡大図、第５図はこの発明の
装置の気流の系統図、第６図は別な実施例の説明
図、第７図は従来の装置の側断面図、第８図は第
１図のＹ−Ｙ方向矢視図、第９図は第８図の上部
部分拡大図である。符号の説明、１……高速吹き出しノズル、２…
…プレナムダクト、３……HEPAフイルタ、４
……プレフイルタ、５……プレナムチヤンバ、６
……仕切り、１１……清掃ローラ、１２……清掃
ローラの軸、１３……スポンジ状ゴム部、１４…
…不織布、１５……送りローラ、１６……送りロ
ーラの軸、２１……給気ダクト、２２……有孔
板、２３……給気ダクト、２４……有孔板、２５
……吸引ダクト、２６……吸引孔、２７……有孔
板、２８……吸引ダクト、２９……吸引孔、３０
……ターボブロワ、３１……ダクト、３２……シ
ロツコフアン、３３……ダクト、３４，３５，３
６，３７……ダクトホース、３８……集合チヤン
バ、４１……ケーシング筐体、４２……ビームス
イツチ、４３……キヤスター、４４……レベルア
ジヤスター、４５……配電盤、操作盤、４６……
可変速モータ、４７……外気取入有孔板、４８…
…ケーシング筐体、４９……清掃ローラ、５０…
…高速吹き出しノズル、５１……高速吹き出しノ
ズル、５２……除電ブラシ、５３……給気チヤン
バ、５４……吸引チヤンバ、５５……給気チヤン
バ、５６……吸引チヤンバ、５７……膨張チヤン
バ、５８……プレート出口、５９……コロナ放電
電極、６０……ターボブロア、６１……清掃ロー
ラ駆動モータ、６２……送りローラ駆動モータ、
６３……ダクトホース、６４……プレナムチヤン
バ、６５……プレフイルタ、６６……HEPAフ
イルタ、６７……分流チヤンバ、６８……ダクト
ホース、６９……ダクトホース、７０……膨張
孔、７１……クリーンチヤンバ、７２，７３……
ダクトホース、７４……集合チヤンバ、７５……
排気孔、７６……清掃ローラの間隔調整機構、７
７……ヒータ、７８……軸、８０……ブラシ。

Claims

【特許請求の範囲】１プレートの製造ラインに設けるプレート清掃
装置において、清掃手段を挟んでプレート移動方
向に対して斜め前方及び斜め後方に吹き出す高速
空気吹き出しノズルをプレートの上面及び下面側
に一対持ち、そのノズルから高速清浄空気を吹き
出すと共に、出口側には微風速清浄空気を吹き出
した清浄区域を有し、これら両方の空気は送風機
で循環させ、送りローラによつてプレートの送り
を行なうことを特徴とするプレート清掃装置。２前記の清掃手段は清掃ローラであることを特
許とする前記特許請求の範囲第１項記載のプレー
ト清掃装置。３前記の清掃手段は固定導電性清掃ブラシであ
ることを特徴とする前記特許請求の範囲第１項記
載のプレート清掃装置。４プレート端面清掃用に、徐電ブラシをプレー
トの側方部に設けたことを特徴とする前記特許請
求の範囲第１項記載のプレート清掃装置。５静電気除去用のコロナ放電電極が清浄区域内
に設けられていることを特徴とする前記特許請求
の範囲第１項記載のプレート清掃装置。６前記の高速空気吹き出しノズルより吹き出す
空気を予熱するためのヒーターを設けたことを特
徴とする前記特許請求の範囲第１項記載のプレー
ト清掃装置。７清掃ローラの間隔の調整機構を有することを
特徴とする前記特許請求の範囲第１項又は第２項
の何れか一項記載のプレート清掃装置。８清掃ローラシヤフトは駆動シヤフトで着脱自
在に支持されていることを特徴とする前記特許請
求の範囲第１項又は第２項の何れか一項記載のプ
レート清掃装置。９前記の送りローラは導電性ゴムローラである
ことを特徴とする前記特許請求の範囲第１項記載
のプレート清掃装置。