JPH046439A - 微粒子計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は微粒子計に関し、特に流体中の微粒子濃度を検
出する微粒子計に適用し得る。

〔発明の概要〕

本発明は、微粒子計において、光学セルの接続部分を２
重以上にシールして微小空間を形成し、当該微小空間を
所定圧力に保持し得ることにより、リーク量を低減する
ことができる。

さらに反応性の高い流体を測定するとき、微小空間を不
活性のガスで満たすことにより、安全に精度の高い測定
結果を得ることができる。

〔従来の技術〕

従来、この種の微粒子計においては、透明部材で流体の
流路（以下光学セルと呼ぶ）を形成し、当該光学セル内
を流れる流体中の微粒子の濃度及び粒径を光学的手法を
用いて測定し得るようになされたものがある。

すなわち光学セル内に流体を流した状態で、当該光学セ
ルに光ビームを照射する。

このようにすれば、光学セルの透過光及び散乱光におい
ては、流体中の微粒子の粒径に応じて光量が変化する。

従って当該透過光又は散乱光の光量を検出することによ
り、高い精度で流体中の微粒子を測定することができる
。

〔発明が解決しようとする課題］ ところで、微粒子計で圧力の高い気体中の微粒子濃度を
測定する場合、被測定対象の気体が大気中に漏れないよ
うにする必要がある。

すなわち、被測定対象が大気中に漏れると、その分精度
の高い測定が困難になる。

また半導体製造工程等において用いられるアルシン（Ａ
ｓＨｓ）−ホスフィン（ＰＨｓ）等の有毒ガスを被測定
対象とする場合、これらの気体が漏れると重大な人身事
故につながる。

さらに、反応性の高い気体が漏れた場合は、爆発事故を
招くようになる。

同様に、圧力の低い気体中の微粒子濃度を測定する場合
、被測定対象の気体に大気が混入すると、測定精度が劣
化し、事故の発生する場合もある。

ところが光学セルを用いた微粒子針においては、当該光
学セルの両端で配管と接続する必要があり、この接続部
分で被測定対象が漏れたり、被測定対象に大気が混入（
以下、漏れ及び大気の混入をリークと呼ぶ）する震れが
あった。

すなわち接続部分のシール部材においては、圧力差によ
り被測定対象の気体がシール部材内を透過する特徴があ
る。

このため従来の光学セルを用いた微粒子計においては、
はぼ大気圧近傍の危険性のない気体しか微粒子を測定し
得ない問題があった。

本発明は以上の点を考慮してなされたもので、種々の流
体中の微粒子を測定することができる微粒子計を提案し
ようとするものである。

〔課題を解決するための手段〕

かかる課題を解決するため本発明においては、被測定対
象の流体に光ビームＬＡＩを照射し、光ビームＬＡＩの
透過光又は散乱光ＬＡ２に基づいて流体中の微粒子を検
出する微粒子計１において、流体の流路を形成し、光ビ
ームＬＡＩ、透過光及び散乱光ＬＡ２を透過する光学セ
ル６と、光学セル６に流体を導く導入部１６と、光学セ
ル６を通過した流体を排出する排出部１８と、光学セル
６及び導入部１６の接続部分を２重以上にシールし、流
体及び光学セル６の外気間に、流体及び外気から隔離さ
れた第１の微小空間４２を形成する複数のシール部材３
４．３６と、光学セル６及び排出部１８の接続部分を２
重以上にシールし、流体及び光学セル６の外気間に、流
体及び外気から隔離された第２の微小空間４４を形成す
る複数のシール部材３８．４０と、第１及び第２の微小
空間４２及び４４と所定の制御系とを連絡する吸排気系
３０とを備え、吸排気系３０を介して制御系により第１
及び第２の微小空間４２及び４４を所定圧力に成し得る
ようにする。

〔作用〕

光学セル６及び導入部１６の接続部分、光学セル６及び
排出部１８の接続部分をそれぞれ２重以上にシールし、
流体及び外気から隔離された第１及び第２の微小空間４
２及び４４を形成し、当該第１及び第２の微小空間４２
及び４４を所定圧力に成し得るようにすれば、シール部
材３４．３６．３８．４０における当該流体の透過を低
減することができる。

〔実施例〕

以下図面について、本発明の一実施例を詳述する。

（１）第１の実施例 第１図において、１は全体として微粒子計を示し、レー
ザ光源２から射出された光ビームＬＡＩをレンズ４を介
して光学セル６に照射することにより、当該光学セル６
中を流れる低圧気体の微粒子を測定する。

すなわち光ビームＬＡＩの光軸上には、光学セル６を間
に挟んで遮光板でなる光トラップ８が配置され、光学セ
ル６を透過する直進光を遮光する。

これにより、微粒子計１においては、光学セル６で散乱
された散乱光ＬＡ２のみ選択的にレンズ１０を介して受
光素子１２に集光し、当該散乱光ＬＡ２の光量を検出し
て、光学セル６内を流れる気体の微粒子濃度を測定し得
るようになされている。

ここで光学セル６は石英ガラスで形成され、第２図に示
すように、導入部１６及び排出部１８と共に流路部を形
成するようになされている。

すなわち第３図に一部断面を取って示すように、流路部
は、光学セル６を両端から押圧した状態で、導入部１６
及び排出部１８を金属ベース２０にねじ２２で固定する
ことにより、光学セル６、導入部１６及び排出部１８を
金属ベース２０上に一体に保持するようになされている
。

さらに流路部は、光学セル６、導入部１６及び排出部１
８を金属ベース２０に一体に保持した状態で、当該金属
ベース２０をねじ２４で筐体２６の所定位置に固定し得
るようになされ、これにより当該流路部を微粒子計本体
に交換可能な状態で保持し得るようになされている。

これに対して導入部１６は、ステンレス製の管状部材で
なり、それぞれ両端に光学セル６及び配管の接続部１６
Ａ及び１６Ｂが一体に形成されるようになされている。

さらに導入部１６は、接続部１６Ｂ近傍の外形にねし山
が形成され、筐体２６の側板２６Ａに形成されたＵ字溝
に差し込んだ後、当該ねじ山にねじ込んだ１組のナツト
２８で側板２６Ａを締めっけることにより、接続部１６
Ｂを筺体２６の側板２６Ａに固定し得るようになされて
いる。

排出部１８は、ステンレス製の管状部材でなり、導入部
１６と同様に両端にそれぞれ光学セル６及び配管の接続
部１８Ａ及び１８Ｂが一体に形成され、接続部１８Ｂ近
傍に形成されたねじ山を介して、当該接続部１８Ｂを筺
体２６の側板２６Ｂに固定し得るようになされている。

これにより当該粒子計１においては、接続部１６Ｂ及び
１８Ｂを配管に接続した後、導入部１６を介して被測定
対象の気体を光学セル６に導入すると共に、導入した気
体を排出部１８を介して排出し得るようになされ、光学
セル６内に被測定対象の気体流を形成して、当該気体中
の微粒子を測定し得るようになされている。

さらに流路部は、吸排気系３０を有し、接続部１６Ａ及
び１８Ａに形成された中間空間部を当該吸排気系３０を
介して、排気ポンプでなる所定の制御系で減圧すること
により、被測定対象のリークを低減し得るようになされ
ている。

すなわち第４図に示すように、接続部１６Ａ及び１８Ａ
においては、対向する接続面１６Ｃ及び１８Ｃで光学セ
ル６を両側から押圧するようになされ、当該接続面１６
Ｃ及び１８Ｃが平行になるように高精度に形成されてい
る。

さらに接続面１６Ｃは、気体導入路１６Ｄと同心円状に
、略直径８〔曽蒙〕及び１２　（＋＋ｎ）　、深さ１゜
４　〔■〕の溝１６Ｅ及び１６Ｆが形成され、当該溝１
６Ｅ及び１６Ｆにふっ素ゴム製のＯリング３４及び３６
が嵌め込まれるようになされている。

同様に接続面１８Ｃは、気体排出路１８Ｄと同心円状に
、溝１６Ｂ及び１６Ｆと同一形状の溝１８Ｅ及び１８Ｆ
が形成され、当該溝１８Ｅ及び１８Ｆにふっ素ゴム製の
０リング３８及び４ｏが嵌め込まれるようになされてい
る。

これに対して光学セル６は、円筒形状で、両端に接続面
１６Ｃ及び１８Ｃに対向する接続面６Ａ及び６Ｂを有し
、当該接続面６Ａ及び６Ｂが平坦かつ平行になるように
高精度に加工されている。

従って、光学セル６においては、導入部１６及び排出部
１８で両端から押圧された状態で支持されることにより
、Ｏリング３４〜４０を押し潰し、これによりそれぞれ
光学セル６及び導入部１６の接続部分、光学セル６及び
排出部１８の接続部分を２重にシールするようになされ
ている。

かくして、０リング３４〜４０を用いて接続部分をシー
ルすることにより、簡易に接続部分をシールし得、その
分当該微粒子計１全体の構成を簡略化することができる
。

さらにこのとき、光学セル６を両端から押圧するように
導入部工６及び排出部１日を保持し、溝１６Ｅ〜１８Ｆ
に嵌め込んだＯリング３４〜４０を押し潰してシールす
ることにより、光学セル６の両端面を均一に押圧し得、
これにより当該光学セル６の破損を有効に回避して接続
部分をシールすることができる。

さらに接続面１６Ｃ及び１８Ｃは、それぞれ溝１６Ｅ及
び１６Ｆで挟まれた円管形状の領域と溝１８Ｅ及び１８
Ｆで挟まれた円管形状の領域において、接続面１６Ｃ及
び１８Ｃ側の端面が当該接続面１６Ｃ及び１８Ｃから０
．１　（＋ｕ＋）だけ奥まるように加工され、これによ
りＯリング３４〜４０を押し潰した際、リング状の空間
でなる中間空間部４２及び４４を形成するようになされ
ている。

これにより流路部においては、中間空間部４２及び４４
に形成された吸排気穴４２Ａ及び４４Ａを介して、吸排
気系３０で当該中間空間部４２及び４４を減圧する。

すなわち光学セル６中を流れる気体の圧力が大気圧より
低い場合、中間空間部４２及び４４を約１００　（ｔｏ
ｒｒ）以下に減圧する。

このようにすれば、光学セル６中の気体と中間空間部４
２及び４４の圧力差を小さくすることができる。

従って、圧力差が小さ（なった分だけ、０リング３６及
び４０を透過して光学セル６内に漏れ出す気体の量を低
減することができる。

なおここで、０リング３６及び４０を透過して光学セル
６の接続部から漏れ出す気体の量は、光学セル６中の気
体と中間空間部４２及び４４の圧力差に比例することに
より、当該圧力差を０に保持すれば、０リング３６及び
４０を透過する気体の量をほぼＯに低減することができ
る。

ところが実際の測定においては、被測定対象の気体の圧
力が変動する場合や、圧力を正確に判断し得ない場合が
ある。

従ってこの実施例においては、中間空間部４２及び４４
を約１００　（ｔｏｒｒ）以下に減圧することによりこ
のように被測定対象の気体の圧力が変動した場合等でも
、光学セル６内に気体が漏れ出さないことが確認された
。

かくして、第５図に示すように流路郡全体を所定の封止
部材５０でバッキングしたリークテストによれば、ヘリ
ウム分子で２Ｘ１０−”　　（ａｔ■・ｃｃ／５ｅｃ）
以下にリーク量を低減することができた。

なおこのリークテストにおいては、吸排気系３０で中間
空間部４２及び４４を１００　（ｔｏｒｒ〕に減圧する
と共に、導入部１６を封止した後、排気部１８を質量分
析器５４に接続すると共に排気ポンプ５２に接続して真
空排気する。

さらに第６図に示すように、光学セル６中が充分に排気
された後、所定の時点で封止部材５０中にヘリウムガス
を注入し、質量分析器５４でヘリウムガスのリーク量を
検出した。

この場合、ヘリウムガスを注入しても、質量分析器５４
の測定結果に何ら変化が見られず、当該質量分析器５４
の測定精度により、リーク量が測定精度以下であること
、すなわちヘリウム分子で２Ｘ１０””　　Ｃａｔｍ−
ｃｃ／ｓｅｃ’）以下（従来の微粒子計Ｓこδいて１よ
、１Ｆ”　（ａｔｅ−ｃｃ／ｓａｃ〕程度）であること
を確認することができた。

かくして被測定対象への大気の混入を有効るこ回避し得
ることにより、圧力の低い気体中の微粒子濃度を精度良
く測定することができた。

以上の構成において、被測定対象でなる低圧気体を導入
部１６から導入部た後、光学セル６を通して排出部１８
から排出する。

このとき吸排気系３０を介して、Ｏリング３６．４０で
低圧気体と隔壁され、０リング３４．３８で大気と隔壁
された中間空間部４２及び４４を約１００　Ｃｔｏｒｒ
）以下に減圧する。

これにより低圧気体のリークをリークテストの測定１１
魔以下に低減′−得、高い精度で微粒子を測定すること
ができる。

以上の構成によれば、光学セル６の接続部分を○リング
３６〜４０で２重にシールして中間空間部４２及び４４
を形成巳、当該中間空間部４２及び４４を減圧すること
により、低圧気体のリークをリークテストの測定精度以
下に低減５得、その分高い精度で当該低圧気体中の微粒
子を測定することができる。

（２）第２の実施例 この実施例においては、圧力の高い気体中の微粒子濃度
を測定する。

このため微粒子計１においては、吸排気系３゜を介して
、吸気ポンプでなる所定の制御系で中間空間部４２及び
４４を加圧し、被測定対象の圧力に対して、当該中間空
間部４２及び４４の圧力を約０．０５　（ｋｇ／ｃｍｚ
〕以上高くする。

これにより、Ｏリング３６及び４ｏにおいては、中間空
間部４２及び４４と被測定対象との圧力差を小さくし得
、リーク量をリークテストの測定精度以下に低減するこ
とができる。

実際上、圧力の高い気体を被測定対象とする場合でも、
光学セル６中の気体と中間空間部４２及び４４の圧力差
をＯに保持すれば、Ｏリング３６及び４０を透過する気
体の量をほぼＯに低減することができる。

ところが、圧力の高い気体を測定する場合においても、
被測定対象の気体の圧力が変動する場合や、圧力を正確
に判断し得ない場合があることにより、この実施例にお
いては、光学セル６がら実用上充分な範囲で気体が漏れ
出さないように、中間空間部４２及び４４の圧力を約０
．０５　（ｋｇ／ｃｍ”）以上高くする。

実際の実験によれば、光学セル６内を３　［ｋｇ／ｃｍ
”　）に加圧した後、導入部１６及び排出部１８を封止
して１２時間放置しても、当該光学セル６内の圧力低下
を検出し得す、全んどリークしないことを確認すること
ができた。

かくしてこの実施例によれば、光学セル６の接続部分を
０リング３６〜４０で２重にシールし、中間空間部４２
及び４４を被測定対象より約０．０５Ｃｋｇ／ｃｍ”）
以上高い圧力に保持することにより、当該気体のリーク
をリークテストの測定精度以下に低減し得、その分高い
精度で圧力の高い気体中の微粒子を測定することができ
る。

（３）第３の実施例 この実施例においては、反応性の高い気体中の粒子濃度
を測定する。

この場合第７図に示すように、ボンベ５６に格納された
被測定対象の気体を、レギュレータ５８、バルブ６０を
介して微粒子計１の導入部１６に導く。

さらに微粒子計１の排出部１８をバルブ６２．６４に順
次接続し、当該排出部１８から排出される被測定対象を
ニードルバルブ７０を介して流量計７２に導き、ここで
流量を検出した後、所定の処理系へ排出する。

さらにボンベ５６を閉じた後、バルブ７４を開操作する
ことにより、被測定対象の気体に代えてパージ用のアル
ゴンガス又は窒素ガスを流し、当該計測システム全体を
パージし得るようになされている。

これに対して微ｉ−◇、子計１の吸排気系３ｏにおいで
は、バルブ８４を介して排気ポンプ８Ｇに接続され、こ
れにより当該吸排気系３ｏ、中間空間部４．２及び４４
中の大気を排気するようになされている。

さらに吸排気系３０ば１、バルブ８８を介して不活性ガ
スでなる窒素ガスを導入し得るようになされ、これによ
り当該吸排気系３０９、中間空間部４２及び４４中の大
気を排気した後、バルブ８４及び８６を切り換えて、吸
排気系３ｏ、中間空間部４２及び４４を窒素ガスで充満
さ」フ・・るよろになされている。

さらに光学セル６中の被測定対象の圧力が大気圧より低
い場合は、充満した窒素ガス圧が、約１００　（ｔｏｒ
ｒ：ｌ以下に保持された状態でバルブ８８を閉め、これ
により吸排気系３０、中間空間部４２及び４４を排気２
（ｙノブ８６及び窒素ガス供給系から切り離す。

これｊｉ二対して光学セル６中の被測定対象の圧力が大
気圧より高い場合は、充満した窒素ガス圧が被測定対象
より約０．０５　（ｋｇ／ｃｍｉ：ｉ以り高い圧力にな
るとバルブ８８を閉じ、これにより吸排気系３０、中間
空間部４２及び４４を排気ポンプ８６及び窒素ガス供給
系から切り離す。

かくして、被測定対象の圧力に応して、中間空間部４２
及び４４を１００　（ｔｏｒｒｌ以下又は被測定対象よ
り約０．０５　Ｃｋｇ／ｃｍ２〕以上高い圧力に設定し
たことにより、被測定対象のリークをリークテストの測
定精度以下に低減し得４、その分事故の発生を有効に回
避して安全に微粒子濃度を測定することができる。

さらδこ、中間空間部４２及び４４を不活性の窒素ガス
で満たしたことにより、反応性の高い被測定対象の気体
がリークしても、事故の発生を有効に回避することがで
き、その分安全性を向上することができる。

さらにこのとき、バルブ８８を閉めて中間空間部４２及
び４４を排気ポンプ８６及び窒素ガス供給系から切り離
したことにより、０リングシールの劣化等により、吸排
気系３ｏに被測定対象の気体が流入しても、大きな事故
の発生を有効に回避し得、安全性を向上することができ
る。

かくしてこの実施例においては、窒素ガス供給系、バル
ブ８４．８Ｂ、排気ポンプ８６が制御系を構成する。

第７図の構成によれば、光学セル６の接続部分をＯリン
グ３６〜４ｏで２重にシールし、中間空間部４２及び４
４を所定圧力の窒素ガスで満たずことにより、リークを
低減して安全に微粒子潮吹を測定することができる。

（４）他の実施例 なお−上述の実施例においては、光学セル６の接続部分
を０リング３６〜・４ｏで２重にシールした場合につい
て述べたが、本発明はこれに限らず、例えば３重、４重
にシールしてもよい、さらに上述の実施例においては、
気体導入路１６Ｄ及び気体排出路１８Ｄと同心円状に溝
１６Ｆ。

及び１６Ｆ、１８Ｅ及び１８Ｆを形成して０リング３６
〜４０でシールする場合について述べたが、本発明は同
心円状に溝を形成して０リング３６〜４０でシールする
場合に限らず、例えば偏心させてシールするようにして
もよい。

さらに上述の実施例においては、平坦な接続部１６Ａ及
び１８Ａに溝１６Ｅ〜１６Ｆを形成して０リング３６〜
４０を配置する場合について述べたが、本発明はこれに
限らず、例えば第８図に示すように、接続部１６Ｃ及び
１８Ｃの周縁部に段差を設け、当該段差で光学セル６を
ガイドするようにしてもよい。

さらに上述の第３の実施例においては、窒素ガスで中間
空間部４２及び４４を満たｊ、７た場合について述べた
が、本発明はこれに限らず、アルゴンガス等の不活性ガ
スで満たすようにしてもよい。

さらに上述の実施例においては、接続部分のシール部材
としてフッ素ゴム性の０リングを用いる場合について述
べたが、本発明はこれに限らず、必要に応じてニトリル
ゴム、ネオブレンゴム、シリコンゴム等、種々のシール
部材を広く適用することができる。

さらにこのとき、被測定対象に応じて材質の異なるシー
ル部材を組み合わせて用いるようにしてもよい。

例えばアンモニアガスの微粒子を測定する場合、０リン
グ３６．４０に耐腐食性に優れたシリコンゴム製の０リ
ングを用い、０リング３４．３８に透過性の低いフッ素
ゴム製の０リングを用いるようにすれば、安全性及び信
頼性を向上することができる。

さらに上述の実施例においては、光学セル６を石英ガラ
スで形成する場合について述べたが、光学セルの材質は
これに限らず、コランダム、サファイア等の透明部材を
用いるようにしてもよい。

さらに形状も円筒形状に限らず、必要に応じて角筒形状
等積々の形状の光学セルを広く適用することができる。

さらに上述の実施例においては、ステンレス製の導入部
１６及び排出部１８を用いる場合につぃて述べたが、本
発明はこれに限らず、アルミニウム、アルミ合金、イン
コネル等積々の材質を広（通用することができる。

さらに上述の実施例においては、それぞれ中間空間部４
２及び４４に形成された吸排気穴４２Ａ及び４４Ａを介
して中間空間部４２及び４４を加圧又は減圧する場合に
ついて述べたが、吸排気穴４２Ａ及び４４Ａの数はこれ
に限らず、必要に応じて複数個設けるようにしてもよい
。

さらに上述の実施例においては、圧力の高い気体、圧力
の低い気体の微粒子濃度を測定する場合について述べた
が、本発明はこれに限らず、圧力が大気圧近傍の気体の
微粒子濃度を測定する場合にも広く適用することができ
る。

さらに上述の実施例においては、気体中の微粒子を検出
する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、気
体、液体でなる流体中の微粒子を検出する場合に広く適
用することができる。

すなわち、半導体プロセスで用いられる材料ガスのうち
トリメチルガリウムやトリメチルアルミニウムなどの有
機金属やドルクロルシランなどは、常温で液体である。

このような高い反応性を有する試料の微粒子を検出する
場合、中間空間部４２．４４を不活性ガスで加圧封止す
ることで液体のままで信頼性の高い測定が可能となる。

さらに上述の実施例においては、散乱光ＬＡ２の光量を
検出する微粒子計に本発明を適用した場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、透過光の光量を検出する
微粒子計、さらには回折光を検出する微粒子にも広く適
用することができる。

〔発明の効果〕

上述のように本発明によれば、光学セルの接続部分を２
重以上にシールして微小空間を形成し、当該微小空間を
所定圧力に成し得ることにより、リーク量を低減するこ
とができ、その分精度の高い測定結果を得ることができ
る。

さらに、反応性の高い流体を測定するとき、微小空間を
不活性のガスで満たすことにより、安全かつ精度の高い
測定結果を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による微粒子計を示す路線図
、第２図はその流路部を示す平面図、第３図はその一部
断面と取って示す正面図、第４図はその詳細構成を示す
断面図、第５図はリークテストの構成を示す路線図、第
６図はその測定結果を示す特性曲線図、第７図は第３の
実施例を示す路線図、第８図は他の実施例による光学セ
ルの接続部を示す断面図である。 ■・・・・・・微粒子計、６・・・・・・光学セル、工
６・・・・・・導入部、１８・・・・・・排出部、３ｏ
・・・・・・吸排気系、３４．３６．３８．４０・・・
・・・０リング、４２．４４・・・・・・中間空間部。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）被測定対象の流体に光ビームを照射し、上記光ビ
   ームの透過光又は散乱光に基づいて上記流体中の微粒子
   を検出する微粒子計において、 上記流体の流路を形成し、上記光ビーム、上記透過光及
   び散乱光を透過する光学セルと、 上記光学セルに上記流体を導く導入部と、 上記光学セルを通過した上記流体を排出する排出部と、 上記光学セル及び上記導入部の接続部分を２重以上にシ
   ールし、上記流体及び上記光学セルの外気間に、上記流
   体及び上記外気から隔離された第１の微小空間を形成す
   る複数のシール部材と、上記光学セル及び上記排出部の
   接続部分を２重以上にシールし、上記流体及び上記光学
   セルの外気間に、上記流体及び上記外気から隔離された
   第２の微小空間を形成する複数のシール部材と、上記第
   １及び第２の微小空間と所定の制御系とを連絡する吸排
   気系と を具え、上記吸排気系を介して、上記制御系により上記
   第１及び第２の微小空間を所定圧力に成し得るようにし
   た ことを特徴とする微粒子計。
2. （２）上記第１及び第２の微小空間の圧力は、上記流体
   の圧力が上記光学セルの外気圧より低いとき、減圧され
   る ことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の微粒子
   計。
3. （３）上記第１及び第２の微小空間の圧力は、上記流体
   の圧力が上記光学セルの外気圧より高いとき、加圧され
   る ことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の微粒子
   計。
4. （４）上記第１及び第２の微小空間は、 上記流体が反応性の高い流体のとき、不活性のガスで満
   たされる ことを特徴とする特許請求の範囲第２項又は第３項に記
   載の微粒子計。